方式形成共聚焦，既不會(huì)因?yàn)閲婌F角α過(guò)小而導(dǎo)致霧滴向下反沖，又不會(huì)因?yàn)閲婌F角α過(guò)大霧導(dǎo)致霧滴無(wú)法附著在樣品載臺(tái)上，從而非常利于薄膜的沉積和形成，提高成膜效率。
[0024]2、本實(shí)用新型通過(guò)抽尾氣罩罩住樣品載臺(tái)附近的高溫反應(yīng)尾氣，防止高溫反應(yīng)尾氣充滿反應(yīng)室的內(nèi)腔，又由于高溫反應(yīng)尾氣的密度比較小，這樣就能自動(dòng)通過(guò)尾氣抽氣管排到反應(yīng)室外，從而避免在樣品載臺(tái)附近形成高溫反應(yīng)尾氣層，這樣不僅可以霧滴入射樣品基體表面時(shí)的動(dòng)量，并能很好地防止霧滴向下反沖，從而利于薄膜的沉積和形成，而且能夠有效防止高溫反應(yīng)尾氣污染霧滴，保證得到所需成分的薄膜。
[0025]3、本實(shí)用新型能通過(guò)熱反射罩實(shí)現(xiàn)熱反射，并通過(guò)水冷熱屏蔽板進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)冷卻，防止熱量傳導(dǎo)地反應(yīng)室頂部，進(jìn)而節(jié)能；同時(shí)，熱反射罩和水冷熱屏蔽板的外邊緣緊靠反應(yīng)室的內(nèi)壁，這樣又能避免誤會(huì)后的霧滴大量轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室內(nèi)壁的非反應(yīng)區(qū)域，從而防止腐蝕非反應(yīng)區(qū)域的部件。
【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖2為圖1中Α部分的局部放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0029]如圖1、2所示，一種獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，主要由反應(yīng)室
1、霧化源2、噴霧管3、樣品載臺(tái)4、轉(zhuǎn)動(dòng)桿5、電機(jī)6、電機(jī)支架7、上蓋8、加熱體外殼9、加熱體10、驅(qū)動(dòng)組件、抽尾氣罩14、尾氣抽氣管15、安裝支架16、固定架17、熱反射罩18、下固定柱19、水冷熱屏蔽板20、上固定柱21、進(jìn)水管22和出水管23構(gòu)成。其中，反應(yīng)室1下方設(shè)有一組霧化源2，該霧化源2的數(shù)目至少為兩個(gè)，這些霧化源2之間相互獨(dú)立，并沿反應(yīng)室1的周向布置。在本案中，霧化源2可以采用現(xiàn)有技術(shù)，也可以采用其他新型霧化源。在本案中，霧化源2的數(shù)目為3-6個(gè)，這些霧化源2沿反應(yīng)室1的周向均布。每個(gè)霧化源2上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管3，所有噴霧管3的上部均朝向反應(yīng)室1的軸心線，并與該反應(yīng)室1的軸心線形成一個(gè)數(shù)值相同的噴霧角α，且15° < α <45°，并可進(jìn)一步優(yōu)選為20°、25°、30°、35°或40°。所有噴霧管3的軸心線相交于一點(diǎn)，該交點(diǎn)是樣品基體軸心線與其下表面的相交點(diǎn)。所有噴霧管3上端的噴口處分別設(shè)有一塊擋板11，該擋板11與對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)組件相連，并在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下有選擇地遮擋或敞開(kāi)噴霧管3上端的噴霧口。當(dāng)開(kāi)噴霧管3上端的噴霧口敞開(kāi)時(shí)，霧化后的霧滴自下而上射出，并射向樣品載臺(tái)4。
[0030]驅(qū)動(dòng)組件由驅(qū)動(dòng)桿12和驅(qū)動(dòng)電機(jī)13構(gòu)成，其中驅(qū)動(dòng)桿12上端與擋板11下板面垂直固定，且驅(qū)動(dòng)桿12下端穿過(guò)所述反應(yīng)室1上的過(guò)孔后，與驅(qū)動(dòng)電機(jī)13的輸出軸上端同軸固定，該驅(qū)動(dòng)電機(jī)13安裝在反應(yīng)室1的外壁上。
[0031]如圖1、2所示，所述樣品載臺(tái)4設(shè)在反應(yīng)室1內(nèi)，樣品載臺(tái)4的結(jié)構(gòu)采用現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，使用時(shí)在樣品載臺(tái)4的下表面同軸固定樣品基體(圖中未標(biāo)出)，且樣品基體的固定方式為現(xiàn)有技術(shù)。同時(shí)，水平設(shè)在噴霧管3上方，并靠近噴霧管3。樣品載臺(tái)4通過(guò)一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿5與電機(jī)6的輸出軸下端同軸連接，該電機(jī)6通過(guò)電機(jī)支架7支撐在上蓋8的上表面，而上蓋與反應(yīng)室1上端面之間設(shè)有0型密封圈，且上蓋8在需要時(shí)可以打開(kāi)。樣品載臺(tái)4上方設(shè)有一個(gè)加熱體外殼9，在加熱體外殼9內(nèi)設(shè)有加熱體10，通過(guò)該加熱體10在樣品載臺(tái)4附近形成高溫?zé)岱纸夥磻?yīng)區(qū)域。在本案中，加熱體10選用碘鎢燈。
[0032]樣品載臺(tái)4外面罩有一個(gè)抽尾氣罩14，該抽尾氣罩14上部豎直連接有一根尾氣抽氣管15，樣品載臺(tái)4處的高溫尾氣及時(shí)通過(guò)該尾氣抽氣管排到反應(yīng)室1外，從而避免在樣品載臺(tái)4處形成高溫反應(yīng)尾氣層。在本案中，抽尾氣罩14包括內(nèi)罩體14a和環(huán)形連接板14c，其中內(nèi)罩體14a外同軸設(shè)有一個(gè)外罩體14b，這兩個(gè)罩體的上端通過(guò)環(huán)形連接板14c連接，并將兩個(gè)這兩個(gè)罩體上端的敞口封閉，并在環(huán)形連接板14c上設(shè)有一根尾氣抽氣管15，且環(huán)形連接板通過(guò)螺栓與一個(gè)安裝支架16與所述熱反射罩18底面固定連接。內(nèi)罩體14a和外罩體14b的下端均通過(guò)向內(nèi)傾斜形成一個(gè)圓錐面，這兩個(gè)罩體下端的圓錐面之間形成一個(gè)環(huán)形區(qū)域，并通過(guò)該環(huán)形區(qū)域罩住高溫反應(yīng)尾氣。
[0033]如圖1、2所不，抽尾氣罩14同時(shí)罩在加熱體外殼9外面，該抽尾氣罩14頂部通過(guò)一個(gè)固定架17固定在圓環(huán)形的熱反射罩18底面上。熱反射罩19的外邊緣緊靠所述反應(yīng)室1的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3_，并可優(yōu)選為0.2_。熱反射罩18頂面通過(guò)一組下固定柱19吊裝在一塊水冷熱屏蔽板20底面上，該水冷熱屏蔽板20為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，其外邊緣緊靠反應(yīng)室1的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3_，并可進(jìn)一步優(yōu)選為0.2_。
[0034]水冷熱屏蔽板20頂面通過(guò)一組上固定柱21吊裝在上蓋8下表面上，該上固定柱21的數(shù)目為3-8根。水冷熱屏蔽板20上開(kāi)有冷卻水道，并在水冷熱屏蔽板頂面豎直設(shè)有一根進(jìn)水管22和一根出水管23，這兩根水管的下端均與水冷熱屏蔽板20上的冷卻水道連通，且這兩根水管的上端均從所述上蓋8處伸到反應(yīng)室1外面。
[0035]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不以本實(shí)用新型為限制，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，包括反應(yīng)室(1)和樣品載臺(tái)(4)，其中反應(yīng)室(1)下方設(shè)有霧化源(2)，該霧化源通過(guò)噴霧管(3)自下而上射出霧滴；所述樣品載臺(tái)(4)用于同軸固定樣品基體，并設(shè)在反應(yīng)室(1)內(nèi)，且水平設(shè)在噴霧管(3)上方；所述樣品載臺(tái)⑷通過(guò)一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)與電機(jī)(6)的輸出軸下端同軸連接，該電機(jī)通過(guò)電機(jī)支架(7)支撐在上蓋(8)的上表面，而上蓋與所述反應(yīng)室(1)上端面之間設(shè)有0型密封圈，且上蓋(8)在需要時(shí)可以打開(kāi)；所述樣品載臺(tái)(4)上方設(shè)有一個(gè)加熱體外殼(9)，在加熱體外殼內(nèi)設(shè)有加熱體(10)，通過(guò)該加熱體在樣品載臺(tái)(4)附近形成高溫?zé)岱纸夥磻?yīng)區(qū)域；其特征在于:所述霧化源(2)的數(shù)目至少為兩個(gè)，這些霧化源之間相互獨(dú)立，并沿所述反應(yīng)室(1)的周向布置，且每個(gè)霧化源(2)上部的噴霧口分別連接有一根所述噴霧管(3);所有所述噴霧管(3)的上部均朝向反應(yīng)室(1)的軸心線，并與該反應(yīng)室的軸心線形成一個(gè)數(shù)值相同的噴霧角α，15° < α <45°，且所有噴霧管(3)的軸心線相交于一點(diǎn)，該交點(diǎn)是所述樣品基體軸心線與其下表面的相交點(diǎn)；所有所述噴霧管(3)上端的噴口處分別設(shè)有一塊擋板(11)，該擋板與對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)組件相連，并在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下有選擇地遮擋或敞開(kāi)所述噴霧管(3)上端的噴霧口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)組件由驅(qū)動(dòng)桿(12)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(13)構(gòu)成，其中驅(qū)動(dòng)桿(12)上端與所述擋板(11)下板面垂直固定，且驅(qū)動(dòng)桿(12)下端穿過(guò)所述反應(yīng)室(1)上的過(guò)孔后，與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(13)的輸出軸上端同軸固定，該驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在反應(yīng)室(1)的外壁上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，其特征在于:所述樣品載臺(tái)(4)外面罩有一個(gè)抽尾氣罩(14)，該抽尾氣罩上部豎直連接有一根尾氣抽氣管(15)，所述樣品載臺(tái)(4)處的高溫尾氣及時(shí)通過(guò)該尾氣抽氣管排到反應(yīng)室(1)外，從而避免在樣品載臺(tái)(4)處形成高溫反應(yīng)尾氣層。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，其特征在于:所述抽尾氣罩(14)包括內(nèi)罩體(14a)和環(huán)形連接板(14c)，其中內(nèi)罩體(14a)外同軸設(shè)有一個(gè)外罩體(14b)，這兩個(gè)罩體的上端通過(guò)所述環(huán)形連接板(14c)連接，并將兩個(gè)這兩個(gè)罩體上端的敞口封閉，并在環(huán)形連接板(14c)上設(shè)有一根所述尾氣抽氣管(15)，且環(huán)形連接板通過(guò)螺栓與一個(gè)安裝支架(16)與圓環(huán)形的熱反射罩(18)底面固定連接； 所述內(nèi)罩體(14a)和外罩體(14b)的下端均通過(guò)向內(nèi)傾斜形成一個(gè)圓錐面，這兩個(gè)罩體下端的圓錐面之間形成一個(gè)環(huán)形區(qū)域，并通過(guò)該環(huán)形區(qū)域罩住高溫反應(yīng)尾氣。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，其特征在于:所述抽尾氣罩(14)同時(shí)罩在加熱體外殼(9)外面，該抽尾氣罩頂部通過(guò)一個(gè)固定架(17)固定在所述熱反射罩(18)底面上，這個(gè)熱反射罩的外邊緣緊靠所述反應(yīng)室(1)的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3mm;所述熱反射罩(18)頂面通過(guò)一組下固定柱(19)吊裝在一塊水冷熱屏蔽板(20)底面上，該水冷熱屏蔽板為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，其外邊緣緊靠反應(yīng)室(1)的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3mm，且水冷熱屏蔽板(20)頂面通過(guò)一組上固定柱(21)吊裝在所述上蓋(8)下表面上；所述水冷熱屏蔽板(20)上開(kāi)有冷卻水道，并在水冷熱屏蔽板頂面豎直設(shè)有一根進(jìn)水管(22)和一根出水管(23)，這兩根水管的下端均與水冷熱屏蔽板(20)上的冷卻水道連通，且這兩根水管的上端均從所述上蓋(8)處伸到反應(yīng)室(1)外面。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，其特征在于:所述霧化源(2)的數(shù)目為3-6個(gè)，這些霧化源沿所述反應(yīng)室(1)的周向均布，且所述噴霧角α的數(shù)值為30°。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，其特征在于:所述熱反射罩(18)和水冷熱屏蔽板(20)均為鍋蓋狀結(jié)構(gòu)，其外邊緣與所述反應(yīng)室(1)內(nèi)壁之間的間隙量均為0.2_。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室，樣品載臺(tái)設(shè)在反應(yīng)室內(nèi)；樣品載臺(tái)上方設(shè)有一個(gè)加熱體外殼，在加熱體外殼內(nèi)設(shè)有加熱體，霧化源的數(shù)目至少為兩個(gè)，這些霧化源之間相互獨(dú)立，并沿反應(yīng)室的周向布置，每個(gè)霧化源上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管；所有噴霧管的上部均朝向反應(yīng)室的軸心線，并與反應(yīng)室的軸心線形成噴霧角α；所有噴霧管上端的噴口處分別設(shè)有一塊擋板，擋板可遮擋或敞開(kāi)噴霧管上端的噴霧口。本實(shí)用新型可得到所需成分的薄膜，從而克服了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)導(dǎo)致交叉污染的缺陷；本實(shí)用新型通過(guò)抽尾氣罩罩住樣品載臺(tái)附近的高溫反應(yīng)尾氣，本實(shí)用新型能通過(guò)熱反射罩實(shí)現(xiàn)熱反射，并通過(guò)水冷熱屏蔽板進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)冷卻。
【IPC分類】B05B15/00, B05B13/02, B05B12/14, B05B15/12, B05B17/06, B05B15/04
【公開(kāi)號(hào)】CN205008161
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520614306
【發(fā)明人】劉星, 龔恒翔, 廖杰
【申請(qǐng)人】重慶理工大學(xué)
【公開(kāi)日】2016年2月3日
【申請(qǐng)日】2015年8月14日