成，但是在其他區(qū)域?qū)嶋H上增加沉積物形成。此外，有時(shí)觀測(cè)到在觀察鏡表面上的無(wú)沉積物區(qū)域的位置在該方法期間變化。因而，可重復(fù)的溫度測(cè)量是不可能的。
[0034]該問(wèn)題產(chǎn)生了本發(fā)明的目的。觀察鏡維持整個(gè)批次運(yùn)行內(nèi)無(wú)沉積物和雜質(zhì)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0035]該目的通過(guò)以下生產(chǎn)多晶娃的方法實(shí)現(xiàn)，其包括:將包含含娃組分和氫的反應(yīng)氣體引入至包括在其上沉積多晶硅的至少一個(gè)經(jīng)加熱的細(xì)絲棒的反應(yīng)器中，所述反應(yīng)器包括至少一個(gè)管狀觀察鏡，所述管狀觀察鏡在反應(yīng)器端部固定至反應(yīng)器壁中的孔口(orifice)并且在另一端具有玻璃表面，在沉積期間，通過(guò)孔將吹掃氣體供應(yīng)在所述觀察鏡管中，其中一個(gè)吹掃氣體流靠近觀察鏡的玻璃表面運(yùn)行(流動(dòng)，操作，run)并且基本上與玻璃表面平行，以及在觀察鏡的反應(yīng)器端部的方向中與該吹掃氣體流間隔開(kāi)的至少一個(gè)另外的吹掃氣體流，其在觀察鏡的反應(yīng)器端部方向中相對(duì)于玻璃表面成一定角度運(yùn)行。
[0036]本發(fā)明人已經(jīng)認(rèn)識(shí)到，在現(xiàn)有技術(shù)中提出的解決方案中，不能可靠地防止含硅的反應(yīng)氣體與觀察鏡的玻璃表面接觸，因?yàn)樽⑸淦餍Чc指向觀察鏡的玻璃表面的吹掃氣體噴射相關(guān)，并且這將含硅的反應(yīng)氣體遞送至玻璃表面并且至少在一些區(qū)域中導(dǎo)致不需要的沉積物形成。
[0037]因此，已經(jīng)發(fā)展了具有新的吹掃氣體供應(yīng)的觀察鏡，其抑制玻璃表面在反應(yīng)器側(cè)上與反應(yīng)氣體(氯代硅烷)接觸并因此防止沉積物形成。
[0038]與現(xiàn)有技術(shù)相反，本文在幾個(gè)位置處將吹掃氣體注入至觀察鏡管中。
[0039]將吹掃氣流引入靠近管的玻璃表面。其運(yùn)行基本上與玻璃表面平行。
[0040]為此目的，優(yōu)選地，緊鄰玻璃表面提供與玻璃表面平行排列的孔的偏移排。這有效地產(chǎn)生吹掃氣體的“簾(簾幕，curtain) ”，其可以保持反應(yīng)氣體遠(yuǎn)離玻璃表面。
[0041 ] 然而，在沒(méi)有進(jìn)一步的測(cè)量的情況下，這僅在適當(dāng)?shù)剡x擇供應(yīng)的吹掃氣體速率時(shí)可以實(shí)現(xiàn)。
[0042]為了不依賴提供的吹掃氣體速率，依照本發(fā)明，提供了至少一種第二吹掃氣流，其在管的反應(yīng)器端部方向中與第一吹掃氣流分隔開(kāi)。
[0043]該第二吹掃氣流或另外的吹掃氣流不與觀察鏡的玻璃表面平行運(yùn)行，而是以傾斜的角度運(yùn)行，即相對(duì)于觀察鏡的玻璃表面的平面傾斜，具體地在觀察鏡的反應(yīng)器端部的方向中。
[0044]反應(yīng)器端部是指安裝在反應(yīng)器壁中的孔口處的管的端部。
[0045]為了將第二吹掃氣流引入至觀察鏡的管，優(yōu)選地與反應(yīng)器的中心成一定傾斜角度排列的孔存在于管中。
[0046]引入另外的吹掃氣流引起與在觀察鏡管中供應(yīng)的吹掃氣體速率無(wú)關(guān)的流動(dòng)方式(regime)。
[0047]這能夠遵循觀察鏡吹掃所要求的吹掃氣體速率的方法相配的規(guī)則(process-matched regulat1n)，而不會(huì)劣化觀察鏡吹掃的質(zhì)量。
[0048]合適的吹掃氣體是如下氣體或作為氣體混合物的任何期望的組合:稀有氣體(惰性氣體，noble gases)(例如Ar、He)、氮、SiHnCln 4形式(η = 0-4)的氯代娃燒結(jié)合不含氯代娃燒的氣體(例如結(jié)合氫的SiCl4)、氫、HC1氣體。
[0049]特別優(yōu)選的是使用氫。
【附圖說(shuō)明】
[0050]圖1示出了具有觀察鏡的淀積反應(yīng)器的高度示意性圖形。
[0051]圖2示出了本發(fā)明的一種實(shí)施方式的縱截面。
[0052]圖3示出了本發(fā)明的一種實(shí)施方式的貫穿管的截面。
[0053]使用的參考標(biāo)號(hào)列表
[0054]1淀積反應(yīng)器
[0055]2觀察鏡
[0056]3玻璃面板(玻璃板，玻璃窗格，glass pane)
[0057]4吹掃質(zhì)量流Ml的一個(gè)或多個(gè)孔
[0058]5吹掃質(zhì)量流M2的一個(gè)或多個(gè)孔
【具體實(shí)施方式】
[0059]圖1示出了淀積反應(yīng)器1和固定至反應(yīng)器壁的觀察鏡2。
[0060]圖2示出了淀積反應(yīng)器1和固定至反應(yīng)器壁并具有玻璃面板3的觀察鏡2。觀察鏡2包括吹掃質(zhì)量流Ml的兩排孔4和吹掃質(zhì)量流M2的一排孔5。
[0061]圖3示出了貫穿圖2的一排孔4的截面A-A。顯然存在互相平行的若干個(gè)孔。
[0062]本發(fā)明能夠使用具有相對(duì)較小的管/結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度的觀察鏡。
[0063]因而，優(yōu)選的是管長(zhǎng)L與管直徑D的比率L/D為0.5-4.0。
[0064]更優(yōu)選地，該比率L/D = 0.7-3.0，最優(yōu)選地1.0-2.0。
[0065]優(yōu)選的是通過(guò)一排或多排相互偏移(offset)的孔注入吹掃氣體的第一部分Ml。
[0066]將這些排的孔設(shè)置在管的一側(cè)，優(yōu)選地上側(cè)，垂線附近40° -180°，優(yōu)選地50° -130°，更優(yōu)選地60° -120°的角度范圍β 1_η (η =排孔的指數(shù))內(nèi)。角度范圍β 1_η(包括管軸附近(偏離垂直線)0-180°的孔)的旋轉(zhuǎn)是可能的。
[0067]—排之內(nèi)，孔距離各自鄰近的孔的距離可以是不同的或相等的，并且優(yōu)選地是相等的。
[0068]優(yōu)選地定位孔使得在觀察鏡管中的它們的出口孔口在角度范圍β l_n內(nèi)。
[0069]優(yōu)選地排孔互相平行排列并與玻璃表面平行排列。
[0070]同樣優(yōu)選地所有的孔互相平行排列并與相對(duì)的管壁平行排列。
[0071]以這種方式，將寬的吹掃氣體簾置于玻璃表面的前面。
[0072]根據(jù)本發(fā)明，將吹掃氣體分成兩個(gè)子流(Ml和M2)。Ml對(duì)應(yīng)于與玻璃表面平行運(yùn)行的氣體流，M2對(duì)應(yīng)于以傾斜角度運(yùn)行的氣體流；同樣參見(jiàn)圖2。
[0073]優(yōu)選地，將吹掃質(zhì)量流動(dòng)速率的比率設(shè)置如下:1/3〈M1/M2〈20。
[0074]更優(yōu)選地，1〈M1/M2〈15;最優(yōu)選地，2〈M1/M2〈10。
[0075]在吹掃氣體的第一部分(Ml)中，基于所有孔的總面積(AM1)的管的截面面積(Ατ)優(yōu)選地在8〈AT/AM1〈300，更優(yōu)選地12〈AT/AM1〈150和最優(yōu)選地15〈AT/AM1〈80范圍內(nèi)。
[0076]引入吹掃氣體的第一部分的孔的排數(shù)(N)是1〈 = N〈 = 5，優(yōu)選地1〈 = N〈 = 3。
[0077]管直徑(D)和排孔距離觀察鏡表面的軸間隔Sl_n之間的比率優(yōu)選地在1〈D/S1_n〈40，更優(yōu)選地1.5<D/Sl_n<20和最優(yōu)選地1.5〈D/Sl_n〈10范圍內(nèi)。
[0078]如果指定了孔或排孔的間隔，則指定了這些的孔的幾何軸。
[0079]對(duì)于與管軸成傾斜角度的吹掃氣體的第二部分(M2)的注射，優(yōu)選的是使用以下排孔，其同樣優(yōu)選地設(shè)置在管的上側(cè)，在垂直線附近40° -180°，更優(yōu)選地50° -130°，最優(yōu)選60° -120°的角度范圍β2_η(η =排孔的指數(shù))之內(nèi)。角度范圍β2_η(包括管軸附近(偏離垂直線)0-180°的孔)的旋轉(zhuǎn)是可能的。
[0080]—排之內(nèi)，孔距離各自鄰近的孔的孔距離可以是不同的或相等的，并且優(yōu)選地是相等的。
[0081]優(yōu)選地定位孔使得在觀察鏡管中的其出口孔口在角度范圍β 2_n內(nèi)。
[0082]吹掃氣體的第二部分(M2)的所有孔優(yōu)選地互相平行排列并且在管的反應(yīng)器端部的方向中與管軸成10° -80°，更優(yōu)選地20° -70°，最優(yōu)選地30° -60°的角度范圍α內(nèi)。
[0083]基于與管軸成傾斜角度排列的所有孔的總面積(ΑΜ2)的管的截面面積(Ατ)優(yōu)選地是 5〈Ατ/ΑΜ2〈500，更優(yōu)選地 20〈Ατ/ΑΜ2〈300 和最優(yōu)選地 40〈ΑΤ/ΑΜ2〈150。
[0084]吹掃氫氣的第二部分的孔的排數(shù)(Κ)是1〈 = Κ〈 = 5，優(yōu)選地1〈 = Κ〈 = 3。
[0085]管直徑(D)與排孔或孔出口(與管軸成傾斜角度)距離觀察鏡表面的軸向間隔(S2_k)的比率優(yōu)選地處于0.4〈D/S2_k〈40，更優(yōu)選地0.6<D/S2_k<20和最優(yōu)選地(0.8〈D/S2_k<10)的范圍內(nèi)。由于孔處于傾斜角度，指定了相對(duì)于管的內(nèi)表面上鉆孔的孔處的孔幾何軸的距離，參照?qǐng)D2。
[0086]根據(jù)其優(yōu)選實(shí)施方式的本發(fā)明的方法幾乎完全抑制來(lái)自于反應(yīng)器的反應(yīng)氣體與在反應(yīng)器端部處的觀察鏡的內(nèi)玻璃表面之間的接觸。這完全防止觀察鏡的玻璃表面上的沉積物。
[0087]在觀察鏡中的流場(chǎng)不依賴吹掃氣體速率。因此，如果需要，可以使用非