的過濾壓力時流量變高。尤其是，通過使過濾壓力 變低，本已暫被捕集的顆粒因在濾材內(nèi)部持續(xù)暴露于過濾壓力、從而隨著時間經(jīng)過而與過 濾液一同從濾材內(nèi)部被擠出導(dǎo)致泄漏的概率顯著降低。此外，溶解存在于將要過濾的液體 中的氣體由于過濾前后的壓力差（過濾后的壓力降低）而W微小氣泡的形態(tài)出現(xiàn)的概率顯 著降低。此外，還能夠預(yù)期下述效果：藥液等過濾對象物的過濾有效率升高、及在長時間內(nèi) 局度保持它們的品質(zhì)。
[0044] 另一方面，濾材的厚度越薄，濾材的強度、耐久性能越低，但是，例如，如果在過濾 器的設(shè)計中可行的話，在通過與粗篩目的高強度支撐體復(fù)合化（例如，進行疊合夾入等的 加工）來進行增強的同時還對耐久性和流量的設(shè)計加W調(diào)整也是可能的。 柳45](拉伸伸長率）
[0046] 聚締控微多孔膜的長度方向（MD)的拉伸伸長率優(yōu)選大于55%、且為200%W下。 聚締控微多孔膜的拉伸伸長率為55%W上時，能夠適當(dāng)?shù)匚沼梢后w過濾器內(nèi)發(fā)生的過濾 壓力變化而產(chǎn)生的沖擊，例如長期使用中耐破膜性的降低不易繼續(xù)發(fā)展，從壽命的觀點考 慮是優(yōu)選的。從上述觀點考慮，拉伸伸長率更優(yōu)選為60%W上。另一方面，若聚締控微多孔 膜的拉伸伸長率為200%W下，則濾材在過濾壓力變化中不容易發(fā)生伸長，例如，不會產(chǎn)生 下述問題：過濾壓力上升時，已捕集的顆粒漏出；或由于相鄰的濾材間的距離極短，從而導(dǎo) 致過濾壓力過度上升，液體過濾器的流量不足等問題。從上述觀點考慮，拉伸伸長率更優(yōu)選 為185%^下，進一步優(yōu)選為170%W下。需要說明的是，調(diào)整至上述拉伸伸長率的范圍的 方法與上文所述的控制透水性能及泡點的方法相同。
[0047] (緩沖率）
[0048] 作為本發(fā)明液體過濾器用基材的聚締控微多孔膜的緩沖率優(yōu)選大于30%。
[0049] 聚締控微多孔膜的緩沖率大于30%時，能夠吸收由過濾器內(nèi)的過濾壓力變化而產(chǎn) 生的沖擊，耐破膜性提高，從運方面來看是優(yōu)選的。從上述觀點考慮，緩沖率更優(yōu)選為35%W上。另一方面，聚締控微多孔膜的緩沖率優(yōu)選為65%W下。緩沖率為65%W下時，能抑 制由過濾壓力變化而導(dǎo)致的過度的厚度變化，因此能夠保持膜厚方向的連通孔，可W將透 水性能保持在適當(dāng)?shù)姆秶瑥倪\方面來看是優(yōu)選的。從上述觀點考慮，緩沖率更優(yōu)選為60% W下。
[0050] (孔關(guān)閉溫度）
[0051] 作為本發(fā)明液體過濾器用基材的聚締控微多孔膜的孔關(guān)閉溫度優(yōu)選高于140°C。 聚締控微多孔膜的孔關(guān)閉溫度高于14(TC時，在聚締控微多孔膜的加工時的熱粘接工序的 高溫處理部附近或高溫體接觸部附近，聚締控微多孔膜的多孔性不會喪失，容易保持透水 性能，即使在加工后也能得到預(yù)計的過濾面積，故優(yōu)選。 陽05引（壓縮率）
[0053] 就作為本發(fā)明液體過濾器用基材的聚締控微多孔膜而言，于70°C的溫度W2MPa加壓30秒時的壓縮率優(yōu)選小于15 %，更優(yōu)選為12%W下。該聚締控微多孔膜的壓縮率小 于15%時，在長期使用時、或在加工為過濾器時的熱壓（粘接）等的工序中，聚締控微多孔 膜不會發(fā)生必要程度W上的壓變，能夠保持原來的多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)，從運方面來看是優(yōu)選的。此 處，本發(fā)明中的壓縮率是W下述方式得到的：于70°C的溫度W2MPa對聚締控微多孔膜加壓 30秒，之后于25°C解除壓力放置30秒，從加壓前后的膜厚差與加壓前的膜厚之比得到壓縮 率。
[0054] 需要說明的是，壓縮率的控制方法沒有特別限定，例如可W通過聚締控樹脂的平 均分子量、混合使用多種聚締控樹脂時各聚締控樹脂的混合比率、原料中的聚締控樹脂濃 度、在原料中混合使用多種溶劑時各溶劑的混合比率、用W擠壓出擠出片狀物內(nèi)部的溶劑 的加熱溫度、擠壓壓力、拉伸倍率、拉伸后的熱處理（熱固定）溫度、在提取溶劑中的浸潰時 間、退火處理溫度、處理時間等進行控制。 陽05引（孔隙率）
[0056] 作為本發(fā)明液體過濾器用基材的聚締控微多孔膜的孔隙率優(yōu)選為46~54%，更 優(yōu)選為47 %~53 %。該聚締控微多孔膜的孔隙率為46 %W上時，將成為透水性能良好的聚 締控微多孔膜，從運方面來看是優(yōu)選的。另一方面，孔隙率為54%W下時，聚締控微多孔膜 的力學(xué)強度變得良好，操作性也提高，從上述方面來看是優(yōu)選的。此處，聚締控微多孔膜的 孔隙率（0通過下式算出。
[0057] e(% ) = {l-Ws/(ds?t)}XlOO
[0058] Ws:聚締控微多孔膜的每單位面積重量（g/m2)
[0059]ds:聚締控的真密度（g/cm3) W60]t:聚締控微多孔膜的膜厚（iim)
[0061] (長度方向的拉伸伸長率與寬度方向的拉伸伸長率之比）
[0062] 對于作為本發(fā)明液體過濾器用基材的聚締控微多孔膜而言，長度方向（MD)與寬 度方向燈D)的拉伸伸長率之比（MD拉伸伸長率/TD拉伸伸長率）優(yōu)選為0. 8~4. 0,進一 步優(yōu)選為1. 0~3. 5。MD拉伸伸長率/TD拉伸伸長率為0. 8W上時，在聚締控微多孔膜的 加工時用于將該微多孔膜在寬度方向上延展開的張力穩(wěn)定，操作容易進行，故優(yōu)選。另一方 面，MD拉伸伸長率/TD拉伸伸長率為4. 0W下時，在聚締控微多孔膜的加工時能夠抑制權(quán) 皺（其起因于由輸送張力的負(fù)荷而引起的該微多孔膜向長度方向的伸展）的發(fā)生，操作容 易進行，故優(yōu)選。 陽06引（聚締控）
[0064] 作為本發(fā)明液體過濾器用基材的聚締控微多孔膜是含有聚締控而構(gòu)成的微多孔 膜。此處，微多孔膜是指下述膜，即，形成為在內(nèi)部具有許多微細(xì)孔、且運些微細(xì)孔被連接 的結(jié)構(gòu)，氣體或液體能夠從一面向另一面通過的膜。在聚締控微多孔膜中，優(yōu)選含有90質(zhì) 量％^上的聚締控，作為其余部分，可W在不對本發(fā)明的效果造成影響的范圍內(nèi)含有有機 或無機填料、表面活性劑等添加劑。 陽0化]作為聚締控，例如可舉出聚乙締、聚丙締、聚下締、聚甲基戊締等的均聚物或共聚 物、或上述聚締控中的1種W上的混合物。其中，聚乙締是優(yōu)選的。作為聚乙締，高密度聚 乙締、高密度聚乙締與超高分子量聚乙締的混合物等是優(yōu)選的。此外，也可W將聚乙締與聚 乙締W外的成分組合使用。作為聚乙締W外的成分，例如可舉出聚丙締、聚下締、聚甲基戊 締、聚丙締與聚乙締的共聚物等。此外，作為聚締控，也可W將相互之間缺乏相溶性的聚合 度、分支性不同的多種聚締控組合使用，換言之，可W將結(jié)晶性、拉伸性?分子取向性不同的 多種聚締控組合使用。
[0066] 作為本發(fā)明中使用的聚締控，優(yōu)選使用含有5質(zhì)量％ ^上的超高分子量聚乙締 (質(zhì)均分子量為90萬W上）的聚乙締組合物，進一步優(yōu)選為含有7質(zhì)量％W上的超高分子 量聚乙締的組合物，特別優(yōu)選為含有13~27質(zhì)量％的超高分子量聚乙締的組合物。此外， 通過適量配合2種W上的聚乙締，具有形成伴隨拉伸時的原纖化的網(wǎng)（network)狀結(jié)構(gòu)、從 而使孔隙產(chǎn)生率增加的效果。配合2種W上的聚乙締時的質(zhì)均分子量優(yōu)選為35萬~450 萬，更優(yōu)選為35萬~250萬。特別優(yōu)選為將上述質(zhì)均分子量為90萬W上的超高分子量聚 乙締、與質(zhì)均分子量為20萬~80萬且密度為0. 92~0. 96g/cm3的高密度聚乙締混合而得 至IJ的聚乙締組合物，該情況下，該高密度聚乙締在聚乙締組合物中的比例優(yōu)選為95質(zhì)量％ W下，進一步優(yōu)選為93質(zhì)量％ ^下，特別優(yōu)選為73~87質(zhì)量％。
[0067] 需要說明的是，質(zhì)均分子量可如下得到：將聚締控微多孔膜的試樣加熱溶解在鄰 二氯苯中，利用GPC(Waters公司制的AllianceGPC2000 型，柱：GMH6-HT及GMH6-HTL)在 柱溫135°C、流速1.OmL/分鐘的條件下進行測定。
[0068] [液體過濾器]
[0069] 上文所述的本發(fā)明的液體過濾器用基材，不僅能夠適宜地進行賦予與藥液的親和 性的加工，還可W加工為筒形并作為液體過濾器使用。液體過濾器是用于從含有由有機物 及/或無機物形成的顆粒的被處理液中除去所述顆粒的器具。顆粒在被處理液中W固體狀 或凝膠狀而存在。本發(fā)明適用于除去粒徑小于約lOnm、甚至數(shù)nm的顆粒的情況。此外，液 體過濾器不僅可W用在半導(dǎo)體的制造工序中，而且在例如顯示器制造、研磨等其他制造工 序中也可W使用。
[0070] 作為液體過濾器用基材，例如由聚四氣乙締、聚丙締形成的多孔質(zhì)基材已廣為人 知。與聚四氣乙締多孔質(zhì)基材相比，上文所述的本發(fā)明的由聚締控微多孔膜形成的基材與 藥液的親和性優(yōu)異。因此，例如對過濾器賦予與藥液的親和性的加工變得容易。此外，在向 過濾器殼體（filterhousing)內(nèi)裝填過濾器濾筒并填充藥液時，濾筒內(nèi)不易產(chǎn)生氣泡，藥 液的過濾成品率變得良好。此外，由于聚乙締樹脂本身不含面族元素，所W容易對用完的過 濾器濾筒進行處置，還具有能夠減少環(huán)境負(fù)荷等的效果。
[0071] 聚締控微多孔膜的制造方法]
[0072] 作為本發(fā)明液體過濾器用基材的聚締控微多孔膜可W通過下文所示的方法適宜 地制造。目P，可W通過依次實施W下工序（I)~（V)來適宜地制造：
[0073] 工序（I)，制備包含聚乙締組合物和溶劑的溶液，該溶液中至少含有大氣壓下的沸 點低于210°C的揮發(fā)性溶劑；
[0074] 工序（II)，對該溶液進行烙融混煉，將得到的烙融混煉物從模中擠出，冷卻固化從 而得到凝膠狀成型物；
[00巧]工序（III)，在將凝膠狀成型物在至少一個方向進行拉伸之前，預(yù)先從凝膠狀成型 物中擠壓出一部分溶劑；
[0076] 工序（IV)，將凝膠狀成型物在至少一個方向進行拉伸； 陽077] 工序（V)，從經(jīng)拉伸的中間成型物的內(nèi)部提取溶劑并清洗。
[0078] 工序（I)中制備包含聚乙締組合物和溶劑的溶液，制備至少含有大氣壓下的沸點 低于210°C的揮發(fā)性溶劑的溶液。此處，溶液優(yōu)選為熱可逆性的溶膠?凝膠溶液，即，將該 聚乙締加熱溶解在該溶劑中而使其溶膠化，由此制備熱可逆性的溶膠?凝膠溶液。作為工 序（I)中的大氣壓下的沸點低于21(TC的揮發(fā)性溶劑，只要能夠使聚乙締充分地膨潤或能 夠使其溶解，則沒有特別限定，可優(yōu)選舉出四氨化糞、乙二醇、糞燒、甲苯、二甲苯、二乙基S 胺、乙二胺、二甲基亞諷、己燒等液態(tài)溶劑，它們可W單獨使用，也可W組合使用2種W上。 其中優(yōu)選糞燒、二甲苯。
[0079] 此外，在該溶液的制備中，除了上述大氣壓下的沸點低于210°C的揮發(fā)性溶劑W夕F，也可W使其含有液體石蠟、石蠟油、礦物油、藍(lán)麻油等沸點為210°CW上的不揮發(fā)性溶 劑。
[0080] 在工序（I)的溶液中，從控制聚締控微多孔膜的液體透過性能和作為濾材的除去 性能的觀點考慮，優(yōu)選使聚乙締組合物的濃度為25~45質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為25~40質(zhì) 量％。此外，若聚乙締組合物的濃度較低，此外，若聚乙締組合物的濃度較低，則存在力學(xué)強 度變低的傾向，因此操作性變差，并且在聚締控微多孔膜的制膜中存在斷開的發(fā)生頻率增 加的傾向。此外，若聚乙締組合物的濃度較高，則存在難W形成孔隙的傾向。
[0081] 工序（II)中，對工序（I)中制備的溶液進行烙融混煉，將得到的烙融混煉物從模 中擠出，冷卻固化從而得到凝膠狀成