息，查詢所述備用標(biāo)記對應(yīng)的備用預(yù)存信息，判斷所述備用信息與備用預(yù)存信息是否相符，若相符，則提取備用預(yù)存信息進(jìn)行顯示。
[0062]根據(jù)上述技術(shù)方案，通過對基板中的標(biāo)記進(jìn)行檢測，根據(jù)標(biāo)記嵌入基板的深度進(jìn)行判斷，可以方便且準(zhǔn)確地對基板的有效性進(jìn)行判定，從而避免后續(xù)工序中對無效基板的檢測，提高基板的整體檢測效率，還可以去除解析信息與預(yù)存信息不相符的基板，保證進(jìn)入后續(xù)對盒工序中的基板能夠準(zhǔn)確進(jìn)行對盒。
【附圖說明】
[0063]通過參考附圖會更加清楚的理解本發(fā)明的特征和優(yōu)點，附圖是示意性的而不應(yīng)理解為對本發(fā)明進(jìn)行任何限制，在附圖中:
[0064]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基板標(biāo)記檢測裝置的示意框圖；
[0065]圖2示出了根據(jù)本發(fā)明又一個實施例基板標(biāo)記檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0066]圖3示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的信號流向示意圖；
[0067]圖4示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基板標(biāo)記檢測裝置的示意流程圖；
[0068]圖5示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的判斷基板是否有效的示意流程圖；
[0069]圖6示出了根據(jù)本發(fā)明又一個實施例的判斷基板是否有效的示意流程圖；
[0070]圖7示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的計算標(biāo)記嵌入基板的深度的示意流程圖；
[0071]圖8示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的提取每個標(biāo)記對應(yīng)的信息進(jìn)行顯示的示意流程圖。
【具體實施方式】
[0072]為了能夠更清楚地理解本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)描述。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0073]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是，本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其他方式來實施，因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍并不受下面公開的具體實施例的限制。
[0074]如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基板標(biāo)記檢測裝置10包括:
[0075]檢測模塊11，用于檢測待檢測的基板中每個標(biāo)記嵌入基板的深度，根據(jù)每個深度判斷基板是否有效；
[0076]信息提取模塊12，在基板為有效的情況下，解析標(biāo)記得到解析信息，查詢標(biāo)記對應(yīng)的預(yù)存信息，判斷解析信息與預(yù)存信息是否相符，若相符，則提取預(yù)存信息進(jìn)行顯示；
[0077]分揀模塊13，在基板為無效或解析信息與預(yù)存信息不相符的情況下，去除基板。
[0078]在將標(biāo)記嵌入基板內(nèi)部的工藝中，一方面可以通過設(shè)置標(biāo)記嵌入基板的深度來標(biāo)記基板是否有效，例如在檢測標(biāo)記嵌入深度之前的工序中，檢測到基板存在質(zhì)量問題，不應(yīng)進(jìn)入后續(xù)對盒工序，那么可以將標(biāo)記嵌入到基板的一定深度，使得檢測模塊11能夠檢測出該基板為無效基板，以便分揀模塊13去除該基板。
[0079]另一方面可以通過設(shè)置標(biāo)記的內(nèi)容來標(biāo)明基板的信息(例如身份信息和位置信息等)，例如基板并不存在質(zhì)量問題，那么檢測模塊11不會判斷其為無效，但是信息提取模塊12根據(jù)其中的標(biāo)記解析得到的解析信息中的位置信息與預(yù)存信息中的位置信息并不相符，說明該基板位置不夠準(zhǔn)確，在后續(xù)對盒工序中無法準(zhǔn)確對盒，因此也由分揀模塊13去除。
[0080]通過對基板中的標(biāo)記進(jìn)行檢測，根據(jù)標(biāo)記嵌入基板的深度進(jìn)行判斷，可以方便且準(zhǔn)確地對基板的有效性進(jìn)彳丁判定，從而避免后續(xù)工序中對無效基板的檢測，提尚基板的整體檢測效率，還可以去除解析信息與預(yù)存信息不相符的基板，保證進(jìn)入后續(xù)對盒工序中的基板能夠準(zhǔn)確進(jìn)行對盒。
[0081 ] 優(yōu)選地，檢測模塊11包括:
[0082]第一光收發(fā)單元111，用于向基板的第一表面對應(yīng)標(biāo)記的位置發(fā)射檢測光線，獲取第一表面反射的第一光線，以及標(biāo)記的上表面反射的第二光線；
[0083]計算單元112，用于根據(jù)第一光線的第一傳播距離和第二光線的第二傳播距離計算標(biāo)記嵌入基板的深度；
[0084]第一判斷單元113，用于判斷每個標(biāo)記嵌入基板的深度之間是否滿足預(yù)設(shè)關(guān)系，若不滿足，則判定基板為無效。
[0085]通過光照方式可以準(zhǔn)確且快速地檢測基板內(nèi)部標(biāo)記嵌入基板的深度，從而準(zhǔn)確且快速地判斷基板是否有效。
[0086]例如在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，第一光收發(fā)單元111可以是紅外探測器，設(shè)置在橫梁上，可以在橫梁上沿著y軸運(yùn)動，導(dǎo)軌在電缸的驅(qū)動下可以帶動橫梁沿著X軸運(yùn)動，使得紅外探測器可以掃描到所有的基板。
[0087]例如預(yù)設(shè)關(guān)系為標(biāo)記之間嵌入基板的深度之差大于0.1mm為無效基板，那么在檢測過程中，當(dāng)在生產(chǎn)線的前序流程中檢測出基板A存在缺陷，為無效基板，向基板A中的嵌入標(biāo)記al和a2，標(biāo)記al的上表面距離基板A的上表面0.5mm,標(biāo)記a2的上表面距離基板A的上表面0.3mm，兩者嵌入基板A的深度相差0.2mm，則第一判斷單元113可以判斷出0.2mm大于0.1mm,不符合預(yù)設(shè)關(guān)系，則判定基板為無效。
[0088]優(yōu)選地，檢測模塊11包括:
[0089]第一光收發(fā)單元111，用于向基板的第一表面對應(yīng)標(biāo)記的位置發(fā)射檢測光線，獲取第一表面反射的第一光線，以及標(biāo)記的上表面反射的第二光線；
[0090]計算單元112，用于根據(jù)第一光線的第一傳播距離和第二光線的第二傳播距離計算標(biāo)記嵌入基板的深度；
[0091]第一判斷單元113，判斷每個深度是否處于預(yù)設(shè)深度范圍內(nèi)，若任一深度未處于預(yù)設(shè)深度范圍內(nèi)，則判定基板為無效，若每個深度都處于預(yù)設(shè)深度范圍內(nèi)，則判定基板為有效。
[0092]例如預(yù)設(shè)深度范圍為0.2mm至0.4_，那么在檢測過程中，當(dāng)在生產(chǎn)線的前序流程中檢測出基板A存在缺陷，為無效基板，向基板A中的嵌入標(biāo)記al和a2，標(biāo)記al的上表面距離基板A的上表面0.5mm，標(biāo)記a2的上表面距離基板A的上表面0.3mm，第一判斷單元113可以判斷出兩者嵌入基板A的深度都不在預(yù)設(shè)深度范圍內(nèi)，判定基板為無效。
[0093]需要說明的是，上述預(yù)設(shè)關(guān)系和預(yù)設(shè)深度范圍都可以根據(jù)需要進(jìn)行具體設(shè)置。而且上述兩種判定基板是否無效的方式可以分別單獨(dú)使用，也可以在一個判定條件成立的基礎(chǔ)上繼續(xù)另一個判斷，例如在判定每個標(biāo)記嵌入基板的深度之間滿足預(yù)設(shè)關(guān)系的基礎(chǔ)上，可以進(jìn)一步判斷每個深度是否處于預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，從而進(jìn)一步保證準(zhǔn)確地判定基板是否有效。
[0094]優(yōu)選地，第一判斷單元113還用于根據(jù)第二光線的第二傳播距離判斷標(biāo)記的上表面形狀，
[0095]若判定標(biāo)記的上表面為平面，則判定第二傳播距離中包含的多個子距離相等，計算單元112根據(jù)第二傳播距離中任一子距離和第一傳播距離計算標(biāo)記嵌入基板的深度，
[0096]若判定標(biāo)記的上表面為非平面，則判定第二傳播距離中包含的多個子距離不相等，計算單元112據(jù)第二傳播距離中最大的子距離和第一傳播距離計算標(biāo)記嵌入基板的深度。
[0097]由于標(biāo)記在微觀上具有一定的自身形狀，其上表面形狀可以分為平面、斜面和曲面等多種情況，照射在其上表面反射的第二光線也具有一定的面積，第一判斷單元113可以根據(jù)接收到第二光線中每個區(qū)域的光程差的情況來確定標(biāo)記的上表面性狀。例如沒有光程差，則說明書反射面是平面，即標(biāo)記的上表面為平面，若存在光程差，且連續(xù)相鄰區(qū)域的光程差相同，則說明反射面為均勻的斜面，即標(biāo)記的上表面為斜面，連續(xù)相鄰區(qū)域的光程差由負(fù)變正，則反射面為凹面，即標(biāo)記的上表面為凹面。
[0098]其中，當(dāng)標(biāo)記上表面為曲面時，上表面中不同區(qū)域反射的第二光線的第二傳播距離不同，因此計算得到的標(biāo)記不同區(qū)域嵌入基板的深度也不同。通過統(tǒng)一選取第二傳播距離中最大的子距離與第一傳播距離計算標(biāo)記嵌入基板的深度，可以保證在多個標(biāo)記上表面不是平面時，對于多個標(biāo)記嵌入深度的計算標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一，以保證后續(xù)計算的準(zhǔn)確性。
[0099]優(yōu)選地，信息提取模塊12包括:
[0100]第二光收發(fā)單元121，發(fā)出光線照射有效的基板，獲取每個標(biāo)記投影形成的點陣圖像；
[0101]解析單元122，用于對點陣圖像進(jìn)行解析，得到解析信息，其中，解析信息為點陣圖像編碼數(shù)據(jù)；
[0102]查詢單元123，用于查詢標(biāo)記對應(yīng)的預(yù)存信息；
[0103]第二判斷單元124，用于判斷解析信息與預(yù)存信息是否相符；
[0104]提取單元125，在所述解析信息與所述預(yù)存信息相符的情況下，提取預(yù)存信息進(jìn)行顯不O
[0105]嵌入基板內(nèi)部的標(biāo)記，其中主要對應(yīng)兩種信息，一種信息用于標(biāo)明基板的身份，根據(jù)該信息可以判斷基板是否為預(yù)先設(shè)定的需要對盒的基板，另一種信息用于標(biāo)明基板的位置信息，以便后續(xù)對盒過程中根據(jù)該位置信息進(jìn)行準(zhǔn)確地對盒。
[0106]由于標(biāo)記的內(nèi)容可能錯誤，或者標(biāo)記的周邊存在非標(biāo)記點，因此需要將解析標(biāo)記得到的解析信息與預(yù)存信息進(jìn)行比較，例如可以根據(jù)點陣編碼