1.一種全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,包括:
制備帶有陣元電極和公共電極的壓電體;所述壓電體具有多個(gè)壓電陣元,形成壓電陣列層,所述陣元電極設(shè)置于所述壓電陣列層上,所述公共電極位于所述壓電陣列層的對(duì)面;
在壓電體帶有陣元電極的一面黏貼背襯網(wǎng)格;所述背襯網(wǎng)格上具有與各壓電陣元一一對(duì)應(yīng)的網(wǎng)孔;
在所述背襯網(wǎng)格的網(wǎng)孔中填入導(dǎo)電膠;
向所述背襯網(wǎng)格的各網(wǎng)孔中插入接插件的插入件部分的各導(dǎo)電針,使得所述各導(dǎo)電針通過(guò)導(dǎo)電膠與各壓電陣元電連接;
在所述導(dǎo)電膠固化后,在所述插入件部分灌入背襯材料;
在所述公共電極上粘接或灌注匹配層,在所述匹配層上粘接或灌注聲透鏡,從而形成全接線式二維平面陣超聲換能器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,所述網(wǎng)孔為圓孔,所述圓孔的直徑小于單個(gè)壓電陣元的寬度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,在所述背襯網(wǎng)格與所述壓電體的粘貼面的對(duì)面設(shè)置有一層薄膜;在所述背襯網(wǎng)格的網(wǎng)孔中填入導(dǎo)電膠,包括:
將所述導(dǎo)電膠均勻涂抹在背襯網(wǎng)格設(shè)置有薄膜的一面;
將所述導(dǎo)電膠刮平,使得每個(gè)網(wǎng)孔填滿所述導(dǎo)電膠;
將所述薄膜揭除,以去除網(wǎng)孔外多余的導(dǎo)電膠。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,在所述背襯網(wǎng)格與所述壓電體的粘貼面的對(duì)面設(shè)置另一背襯網(wǎng)格;在所述背襯網(wǎng)格的網(wǎng)孔中填入導(dǎo)電膠,包括:
將所述導(dǎo)電膠均勻涂抹在背襯網(wǎng)格設(shè)置有另一背襯網(wǎng)格的一面;
將所述導(dǎo)電膠刮平,使得每個(gè)網(wǎng)孔填滿所述導(dǎo)電膠;
將所述另一背襯網(wǎng)格揭除,以去除網(wǎng)孔外多余的導(dǎo)電膠。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,所述接插件包括一至多個(gè)連接件部分和一至多個(gè)所述插入件部分;每個(gè)插入件部分包括各導(dǎo)電針以及用于支撐所述導(dǎo)電針的支撐結(jié)構(gòu);所述導(dǎo)電針的一端與所述連接件部分可拆卸連接;所述連接件部分還與外部線纜電連接;
向所述背襯網(wǎng)格的各網(wǎng)孔中插入接插件的插入件部分的各導(dǎo)電針,使得所述各導(dǎo)電針通過(guò)導(dǎo)電膠與各壓電陣元電連接,包括:
在所述接插件包括多個(gè)插入件部分時(shí),分多次向所述背襯網(wǎng)格的網(wǎng)孔中插入每個(gè)插入件部分的各導(dǎo)電針。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,所述導(dǎo)電針為彈性導(dǎo)電針;向所述背襯網(wǎng)格的各網(wǎng)孔中插入接插件的插入件部分的各導(dǎo)電針,使得所述各導(dǎo)電針通過(guò)導(dǎo)電膠與各壓電陣元電連接,還包括:
將所述彈性導(dǎo)電針與各壓電陣元緊壓連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,所述背襯網(wǎng)格為以背襯材料制備的薄片,所述薄片的厚度為0.1mm至2mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,在所述導(dǎo)電膠固化后,在所述插入件部分灌入背襯材料,包括:
在所述導(dǎo)電膠固化后,在所述插入件部分和所述背襯網(wǎng)格之間灌入背襯材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,所述背襯網(wǎng)格的材料為石蠟或鈉鹽。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的全接線式二維平面陣超聲換能器的制造方法,其特征在于,在所述導(dǎo)電膠固化后,在所述插入件部分灌入背襯材料,包括:
在所述導(dǎo)電膠固化后,將材料為石蠟的背襯網(wǎng)格融化去除,再在所述插入件部分灌入背襯材料;
或者,在所述導(dǎo)電膠固化后,將材料為鈉鹽的背襯網(wǎng)格通過(guò)溶劑溶解去除,再在所述插入件部分灌入背襯材料。
11.一種全接線式二維平面陣超聲換能器,其特征在于,包括:帶有陣元電極和公共電極的壓電體;所述壓電體具有多個(gè)壓電陣元,形成壓電陣列層,所述陣元電極設(shè)置于所述壓電陣列層上,所述公共電極位于所述壓電陣列層的對(duì)面;
在壓電體帶有陣元電極的一面黏貼有背襯網(wǎng)格;所述背襯網(wǎng)格上具有與各壓電陣元一一對(duì)應(yīng)的網(wǎng)孔;在所述背襯網(wǎng)格的網(wǎng)孔中設(shè)置有導(dǎo)電膠;
所述全接線式二維平面陣超聲換能器還包括接插件,所述接插件包括一至多個(gè)插入件部分和一至多個(gè)連接件部分;所述插入件部分包括多個(gè)導(dǎo)電針;各導(dǎo)電針的一端與所述連接件部分可拆卸連接;所述連接件部分還與外部線纜電連接;各導(dǎo)電針的另一端插入所述背襯網(wǎng)格的各網(wǎng)孔中,并通過(guò)導(dǎo)電膠與各壓電陣元電連接;所述插入件部分外側(cè)還填充有背襯材料;在所述壓電陣列層的對(duì)面的公共電極上設(shè)置有匹配層;在所述匹配層上設(shè)置有聲透鏡。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的全接線式二維平面陣超聲換能器,其特征在于,所述插入件部分還包括用于支撐所述導(dǎo)電針的支撐結(jié)構(gòu)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的全接線式二維平面陣超聲換能器,其特征在于,所述導(dǎo)電針為彈性導(dǎo)電針;所述彈性導(dǎo)電針與各壓電陣元緊壓連接。