技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于電熱驅(qū)動(dòng)的MEMS旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器，所述基于電熱驅(qū)動(dòng)的MEMS旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器包含四層結(jié)構(gòu)，其中第二層是該執(zhí)行器的主要結(jié)構(gòu)層，在兩端的陣列V型電熱驅(qū)動(dòng)器上加載相同的電壓，V型電熱驅(qū)動(dòng)器的頂端輸出力和位移，經(jīng)過兩級(jí)柔性杠桿機(jī)構(gòu)的放大作用，從而使中間的圓環(huán)獲得較大的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。本發(fā)明可集成于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)，能夠產(chǎn)生大旋轉(zhuǎn)角度的微執(zhí)行器；且結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)方法新穎，可采用標(biāo)準(zhǔn)的SOIMUMPs工藝加工，能夠有效地增大圓環(huán)的轉(zhuǎn)動(dòng)角度，促進(jìn)了執(zhí)行器在MEMS領(lǐng)域的發(fā)展和應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：劉澤文;王波林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州希美微納系統(tǒng)有限公司
文檔號(hào)碼：201510209964
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.28
技術(shù)公布日：2016.11.23