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化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置的制作方法

文檔序號:11939544閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:包括化學(xué)銅主槽和化學(xué)銅副槽,連接于化學(xué)銅主槽和化學(xué)銅副槽之間并自化學(xué)銅主槽流向化學(xué)銅副槽的過濾溢流管,以及連接于化學(xué)銅副槽和化學(xué)銅主槽之間并自化學(xué)銅副槽流向化學(xué)銅主槽的回抽管網(wǎng);

所述化學(xué)銅主槽的槽壁頂部設(shè)置有主槽溢流口,所述化學(xué)銅副槽的開口頂面架設(shè)有尼龍網(wǎng)紗過濾盒,所述過濾溢流管的一端連接于主槽溢流口、過濾溢流管的另一端伸入尼龍網(wǎng)紗過濾盒。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述尼龍網(wǎng)紗過濾盒包括頂面開口的外濾盒,嵌裝入外濾盒中的內(nèi)濾盒,以及鋪設(shè)于外濾盒和內(nèi)濾盒之間的尼龍濾網(wǎng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述尼龍濾網(wǎng)為150目尼龍網(wǎng)紗制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述外濾盒的頂面設(shè)置有朝外延伸的邊緣。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述外濾盒的側(cè)壁開設(shè)有側(cè)壁柵孔,外濾盒的底面包括柵孔區(qū)和藥水出口緩沖區(qū),柵孔區(qū)開設(shè)有底面柵孔,藥水出口緩沖區(qū)開設(shè)有通孔;所述內(nèi)濾盒的側(cè)壁開設(shè)有方形窗,內(nèi)濾盒的底面開設(shè)有瀝水柵孔;所述方形窗、側(cè)壁柵孔、底面柵孔、瀝水柵孔和通孔的尺寸依次呈遞減設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述側(cè)壁柵孔、底面柵孔和瀝水柵孔均為長條孔,所述通孔為圓形孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述回抽管網(wǎng)包括自化學(xué)銅副槽的底部槽壁引出的抽出管,依次通過單向閥門和回抽泵與抽出管相連的抽入管;所述抽入管的一端與回抽泵相連,抽入管的另一端伸入化學(xué)銅主槽的開口頂面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述抽入管包括依次相連的主管、分流管和支管,所述主管和分流管垂直設(shè)置,所述主管與回抽泵相連,所述支管為若干根,每根支管的一端與分流管相連、每根支管的另一端與化學(xué)銅主槽相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述化學(xué)銅副槽的槽壁中部設(shè)置有副槽溢流口,所述副槽溢流口連接有溢流管。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的化學(xué)銅清洗液過濾循環(huán)裝置,其特征在于:所述溢流管沿著化學(xué)銅副槽的槽壁垂直設(shè)置,溢流管的一端連接于副槽溢流口、溢流管的另一端靠近化學(xué)銅副槽的槽壁底部為自由端。

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