本發(fā)明涉及過濾裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種過濾器。

背景技術(shù)：

過濾器作為一種液體分離裝置來控制工業(yè)過程中的雜質(zhì)，已廣泛應(yīng)用在藥物、食品和飲料等行業(yè)。過濾器的腔體內(nèi)常常會存留空氣，當(dāng)過濾流體進入腔體時，由于腔體空間被空氣占據(jù)，只能流入少量流體，從而過濾流速受到影響。嚴(yán)重時，可能導(dǎo)致腔體受壓過大，進而影響過濾器的濾膜功能。此外，過濾器內(nèi)存在的部分空氣會進入產(chǎn)品，進而影響產(chǎn)品性能。例如，在光刻工藝中會將一個或多個噴嘴噴灑顯影液在硅片表面，如果顯影液存在氣泡，則容易造成顯影不均勻，從而出現(xiàn)產(chǎn)品缺陷。

因此，如何減少過濾器腔體內(nèi)的空氣是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種過濾器，減少過濾器腔體內(nèi)的空氣。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下方案：

一種過濾器，包括殼體、濾芯和隔板；

所述隔板安裝在所述殼體內(nèi)，且將所述殼體分隔成上游腔和下游腔，所述隔板上開有通孔，所述濾芯安裝在所述隔板上，且所述濾芯設(shè)置在所述上游腔內(nèi)，所述濾芯的入口與所述上游腔導(dǎo)通，所述濾芯的濾芯出口與所述通孔導(dǎo)通；

所述殼體的底端開設(shè)進液孔，所述進液孔與所述上游腔導(dǎo)通；

所述殼體的頂端開設(shè)有出液孔和排氣孔，所述出液孔與所述下游腔導(dǎo)通。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，還包括：

安裝在所述進液孔上的進液管；

安裝在所述出液孔上的出液管；

安裝在所述排氣孔上的排氣管。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，所述殼體包括筒體、上接頭和下接頭；

所述上接頭安裝在所述筒體的頂端，且所述出液孔和所述排氣孔均開設(shè)在所述上接頭上；

所述下接頭安裝在所述筒體的底端，且所述進液孔開設(shè)在所述下接頭上。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，所述隔板上設(shè)置有凸臺，所述筒體內(nèi)設(shè)置有卡槽，所述凸臺卡接在所述卡槽內(nèi)。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，所述隔板與所述筒體在所述凸臺和所述卡槽的卡接處通過熱熔連接。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，所述濾芯與所述隔板通過熱熔連接。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，下接頭上還開設(shè)有排液孔。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，還包括安裝在所述排液孔上的排液管。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，所述上接頭和所述下接頭均與所述筒體通過熱熔連接。

優(yōu)選地，在上述過濾器中，所述過濾器為fpa材料的過濾器。

從上述的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的過濾器，使用時，將待過濾液體來源處與進液孔連通，將出液孔與過濾系統(tǒng)的出口連通，待過濾液體從進液孔進入殼體的上游腔，接著通過濾芯的入口進入濾芯，雜質(zhì)被附著在濾芯上，使得待過濾液體被過濾成干凈的過濾液體，過濾液體從濾芯的濾芯出口出來，通過隔板的通孔進入殼體的下游腔，隨著過濾液體的增多，下游腔被過濾液體充滿，將氣體從殼體內(nèi)通過排氣孔排出，過濾液體從出液孔出來，緊接著，把排氣孔堵上，潔凈的過濾液體從出液孔流出。本發(fā)明提供的過濾器，由于隔板將殼體分成上下兩個腔體，上游腔位于殼體的底端，下游腔位于殼體的頂端，排氣孔與下游腔導(dǎo)通，因此，隨著殼體內(nèi)液體的增多，實現(xiàn)了從下往上將空氣從排氣孔排出，即實現(xiàn)了上下兩個腔體的空氣的排出，減少了過濾器內(nèi)的空氣。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明提供的過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明提供的過濾器的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明提供的過濾器的濾芯的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明提供的過濾器的隔板的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，圖1-4中：

殼體1、濾芯2、上接口201、下平頭202、濾芯出口203、進液孔3、出液孔4、排氣孔5、進液管6、出液管7、排氣管8、筒體101、卡槽10101、上接頭102、下接頭103、隔板9、凸臺901、通孔902、排液孔10、排液管11。

具體實施方式

為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好的理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進一步的詳細(xì)說明。

實施例一

請參閱圖1-4，本發(fā)明公開了一種過濾器，其中，過濾器包括殼體1、濾芯2和隔板9，隔板9安裝在殼體1內(nèi)，且將殼體1分隔成上游腔和下游腔，隔板上9開有通孔902。

濾芯2安裝在殼體1的內(nèi)部，其頂端和底端分別設(shè)有上接口201和下平頭202，在上接口201上開有濾芯出口203，濾芯2的入口是指濾芯2的整個外壁，殼體1為封閉的，僅在殼體1的底端開設(shè)進液孔3，具體地，濾芯2的上接口201安裝在隔板9上，且濾芯2的濾芯出口203與通孔902導(dǎo)通，且濾芯2設(shè)置在上游腔內(nèi)，下游腔與通孔902導(dǎo)通；殼體1的底端開設(shè)進液孔3，進液孔3與上游腔導(dǎo)通；殼體1的頂端開設(shè)有出液孔4和排氣孔5，出液孔4與下游腔導(dǎo)通。

在使用該過濾器過濾液體時，將待過濾液體來源處與進液孔3連通，將出液孔4與過濾系統(tǒng)的出口連通，待過濾液體從進液孔3進入殼體1的上游腔，接著通過濾芯2的入口進入濾芯2，雜質(zhì)被附著在濾芯2上，使得待過濾液體被過濾成干凈的過濾液體，過濾液體從濾芯出口203出來，通過隔板9的通孔901進入殼體1的下游腔，隨著過濾液體的增多，下游腔被過濾液體充滿，將氣體從殼體1內(nèi)通過排氣孔5排出，過濾液體也從出液孔4出來，緊接著，把排氣孔5堵上，潔凈的過濾液體從出液孔4流出。本發(fā)明提供的過濾器，由于隔板9將殼體1分成上游腔和下游腔下兩個腔體，上游腔位于殼體1的底端，下游腔位于殼體1的頂端，排氣孔5與下游腔導(dǎo)通，因此，隨著殼體1內(nèi)液體的增多，實現(xiàn)了從下往上將空氣從排氣孔5排出，即實現(xiàn)了上下兩個腔體的空氣的排出，減少了過濾器內(nèi)的空氣。

實施例二

在本發(fā)明提供又一實施例中，本實施例中的過濾器和實施例一中的過濾器的結(jié)構(gòu)類似，對相同之處就不再贅述了，僅介紹不同之處。

本實施例具體公開了過濾器還包括進液管6、出液管7和排氣管8，進液管6安裝在進液孔3上，且與進液孔3導(dǎo)通；出液管7安裝在出液孔4上，且與出液孔4導(dǎo)通；排氣管8安裝在排氣孔5上。且與排氣孔5導(dǎo)通。設(shè)置進液管6、出液管7和排氣管8方便了待過濾液體進入殼體1內(nèi)、過濾干凈的過濾液體從殼體1流出及殼體1內(nèi)的氣體排出。

其中，進液管6、出液管7和排氣管8可以是與殼體1通過螺紋等可拆卸連接，也可以是一體式連接。為了方便更換進液管6、出液管7和排氣管8，優(yōu)選，進液管6、出液管7和排氣管8均與殼體1可拆卸連接。

進一步地，本發(fā)明公開了過濾器中，殼體1分為三部分，包括筒體101、上接頭102和下接頭103。其中，上接頭102安裝在筒體101的頂端，且出液孔4和排氣孔5均開設(shè)在上接頭102上，下接頭103安裝在筒體101的底端，且進液孔3開設(shè)在下接頭103上。

更進一步地，本發(fā)明公開了上接頭102和下接頭103均與筒體101通過熱熔連接，需要說明的是，上接頭102和下接頭103也可以與筒體101通過其他的方式連接，不僅僅限于本發(fā)明公開的熱熔的方式，只要滿足可以實現(xiàn)上、下接頭103與筒體101的密封性連接均屬于本發(fā)明保護的范圍。

為了便于濾芯2的安裝及將待過濾液體與已過濾液體分開，本發(fā)明公開了隔板9上設(shè)置有凸臺901，筒體101內(nèi)設(shè)置有卡槽10101，凸臺901卡接在卡槽10101內(nèi)，上接頭102與隔板9之間形成下游腔，下接頭103與隔板9之間形成上游腔。具體地，凸臺901為環(huán)形凸臺901，卡槽10101為環(huán)形卡槽10101。

本發(fā)明公開了濾芯2與隔板9通過熱熔連接，隔板9與筒體101在凸臺901和卡槽10101的卡接處通過熱熔連接。具體為：當(dāng)筒體101與上接頭102熱熔連接時，部分融液能進入卡槽10101和凸臺901的間隙，冷卻后即可形成密封，使得過濾液體只能從通孔902流出。

在半導(dǎo)體行業(yè)中，過濾液體常常為腐蝕性的液體，如酸(hf、hcl、h2so4)、堿(naoh、nh4oh、tmah)、溶劑(二甲苯、丙酮、三氯乙烯)等，所以筒體101、上接頭102、下接頭103和隔板9的材質(zhì)為pfa材料，即過濾器為fpa材料的過濾器，耐酸耐堿。

實施例三

在本發(fā)明提供第三實施例中，本實施例中的過濾器和實施例二中的過濾器的結(jié)構(gòu)類似，對相同之處就不再贅述了，僅介紹不同之處。

本實施例中，具體公開了下接頭103上還開設(shè)有排液孔10，用于排出殼體1內(nèi)剩余的液體。

為了便于殼體1內(nèi)剩余的液體排出，本發(fā)明公開了過濾器還包括安裝在排液孔10上的排液管11。當(dāng)不使用過濾器時，將殼體1內(nèi)的剩余的液體從排液管11排出。

在本發(fā)明中的“第一”、“第二”等均為描述上進行區(qū)別，沒有其他的特殊含義。

對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和創(chuàng)造性特點相一致的最寬的范圍。