技術(shù)編號(hào)：12881114
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微伺服平臺(tái)結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種串聯(lián)環(huán)扇形壓電三維微伺服平臺(tái)的結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)隨著技術(shù)的迅速發(fā)展和進(jìn)步，各領(lǐng)域?qū)Τ芏ㄎ患夹g(shù)提出了更多的挑戰(zhàn)和要求，必須克服傳統(tǒng)機(jī)械存在的沖擊、摩擦、多環(huán)節(jié)傳動(dòng)損失等問題，實(shí)現(xiàn)整體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制造，達(dá)到輕量化、小型化、高集成的目的。因此，建立一種結(jié)構(gòu)緊湊的壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的微定位平臺(tái)具有非常大的理論意義和現(xiàn)實(shí)意義。MEMS微鏡是作為一種微型光學(xué)調(diào)制器件，按驅(qū)動(dòng)方式分類主要分為靜電式、磁力式、電熱式和壓電式四種，基本原理是通過靜電(或磁力或電熱或壓電)的作...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。