一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及密閉反應(yīng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]由于碳化硅特殊的化學(xué)和物理性質(zhì)，其外延工藝要求反應(yīng)室必須處在一種密閉、無氧、無氮的特殊環(huán)境中，在碳化硅外延生長過程中，會(huì)不斷產(chǎn)生出現(xiàn)細(xì)小的顆粒，這些細(xì)小顆粒沉積在反應(yīng)室腔體底部，如果這些細(xì)小的顆粒的不能及時(shí)有效的清除掉，就會(huì)在密閉的腔體內(nèi)不斷積聚，細(xì)小顆粒的大量極具將影響下一周期的碳化硅晶片外延生長，導(dǎo)致碳化硅晶片缺陷的增加。
[0003]雖然目前的碳化硅外延生長反應(yīng)室具有有一定的自凈化能力，但是而且其凈化所花費(fèi)的時(shí)間過于漫長，對(duì)細(xì)小顆粒的清理效率低，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足碳化硅外延工藝的需求，直接影響到了生產(chǎn)效率。
[0004]因此本實(shí)用新型人特別研制出一種能夠速有效地清理密閉反應(yīng)室內(nèi)細(xì)小顆粒的自凈化系統(tǒng)，本案由此產(chǎn)生。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，其應(yīng)用于碳化硅外延生長的密閉反應(yīng)室，能夠快速有效的清理反應(yīng)室腔體內(nèi)的細(xì)小顆粒，提高生產(chǎn)效率。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，密閉反應(yīng)室包括一個(gè)主箱體，主箱體內(nèi)開設(shè)上腔體和下腔體，上腔體與下腔體通過一隔板隔開，隔板上開設(shè)一通風(fēng)孔；主箱體外側(cè)開設(shè)送風(fēng)口和抽風(fēng)口 ；自凈化系統(tǒng)包括控制箱、過濾箱、風(fēng)機(jī)、送風(fēng)法蘭、抽風(fēng)法蘭和電控風(fēng)閥；風(fēng)機(jī)安裝在隔板下沿并與通風(fēng)孔對(duì)接，主箱體的上腔體頂部與下腔體底部均安裝過濾箱；送風(fēng)法蘭安裝在主箱體的送風(fēng)口，抽風(fēng)法蘭內(nèi)置一電控風(fēng)閥，抽風(fēng)法蘭安裝在主箱體的抽風(fēng)口，送風(fēng)法蘭與上腔體頂部的過濾箱對(duì)應(yīng)，抽風(fēng)法蘭與下腔體底部的過濾箱對(duì)應(yīng)，抽風(fēng)法蘭與送風(fēng)法蘭通過一管道連接；控制箱內(nèi)置一變頻控制器，控制箱外部設(shè)有與變頻控制器的電連接的電源指示燈、風(fēng)機(jī)工作指示燈和閥門工作指示燈，控制箱安裝在主箱體外部；風(fēng)機(jī)和電控風(fēng)閥均與變頻控制器電連接。
[0008]所述控制箱外部還設(shè)有與控制器電連接檔位工作開關(guān)。
[0009]所述上腔體頂部安裝高效過濾箱，下腔體底部安裝中效過濾箱。
[0010]所述主箱體一側(cè)還開設(shè)上檢修門和下檢修門，上檢修門與上腔體對(duì)應(yīng)，下檢修門與下腔體對(duì)應(yīng)。
[0011]采用上述方案后，本實(shí)用新型通過在密閉反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置風(fēng)機(jī)、在上腔體外部設(shè)置送風(fēng)口及在下腔體外部設(shè)置抽風(fēng)口，啟動(dòng)風(fēng)機(jī)打開電控風(fēng)閥后，密閉反應(yīng)室內(nèi)的氣體由上腔體流動(dòng)到下腔體，再由下腔體進(jìn)入底部的過濾箱，同時(shí)腔內(nèi)氣體流動(dòng)帶動(dòng)積聚在上腔體底部和下腔體底部的細(xì)小顆粒進(jìn)入過濾箱，過濾后的氣體在從送風(fēng)法蘭進(jìn)入反應(yīng)室，進(jìn)入上腔體的氣體將經(jīng)過頂部過濾箱，從而進(jìn)一步過濾掉細(xì)小顆粒，實(shí)現(xiàn)密閉反應(yīng)室的清理，上述過程風(fēng)機(jī)和電控風(fēng)閥開/關(guān)均通過控制箱進(jìn)行自動(dòng)化控制；本實(shí)用新型的自凈化系統(tǒng)可對(duì)密閉反應(yīng)室內(nèi)的細(xì)小顆粒進(jìn)行快速有效清理，操作簡單，清理程序高效，成本低廉。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是本實(shí)用新型正視圖；
[0015]圖3是本實(shí)用新型側(cè)視圖；
[0016]圖4是本實(shí)用新型側(cè)視圖。
[0017]標(biāo)號(hào)說明
[0018]主箱體1，上腔體11，下腔體12，隔板13，送風(fēng)口 14，抽風(fēng)口 15，控制箱2，電源指示燈21，風(fēng)機(jī)工作指示燈22，閥門工作指示燈23，檔位工作開關(guān)24，送風(fēng)法蘭3，抽風(fēng)法蘭4，電控風(fēng)閥5，上檢修門61，下檢修門62，高效過濾箱71，中效過濾箱72，風(fēng)機(jī)8。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0020]如圖1至圖4所示，本實(shí)用新型揭示的一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，密閉反應(yīng)室包括一個(gè)主箱體1，主箱體I內(nèi)開設(shè)上腔體11和下腔體12，上腔體11與下腔體12通過一隔板13隔開，隔板13上開設(shè)一通風(fēng)孔；主箱體外側(cè)開設(shè)送風(fēng)口 13和抽風(fēng)口 14;自凈化系統(tǒng)包括控制箱2、過濾箱、風(fēng)機(jī)8、送風(fēng)法蘭3、抽風(fēng)法蘭4和電控風(fēng)閥5 ;風(fēng)機(jī)8安裝在隔板13下沿并與通風(fēng)孔對(duì)接，主箱體I的上腔體11頂部與下腔體12底部均安裝過濾箱，其中上腔體11的過濾箱為高效過濾箱71，下腔體12的過濾箱為中效過濾箱72 ;送風(fēng)法蘭3安裝在主箱體I的送風(fēng)口，抽風(fēng)法蘭4內(nèi)置一電控風(fēng)閥5，抽風(fēng)法蘭4安裝在主箱體I的抽風(fēng)口，送風(fēng)法蘭3與上腔體11頂部的過濾箱對(duì)應(yīng)，抽風(fēng)法蘭4與下腔體12底部的過濾箱對(duì)應(yīng)，抽風(fēng)法蘭4與送風(fēng)法蘭3通過一管道(圖中未給出)連接；控制箱2內(nèi)置一變頻控制器(圖中未給出)，控制箱2外部設(shè)有與變頻控制器的電連接的電源指示燈21、風(fēng)機(jī)工作指示燈22和閥門工作指示燈23，控制箱2安裝在主箱體I外部；風(fēng)機(jī)8和電控風(fēng)閥5均與變頻控制器電連接。
[0021]控制箱2外部還設(shè)有與控制器電連接檔位工作開關(guān)，依托此開關(guān)，本實(shí)用新型可根據(jù)需要切換不同的檔位。
[0022]主箱體I 一側(cè)還開設(shè)上檢修門61和下檢修門62，上檢修門61與上腔體對(duì)應(yīng)11，下檢修門62與下腔體12對(duì)應(yīng)，開設(shè)檢修門便于查看腔體內(nèi)細(xì)小顆粒的積聚量和清理狀況，根據(jù)獲取的腔體內(nèi)的情況，對(duì)自清理系統(tǒng)實(shí)施相應(yīng)的指令。
[0023]本實(shí)用新型在工作時(shí):
[0024]開啟控制箱2的檔位工作開關(guān)24后，當(dāng)檔位為高速檔位時(shí)，風(fēng)機(jī)8開始工作并告訴運(yùn)轉(zhuǎn)，電控風(fēng)閥5打開，電源指示燈21、風(fēng)機(jī)工作指示燈22及閥門工作指示燈24均亮起，上腔體11的氣體帶動(dòng)上腔體11底部的細(xì)小顆粒進(jìn)入下腔體12，然后連同下腔體12的氣體及其頂部的細(xì)小顆粒經(jīng)過中效過濾箱72后由抽風(fēng)法蘭4出來，第一遍過濾后的其他通過管道再經(jīng)送風(fēng)法蘭3進(jìn)入上腔體11，在進(jìn)入上腔體11的過程中氣體經(jīng)過高效過濾箱71的過濾，此檔為風(fēng)速最快，過濾時(shí)間最短；當(dāng)檔位調(diào)至低速檔位時(shí)，風(fēng)機(jī)低速運(yùn)轉(zhuǎn)，氣體循環(huán)過濾過程同上述高速檔位，但速度較慢。
[0025]高速檔位在密閉反應(yīng)室內(nèi)積聚大量細(xì)小顆粒時(shí)使用，實(shí)現(xiàn)快速凈化，低速檔位則可在反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)時(shí)使用，不會(huì)影響反應(yīng)室內(nèi)的物理化學(xué)反應(yīng)(例如碳化硅的外延生長反應(yīng))。
[0026]本實(shí)用新型用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高效智能的清理密閉反應(yīng)室中的雜質(zhì)，滿足反應(yīng)室各自工況條件，應(yīng)用于碳化硅外延生長的密閉反應(yīng)室時(shí)，能夠及時(shí)有效的清理掉密閉腔體內(nèi)的外延工藝生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細(xì)小顆粒，避免對(duì)后續(xù)進(jìn)行的碳化硅外延生長晶片品質(zhì)的影響，也提高了生產(chǎn)效率。
[0027]上述實(shí)施例和圖式并非限定本實(shí)用新型的產(chǎn)品形態(tài)和式樣，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員對(duì)其所做的適當(dāng)變化或修飾，皆應(yīng)視為不脫離本實(shí)用新型的專利范疇。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，其特征在于:密閉反應(yīng)室包括一個(gè)主箱體，主箱體內(nèi)開設(shè)上腔體和下腔體，上腔體與下腔體通過一隔板隔開，隔板上開設(shè)一通風(fēng)孔；主箱體外側(cè)開設(shè)送風(fēng)口和抽風(fēng)口 ；自凈化系統(tǒng)包括控制箱、過濾箱、風(fēng)機(jī)、送風(fēng)法蘭、抽風(fēng)法蘭和電控風(fēng)閥；風(fēng)機(jī)安裝在隔板下沿并與通風(fēng)孔對(duì)接，主箱體的上腔體頂部與下腔體底部均安裝過濾箱；送風(fēng)法蘭安裝在主箱體的送風(fēng)口，抽風(fēng)法蘭內(nèi)置一電控風(fēng)閥，抽風(fēng)法蘭安裝在主箱體的抽風(fēng)口，送風(fēng)法蘭與上腔體頂部的過濾箱對(duì)應(yīng)，抽風(fēng)法蘭與下腔體底部的過濾箱對(duì)應(yīng)，抽風(fēng)法蘭與送風(fēng)法蘭通過一管道連接；控制箱內(nèi)置一變頻控制器，控制箱外部設(shè)有與變頻控制器的電連接的電源指示燈、風(fēng)機(jī)工作指示燈和閥門工作指示燈，控制箱安裝在主箱體外部；風(fēng)機(jī)和電控風(fēng)閥均與變頻控制器電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，其特征在于:所述控制箱外部還設(shè)有與控制器電連接檔位工作開關(guān)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，其特征在于:所述上腔體頂部安裝高效過濾箱，下腔體底部安裝中效過濾箱。
4.如權(quán)利要求1所述的一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，其特征在于:所述主箱體一側(cè)還開設(shè)上檢修門和下檢修門，上檢修門與上腔體對(duì)應(yīng)，下檢修門與下腔體對(duì)應(yīng)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種用于密閉反應(yīng)室的自凈化系統(tǒng)，密閉反應(yīng)室包括一個(gè)主箱體，主箱體內(nèi)開設(shè)上腔體和下腔體，上腔體與下腔體通過一隔板隔開，隔板上開設(shè)一通風(fēng)孔；主箱體外側(cè)開設(shè)送風(fēng)口和抽風(fēng)口；自凈化系統(tǒng)包括控制箱、過濾箱、風(fēng)機(jī)、送風(fēng)法蘭、抽風(fēng)法蘭和電控風(fēng)閥；風(fēng)機(jī)安裝在隔板下沿并與通風(fēng)孔對(duì)接，主箱體的上腔體頂部與下腔體底部均安裝過濾箱；送風(fēng)法蘭安裝在主箱體的送風(fēng)口，抽風(fēng)法蘭內(nèi)置一電控風(fēng)閥，抽風(fēng)法蘭安裝在主箱體的抽風(fēng)口；控制箱安裝在主箱體外部；風(fēng)機(jī)和電控風(fēng)閥均與變頻控制器電連接；本實(shí)用新型應(yīng)用于碳化硅外延生長的密閉反應(yīng)室，能夠快速有效的清理反應(yīng)室腔體內(nèi)的細(xì)小顆粒，提高生產(chǎn)效率。
【IPC分類】B01J19-00, B01D46-00
【公開號(hào)】CN204485825
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520024736
【發(fā)明人】呂立平, 馮淦, 趙建輝
【申請(qǐng)人】瀚天天成電子科技（廈門）有限公司
【公開日】2015年7月22日
【申請(qǐng)日】2015年1月14日