專利名稱：一種全自動晶粒檢測分選一體設備的制作方法
技術領域：
本申請涉及晶粒分選技術領域，特別是涉及一種全自動晶粒檢測分選一體設備。
背景技術：
發(fā)光二極管(Light Emitting Diode, LED)及半導體晶圓在切割成晶粒后，會使用晶粒分選功能的裝置，例如晶粒分選機，進行晶粒測試和分選(Bin)的動作。以LED而言，通常針對主波長(peak length)、發(fā)光強度(MCD)、光通量(lumens)、色溫(colortemperature)、工作電壓(Vf )、反向擊穿電壓(ImA)等幾個關鍵參數(shù)來進行測試和分選,此步驟在LED的晶粒生產(chǎn)和封裝成本方面有重要影響。而半導體晶粒也可依照產(chǎn)品的需求進行晶粒檢測和分選的動作。采用晶粒分選機處理置放于晶圓環(huán)中LED晶粒的分選過程中，晶粒分選機會自動地根據(jù)設定的測試標準把LED晶粒分裝在不同的分料盒(bin frame)內(nèi)。而在分選過程中，需要更換分料盒或晶圓環(huán)以繼續(xù)晶粒分選的步驟?，F(xiàn)今電子產(chǎn)業(yè)對于LED晶粒檢測和分選的效率、集成度、單位面積的產(chǎn)能等的要求越來越高，目前市面上的檢測、分選設備大多是各自獨立設置。上述現(xiàn)有技術至少存在以下問題:檢測機大多是手動上料，影響生產(chǎn)效率。在檢測機檢測完成后，還需將檢測盤安裝在盤片上，再放入卡匣由分選機分選，其中間人工過程耗時較多，集成度較差；且檢測機、分選機各自料庫存儲量有限 ，不能實現(xiàn)資源共享。因此，亟需提供一種全自動晶粒檢測分選一體設備的技術顯得尤為重要。
發(fā)明內(nèi)容本申請的目的在于避免現(xiàn)有技術中的不足之處而提供一種能夠使檢測與分選同步進行，且具有換片高效、整機小巧、結(jié)構緊湊、整機穩(wěn)定性好的全自動晶粒檢測分選一體設備。本申請的目的通過以下技術方案實現(xiàn):提供了一種全自動晶粒檢測分選一體設備，包括有機體平臺，其中，所述機體平臺上設置有:三個工作臺，分別為晶圓工作臺、分選工作臺和檢測工作臺，晶圓工作臺和分選工作臺用于承載盤片進行晶粒分選，檢測工作臺用于承載盤片進行晶粒檢測；擺臂機構，通過其對晶圓工作臺以及分選工作臺上的盤片進行分選；芯片分選料庫，其用于存放裝載有盤片的卡匣；運輸傳送系統(tǒng)，其可沿X軸、Y軸和Z軸方向運動，所述運輸傳送系統(tǒng)具有兩個緩沖區(qū)位置，通過所述運輸傳送系統(tǒng)從所述芯片分選料庫中對應的位置取出待分選或者待檢測的盤片放置第一緩沖區(qū)位置等候，將位于第二緩沖區(qū)位置的經(jīng)過分選或者檢測的需要放回至芯片分選料庫的盤片放回至芯片分選料庫中指定位置；三個推送裝置，分別為晶圓工作臺推送裝置、分選工作臺推送裝置和檢測工作臺推送裝置，其用于將三個工作臺上的盤片推送至運輸傳送系統(tǒng)上或者將運輸傳送系統(tǒng)上的盤片取放至三個工作臺上；所述芯片分選料庫設置于所述機體平臺的一側(cè)，所述晶圓工作臺、所述分選工作臺、所述檢測工作臺以及所述三個推送裝置組成的分選工作區(qū)設置于所述機體平臺上位于與所述芯片分選料庫相對的另一側(cè)，所述運輸傳送系統(tǒng)橫置于所述芯片分選料庫和所述分選工作區(qū)之間，所述晶圓工作臺和所述分選工作臺分別設置于所述擺臂機構的兩側(cè)，所述檢測工作臺設置于所述晶圓工作臺和所述分選工作臺的另一側(cè)；相對應地，所述晶圓工作臺與所述晶圓工作臺推送裝置配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)的取放；所述分選工作臺與所述分選工作臺推送裝置配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)的取放；所述檢測工作臺與所述檢測工作臺推送裝置配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)的取放。其中，所述運輸傳送系統(tǒng)包括:X軸導軌、X軸基座，以及驅(qū)動所述X軸基座沿所述X軸導軌往復運動的X軸驅(qū)動裝置；Y軸導軌、Y軸基座，以及驅(qū)動所述Y軸基座沿所述Y軸導軌往復運動的Y軸驅(qū)動
裝置；Z軸導軌、Z軸基座，以及驅(qū)動所述Z軸基座沿所述Z軸導軌往復運動的Z軸驅(qū)動裝置，所述Z軸導軌固定設置于所述X軸基座的豎直板上，所述Y軸導軌固定設置于所述Z軸基座；用于夾持盤片的夾持機構和控制所述夾持機構上下移動的夾持驅(qū)動裝置，所述夾持機構與所述Y軸基座連接；所述Z軸基座設置有第一卡槽和第二卡槽。
`[0021]其中，所述夾持驅(qū)動裝置包括第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置和第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置，所述第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置和所述第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置均設置于所述Y軸基座。其中，所述X軸驅(qū)動裝置包括X軸電機、X軸絲桿和X軸螺母，所述X軸螺母設置在所述X軸基座的下方，所述X軸絲桿與所述X軸螺母螺紋連接，所述X軸電機驅(qū)動所述X軸基座沿所述X軸絲桿移動；所述Y軸驅(qū)動裝置包括Y軸電機、齒輪和齒條，所述Y軸電機固定設置于所述Y軸基座，所述齒輪同軸設置于所述Y軸電機的輸出軸，所述齒條設置于所述Y軸基座的內(nèi)側(cè)面，所述齒輪與所述齒條嚙合；所述Z軸驅(qū)動裝置包括Z軸電機、Z軸絲桿和Z軸螺母，所述Z軸基座與所述Z軸絲桿螺紋連接，所述Z軸絲桿與所述Z軸螺母螺紋連接，所述Z軸電機驅(qū)動所述Z軸基座沿所述Z軸絲桿移動。其中，所述推送裝置包括:固定支架；移送驅(qū)動裝置，其用于將被移送的盤片由工作臺移送到運輸傳送系統(tǒng)或者由運輸傳送系統(tǒng)返回移送到工作臺，所述移送驅(qū)動裝置包括設置于所述固定支架的安裝座、設置于所述安裝座的移送絲杠、驅(qū)動所述移送絲杠轉(zhuǎn)動的電機以及與所述移送絲杠螺接的滑動座；夾爪機構，其用于夾緊盤片或松開盤片，所述由平行設置的上夾片和下夾片組成的夾爪機構包括夾片組件和用于驅(qū)動所述夾片組件夾緊或松開的夾緊驅(qū)動裝置；[0027]升降驅(qū)動裝置，其通過連接件固定于所述滑動座，用于使所述夾片組件上升處于避讓位置和使所述夾片組件下降處于張夾位置。其中，所述升降驅(qū)動裝置包括升降氣缸座和升降氣缸，升降氣缸座與所述連接件固定連接，所述升降氣缸座設置有升降導軌槽；所述夾緊驅(qū)動裝置包括夾緊氣缸和夾緊氣缸座，所述夾緊氣缸座設置有升降導軌，所述升降導軌與所述升降導軌槽滑動配合。其中，所述升降氣缸設置有位移傳感器；所述滑動座設置有位移傳感器。其中，所述移送驅(qū)動裝置還包括兩根滑桿，所述兩根滑桿分別設置于所述移送絲杠的兩側(cè)，所述滑桿的一端設置于所述安裝座，所述滑桿的另一端與所述滑動座滑動連接。其中,所述芯片分選料庫為一體式固定結(jié)構的芯片分選料庫。其中，所述運輸傳送系統(tǒng)設置有一組；或者:所述運輸傳送系統(tǒng)設置有兩組或者三組，且各個運輸傳送系統(tǒng)同步作業(yè)互不干涉O本申請的有益效果:本申請的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，本設備由晶圓工作臺、分選工作臺、檢測工作臺、運輸傳送系統(tǒng)、晶圓工作臺推送裝置、分選工作臺推送裝置、檢測工作臺推送裝置、擺臂機構、芯片分選料庫，上述九個主要部分組成。本申請改善了現(xiàn)有技術中的傳統(tǒng)布局與機械結(jié)構，在機體平臺上提供了一種優(yōu)選的布局結(jié)構，通過運輸傳送系統(tǒng)將盤片在晶圓工作臺、分選工作臺、檢測工作臺、推送裝置及芯片分選料庫之間自如進出進行相應盤片的取放，實現(xiàn)了全自動晶粒檢測分選，同時運輸傳送系統(tǒng)具有兩個緩沖區(qū)位置，能夠減少待分選盤片與分選結(jié)束后的盤片以及待檢測盤片與檢測結(jié)束后的盤片之間的交換時間，進而加快晶粒分選和檢測時間和效率。綜上，本申請具有檢測分選同步進行、換片高效、整機小巧、結(jié)構緊湊、整機穩(wěn)定性好、芯片分選料庫可擴容性好的特點。

利用附圖對申請作進一步說明，但附圖中的實施例不構成對本申請的任何限制，對于本領域的普通技術人員，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)以下附圖獲得其它的附圖。圖1是本申請的一種全自動晶粒檢測分選一體設備的布局結(jié)構示意圖。圖2是本申請的一種全自動晶粒檢測分選一體設備的運輸傳送系統(tǒng)的結(jié)構示意圖。圖3是圖2中“A”處放大結(jié)構示意圖。圖4是本申請的一種全自動晶粒檢測分選一體設備的推送裝置的結(jié)構示意圖。在圖1中包括有:100—機體平臺、110—晶圓工作臺、120—分選工作臺、130—運輸傳送系統(tǒng)、140——晶圓工作臺推送裝置、150—分選工作臺推送裝置、160—擺臂機構、170—芯片分選料庫、180——檢測工作臺、190——檢測工作臺推送裝置；在圖2和圖3中包括有:400——X軸導軌、401——X軸驅(qū)動裝置、4011——X軸電機、4012——X軸絲桿、402——X軸基座；[0045]500——Y軸導軌、501——Y軸驅(qū)動裝置、5011——Y軸電機、5012——齒條、5013——齒輪、502——Y軸基座；600——Z軸導軌、601——Z軸驅(qū)動裝置、6011——Z軸電機、602——Z軸基座；700——夾持機構、702——夾持驅(qū)動裝置、7021——第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置、7022——第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置、703——第一卡槽、704——第二卡槽；在圖4中包括有:I——固定支架；2——移送驅(qū)動裝置、21——安裝座、22——移送絲杠、23——滑動座、24——滑桿；3—升降驅(qū)動裝置、31—升降氣缸座、311——升降導軌槽；
4——夾爪機構、41——夾片組件、42——夾緊氣缸、43——夾緊氣缸座；5——第一連接件；6——第二連接件；7——連接件導軌條。
具體實施方式
下面結(jié)合實施例及附圖對本申請作進一步詳細的描述，但本申請的實施方式不限于此。實施例1。本申請的一種全自動晶粒檢測分選一體設備的具體實施方式
之一，包括有機體平臺100，所述機體平臺100上設置有:三個工作臺，分別為晶圓工作臺110、分選工作臺120和檢測工作臺180，晶圓工作臺110和分選工作臺120用于承載盤片進行晶粒分選，檢測工作臺180用于承載盤片進行晶粒檢測；擺臂機構160，通過其對晶圓工作臺110上的盤片以及分選工作臺120上的盤片進行分選；芯片分選料庫170,其用于存放裝載有盤片的卡匣；該芯片分選料庫170中的卡匣具有通用性，可以用于存放分選盤片，也可以用于存放待分選或者待檢測盤片；運輸傳送系統(tǒng)130，其可沿X軸、Y軸和Z軸方向運動，所述運輸傳送系統(tǒng)130具有兩個緩沖區(qū)位置，通過所述運輸傳送系統(tǒng)130從所述芯片分選料庫170中對應的位置取出待分選或者待檢測的盤片放置第一緩沖區(qū)位置等候，將位于第二緩沖區(qū)位置的經(jīng)過分選或者檢測的需要放回至芯片分選料庫170的盤片放回至芯片分選料庫170中指定位置；三個推送裝置，分別為晶圓工作臺推送裝置140、分選工作臺推送裝置150和檢測工作臺推送裝置190，其用于將三個工作臺上的盤片推送至運輸傳送系統(tǒng)130上或者將運輸傳送系統(tǒng)130上的盤片取放至三個工作臺上；這里晶圓工作臺推送裝置140與晶圓工作臺110對應，分選工作臺推送裝置150與分選工作臺120對應，檢測工作臺推送裝置190與檢測工作臺180對應；所述芯片分選料庫170設置于所述機體平臺100的一側(cè)，所述晶圓工作臺110、所述分選工作臺120、所述檢測工作臺180以及所述三個推送裝置組成的分選工作區(qū)設置于所述機體平臺100上位于與所述芯片分選料庫170相對的另一側(cè)，所述運輸傳送系統(tǒng)130橫置于所述芯片分選料庫170和所述分選工作區(qū)之間，所述晶圓工作臺110和所述分選工作臺120分別設置于所述擺臂機構160的兩側(cè)，所述檢測工作臺180設置于所述晶圓工作臺110和所述分選工作臺120的另一側(cè)；相對應地，所述晶圓工作臺110與所述晶圓工作臺推送裝置140配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)130的取放；所述分選工作臺120與所述分選工作臺推送裝置150配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)130的取放；所述檢測工作臺180與所述檢測工作臺推送裝置190配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)130的取放。另，本實施例中的晶圓工作臺110、分選工作臺120、檢測工作臺180位于同一直線，且晶圓工作臺110設置于檢測工作臺180和分選工作臺120的中間。本設備由晶圓工作臺110、分選工作臺120、檢測工作臺180、運輸傳送系統(tǒng)130、晶圓工作臺推送裝置140、分選工作臺推送裝置150、檢測工作臺推送裝置190、擺臂機構160、芯片分選料庫170，上述九個主要部分組成。本申請改善了現(xiàn)有技術中的傳統(tǒng)布局與機械結(jié)構，在機體平臺上提供了一種優(yōu)選的布局結(jié)構，通過運輸傳送系統(tǒng)130將盤片在晶圓工作臺110、分選工作臺120、檢測工作臺180、推送裝置及芯片分選料庫170之間自如進出進行相應盤片的取放，實現(xiàn)了全自動晶粒檢測分選，同時運輸傳送系統(tǒng)130具有兩個緩沖區(qū)位置，能夠減少待分選盤片與分選結(jié)束后的盤片以及待檢測盤片與檢測結(jié)束后的盤片之間的交換時間，進而加快晶粒分選和檢測時間和效率。綜上，本申請具有檢測分選同步進行、換片高效、整機小巧、結(jié)構緊湊、整機穩(wěn)定性好、芯片分選料庫可擴容性好的特點。具體的，所述芯片分選料庫170為一體式固定結(jié)構的芯片分選料庫170。芯片分選料庫170橫置于機體平臺100的頂側(cè)，且其長度介于兩個推送裝置之間，同時采用一體式固定結(jié)構的料庫方便擴容，而且穩(wěn)定性較好，能夠減少相應的驅(qū)動機構，僅通過運輸傳送系統(tǒng)130即可完成從芯片分選料庫170中的取放。具體的，所述運輸傳送系統(tǒng)130設置有一組；或者:所述運輸傳送系統(tǒng)130設置有兩組或者三組，且各個運輸傳送系統(tǒng)130同步作業(yè)互不干涉。應用本申請的方法包括:步驟一，將晶圓盤片放置在晶圓工作臺110上，將分選盤片放置在分選工作臺120上，通過擺臂機構160進行分選；或者將晶圓盤片放置在檢測工作臺180上，通過探針進行檢測；在此同時，運輸傳送系統(tǒng)130從芯片分選料庫170中取出下次待分選或者待檢測的盤片放至第一緩沖區(qū)位置等候；步驟二，待分選或者檢測結(jié)束后，將盤片通過其所對應配合的推送裝置推送至運輸傳送系統(tǒng)130中的第二緩沖區(qū)位置；與此同時，通過推送裝置將等候在第一緩沖區(qū)位置的盤片取出，放置在工作臺上，繼續(xù)進行分選或者檢測；在此同時，運輸傳送系統(tǒng)130將位于第二緩沖區(qū)位置的經(jīng)過分選或者檢測的需要放回至芯片分選料庫170的盤片放回至芯片分選料庫170中指定位置；并通過運輸傳送系統(tǒng)130從芯片分選料庫170取出下次待分選或者待檢測的盤片放至第一緩沖區(qū)位置等候；如此重復直至完成分選或者檢測作業(yè)。采用上述全自動晶 粒檢測分選一體設備，使得晶粒的檢測分選能夠同步進行，具有芯片分選效率高、能夠減少等待時間的優(yōu)點。本申請從整體布局而言，結(jié)構簡單，而且推送裝置及運輸傳送系統(tǒng)130能夠模塊化生產(chǎn)，使得整體機體的安裝較為簡易，例如:推送裝置即可以與晶圓工作臺110搭配使用，也可以與分選工作臺120搭配使用，同時還可以與檢測工作臺180搭配使用；再者，運輸傳送系統(tǒng)130可以兼顧晶圓工作臺110、分選工作臺120、檢測工作臺180三個工作臺與芯片分選料庫170之間的取放，節(jié)約成本且能夠滿足市場化大規(guī)模的生產(chǎn)。實施例2本申請的一種全自動晶粒檢測分選一體設備的具體實施方式
之二，本實施例的主要技術方案與實施例1相同，在本實施例中未解釋的特征，采用實施例1中的解釋，在此不再進行贅述。本實施例與實施例1的區(qū)別在于，所述運輸傳送系統(tǒng)130包括:X軸導軌400、X軸基座402，以及驅(qū)動所述X軸基座402沿所述X軸導軌400往復運動的X軸驅(qū)動裝置401 ；Y軸導軌500、Y軸基座502，以及驅(qū)動所述Y軸基座502沿所述Y軸導軌500往復運動的Y軸驅(qū)動裝置501 ；Z軸導軌600、Ζ軸基座602，以及驅(qū)動所述Z軸基座602沿所述Z軸導軌600往復運動的Z軸驅(qū)動裝置601，所述Z軸導軌600固定設置于所述X軸基座402的豎直板上，所述Y軸導軌500固定設置于所述Z軸基座602 ；用于夾持盤片的夾持機構700和控制所述夾持機構700上下移動的夾持驅(qū)動裝置702，所述夾持機構700與所述Y軸基座502連接；所述Z軸基座602設置有第一^^槽703和第二卡槽704。第一^^槽703即為第一緩沖區(qū)位置，第二卡槽704即為第二緩沖 區(qū)位置。具體的，所述夾持驅(qū)動裝置702包括第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置7021和第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置7022，所述第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置7021和所述第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置7022均設置于所述Y軸基座502。具體的，所述X軸驅(qū)動裝置401包括X軸電機4011、X軸絲桿4012和X軸螺母，所述X軸螺母設置在所述X軸基座402的下方，所述X軸絲桿4012與所述X軸螺母螺紋連接，所述X軸電機4011驅(qū)動所述X軸基座402沿所述X軸絲桿4012移動；所述Y軸驅(qū)動裝置501包括Y軸電機5011、齒輪5013和齒條5012，所述Y軸電機5011固定設置于所述Y軸基座502，所述齒輪5013同軸設置于所述Y軸電機5011的輸出軸，所述齒條5012設置于所述Y軸基座502的內(nèi)側(cè)面，所述齒輪5013與所述齒條5012嚙合；所述Z軸驅(qū)動裝置601包括Z軸電機6011、Z軸絲桿和Z軸螺母，所述Z軸基座602與所述Z軸絲桿螺紋連接，所述Z軸絲桿與所述Z軸螺母螺紋連接，所述Z軸電機6011驅(qū)動所述Z軸基座602沿所述Z軸絲桿移動。本實施例的運輸傳送系統(tǒng)130的工作過程:首先在X軸電機4011和Z軸電機6011驅(qū)動下運動至芯片分選料庫170，使運輸傳送系統(tǒng)130的第一卡槽703對準待分選盤片所在的卡匣設置的卡槽；然后，Y軸電機5011驅(qū)動夾持機構700前進至夾持位置，然后夾持機構700夾緊盤片，Y軸電機5011驅(qū)動夾持機構700后退，將盤片移送至第一卡槽703的位置，當盤片運動到位后，夾持機構700松開，并在Y軸電機5011驅(qū)動下繼續(xù)運動至一安全位置(此位置處于夾持機構700的夾爪邊緣與盤片的邊緣有5_左右的間距，便于夾持機構700的升降)，然后第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置7021和第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置7022驅(qū)動夾持機構700上升至取放平臺上方以完成避讓動作，便于布置在工作臺一側(cè)的推送裝置將盤片自運輸傳送系統(tǒng)130的第一卡槽703裝載至工作臺上。當盤片分選或者檢測結(jié)束后，推送裝置首先將盤片自工作臺卸載至運輸傳送系統(tǒng)130的第二卡槽704，然后運輸傳送系統(tǒng)130在X軸電機4011和Z軸電機6011的驅(qū)動下運動至與第二卡槽704與該盤片入庫卡槽相對齊，然后運輸傳送系統(tǒng)130的夾持機構700在Y軸電機5011的驅(qū)動下運動至上述安全位置，并在第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置7021和第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置7022驅(qū)動下使夾持機構700與第二卡槽704對齊，然后Y軸電機5011驅(qū)動夾持機構700前進至夾持位置，(此位置處夾爪與盤片有5_左右的重疊)，夾持機構700的夾爪夾緊，Y軸電機5011繼續(xù)工作，直至將盤片送入卡匣內(nèi)，最后夾持機構700的夾爪松開并在Y軸電機5011驅(qū)動下后退，以完成盤片的入庫動作；與此同時，在X軸電機4011和Z軸電機6011驅(qū)動下運動至芯片分選料庫170，使運輸傳送系統(tǒng)130的第二卡槽704對準下一次待分選或者待檢測的盤片所在的卡匣設置的卡槽；然后，Y軸電機5011驅(qū)動夾持機構700前進至夾持位置，然后夾持機構700夾緊下一次待分選或者待檢測的盤片，Y軸電機5011驅(qū)動夾持機構700后退，將下一次待分選或者待檢測的盤片移送至第一卡槽703的緩沖位置等候。實施例3本申請的一種全自動晶粒檢測分選一體設備的具體實施方式
之三，本實施例的主要技術方案與實施例1相同，在本實施例中未解釋的特征，采用實施例1中的解釋，在此不再進行贅述。本實施例與實施例1的區(qū)別在于，所述推送裝置包括:固定支架1 ;移送驅(qū)動裝·置2，其用于將被移送的盤片由工作臺移送到運輸傳送系統(tǒng)130或者由運輸傳送系統(tǒng)130返回移送到工作臺，所述移送驅(qū)動裝置2包括設置于所述固定支架I的安裝座21、設置于所述安裝座21的移送絲杠22、驅(qū)動所述移送絲杠22轉(zhuǎn)動的電機以及與所述移送絲杠22螺接的滑動座23 ；夾爪機構4，其用于夾緊盤片或松開盤片，所述由平行設置的上夾片和下夾片組成的夾爪機構4包括夾片組件41和用于驅(qū)動所述夾片組件41夾緊或松開的夾緊驅(qū)動裝置；升降驅(qū)動裝置3，其通過連接件固定于所述滑動座23，用于使所述夾片組件41上升處于避讓位置和使所述夾片組件41下降處于張夾位置。具體的，所述升降驅(qū)動裝置3包括升降氣缸座31和升降氣缸，升降氣缸座31與所述連接件固定連接，所述升降氣缸座31設置有升降導軌槽311 ;所述夾緊驅(qū)動裝置包括夾緊氣缸42和夾緊氣缸座43，所述夾緊氣缸座43設置有升降導軌，所述升降導軌與所述升降導軌槽311滑動配合。具體的，所述升降氣缸設置有位移傳感器；所述滑動座23設置有位移傳感器。升降氣缸設置的位移傳感器，用于控制夾片組件41上升處于上極限的避讓位置和使夾片組件41下降處于下極限的張夾位置；滑動座23設置的位移傳感器，用于控制滑動座23在工作臺和運輸傳送系統(tǒng)130之間往復移動。具體的，所述移送驅(qū)動裝置2還包括兩根滑桿24，所述兩根滑桿24分別設置于所述移送絲杠22的兩側(cè)，所述滑桿24的一端設置于所述安裝座21，所述滑桿24的另一端與所述滑動座23滑動連接。[0095]本實施例中，連接件包括第一連接件5和第二連接件6，第一連接件5的一端固定于滑動座23，第一連接件5的另一端與第二連接件6的一端固接，第二連接件6的另一端固定于升降氣缸座31。本實施例的推送裝置的工作原理如下:當需要更換盤片時，升降驅(qū)動裝置3驅(qū)動夾片組件41下降至靠近供晶工作臺的下極限位，然后夾緊氣缸42驅(qū)動夾片組件41張開，推送裝置將工作臺需要更換的盤片移送至夾片組件41中，此時夾緊氣缸42驅(qū)動夾片組件41閉合而將盤片夾緊，接著移送驅(qū)動裝置2驅(qū)動滑動座23使夾片組件41由工作臺移送至運輸傳送系統(tǒng)130，夾緊氣缸42再驅(qū)動夾片組件41張開，使盤片被移送至運輸傳送系統(tǒng)130，最后移送驅(qū)動裝置2使滑動座23再返回至工作臺，且夾緊氣缸42使夾片組件41閉合，升降驅(qū)動裝置3使夾片組件41上升至上極限避讓位置；當不需要更換盤片時，夾片組件41上升至上極限避讓位置而不會影響供晶工作臺的工作。該推送裝置結(jié)構簡單，可快速、精確地更換盤片，實現(xiàn)自動化控制，故障率低，且當不需要更換盤片時，夾片組件41上升至上極限避讓位置而不會影響供晶工作臺的工作。最后應當說明的是，以上實施例僅用以說明本申請的技術方案，而非對本申請保護范圍的限制，盡管參照較佳實施例對本申請作了詳細地說明，本領域的普通技術人員應當理解，可以對本申請的技術方案進行修改或者等同替換，而不脫離本申請技術方案的實質(zhì)和范圍?！?br> 權利要求1.一種全自動晶粒檢測分選一體設備，包括有機體平臺，其特征在于，所述機體平臺上設置有: 三個工作臺，分別為晶圓工作臺、分選工作臺和檢測工作臺，晶圓工作臺和分選工作臺用于承載盤片進行晶粒分選，檢測工作臺用于承載盤片進行晶粒檢測； 擺臂機構，通過其對晶圓工作臺以及分選工作臺上的盤片進行分選； 芯片分選料庫，其用于存放裝載有盤片的卡匣； 運輸傳送系統(tǒng)，其可沿X軸、Y軸和Z軸方向運動，所述運輸傳送系統(tǒng)具有兩個緩沖區(qū)位置，通過所述運輸傳送系統(tǒng)從所述芯片分選料庫中對應的位置取出待分選或者待檢測的盤片放置第一緩沖區(qū)位置等候，將位于第二緩沖區(qū)位置的經(jīng)過分選或者檢測的需要放回至芯片分選料庫的盤片放回至芯片分選料庫中指定位置； 三個推送裝置，分別為晶圓工作臺推送裝置、分選工作臺推送裝置和檢測工作臺推送裝置，其用于將三個工作臺上的盤片推送至運輸傳送系統(tǒng)上或者將運輸傳送系統(tǒng)上的盤片取放至三個工作臺上； 所述芯片分選料庫設置于所述機體平臺的一側(cè)，所述晶圓工作臺、所述分選工作臺、所述檢測工作臺以及所述三個推送裝置組成的分選工作區(qū)設置于所述機體平臺上位于與所述芯片分選料庫相對的另一側(cè)，所述運輸傳送系統(tǒng)橫置于所述芯片分選料庫和所述分選工作區(qū)之間，所述晶圓工作臺和所述分選工作臺分別設置于所述擺臂機構的兩側(cè)，所述檢測工作臺設置于所述晶圓工作臺和所述分選工作臺的另一側(cè)；相對應地，所述晶圓工作臺與所述晶圓工作臺推送裝置配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)的取放；所述分選工作臺與所述分選工作臺推送裝置配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)的取放；所述檢測工作臺與所述檢測工作臺推送裝置配合以實現(xiàn)盤片從所述運輸傳送系統(tǒng)的取放。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于:所述運輸傳送系統(tǒng)包括:X軸導軌、X軸基座， 以及驅(qū)動所述X軸基座沿所述X軸導軌往復運動的X軸驅(qū)動裝置；Y軸導軌、Y軸基座，以及驅(qū)動所述Y軸基座沿所述Y軸導軌往復運動的Y軸驅(qū)動裝置；Z軸導軌、Z軸基座，以及驅(qū)動所述Z軸基座沿所述Z軸導軌往復運動的Z軸驅(qū)動裝置，所述Z軸導軌固定設置于所述X軸基座的豎直板上，所述Y軸導軌固定設置于所述Z軸基座； 用于夾持盤片的夾持機構和控制所述夾持機構上下移動的夾持驅(qū)動裝置，所述夾持機構與所述Y軸基座連接； 所述Z軸基座設置有第一卡槽和第二卡槽。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于:所述夾持驅(qū)動裝置包括第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置和第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置，所述第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置和所述第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置均設置于所述Y軸基座。
4.根據(jù)權利要求2所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于:所述X軸驅(qū)動裝置包括X軸電機、X軸絲桿和X軸螺母，所述X軸螺母設置在所述X軸基座的下方，所述X軸絲桿與所述X軸螺母螺紋連接，所述X軸電機驅(qū)動所述X軸基座沿所述X軸絲桿移動；所述Y軸驅(qū)動裝置包括Y軸電機、齒輪和齒條，所述Y軸電機固定設置于所述Y軸基座，所述齒輪同軸設置于所述Y軸電機的輸出軸，所述齒條設置于所述Y軸基座的內(nèi)側(cè)面，所述齒輪與所述齒條嚙合；所述Z軸驅(qū)動裝置包括Z軸電機、Z軸絲桿和Z軸螺母，所述Z軸基座與所述Z軸絲桿螺紋連接，所述Z軸絲桿與所述Z軸螺母螺紋連接，所述Z軸電機驅(qū)動所述Z軸基座沿所述Z軸絲桿移動。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于:所述推送裝置包括: 固定支架； 移送驅(qū)動裝置，其用于將被移送的盤片由工作臺移送到運輸傳送系統(tǒng)或者由運輸傳送系統(tǒng)返回移送到工作臺，所述移送驅(qū)動裝置包括設置于所述固定支架的安裝座、設置于所述安裝座的移送絲杠、驅(qū)動所述移送絲杠轉(zhuǎn)動的電機以及與所述移送絲杠螺接的滑動座； 夾爪機構，其用于夾緊盤片或松開盤片，所述由平行設置的上夾片和下夾片組成的夾爪機構包括夾片組件和用于驅(qū)動所述夾片組件夾緊或松開的夾緊驅(qū)動裝置； 升降驅(qū)動裝置，其通過連接件固定于所述滑動座，用于使所述夾片組件上升處于避讓位置和使所述夾片組件下降處于張夾位置。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于:所述升降驅(qū)動裝置包括升降氣缸座和升降氣缸，升降氣缸座與所述連接件固定連接，所述升降氣缸座設置有升降導軌槽；所述夾緊驅(qū)動裝置包括夾緊氣缸和夾緊氣缸座，所述夾緊氣缸座設置有升降導軌，所述升降導軌與所述升降導軌槽滑動配合。
7.根據(jù)權利要求6所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于:所述升降氣缸設置有位移傳感器；所述滑動座設置有位移傳感器。
8.根據(jù)權利要求5所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于:所述移送驅(qū)動裝置還包括兩根滑桿，所述兩根滑桿分別設置于所述移送絲杠的兩側(cè)，所述滑桿的一端設置于所述安裝座 ，所述滑桿的另一端與所述滑動座滑動連接。
9.根據(jù)權利要求1所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于:所述芯片分選料庫為一體式固定結(jié)構的芯片分選料庫。
10.根據(jù)權利要求1所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設備，其特征在于: 所述運輸傳送系統(tǒng)設置有一組；或者: 所述運輸傳送系統(tǒng)設置有兩組或者三組，且各個運輸傳送系統(tǒng)同步作業(yè)互不干涉。
專利摘要本申請公開了一種全自動晶粒檢測分選一體設備，本設備由晶圓工作臺、分選工作臺、檢測工作臺、運輸傳送系統(tǒng)、晶圓工作臺推送裝置、分選工作臺推送裝置、檢測工作臺推送裝置、擺臂機構、芯片分選料庫，上述九個主要部分組成。本申請改善了現(xiàn)有技術中的傳統(tǒng)布局與機械結(jié)構，通過運輸傳送系統(tǒng)和推送裝置將盤片在工作臺和芯片分選料庫之間自如進出進行相應盤片的取放，同步實現(xiàn)了晶粒的檢測和分選，同時運輸傳送系統(tǒng)具有兩個緩沖區(qū)位置，能夠減少待分選盤片與分選結(jié)束后的盤片以及待檢測盤片與檢測結(jié)束后的盤片之間的交換時間，進而加快晶粒分選和檢測時間和效率。具有換片高效、整機小巧、結(jié)構緊湊、整機穩(wěn)定性好、芯片分選料庫可擴容性好的特點。
文檔編號B07C5/00GK203124283SQ20132001034
公開日2013年8月14日 申請日期2013年1月9日 優(yōu)先權日2013年1月9日
發(fā)明者李斌, 吳濤, 朱國文, 龔時華, 朱文凱, 賀松平, 吳磊, 宋憲振, 湯瑞, 尹旭生, 庫衛(wèi)東 申請人:廣東志成華科光電設備有限公司