本實(shí)用新型涉及尾氣吸收技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種高效節(jié)能多級(jí)式酸性尾氣吸收塔。

背景技術(shù)：

化學(xué)氣相沉積(CVD)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù)，是在相當(dāng)高的溫度下，混合氣體與基體表面相互作用，使混合氣體中的某些成分分解，并在基體上形成一種金屬或化合物的固態(tài)薄膜或鍍層。近年來(lái)，為了提高金屬切削工具及金屬材料的耐磨性，也采用CVD技術(shù)進(jìn)行表面薄膜或鍍層。在CVD方法中，基本組成包含初始?xì)庠?，而初始起源包括惰性氣體(如氮或氬)，還原氣體(如氫氣)以及各種反應(yīng)氣體(如甲烷、二氧化碳、水蒸氣、氨)。大量混合氣體進(jìn)入反應(yīng)室，CVD的反應(yīng)溫度通常為900～2000℃，因此，高溫下，產(chǎn)生大量的酸性氣體，如果將這些尾氣直接排入大氣中，勢(shì)必對(duì)環(huán)境造成很大的破壞，而且現(xiàn)有的酸性尾氣吸收塔往往吸收效果不理想，針對(duì)上述問(wèn)題，特提出一種高效節(jié)能多級(jí)式酸性尾氣吸收塔。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種高效節(jié)能多級(jí)式酸性尾氣吸收塔，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種高效節(jié)能多級(jí)式酸性尾氣吸收塔，包括酸性尾氣導(dǎo)入裝置、水幕吸收塔、一級(jí)尾氣循環(huán)裝置和二級(jí)尾氣循環(huán)裝置，所述酸性尾氣導(dǎo)入裝置包括酸性尾氣導(dǎo)入罐、鼓風(fēng)機(jī)和氣體混合緩沖瓶，且鼓風(fēng)機(jī)上安裝有第一閥門(mén)，所述酸性尾氣導(dǎo)入罐和鼓風(fēng)機(jī)均通過(guò)管路連接到氣體混合緩沖瓶，所述酸性尾氣導(dǎo)入裝置的輸出端通過(guò)管路連接到水幕吸收塔，所述水幕吸收塔包括下半部的一級(jí)吸收塔和上半部的二級(jí)吸收塔，所述一級(jí)尾氣循環(huán)裝置包括第一循環(huán)泵，所述第一循環(huán)泵的輸入端通過(guò)管路連接到一級(jí)吸收塔，所述第一循環(huán)泵的輸出端安裝有第二閥門(mén)，且第二閥門(mén)通過(guò)管路連接到一級(jí)吸收塔，所述第一循環(huán)泵上安裝有第一廢液排放閥，所述二級(jí)尾氣循環(huán)裝置包括第二循環(huán)泵，所述第二循環(huán)泵的輸入端通過(guò)管路連接到二級(jí)吸收塔，所述第二循環(huán)泵的輸出端通過(guò)管路連接到一級(jí)吸收塔，所述第二循環(huán)泵上安裝有第二廢液排放閥，所述二級(jí)吸收塔的上端安裝有凈氣出口。

優(yōu)選的，所述水幕吸收塔的頂端安裝有除霧器，且除霧器位于凈氣出口的正下方。

優(yōu)選的，所述酸性尾氣導(dǎo)入裝置的輸出端安裝有氣體流量計(jì)。

優(yōu)選的，所述第一循環(huán)泵的輸入端和第二循環(huán)泵的輸入端上均安裝有液體流量計(jì)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：一種高效節(jié)能多級(jí)式酸性尾氣吸收塔，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)巧妙，通過(guò)一級(jí)尾氣循環(huán)裝置和二級(jí)尾氣循環(huán)裝置將尾氣進(jìn)行多級(jí)循環(huán)的處理，可以更深度的凈化酸性尾氣，最大程度的減少酸性尾氣對(duì)大氣造成的破壞，并且可以對(duì)廢液進(jìn)行排放。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、酸性尾氣導(dǎo)入裝置，11、酸性尾氣導(dǎo)入罐，12、鼓風(fēng)機(jī)，13、氣體混合緩沖瓶，14、第一閥門(mén)，2、水幕吸收塔，21、一級(jí)吸收塔，22、二級(jí)吸收塔，23、凈氣出口，24、除霧器，3、一級(jí)尾氣循環(huán)裝置，31、第一循環(huán)泵，32、第二閥門(mén)，33、第一廢液排放閥，4、二級(jí)尾氣循環(huán)裝置，41、第二循環(huán)泵，42、第二廢液排放閥，5、氣體流量計(jì)，6、液體流量計(jì)。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種高效節(jié)能多級(jí)式酸性尾氣吸收塔，包括酸性尾氣導(dǎo)入裝置1、水幕吸收塔2、一級(jí)尾氣循環(huán)裝置3和二級(jí)尾氣循環(huán)裝置4，所述酸性尾氣導(dǎo)入裝置1包括酸性尾氣導(dǎo)入罐11、鼓風(fēng)機(jī)12和氣體混合緩沖瓶13，且鼓風(fēng)機(jī)12上安裝有第一閥門(mén)14，所述酸性尾氣導(dǎo)入罐11和鼓風(fēng)機(jī)12均通過(guò)管路連接到氣體混合緩沖瓶13，所述酸性尾氣導(dǎo)入裝置1的輸出端通過(guò)管路連接到水幕吸收塔2，所述水幕吸收塔2包括下半部的一級(jí)吸收塔21和上半部的二級(jí)吸收塔22，所述一級(jí)尾氣循環(huán)裝置3包括第一循環(huán)泵31，所述第一循環(huán)泵31的輸入端通過(guò)管路連接到一級(jí)吸收塔21，所述第一循環(huán)泵31的輸出端安裝有第二閥門(mén)32，且第二閥門(mén)32通過(guò)管路連接到一級(jí)吸收塔21，所述第一循環(huán)泵31上安裝有第一廢液排放閥33，所述二級(jí)尾氣循環(huán)裝置4包括第二循環(huán)泵41，所述第二循環(huán)泵41的輸入端通過(guò)管路連接到二級(jí)吸收塔22，所述第二循環(huán)泵41的輸出端通過(guò)管路連接到一級(jí)吸收塔21，所述第二循環(huán)泵41上安裝有第二廢液排放閥42，所述二級(jí)吸收塔22的上端安裝有凈氣出口23，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)巧妙，通過(guò)一級(jí)尾氣循環(huán)裝置3和二級(jí)尾氣循環(huán)裝置4將尾氣進(jìn)行多級(jí)循環(huán)的處理，可以更深度的凈化酸性尾氣，最大程度的減少酸性尾氣對(duì)大氣造成的破壞，并且可以對(duì)廢液進(jìn)行排放。

具體而言，所述水幕吸收塔2的頂端安裝有除霧器24，且除霧器24位于凈氣出口23的正下方，可以更進(jìn)一步的對(duì)酸性尾氣進(jìn)行凈化。

具體而言，所述酸性尾氣導(dǎo)入裝置1的輸出端安裝有氣體流量計(jì)5，可以計(jì)算酸性尾氣導(dǎo)入裝置1導(dǎo)入酸性氣體的流量。

具體而言，所述第一循環(huán)泵31的輸入端和第二循環(huán)泵41的輸入端上均安裝有液體流量計(jì)6，一個(gè)計(jì)算第一循環(huán)泵31的輸入端和第二循環(huán)泵41的輸入端處的廢液流量。

工作原理：在使用時(shí)，酸性尾氣經(jīng)酸性尾氣倒入裝置1導(dǎo)入該高效節(jié)能多級(jí)式酸性尾氣吸收塔中，并且由鼓風(fēng)機(jī)12鼓入空氣進(jìn)行混合，通過(guò)氣體混合緩沖瓶13進(jìn)行進(jìn)一步的混勻，混勻后的氣體由第一閥門(mén)14控制進(jìn)入到水幕吸收塔2中，先由一級(jí)吸收塔21對(duì)尾氣進(jìn)行第一次酸性吸收，再通過(guò)一級(jí)尾氣循環(huán)裝置3將尾氣導(dǎo)出一級(jí)吸收塔21，對(duì)第一次廢液進(jìn)行排放，再導(dǎo)回到一級(jí)吸收塔21中進(jìn)一步吸收后進(jìn)入到一級(jí)吸收塔22中，再通過(guò)二級(jí)尾氣循環(huán)裝置4將尾氣導(dǎo)出二級(jí)吸收塔22，進(jìn)行第二次廢液排放，再導(dǎo)回到一級(jí)吸收塔21中，重新由一級(jí)吸收塔21和二級(jí)吸收塔22進(jìn)行吸收，吸收后的氣體通過(guò)除霧器24進(jìn)行除霧后經(jīng)凈氣出口23排放。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。