本發(fā)明涉及提供作為無菌醫(yī)藥品和生物醫(yī)藥品等的制造環(huán)境的潔凈空間的裝置(空氣清潔裝置)。

背景技術(shù)：

關(guān)于無菌醫(yī)藥品和生物醫(yī)藥品等的制造環(huán)境，在一定程度的潔凈度的空間中制造，減少對醫(yī)藥品等的污染風(fēng)險。提供該空間的裝置有空氣清潔裝置。

空氣清潔裝置用送風(fēng)單元輸送空氣，通過使該空氣通過作為空氣凈化單元的hepa過濾器(highefficiencyparticulateairfilter)，除去空氣中含有的塵埃，供給到規(guī)定的空間中。在這樣的醫(yī)藥品等的制造環(huán)境中，需要對空間內(nèi)的飄浮塵埃數(shù)進行管理。這是因為，在飄浮塵埃數(shù)達到一定程度的數(shù)量以上的情況下，存在醫(yī)藥品等被污染的可能性，所以會影響醫(yī)藥品等的制造。

本技術(shù)領(lǐng)域的背景技術(shù)有日本特開2012-255761號公報(專利文獻1)。該公報中，記載了作為從配置有風(fēng)機過濾單元(ffu)的操作室上部供給潔凈空氣，對操作室內(nèi)的飄浮塵埃數(shù)進行監(jiān)視的方法，在操作室壁面設(shè)置吸氣口，在吸氣口中插入采樣管，在采樣管的前端連接塵埃檢測器的方法。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2012-255761號公報

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

上述現(xiàn)有技術(shù)中的對飄浮塵埃數(shù)進行管理的方法是在操作室的壁面設(shè)置吸氣口，用插入吸氣口的采樣管將操作室內(nèi)的空氣導(dǎo)入到塵埃檢測器，檢測塵埃數(shù)。上述現(xiàn)有技術(shù)中，設(shè)置比實驗室的頂板面的面積更小的風(fēng)機過濾單元(ffu)，吹出潔凈空氣，所以操作室內(nèi)的空氣成為不僅在上下、也在水平方向上移動的紊流(湍流，亂流)。專利文獻1中記載的圖中，記載了空氣向橫方向的移動，所以可知操作室內(nèi)的氣流是紊流方式。

一般而言，塵埃檢測器使用光散射式氣體顆粒計數(shù)器(particlecounter)或相對濃度計(photometer)等。iso中用單位體積中含有的塵埃的數(shù)量表示空氣的潔凈度，所以使用計測塵埃數(shù)的光散射式氣體顆粒計數(shù)器(particlecounter)作為測定器的情況較多。用該光散射式氣體顆粒計數(shù)器(particlecounter)計測操作室內(nèi)的塵埃的情況下，對于操作室內(nèi)的空氣，用采樣管在單位時間內(nèi)向顆粒計數(shù)器內(nèi)導(dǎo)入一定量的空氣。然后，通過對該導(dǎo)入的空氣中含有的塵埃進行計數(shù)，并累加至規(guī)定的空氣量，能夠計測單位體積中含有的塵埃數(shù)。

導(dǎo)入塵埃的場所是采樣管的入口附近。專利文獻1這樣的紊流方式的操作室的情況下，操作室內(nèi)的空氣不規(guī)則地移動，所以插入了采樣管的吸氣口、和遠離吸氣口的場所的塵埃數(shù)，在以紊流移動的范圍內(nèi)是相同程度的塵埃數(shù)。

在醫(yī)藥品等的制造環(huán)境中，不僅要求對空間中的飄浮塵埃數(shù)的數(shù)量進行管理，還要求向操作室內(nèi)吹出的潔凈空氣是單方向的層流。層流的情況下，空氣不向相對于氣流方向的直角方向移動，所以防止了操作室內(nèi)某個位置的塵埃向其他位置擴散。在層流空間中塵埃向相對于氣流方向的直角方向移動，只能設(shè)想為塵埃自身的布朗運動引起的擴散移動。

操作室內(nèi)的塵埃數(shù)增加的主要原因有在操作室內(nèi)因操作員自身操作而產(chǎn)生塵埃、和來自供給潔凈空氣的hepa過濾器的塵埃泄漏(leak)。操作室內(nèi)的氣流是單方向的層流的情況下，操作中產(chǎn)生的塵埃從操作區(qū)域向下游流動而從操作區(qū)域吹出。與此相對，從hepa過濾器發(fā)生塵埃泄漏的情況下，hepa過濾器處于作為潔凈空間的操作室的最上游，所以塵埃向下游的操作室流動。同樣，操作室是層流的情況下，上游產(chǎn)生的塵埃只以擴散程度分散，向單方向流動，從操作室排出。

塵埃檢測器用從采樣管導(dǎo)入的空氣計測塵埃，所以在層流空間中如果塵埃不通過采樣管的入口附近，則可能忽略hepa過濾器的塵埃泄漏(leak)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，提供一種在包括安全柜的空氣清潔裝置中，在通過過濾器供給清潔空氣且吹出空氣是層流的操作室中，用于測定空間內(nèi)的塵埃數(shù)并可靠地發(fā)現(xiàn)其增加的裝置結(jié)構(gòu)和塵埃檢查方法。

用于解決問題的技術(shù)手段

為了解決上述問題，本發(fā)明的空氣清潔裝置的結(jié)構(gòu)包括：空氣凈化單元；整流單元，其配置在空氣凈化單元的下游側(cè)，用于對從空氣凈化單元吹出的空氣進行整流而生成層流；和操作室，其配置在整流單元的下游，在形成于空氣凈化單元與整流單元之間的空間的壁面設(shè)置1個以上的將該空間內(nèi)的空氣取出到外部的吸氣口。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種在通過過濾器供給的潔凈空氣是層流的操作室內(nèi)，可靠地測定空間內(nèi)的塵埃數(shù)并發(fā)現(xiàn)其增加的裝置(空氣清潔裝置)和檢查方法。

附圖說明

圖1a是表示本發(fā)明的實施例1的潔凈操作臺的側(cè)截面結(jié)構(gòu)圖的例子。

圖1b是表示本發(fā)明的實施例1的潔凈操作臺的外觀正面圖的例子。

圖2是表示本發(fā)明的實施例1的潔凈操作臺的截面結(jié)構(gòu)圖的例子。

圖3是表示本發(fā)明的實施例1的潔凈操作臺的截面結(jié)構(gòu)圖和塵埃測定方法的例子。

圖4a是表示本發(fā)明的實施例2的潔凈操作臺的側(cè)截面結(jié)構(gòu)圖的例子。

圖4b是表示本發(fā)明的實施例2的潔凈操作臺的外觀正面圖的例子。

圖5是表示本發(fā)明的實施例2的潔凈操作臺的截面結(jié)構(gòu)圖的例子。

圖6是表示本發(fā)明的實施例3的潔凈操作臺的截面結(jié)構(gòu)圖的例子。

圖7a是表示本發(fā)明的實施例4的安全柜的側(cè)截面結(jié)構(gòu)圖的例子。

圖7b是表示本發(fā)明的實施例4的安全柜的外觀正面圖的例子。

圖8是表示本發(fā)明的實施例4的安全柜的截面結(jié)構(gòu)圖的例子。

具體實施方式

以下，作為本發(fā)明的實施方式，對實施例1～實施例4，用圖1～圖8順序說明。

實施例1

圖1示出了實施例1的潔凈操作臺100的結(jié)構(gòu)，圖1a是其側(cè)截面結(jié)構(gòu)圖的例子，圖1b是其外觀正面圖的例子。另外，圖2是該潔凈操作臺100的正截面結(jié)構(gòu)圖的例子。

此處，空氣清潔裝置指的是包括圖1等的潔凈操作臺和圖7等的安全柜(ii級生物安全柜)，其他級別的生物安全柜，使實驗臺內(nèi)為潔凈空氣、保護其不使裝置外部的雜菌進入的操作臺或隔離裝置或?qū)⒉僮髋_包圍、從操作臺的一部分向被包圍的區(qū)域流入潔凈空氣的潔凈室的概念。

另外，潔凈操作臺和安全柜在裝置外部與裝置內(nèi)部的氣壓的相對關(guān)系方面不同。潔凈操作臺為了防止從裝置外混入異物，使內(nèi)部的氣壓升高(成為正壓)，將空氣向外擠出。另一方面，安全柜作為防護生物危害的對策，為了防止內(nèi)部的標(biāo)本泄漏而使內(nèi)部保持負(fù)壓，并且將通過過濾器而潔凈化后的空氣排出。

風(fēng)機102配置在潔凈操作臺100的內(nèi)部，從潔凈操作臺100上形成的進氣口112向潔凈操作臺100內(nèi)導(dǎo)入空氣。另外，風(fēng)機102與加壓腔室121連接并進行加壓。加壓腔室121與hepa過濾器103連接，通過被風(fēng)機102加壓而供給潔凈空氣。另外，也存在風(fēng)機102配置在潔凈操作臺100的外側(cè)的情況。

在hepa過濾器103的下游，配置有整流板105。整流板上游側(cè)空間107是空氣的入口側(cè)被hepa過濾器103包圍、空氣的出口側(cè)被整流板105包圍的空間，是hepa過濾器103和整流板105以外密閉的空間。整流板上游側(cè)空間107被從hepa過濾器103吹出的潔凈空氣加壓，從整流板105的整面吹出均勻風(fēng)速的空氣106。為了使來自整流板105的吹出空氣106均勻，在整流板105的上游側(cè)在與整流板105平行的方向上存在空氣的移動，所以整流板上游側(cè)空間107成為紊流(湍流，亂流)區(qū)域。

來自整流板105的吹出空氣106被供給到操作空間104。該操作空間104被操作空間側(cè)壁面108(圖2)、操作空間前表面109(圖1a)、操作空間后壁面110(圖1a)包圍。因該被包圍的空間和來自整流板105的吹出空氣106形成層流。關(guān)于為了形成層流的吹出空氣106的吹出風(fēng)速的均勻性，測定的各位置的風(fēng)速偏差在相對于整體平均風(fēng)速值±20％程度的范圍內(nèi)。

在操作空間104的前表面，配置有前表面擋板116。操作員從前表面擋板116的下方的開口部將手臂插入操作空間104，在通過前表面擋板116觀察操作空間104內(nèi)的同時進行操作。操作空間104內(nèi)用照明燈117維持能夠進行操作的照度。因為操作空間104內(nèi)的空氣從前表面擋板116下部的開口部排出，所以隨時對操作空間104內(nèi)供給潔凈的吹出空氣106。另外，也存在后述實施例4那樣，不是將前表面擋板116下部的開口部的空氣排出而是將其吸入的情況。

在整流板上游側(cè)空間107的壁面上形成有吸氣口119。吸氣口119將整流板上游側(cè)空間107與潔凈操作臺100的外部空間連接。不使用吸氣口119的情況下，從潔凈操作臺100的外部一側(cè)或整流板上游側(cè)空間107一側(cè)用蓋(未圖示)將其堵塞。另外，吸氣口119也可以從整流板105安裝到整流板上游側(cè)空間107內(nèi)。

根據(jù)圖2的正截面結(jié)構(gòu)圖，再次對于空氣流進行確認(rèn)。

從hepa過濾器103吹出的潔凈空氣進入到整流板上游側(cè)空間107，被整流板105整流，作為吹出空氣106被供給到操作空間104。吹出空氣106以從操作空間104的右側(cè)到左側(cè)大致相同的吹出風(fēng)速，在操作室內(nèi)形成層流。另外，在整流板上游側(cè)空間107的側(cè)壁面上，形成了1個以上的吸氣口119。

整流板上游側(cè)空間107是以hepa過濾器103的吹出側(cè)為上游、以整流板105為下游的封閉空間。操作空間104是以整流板105為上游、以前表面擋板116的下部的開口部為下游的封閉空間。如果未在操作空間104中新產(chǎn)生塵埃，則未被hepa過濾器103捕捉的塵埃保持原樣地被供給到操作空間104。即，雖然存在一定的空氣移動，但整流板上游側(cè)空間107內(nèi)的單位體積的總塵埃數(shù)，與操作空間104內(nèi)的單位體積的總塵埃數(shù)相同。

于是，為了用顆粒計數(shù)器等吸引型的塵埃檢測器進行更適當(dāng)?shù)脑u價，能否適當(dāng)?shù)貙?dǎo)入空氣成為課題。操作空間104內(nèi)的塵埃123隨著氣流從上游向下游移動。因為操作空間104內(nèi)的氣流是層流，所以雖然存在一定的擴散引起的移動，但是不會在與氣流方向正交的方向上移動。計測操作空間104的塵埃數(shù)的情況下，對空氣采樣的場所與塵埃123流動到的場所相隔較遠的情況下，存在不能無遺漏地對塵埃123采樣的可能性。該現(xiàn)象在計測結(jié)果的塵埃數(shù)較少的操作空間104的潔凈度為iso5級以下(5級、4級等)的情況下顯著出現(xiàn)。iso中，對潔凈度用單位體積的塵埃數(shù)分級。操作空間104內(nèi)是紊流的情況下，難以實現(xiàn)iso5級以下的潔凈度。這是因為，為了實現(xiàn)iso5級以下的潔凈度，要求吹出空氣106是潔凈的，并且，氣流方式是單方向的層流。

在整流板上游側(cè)空間107內(nèi)，塵埃123在與整流板105的吹出面平行的方向上移動。這是因為，為了使來自整流板105的吹出空氣106盡可能均勻，在整流板105的上游側(cè)，空氣在與整流板105平行的方向上移動。如果hepa過濾器103的吹出面與整流板105的距離是無限的，則hepa過濾器103的一部分發(fā)生塵埃泄漏(leak)的情況下，在空氣到達整流板105之前充分?jǐn)U散，從整流板105吹出的塵埃123向操作空間104均勻地吹出，但實際上該距離不可能是無限的。因為通過整流板105的風(fēng)速是0.3m/s至0.6m/s程度，所以在人使用的程度的大小的裝置中，空氣在短時間內(nèi)通過整流板上游側(cè)空間107，因此，因塵埃泄漏(leak)而產(chǎn)生的塵埃123在擴散至整流板105整體前向操作空間104內(nèi)吹出。但是，從hepa過濾器103吹出的空氣與整流板105碰撞而在與整流板105平行的方向上擴散，進而在紊流區(qū)域中也存在空氣在整流板上游側(cè)空間107中停滯、塵埃的運動較慢的可能性。這樣，塵埃123在整流板上游側(cè)空間107內(nèi)在與整流板105平行的方向上移動。但是，從整流板105吹出的塵埃123隨單方向的層流的吹出空氣106移動，所以向與氣流方向正交的方向的移動成為擴散程度。

關(guān)于計測空間的塵埃數(shù)的情況下遇見塵埃123的機率，在存在塵埃123的移動的紊流區(qū)域即整流板上游側(cè)空間107對空氣采樣，與層流空間即操作空間104內(nèi)相比壓倒性地升高。評價操作空間104內(nèi)的塵埃數(shù)的情況下，如果對操作空間104內(nèi)的空氣直接采樣，則不在不同的多個位置進行采樣時，存在錯過塵埃的可能性。但是，在紊流區(qū)域即整流板上游側(cè)空間107中，即使不同的采樣位置較少的情況下，遇見塵埃的機率也會提高。實施例1中，在整流板上部空間107設(shè)置1個以上的吸氣口119，能夠從吸氣口119對整流板上部空間107的紊流區(qū)域的空氣進行采樣。由此，能夠可靠地捕捉從hepa過濾器103泄漏的塵埃123。

圖3是對于圖2所示的實施例1的潔凈操作臺的正截面結(jié)構(gòu)圖實施塵埃測定方法的情況的例子。

為了對整流板上游側(cè)空間107的紊流區(qū)域的空氣采樣，在本體箱122的壁面上設(shè)置了將整流板上游側(cè)空間107與潔凈操作臺100的裝置外部連接的吸氣口119。吸氣口119能夠設(shè)置在本體箱122的兩側(cè)的壁面或背后的壁面的任意位置，也可以設(shè)置多處(圖1和2)。吸氣口119的形狀可以是圓形也可以是方形。

使用該吸氣口119測定塵埃時，將采樣管120的一端插入吸氣口119，將采樣管120的另一端與塵埃檢測器118連接。塵埃檢測器118可以使用光散射式氣體顆粒計數(shù)器(particlecounter)或相對濃度計(photometer)等。另外，存在多個吸氣口119的情況下，也可以將采樣管120插入各個吸氣口119，一并與塵埃檢測器118連接，將采樣的空氣一并導(dǎo)入到塵埃檢測器118。塵埃檢測器118為了測定而在單位時間內(nèi)吸引一定量的空氣，所以無論從1處采樣或是從多處采樣，導(dǎo)入塵埃檢測器118的空氣的量都相同。這樣，在塵埃原本較少的環(huán)境下，能夠通過多次進行1處采樣而減少采集遺漏。另一方面，在設(shè)想為一定程度的塵埃的環(huán)境下，通過多處采樣能夠以較少的采集次數(shù)完成測定。

如之前所示，計測空間的塵埃數(shù)的情況下，存在塵埃移動的紊流區(qū)域遇見塵埃的機率與層流區(qū)域相比壓倒性地升高，所以如圖3所示，塵埃檢測器118從在紊流區(qū)域即整流板上游側(cè)空間107配置的吸氣口119導(dǎo)入空氣。由此，使用塵埃檢測器118對從hepa過濾器103泄漏的塵埃123采樣的可能性非常高。

存在總是將塵埃檢測器118和采樣管120與潔凈操作臺100連接、監(jiān)視使用狀態(tài)下的塵埃濃度的情況，和為了定期檢查hepa過濾器103是否存在泄漏而卸下吸氣口119的蓋(未圖示)、將塵埃檢測器118和采樣管120與潔凈操作臺100連接并測定塵埃的情況。因為整流板上游側(cè)空間107內(nèi)流過的空氣中的總塵埃數(shù)與操作空間104內(nèi)流過的空氣中的總塵埃數(shù)相同，所以如果了解上游側(cè)的單位體積的塵埃數(shù)的狀態(tài)，則等同于了解下游側(cè)的單位體積的塵埃數(shù)。

實施例1中，記載了操作空間104內(nèi)的氣流是鉛垂方向的層流的情況，但水平方向的層流的情況下，hepa過濾器與整流板的位置關(guān)系也是相同的。此處，水平方向是與鉛垂的直角對應(yīng)的方向，不只嚴(yán)密地表示水平方向。

另外，實施例1示出了潔凈操作臺100的結(jié)構(gòu)，但也能夠用作安全柜的結(jié)構(gòu)。

實施例2

圖4示出了實施例2的潔凈操作臺100的結(jié)構(gòu)，圖4a是其側(cè)截面結(jié)構(gòu)圖的例子，圖4b是其正截面結(jié)構(gòu)圖的例子。其中，對于與之前的圖1～圖3說明的附加了相同符號的結(jié)構(gòu)具有相同功能的部分，省略說明。

實施例2中，對于之前的實施例1追加地在整流板上部側(cè)空間107內(nèi)配置了柵格狀檢測口124。圖5是該柵格狀檢測口124的結(jié)構(gòu)例，是從圖4b的截面aa向下觀察它的圖。在柵格狀檢測口124配置多個吸氣口119，從多個吸氣口119吸引的空氣在本體箱122的出口一并連通至用于向裝置外部取出的吸氣口119。

柵格狀檢測口124與hepa過濾器103面對面地配置，所以無論塵埃從hepa過濾器103的空氣吹出面的什么場所泄漏，都能夠用柵格狀地配置的多個吸氣口119中的某一個可靠地捕捉塵埃，因此能夠更可靠地對泄漏塵埃采樣。另外，吸氣口119的排列不限定于柵格狀，也可以是直線狀或者漩渦狀等。

關(guān)于柵格狀檢測口124的配置位置，優(yōu)選如之前所示地設(shè)置在紊流區(qū)域，所以配置在整流板上部側(cè)空間107內(nèi)是有效的。具體的配置位置優(yōu)選為在hepa過濾器103的正下方且整流板105的正上方的位置，在整流板上部側(cè)空間107的高度方向的大致中間，使吸氣口朝上地配置。另外，柵格狀檢測口124的平面的大小具有與hepa過濾器103大致同等的面積時，捕捉塵埃的可靠性增加。

另外，與塵埃檢測器118和采樣管120的連接方法等，與之前的實施例1中所示的圖3相同。

另外，實施例2示出了潔凈操作臺100的結(jié)構(gòu)，但也能夠用作安全柜的結(jié)構(gòu)。

實施例3

圖6是實施例3的潔凈操作臺100的側(cè)截面結(jié)構(gòu)圖的例子。其中，對于與之前的圖1～圖3說明的附加了相同符號的結(jié)構(gòu)具有相同功能的部分，省略說明。

相對于實施例1，使hepa過濾器103與整流板105成直角地配置。此處，直角并不嚴(yán)密地表示hepa過濾器103與整流板105所成的角是90度，而是表示大約成90度地配置。這樣，通過使hepa過濾器103與整流板105相對地配置為直角形狀，能夠使從hepa過濾器103到整流板105的氣流的行程具有變化，更多地產(chǎn)生紊流。由此，從hepa過濾器103吹出的空氣在通過整流板105之前進一步擴散。即使hepa過濾器103發(fā)生塵埃泄漏(leak)，塵埃123漏出，在整流板上部側(cè)空間107內(nèi)的空氣擴散時，在吸氣口119附近存在泄漏的塵埃的可能性更高。hepa過濾器103與整流板105的位置關(guān)系不限定于直角，也可以是直角以外的角度、或雖然平行但hepa過濾器103的吹出面與整流板105不面對而是錯開的位置關(guān)系。即，就hepa過濾器103與整流板105的相對角度而言，在0度以上且不足180度即可。

另外，與塵埃檢測器118和采樣管120的連接方法等，與之前的實施例1中所示的圖3相同。

另外，實施例3中示出了潔凈操作臺100的結(jié)構(gòu)，但也能夠用作安全柜的結(jié)構(gòu)。

實施例4

圖7示出了實施例4的安全柜101的結(jié)構(gòu)，圖7a是其側(cè)截面結(jié)構(gòu)圖的例子，圖7b是其外觀正面圖的例子。另外，圖8是該安全柜101的正截面結(jié)構(gòu)圖的例子。其中，對于與之前的圖1～圖3說明的附加了相同符號的結(jié)構(gòu)具有相同功能的部分，省略說明。

一部分空氣清潔裝置和安全柜采用實施例4所示的結(jié)構(gòu)。

風(fēng)機102、加壓腔室121、hepa過濾器103、整流板上部側(cè)空間107和整流板105的位置關(guān)系與實施例1相同。

在與連接至加壓腔室121的hepa過濾器103不同的場所，設(shè)置有排氣用的hepa過濾器103a(圖8)。從風(fēng)機102吹出的空氣對加壓腔室121加壓，從與加壓腔室121連接的hepa過濾器103和排氣用hepa過濾器103a吹出。

在前表面擋板116的下部的操作臺面111上，形成有進氣格柵115。到達操作空間104內(nèi)的吹出空氣106從進氣格柵115被吸入，從操作臺面111的下方通過操作空間后壁面110的背面，被吸入風(fēng)機2。被吸入風(fēng)機2的空氣對加壓腔室121加壓。根據(jù)以上氣流結(jié)構(gòu)，從前表面擋板116的下部的進氣格柵115吸入的空氣量，與從排氣用hepa過濾器103a向外部吹出的空氣量是相同的。

空氣對于安全柜101的出入如上所述。從進入加壓腔室121的一部分空氣對操作空間104吹出的空氣，通過進氣格柵115與從安全柜101的外部吸入的空氣混合，再次對操作空間104供給。這樣，對操作空間104供給的空氣的一部分，是相同的空氣在循環(huán)。

一部分空氣循環(huán)的情況下，整流板上游側(cè)空間107也仍然是以hepa過濾器103的吹出側(cè)為上游、以整流板105為下游的封閉空間。操作空間104也是以整流板105的出口側(cè)為上游、以前表面擋板116的下部的進氣格柵115為下游的封閉空間。這樣，如果操作空間104內(nèi)未新產(chǎn)生塵埃，則雖然存在一定的空氣移動，但整流板上游側(cè)空間107與操作空間104內(nèi)的單位體積的塵埃數(shù)相同。

無論是除去塵埃后的操作空間104內(nèi)的空氣循環(huán)的情況、還是實施例1這樣從裝置外吸入空氣的情況，在潔凈室內(nèi)配置潔凈操作臺，空氣的塵埃量在環(huán)境下，從hepa過濾器103泄漏的塵埃量都減少。此時，即使hepa過濾器103破損，發(fā)生塵埃泄漏的現(xiàn)象，也因為原本的塵埃數(shù)較少，所以難以用塵埃檢測器118發(fā)現(xiàn)塵埃泄漏，其可能性減少。

即，為了在潔凈室內(nèi)的環(huán)境條件下發(fā)現(xiàn)塵埃泄漏，僅使用塵埃檢測器是不充分的，需要故意注入發(fā)現(xiàn)塵埃泄漏所需的最小限度的相當(dāng)于塵埃的物體等對策。

于是，實施例4中，在安全柜101的本體箱122上與吸氣口119分別地設(shè)置了模擬塵埃接入口125。模擬塵埃接入口125的本體箱122內(nèi)側(cè)，是風(fēng)機102的進氣側(cè)的負(fù)壓空間(圖7a中用“-”表示的空間)。使從模擬塵埃發(fā)生器126產(chǎn)生的塵埃與模擬塵埃接入口125連接，對hepa過濾器103的上游側(cè)供給模擬塵埃。該情況下，也考慮塵埃檢測器的測定能力，以10～100μg/l(升)程度產(chǎn)生并供給模擬塵埃。hepa過濾器103的上游的塵埃濃度與供給模擬塵埃之前相比提高，所以從hepa過濾器103吹出后的塵埃濃度也提高。在該狀態(tài)下使用塵埃檢測器，如之前所示地進行測定并實施檢查。由此，能夠發(fā)現(xiàn)因hepa過濾器103的破損等引起的泄漏。另外，使用的模擬塵埃也可以是霧狀化的油或線香的煙等。

此處，關(guān)于產(chǎn)生模擬塵埃的時期，可以不總是產(chǎn)生，而是僅在監(jiān)視操作空間104內(nèi)的塵埃濃度的情況下產(chǎn)生。

另外，在實施例1～3的潔凈操作臺100上設(shè)置模擬塵埃接入口的情況下，在與從潔凈操作臺100上形成的進氣口112到風(fēng)機102的進氣側(cè)的空間、即負(fù)壓空間對向的潔凈操作臺100的本體箱壁面(例如圖1的實施例1中用虛線示出的模擬塵埃接入口(125)的位置)，設(shè)置通向裝置外部的模擬塵埃接入口即可。

接著，對于為了從模擬塵埃發(fā)生器126供給模擬塵埃，發(fā)現(xiàn)因hepa過濾器103的破損等引起的泄漏，而使用塵埃檢測器118測定塵埃的方法進行說明。該情況下，將模擬塵埃發(fā)生器126與模擬塵埃接入口125、塵埃檢測器118與吸氣口119分別連接，大致同時進行從模擬塵埃發(fā)生器126供給模擬塵埃的操作和用塵埃檢測器118測定塵埃的操作。由此，即使在原本的塵埃數(shù)較少的環(huán)境下，也能夠發(fā)現(xiàn)塵埃泄漏。

另外，通過不大致同時進行塵埃的供給與測定，而是持續(xù)供給模擬塵埃，能夠在操作空間中存在一定量的塵埃之后，用塵埃檢測器118測定塵埃。

該情況下，因為操作空間中存在一定量的塵埃，所以即使塵埃檢測器118在同一個測定場所進行多次測定，單位時間的塵埃量也大致固定。因此，能夠確認(rèn)塵埃檢測器118是否示出了正確的值。

在各個測定場所進行多次塵埃的測定的情況下，能夠在各個測定場所測定相近的值，所以即使存在檢查的操作錯誤或噪聲造成的影響等，也能夠提高檢查精度。

符號說明

100潔凈操作臺

101安全柜

102風(fēng)機

103hepa過濾器

103a排氣用hepa過濾器

104操作室內(nèi)

105整流板

106吹出空氣

107整流板上游側(cè)空間

108操作室內(nèi)側(cè)壁面

109操作室內(nèi)前表面

110操作室內(nèi)后壁面

111操作臺面

112進氣口

113吸入空氣

114排氣口

115進氣格柵

116前表面擋板

117照明燈

118塵埃檢測器

119吸氣口

120采樣管

121加壓腔室

122本體箱

123塵埃

124柵格狀檢測口

125模擬塵埃接入口

126模擬塵埃發(fā)生器

127排放空氣

128流入氣流。