專利名稱：具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)，具體地說，涉及一種具有摩天輪狀樞
轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
替代能源逐漸成為科技研發(fā)的重心，用以將太陽能轉(zhuǎn)換為電能的太陽能晶圓，無 論是在轉(zhuǎn)換效率、市場接受度都不斷提升，而隨著需求的持續(xù)提高，檢驗(yàn)精度與速率要求也 隨之提高，以往流程如圖1所示，通過銀幕62顯示檢測結(jié)果，采用人工方式分類，一方面太 陽能晶圓21厚度極薄，僅十分之幾毫米(mm)，非常容易受損，當(dāng)晶圓被檢測分類人員由機(jī) 臺6取下時(shí)，容易因不慎或作業(yè)繁忙造成輕微撞擊，進(jìn)而產(chǎn)生不易以肉眼察覺、卻大幅影響 產(chǎn)品的電氣性能的微裂(micro-crack);另一方面，有可能因?yàn)榉诸惾藛T一時(shí)的疏失而誤 讀誤取，增加產(chǎn)品良率的誤差率，早已不合需求而被淘汰。 申請人:所擁有的自動(dòng)化檢測機(jī)臺60如圖2所示，可設(shè)置例如兩組檢測器67，并將 檢測完畢的晶圓經(jīng)由一組選取裝置61及三組傳送裝置63加以區(qū)別分類，機(jī)臺60中并設(shè)置 有一臺警示器65以及六個(gè)分別設(shè)置于選取裝置61兩側(cè)而排成兩列、供放置收納晶圓、作為 承載裝置的收集盒41 ;當(dāng)傳送裝置63上的晶圓(圖未示)經(jīng)檢測器67檢測完畢，傳送裝 置63會將晶圓帶離檢測器67，并通過選取裝置61將傳送裝置63上的晶圓依檢測結(jié)果分類 至各個(gè)收集盒41中，當(dāng)某個(gè)收集盒41中的晶圓達(dá)到一個(gè)預(yù)定數(shù)量，警示器65即發(fā)出警訊 且促使檢測機(jī)臺60停止運(yùn)作，通知現(xiàn)場人員立刻更換承載裝置并重新開機(jī)。 上述檢測機(jī)臺60雖已經(jīng)初步具備自動(dòng)化分類系統(tǒng)，從而提升產(chǎn)出、節(jié)約人力成 本、降低人為因素的風(fēng)險(xiǎn)；然而，每當(dāng)一個(gè)收集盒41中的晶圓達(dá)到一個(gè)預(yù)定數(shù)量就會停機(jī) 一次，勢必受限于停機(jī)時(shí)間而無法加速產(chǎn)出效率；且根據(jù)觀察，實(shí)際分類時(shí)，最常被檢選的 類別大致符合80/20法則，亦即，依照電氣性能、色澤等因素，最常被檢選歸類的頭幾類占 據(jù)極大的比例，一旦每種分類達(dá)一定片數(shù)就必須停機(jī)而更換收集盒41，關(guān)機(jī)的時(shí)間將導(dǎo)致 檢測流程中無效時(shí)間增加。如此頻繁的開關(guān)亦迫使輸送過程被迫頻繁停止，降低輸送的穩(wěn) 定性、甚至或?qū)е卤惠斔途A不必要的偏移或破片，降低產(chǎn)品良率，且延宕檢測與分類的速 度。 因此，若能有一種自動(dòng)化分類系統(tǒng)，能在使半導(dǎo)體晶圓于分類過程中維持順暢而 不中斷，則產(chǎn)品的出貨速度、良率、及隨之而來的價(jià)格與競爭力必然大幅提升。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的，在于提供一種毋需頻繁停機(jī)、從而提升產(chǎn)品產(chǎn)出效率的半導(dǎo) 體晶圓分類系統(tǒng)。 本實(shí)用新型的另一目的，在于提供一種更換滿載收集盒時(shí)可一次取出復(fù)數(shù)盒，從 而提升輸送效率的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)。 本實(shí)用新型的再一目的，在于提供一種與現(xiàn)有檢測機(jī)臺兼容性高的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)。 本實(shí)用新型的又一目的，在于提供一種取出常見分類晶圓時(shí)，輸送裝置無須停止， 從而減少晶圓輸送偏移，并減少不必要損傷的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)。 本實(shí)用新型是一種具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)，是將被分 類的半導(dǎo)體晶圓分別置放于復(fù)數(shù)個(gè)承載裝置，包含一個(gè)形成有復(fù)數(shù)個(gè)承載位置以及復(fù)數(shù) 個(gè)移出位置的基座；一組設(shè)置于該基座、供傳送汲取該半導(dǎo)體晶圓的傳送汲取裝置；復(fù)數(shù) 組分別對應(yīng)該承載位置及移出位置的搬移裝置，分別包括一個(gè)樞軸；復(fù)數(shù)個(gè)可相對該樞 軸樞轉(zhuǎn)、分別供置放一組承載裝置的承載端口 ；一組受該樞軸驅(qū)動(dòng)、并分別驅(qū)動(dòng)該承載端口 隨該樞軸沿其旋轉(zhuǎn)方向在該對應(yīng)承載位置及移出位置間轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)件。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果 本實(shí)用新型的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)可直接將現(xiàn)有半導(dǎo)體晶圓檢測系統(tǒng)中的部分 置換，并依據(jù)檢測結(jié)果自動(dòng)分類至正確的承載裝置，且能維持機(jī)臺作業(yè)一貫順暢，在更換承 載裝置時(shí)，機(jī)臺其它部分如輸送裝置等均無須停止，不僅提升檢測分類的效率與流暢，更降 低受檢測晶圓偏移而受損或破片的機(jī)率，從而一舉解決現(xiàn)有技術(shù)的上述問題。

圖1為現(xiàn)有分類系統(tǒng)中，以人工分類太陽能晶圓的俯視示意圖； 圖2為一種自動(dòng)化分類系統(tǒng)的俯視示意圖； 圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的立體側(cè)視示意圖； 圖4為圖3的搬移裝置立體示意圖； 圖5為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中，內(nèi)置有一傾斜底面承載裝置的承載端口剖面示 意圖； 圖6為處理裝置、傳送汲取裝置、以及搬移裝置的關(guān)系圖； 圖7為圖3的傳送汲取裝置立體示意圖； 圖8為圖4的側(cè)視示意圖； 圖9為第二實(shí)施例中，傳送汲取裝置的示意圖； 圖10為第二實(shí)施例的搬移裝置平面透視示意圖； 圖11為第三實(shí)施例的搬移裝置部分對象示意圖； 附圖標(biāo)記1、分類系統(tǒng)；2，2'、半導(dǎo)體晶圓；21、太陽能晶圓；3、基座；31、承載位 置；33、移出位置；4，4'、承載裝置；41、收集盒；5、傳送汲取裝置；51，51'、傳送器；53， 53'、汲取器；6、機(jī)臺；60、自動(dòng)化檢測機(jī)臺；61、選取裝置；62、銀幕；63、傳送裝置；65、警
示器；67、檢測器；7、搬移裝置；71，71' ，71"、樞軸；73，73' ，73〃 、承載端口 ；75、旋轉(zhuǎn)件； 751,751 〃 、旋轉(zhuǎn)臂；759' ，759〃 、轉(zhuǎn)盤；77，77'、輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組；771， 771' ，771〃 、中 心齒輪；773，773' ，773〃 、周邊齒輪；775、中介齒輪；777'、輪轉(zhuǎn)帶；9、處理裝置。
具體實(shí)施方式有關(guān)本實(shí)用新型前述及其它技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效，在以下配合參考圖式的較佳 實(shí)施例的詳細(xì)說明中，將可清楚的呈現(xiàn)。
實(shí)施例1 :[0027] 本例中的具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)1如圖3所示，包含
一個(gè)基座3、一組傳送汲取裝置5、三組搬移裝置7以及一個(gè)處理裝置(圖未示)。 基座3形成例如三個(gè)凹槽，且每個(gè)凹槽中置放有一組樞轉(zhuǎn)搬移裝置7，為說明起
見，在此定義每個(gè)凹槽最接近傳送汲取裝置5、供傳送汲取裝置5將所汲取的半導(dǎo)體晶圓2
釋放的地方為承載位置31，而凹槽最外側(cè)、遠(yuǎn)離傳送汲取裝置5的地方為移出位置33 ;因此
在圖中對應(yīng)每個(gè)凹槽及樞轉(zhuǎn)搬移裝置7處，分別形成有一個(gè)承載位置31以及兩個(gè)移出位置33。 請一并參照圖4所示，每組摩天輪狀的樞轉(zhuǎn)搬移裝置7包含一個(gè)樞軸71、四個(gè)承 載端口 73、一組旋轉(zhuǎn)件75、以及兩組輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組77。本例的承載端口 73位于旋轉(zhuǎn)件 75上、遠(yuǎn)離樞軸71的末端，可分別置放一個(gè)承載裝置。而旋轉(zhuǎn)件75有八支旋轉(zhuǎn)臂751，分 別于樞軸71兩端各固定四支，受樞軸71驅(qū)動(dòng)而順時(shí)針旋轉(zhuǎn)；每支旋轉(zhuǎn)臂751中分別形成有 復(fù)數(shù)孔洞，可供分別用以限位承載輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組77以及承載端口 73、并帶動(dòng)承載端口 73 隨樞軸71以圖示的順時(shí)針方向在承載位置31與移出位置33之間轉(zhuǎn)動(dòng)。 為避免放置在承載端口 73內(nèi)的承載裝置隨樞轉(zhuǎn)方向位移時(shí)產(chǎn)生搖晃，致使置放 于承載裝置內(nèi)的晶圓因碰撞而受損，本例中更揭露有一組輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組77，其具有一個(gè) 以固定件固定在基座、不與樞軸71同步轉(zhuǎn)動(dòng)的中心齒輪771，四個(gè)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)臂751遠(yuǎn)離樞 軸71的一端、并分別對應(yīng)承載端口 73的周邊齒輪773，以及四個(gè)位于中心齒輪771與周邊 齒輪773之間的中介齒輪775，在本例中，周邊齒輪773與中心齒輪771的齒數(shù)必須一致。 當(dāng)樞軸71順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，中介齒輪775即繞著固定住的中心齒輪771位移，同時(shí) 亦以自己的齒輪中心為軸心順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，為說明起見，在此稱以樞軸71旋轉(zhuǎn)方向?yàn)槲灰频?轉(zhuǎn)動(dòng)為公轉(zhuǎn)，后者則稱為自轉(zhuǎn)；而中介齒輪775在進(jìn)行上述公轉(zhuǎn)時(shí)，亦帶動(dòng)公轉(zhuǎn)中的周邊齒 輪773以逆時(shí)針方向自轉(zhuǎn)，以確保相對應(yīng)的承載端口 73底部在樞轉(zhuǎn)過程中保持與該基座3 夾一個(gè)固定角度，如本例的承載端口 73底部始終保持與基座3平行，由此保持穩(wěn)定狀態(tài)而 不致傾覆承載端口 73內(nèi)的承載裝置及晶圓。 另一方面，當(dāng)晶圓被傳送汲取裝置吸取后釋放時(shí)，因受空氣阻力的干擾，被置放到 承載裝置時(shí)，前后數(shù)片晶圓不易整齊堆棧，故本例中如圖5所示，承載端口 73可搭配一種相 對水平面夾一角度的承載裝置4，使得被釋放的晶圓自動(dòng)對齊排列于圖式左側(cè)壁處，讓后續(xù) 的處理更為便利。 如圖6所示，本實(shí)用新型分類系統(tǒng)的傳送汲取裝置5及搬移裝置7受處理裝置9的 指令相互配合運(yùn)作，請一并參照圖7、圖8，當(dāng)半導(dǎo)體晶圓2由檢測系統(tǒng)到達(dá)分類系統(tǒng)時(shí)，以 傳送汲取裝置5中，在此例釋為例如輸送帶的傳送器51，沿流向L將所承載的半導(dǎo)體晶圓2 由圖式左下方向右上方傳輸，而傳送汲取裝置5沿著上述流向L，在傳送器51上方依序設(shè)置 有三組汲取器53，并且在對應(yīng)每一組汲取器53處分別設(shè)置有一組樞轉(zhuǎn)搬移裝置7，各組汲 取器53分別從輸送帶上擷取符合該分類種類的半導(dǎo)體晶圓2，而與該流向L夾例如九十度 的方向移動(dòng)至承載位置31處，將半導(dǎo)體晶圓2置釋放至位于承載位置31的承載裝置4內(nèi)。 當(dāng)承載裝置4內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓2達(dá)到預(yù)定數(shù)量后，即被定義為滿載，而由處理裝置 9指令該搬移裝置7轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)預(yù)設(shè)角度(例如90度)，使該承載裝置4由本例中的承載位 置31位轉(zhuǎn)至移出位置33，而空缺的承載位置31則由原先位于承載位置31下方、未填裝有 任何晶圓的承載裝置4替補(bǔ)；在本例中，一旦有兩組相同分類的承載裝置4滿載，即由警示裝置發(fā)出警訊，通知操作人員取出，并再回補(bǔ)兩個(gè)空的承載裝置4。
實(shí)施例2 : 當(dāng)然，具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體分類系統(tǒng)的傳送汲取裝置亦可如圖9 所示，僅在傳送器51'上方架設(shè)一組汲取器53'，并由處理裝置指令其以水平的兩維方向 移動(dòng)，并升降取放傳送器51'上的半導(dǎo)體晶圓2'至有傾斜承載面的承載裝置4'。且本例 中的搬移裝置如圖10所示，包含一個(gè)實(shí)面轉(zhuǎn)盤759'、一個(gè)樞軸71'、六個(gè)承載端口73'、 一組輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組77'。各承載端口73'底部則與水平面夾一個(gè)角度，使得置放其上的 各承載裝置(圖未示)底部略呈傾斜，而讓被釋放的晶圓可如前一實(shí)施例般被排列整齊。 本例中是以片狀的轉(zhuǎn)盤759'取代第一實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)臂，并將樞軸71'固定在其 圓心處，可使轉(zhuǎn)盤759'隨著樞軸71'同轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。而輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組77'具有一個(gè)與轉(zhuǎn) 盤759'及樞軸71'同圓心的中心齒輪771'、六個(gè)固定承載端口73'且齒數(shù)與中心齒輪 771'相同的周邊齒輪773'、六條連動(dòng)中心齒輪771'與周邊齒輪773'的輪轉(zhuǎn)帶777'、 以及一組驅(qū)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)器(圖未示)。其中，該輪轉(zhuǎn)帶777'可為皮革或耐熱橡膠制成單面 鋸齒狀線圈，或者由銅鋁等金屬或金屬合金所制成的鏈軌。 而該驅(qū)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)中心齒輪771'以同旋轉(zhuǎn)速率反公轉(zhuǎn)方向自轉(zhuǎn)，并通過 輪轉(zhuǎn)帶777'連動(dòng)周邊齒輪773'，使周邊齒輪773'雖然緊附著轉(zhuǎn)盤759'以保持彼此間 的相對位置、并隨著樞軸71'旋轉(zhuǎn)方向公轉(zhuǎn)，卻仍可讓固接于周邊齒輪773'另一側(cè)邊的 承載端口73'，保持其底部與基座水平面夾一固定角度。 實(shí)施例3 : 此外，搬移裝置亦可如圖11所示，包含一個(gè)樞軸71〃 、一組旋轉(zhuǎn)件、一組只有中心 齒輪771"與周邊齒輪773"的輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組、以其復(fù)數(shù)個(gè)承載端口 73〃 ，為使圖面簡 潔，故皆僅繪示一個(gè)作為代表。其旋轉(zhuǎn)件有一個(gè)中空轉(zhuǎn)盤759"以及一支固接樞軸71"與 轉(zhuǎn)盤759"、并連動(dòng)轉(zhuǎn)盤759"隨樞軸71"公轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臂751"。 而搬移裝置的中心齒輪771"雖然與樞軸71"同圓心，卻不隨著樞軸71"轉(zhuǎn)動(dòng)， 可供因設(shè)置在轉(zhuǎn)盤759"周邊、隨著樞軸71"公轉(zhuǎn)的周邊齒輪773"齒合而反公轉(zhuǎn)的方向 自轉(zhuǎn)。例如本實(shí)施例中，兩齒輪的齒數(shù)相同，在樞軸71"以轉(zhuǎn)速co作順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)的情 況下，中心齒輪771"以2"的轉(zhuǎn)速自轉(zhuǎn)，并齒動(dòng)公轉(zhuǎn)中的周邊齒輪773"同時(shí)以轉(zhuǎn)速-" 自轉(zhuǎn)，由此讓固接于另一側(cè)的承載端口 73〃始終與水平面維持同一角度；又例如，中心齒 輪771"的齒數(shù)為周邊齒輪773"的兩倍，則當(dāng)中心齒輪771"以同公轉(zhuǎn)速度"獨(dú)立于在轉(zhuǎn) 盤759"自轉(zhuǎn)時(shí)，亦可齒動(dòng)公轉(zhuǎn)中的周邊齒輪773"同時(shí)以轉(zhuǎn)速-"自轉(zhuǎn)。 由此，本實(shí)用新型揭露的分類系統(tǒng)，不僅可依需求自動(dòng)旋轉(zhuǎn)以供置換承載裝置，從 而毋需頻繁停機(jī)，不但與現(xiàn)有檢測機(jī)臺兼容性高、更可節(jié)約空間以及人力資源、提高產(chǎn)能， 且能使晶圓在分類及釋放過程中不致因輸送帶走走停停，導(dǎo)致無謂損壞及破片的機(jī)率，實(shí) 為品管分類的最佳利器！ 以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，不能以此限定本實(shí)用新型實(shí)施的范 圍，即凡依本實(shí)用新型所作簡單的等效變化與修飾，仍屬本實(shí)用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)，是將被分類的半導(dǎo)體晶圓分別置放于復(fù)數(shù)個(gè)承載裝置，其特征在于包含一個(gè)形成有復(fù)數(shù)個(gè)承載位置以及復(fù)數(shù)個(gè)移出位置的基座；一組設(shè)置于該基座、供傳送汲取該半導(dǎo)體晶圓的傳送汲取裝置；復(fù)數(shù)組分別對應(yīng)該承載位置及移出位置的搬移裝置；所述搬移裝置分別包括一個(gè)樞軸；復(fù)數(shù)個(gè)可相對該樞軸樞轉(zhuǎn)、分別供置放一組承載裝置的承載端口；一組受該樞軸驅(qū)動(dòng)、并分別驅(qū)動(dòng)該承載端口隨該樞軸沿其旋轉(zhuǎn)方向在該對應(yīng)承載位置及移出位置間轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)件。
2. 如權(quán)利要求1所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述搬移裝置還包括至少一組輔助驅(qū) 動(dòng)齒輪組，該輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組分別具有一個(gè)中心齒輪；復(fù)數(shù)個(gè)分別對應(yīng)該承載端口的周邊齒輪。
3. 如權(quán)利要求2所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組還包括復(fù)數(shù)個(gè)分 別介于該周邊齒輪與該中心齒輪間的中介齒輪；由此，當(dāng)該樞軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，該周邊齒輪分別將 各對應(yīng)承載端口保持與該基座夾一固定角度。
4. 如權(quán)利要求2所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述輔助驅(qū)動(dòng)齒輪組還包括一個(gè)使周 邊齒輪的轉(zhuǎn)向與樞軸旋轉(zhuǎn)方向相反的輪轉(zhuǎn)帶；由此，當(dāng)該樞軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，該周邊齒輪分別將各 對應(yīng)承載端口保持與該基座夾一固定角度。
5. 如權(quán)利要求1所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述分類系統(tǒng)還包含復(fù)數(shù)個(gè)分別置放 于該承載端口、并具有相對水平面呈夾角的傾斜底面的承載裝置。
6. 如權(quán)利要求5所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述承載端口分別具有一個(gè)呈水平狀 設(shè)置的承載面，且該對應(yīng)承載裝置的底面是相對于該承載面傾斜配置。
7. 如權(quán)利要求5所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述承載端口分別具有一個(gè)與水平面 夾一傾斜角度設(shè)置的承載面。
8. 如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述傳送汲取裝置包括 一個(gè)沿一個(gè)流向傳送該半導(dǎo)體晶圓的傳送器；及 一組供該傳送器汲取半導(dǎo)體晶圓的汲取器。
9. 如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述搬移裝置是被區(qū)分為復(fù) 數(shù)組，且該組傳送汲取裝置包括一個(gè)沿一個(gè)流向傳送該半導(dǎo)體晶圓的傳送器；及復(fù)數(shù)組數(shù)目對應(yīng)于該搬移裝置分組數(shù)目、與該傳送器流向呈夾角設(shè)置、供該傳送器汲 取該半導(dǎo)體晶圓的汲取器。
10. 如權(quán)利要求l-7任一項(xiàng)所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)件包括復(fù)數(shù)個(gè)旋轉(zhuǎn)臂。
11. 如權(quán)利要求l-7任一項(xiàng)所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)件分別包括至少一 片連結(jié)至該樞軸的旋轉(zhuǎn)臂及一個(gè)分別連接該承載端口及至少一根旋轉(zhuǎn)臂的轉(zhuǎn)盤。
12. 如權(quán)利要求l-7任一項(xiàng)所述的分類系統(tǒng)，其特征在于所述分類系統(tǒng)還包含一組驅(qū)動(dòng)該傳送汲取裝置、及該搬移裝置的處理裝置。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)，包含基座、傳送汲取裝置、搬移裝置；該基座依分類種類劃分?jǐn)?shù)組相對應(yīng)的承載位置與移出位置，并在每組承載位置與移出位置間，設(shè)置可安置數(shù)個(gè)承載裝置的搬移裝置。將晶圓依檢測結(jié)果分類至不同搬移裝置上的承載裝置內(nèi)，當(dāng)承載裝置的晶圓達(dá)預(yù)定數(shù)量，該搬移裝置即轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度，使?jié)M載的承載裝置遠(yuǎn)離承載位置而由另一個(gè)空承載裝置取代。由此，由移出位置移除滿載的承載裝置不需停機(jī)，且每次可移出多個(gè)滿載承載裝置，節(jié)約操作時(shí)間，有效提升產(chǎn)出效率。
文檔編號B07C5/00GK201446091SQ20092005930
公開日2010年5月5日 申請日期2009年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者林漢聲 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司