技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種串聯(lián)環(huán)扇形壓電三維微伺服平臺(tái)的結(jié)構(gòu)，包括基體，基體包括中間反光鏡，在中間反光鏡的外側(cè)設(shè)有兩個(gè)環(huán)扇形的第一壓電梁基體，在第一壓電梁基體的外圈設(shè)有兩個(gè)環(huán)扇形的第二壓電梁基體；在第一壓電梁基體的上表面和第二壓電梁基體的上表面各黏貼有第一、第二壓電陶瓷片；在兩個(gè)第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器加載相反電壓時(shí)，兩個(gè)第二壓電陶器驅(qū)動(dòng)器彎曲方向相反，進(jìn)而帶動(dòng)中間的固定環(huán)繞y軸轉(zhuǎn)動(dòng)；在兩個(gè)第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器加載相反電壓時(shí)，兩個(gè)第一壓電陶器驅(qū)動(dòng)器彎曲方向相反，進(jìn)而帶動(dòng)中間的中間反光鏡繞x軸轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)加載在第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器或第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器電壓方向相同時(shí)，固定環(huán)或中間反光鏡產(chǎn)生垂直x、y所在平面的垂直位移。

技術(shù)研發(fā)人員：閆鵬;陳寧
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.29
技術(shù)公布日：2017.11.07