技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種微機(jī)電超聲探頭，包括硅襯底（1），所述硅襯底（1）的上表面為氧化層（2），所述氧化層（2）的上表面開設(shè)有若干空腔（3），若干空腔（3）成排、列布置，所述氧化層（2）的上表面鍵合振動(dòng)薄膜（4），所述振動(dòng)薄膜（4）的上表面設(shè)隔離層（5），圍繞隔離層（5）的四周邊緣處及其內(nèi)部開設(shè)有下沉的隔離槽（6），所述隔離槽（6）貫穿隔離層（5）和振動(dòng)薄膜（4）后，其槽底開設(shè)于氧化層（2）上；所述隔離層（5）的上表面上正對每個(gè)空腔（3）的中心位置處設(shè)有上電極（7）。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，該超聲探頭結(jié)構(gòu)新穎、體積小、頻帶寬、靈敏度高，噪聲低，穩(wěn)定性好。

技術(shù)研發(fā)人員：何常德;張國軍;張斌珍;薛晨陽;張文棟;趙蕾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中北大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.06
技術(shù)公布日：2017.07.07