電動(dòng)致動(dòng)器和電動(dòng)激振裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種電動(dòng)致動(dòng)器和使用其的電動(dòng)激振裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]已知有將所謂音圈馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)裝置使用的電動(dòng)激振裝置。在專利文獻(xiàn)I中公開了使驅(qū)動(dòng)軸朝向彼此正交的方向的三臺電動(dòng)致動(dòng)器200、300、400與振動(dòng)臺100連結(jié)而成的三軸激振裝置I。在專利文獻(xiàn)I的激振裝置I中，各電動(dòng)致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸經(jīng)由在與驅(qū)動(dòng)軸正交的兩個(gè)軸方向上能夠平穩(wěn)地滑動(dòng)的雙軸滑件(連接部240、340、440)與振動(dòng)臺100連接。該雙軸滑件240(340、440)是將以可動(dòng)軸彼此正交的方式配置的一對直線引導(dǎo)件經(jīng)由中間臺245(345、445)連結(jié)而成的。利用該結(jié)構(gòu)，各電動(dòng)致動(dòng)器能夠不被其它電動(dòng)致動(dòng)器的振動(dòng)臺100的驅(qū)動(dòng)所強(qiáng)烈影響(即，以比較少的互相干擾(cross talk))地驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臺100。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:國際公開W02009/130953號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明想要解決的技術(shù)問題
[0007]但是，在專利文獻(xiàn)I的激振裝置I所使用的電動(dòng)致動(dòng)器200中，可動(dòng)部230僅在從其胴體部232的一端向驅(qū)動(dòng)方向突出的細(xì)長桿234的前端附近被支承于固定部222，所以可動(dòng)部230的胴體部232，在與驅(qū)動(dòng)軸正交的方向(不驅(qū)動(dòng)方向)上不以高剛性被支承，在不驅(qū)動(dòng)方向上容易發(fā)生振動(dòng)。因此，由于向可動(dòng)部230的不驅(qū)動(dòng)方向的振動(dòng)，產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)軸間的互相干擾，會有激振精度降低的情況。
[0008]本發(fā)明的目的在于提供可動(dòng)部在不驅(qū)動(dòng)方向上不易振動(dòng)的電動(dòng)致動(dòng)器和通過使用該電動(dòng)致動(dòng)器而使激振精確度優(yōu)良的電動(dòng)激振裝置。
[0009]本發(fā)明的實(shí)施方式的電動(dòng)致動(dòng)器，包括:大致筒狀的固定部;可動(dòng)部，其至少一部分被收容于固定部的中空部內(nèi)，在固定部的軸線方向上被往復(fù)驅(qū)動(dòng);和以使可動(dòng)部能夠在固定部的軸線方向上能往復(fù)移動(dòng)的方式從側(cè)方對可動(dòng)部進(jìn)行支承的多個(gè)可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)?？蓜?dòng)部支承機(jī)構(gòu)包括:軌道，其被安裝于可動(dòng)部的側(cè)面，在固定部的軸線方向上延伸；和滑塊，其被安裝于固定部，與軌道卡合，并且，可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)大致等間隔地配置于以固定部的軸線為中心的周方向上。
[0010]利用該結(jié)構(gòu)，可動(dòng)部被多個(gè)可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)限制向不驅(qū)動(dòng)方向的移動(dòng)，所以在不驅(qū)動(dòng)方向上不易振動(dòng)。
[0011]可動(dòng)部也可以構(gòu)成為由兩對可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)在正交的兩個(gè)方向上從兩側(cè)夾持。
[0012]利用這些結(jié)構(gòu)，可動(dòng)部在正交的兩個(gè)不驅(qū)動(dòng)方向上分別被從兩側(cè)限制移動(dòng)，所以在不驅(qū)動(dòng)方向上不易振動(dòng)。
[0013]電動(dòng)致動(dòng)器也可以以固定部的軸線朝向水平方向的方式被橫置，可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)中的一個(gè)被配置于固定部的軸線之下。
[0014]利用該結(jié)構(gòu)，可動(dòng)部被可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)中的一個(gè)從下方支承，所以即使可動(dòng)部的重量大，也能夠有效防止可動(dòng)部的上下方向上的振動(dòng)。
[0015]也可以構(gòu)成為可動(dòng)部包括:桿，其從可動(dòng)部的一端突出，在固定部的軸線上延伸，固定部包括:軸承，其以使桿在固定部的軸線方向上能自由移動(dòng)的方式對桿進(jìn)行支承。
[0016]利用該結(jié)構(gòu)，可動(dòng)部由可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)和軸承在驅(qū)動(dòng)方向上的兩點(diǎn)限制不驅(qū)動(dòng)方向上的移動(dòng)，所以在不驅(qū)動(dòng)方向上更不易振動(dòng)。
[0017]也可以構(gòu)成為，包括:基座;和支承固定部的固定部支承機(jī)構(gòu)，固定部支承機(jī)構(gòu)包括:可動(dòng)塊，其被安裝于電動(dòng)致動(dòng)器的固定部;直線引導(dǎo)件，其以在固定部的軸線方向上可自由滑動(dòng)的方式對可動(dòng)塊和基座進(jìn)行連結(jié);和緩沖部件，其被配置在基座和可動(dòng)塊之間，防止軸線方向的振動(dòng)的傳遞。緩沖部件例如為空氣彈簧。另外，也可以構(gòu)成為，包括:固定塊，其被固定于基座，直線引導(dǎo)件和防振部件的至少一方經(jīng)由固定塊被安裝于基座。
[0018]當(dāng)電動(dòng)致動(dòng)器被驅(qū)動(dòng)時(shí)，固定部由于反作用力而在軸線方向上強(qiáng)烈進(jìn)行振動(dòng)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，固定部經(jīng)由固定部支承機(jī)構(gòu)的緩沖部件被固定于基座，所以能夠防止固定部的軸線方向的較強(qiáng)的振動(dòng)傳遞至基座。若將這樣的電動(dòng)致動(dòng)器用于多軸激振機(jī)，則能夠降低激振軸間的互相干擾、不需要的振動(dòng)干擾，能夠進(jìn)行精度良好的激振試驗(yàn)。
[0019]也可以構(gòu)成為包括一對可動(dòng)塊，一對可動(dòng)塊被安裝于夾著固定部的軸線的兩側(cè)面。
[0020]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可動(dòng)塊所接受的軸線方向的較強(qiáng)的反作用力，被一對固定部從軸線兩側(cè)對稱地支承，所以能夠抑制可動(dòng)塊的縱搖、橫搖的產(chǎn)生。
[0021 ]本發(fā)明的實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置，包括:上述電動(dòng)致動(dòng)器;和與電動(dòng)致動(dòng)器的可動(dòng)部的前端連結(jié)的振動(dòng)臺。
[0022]如上所述，提供一種電動(dòng)激振裝置，其利用使用成為干擾主要原因的向不驅(qū)動(dòng)方向的振動(dòng)少的電動(dòng)致動(dòng)器，能夠進(jìn)行精度高的激振。
[0023]另外，也可以構(gòu)成為包括兩個(gè)電動(dòng)致動(dòng)器，電動(dòng)致動(dòng)器中的一方為在第一方向具有驅(qū)動(dòng)軸的第一致動(dòng)器，電動(dòng)致動(dòng)器中的另一方為在與第一方向正交的第二方向上具有驅(qū)動(dòng)軸的第二致動(dòng)器，電動(dòng)激振裝置包括:第一滑件，其以在第二方向上可自由滑動(dòng)的方式對振動(dòng)臺和第一致動(dòng)器進(jìn)行連結(jié);和第二滑件，其以在第一方向上可自由滑動(dòng)的方式對振動(dòng)臺和第二致動(dòng)器進(jìn)行連結(jié)。
[0024]利用該結(jié)構(gòu)，兩個(gè)電動(dòng)致動(dòng)器能夠彼此不干涉地獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臺，所以實(shí)現(xiàn)能夠進(jìn)行正確激振的雙軸電動(dòng)激振裝置。
[0025]另外，也可以構(gòu)成為包括:第三致動(dòng)器，其為上述電動(dòng)致動(dòng)器，在與第一方向和第二方向正交的第三方向上具有驅(qū)動(dòng)軸；和第三滑件，其以在第一方向和第二方向上可自由滑動(dòng)的方式對振動(dòng)臺和第三致動(dòng)器進(jìn)行連結(jié)，第一滑件以在第二方向和第三方向上可自由滑動(dòng)的方式對振動(dòng)臺和第一致動(dòng)器進(jìn)行連結(jié)，第二滑件以在第一方向和第三方向上可自由滑動(dòng)的方式對振動(dòng)臺和第二致動(dòng)器進(jìn)行連結(jié)。
[0026]利用該結(jié)構(gòu)，三個(gè)電動(dòng)致動(dòng)器能夠彼此不干涉地獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臺，所以實(shí)現(xiàn)能夠進(jìn)行正確的激振的三軸電動(dòng)激振裝置。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，提供可動(dòng)部在不驅(qū)動(dòng)方向上不易振動(dòng)的電動(dòng)致動(dòng)器、和通過使用該電動(dòng)致動(dòng)器而使激振精確度優(yōu)良的電動(dòng)激振裝置。
【附圖說明】
[0028]圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置的正視圖。
[0029]圖2是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置的俯視圖。
[0030]圖3是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的方塊圖。
[0031 ]圖4是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的Z軸致動(dòng)器的主體的正視圖。
[0032]圖5是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的Z軸致動(dòng)器的主體的俯視圖。
[0033]圖6是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的Z軸致動(dòng)器的主體的縱截面圖。
[0034]圖7是將本發(fā)明的第一實(shí)施方式的Z軸致動(dòng)器的振動(dòng)臺附近放大的俯視圖。
[0035]圖8是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置所使用的直線引導(dǎo)件的截面圖。
[0036]圖9是圖8的1-1截面圖。
[0037]圖10是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置的正視圖。
[0038]圖11是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置的俯視圖。
[0039]圖12是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0040]以下，參照圖式說明本發(fā)明實(shí)施方式的電動(dòng)激振裝置。
[0041](第一實(shí)施方式)
[0042]首先，參照圖1?圖9，說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的電動(dòng)型三軸激振裝置1(以下，簡記為“激振裝置I” ) O圖1和圖2分別是激振裝置I的正視圖和俯視圖。另外，圖3是表示激振裝置I的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的方塊圖。在以下第一實(shí)施方式的說明中，令圖1的左右方向?yàn)閄軸方向(令右方向?yàn)閄軸正方向)，令與紙面表面垂直的方向?yàn)閅軸方向(令從紙張面表側(cè)向背側(cè)的方向?yàn)閅軸正方向)，令上下方向?yàn)閆軸方向(令上方方向?yàn)閆軸正方向)。另外，Z軸方向?yàn)殂U直方向，X軸和Y軸方向?yàn)樗椒较颉?br>[0043]如圖1和圖2所示，激振裝置I包括:振動(dòng)臺400，其安裝試樣(未圖示)；三個(gè)致動(dòng)器(X軸致動(dòng)器100、γ軸致動(dòng)器200和Z軸致動(dòng)器300)，在X軸、Y軸、Z軸方向上分別對振動(dòng)臺400進(jìn)行激振;和裝置基座50，其支承各致動(dòng)器100、200、300。各致動(dòng)器100、200、300分別是具備音圈馬達(dá)的電動(dòng)型線性致動(dòng)器，主體101、201和301分別包括覆蓋從各主體突出的可動(dòng)部(后述)的蓋103、203和303。振動(dòng)臺400分別經(jīng)由雙軸滑件(YZ滑件160、ΖΧ滑件260和XY滑件360)與各致動(dòng)器100、200、300連結(jié)。激振裝置I使用各致動(dòng)器100、200、300驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臺400，由此能夠在正交的三個(gè)軸方向上對安裝于振動(dòng)臺400上的試樣進(jìn)行激振。
[0044]裝置基座50是將水平底板54和頂板56利用垂直配置的多個(gè)壁板58連結(jié)而成的。各致動(dòng)器100、200和300分別被一對固定塊110、210和310固定于裝置基座50的頂板56上。另外，在頂板56形成有開口 57，Z軸致動(dòng)器3