凈化器匣相關(guān)申請(qǐng)案本申請(qǐng)案主張以下申請(qǐng)案的優(yōu)先權(quán)：2012年10月1日申請(qǐng)的標(biāo)題是“具有張力部件的模塊化過(guò)濾器(ModularFilterWithTensionMembers)”的第61/708,470號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案、2013年3月8日申請(qǐng)的標(biāo)題是“具有張力部件的模塊化過(guò)濾器及模塊化過(guò)濾器的歧管(ModularFilterWithTensionMembersandManifoldforModularFilters)”的第61/775,051號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案、2013年4月19日申請(qǐng)的標(biāo)題是“模塊化過(guò)濾器的歧管、模塊化過(guò)濾器匣及連接系統(tǒng)(ManifoldforModularFilters,ModularFilterCassettesandConnectionSystems)”的第61/813,983號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案、2013年5月23日申請(qǐng)的標(biāo)題是“具有張力部件的模塊化過(guò)濾器(ModularFilterwithTensionMembers)”的第61/826,880號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案及2013年6月17日申請(qǐng)的標(biāo)題是“模塊化過(guò)濾器的歧管、模塊化過(guò)濾器匣及連接系統(tǒng)(ManifoldforModularFilters,ModularFilterCassettesandConnectionSystems)”的第61/835,884號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案，其各自針對(duì)全部目的以引用方式全部并入本文中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及凈化及過(guò)濾系統(tǒng)。更特定地說(shuō)，本文中描述的實(shí)施例涉及模塊化凈化及過(guò)濾系統(tǒng)。甚至更特定地說(shuō)，本文中描述的實(shí)施例涉及用于凈化半導(dǎo)體制造流體的模塊化凈化及過(guò)濾系統(tǒng)。

背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造工藝對(duì)污染極為敏感，因?yàn)榧词乖诎雽?dǎo)體晶片上沉積小顆?；蚱渌廴疚?金屬、非易失性殘留物)也可導(dǎo)致缺陷。因此，通常采用具有移除亞微米顆粒、如金屬離子的殘留物及其它污染物的隔膜的超凈凈化器。雖然已研發(fā)出不同過(guò)濾模塊以過(guò)濾半導(dǎo)體制造液體，但是避免矩形過(guò)濾器，因?yàn)榫匦卧O(shè)計(jì)通常不能滿足緊湊設(shè)計(jì)中可承受用于半導(dǎo)體制造的壓力的過(guò)濾及流速要求。因此，許多現(xiàn)有過(guò)濾器模塊是圓柱形，具有具備其中駐留過(guò)濾器隔膜的單件式圓柱形轉(zhuǎn)筒或套筒的外殼。通常，這些過(guò)濾器含有圍封在外殼體與內(nèi)部核心之間的圓形折疊式過(guò)濾器隔膜。流體從頂部或底部進(jìn)入過(guò)濾器模塊，在行進(jìn)穿過(guò)殼體之前在套筒之間流動(dòng)，行進(jìn)穿過(guò)過(guò)濾器隔膜到中空核心并退出模塊。現(xiàn)有圓柱形過(guò)濾器模塊具有若干缺點(diǎn)。一種缺陷是：圓形折疊式隔膜過(guò)度限制流體流動(dòng)，因?yàn)楦裟け仨毘行母o密包裝以實(shí)現(xiàn)圓形配置。另一缺陷是：圓柱形外殼經(jīng)模制或擠壓成單件，從而使其難以或不可能添加垂直于圓柱軸延伸的幾何形狀。此外，許多現(xiàn)有過(guò)濾器模塊難以安裝及更換。因?yàn)橛糜诎雽?dǎo)體制造的許多液體具有腐蝕性或有毒，所以過(guò)濾器模塊更換對(duì)工人有害。采用圓柱形過(guò)濾器的當(dāng)前過(guò)濾系統(tǒng)具有有限可配置度。在許多情況下，過(guò)濾器通過(guò)多個(gè)單元以固定配置連接，使其難以視需要將通過(guò)過(guò)濾器的流動(dòng)從連續(xù)改變?yōu)椴⑿?。此外，許多過(guò)濾系統(tǒng)只使用單一類型的過(guò)濾器，從而限制在單一過(guò)濾系統(tǒng)中應(yīng)用用于不同目的或顆粒大小的不同過(guò)濾器的能力。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明描述模塊化凈化系統(tǒng)及方法的實(shí)施例。一個(gè)實(shí)施例可包含可用作凈化器匣或用于另一目的的緊湊壓力容器。所述壓力容器可包括具有界定內(nèi)部腔的一組介質(zhì)腔側(cè)壁的主體。第一端口可經(jīng)流體連接到所述內(nèi)部腔的第一部分且第二端口可經(jīng)流體耦合到所述介質(zhì)腔的第二部分。所述組內(nèi)部腔側(cè)壁可包括第一側(cè)壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁及第四側(cè)壁，所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相對(duì)且所述第三側(cè)壁與所述第四側(cè)壁相對(duì)。一或多個(gè)張力部件可耦合到所述介質(zhì)腔的所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁且可將所述介質(zhì)腔分為多個(gè)區(qū)段。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述凈化器主體可經(jīng)配置具有加強(qiáng)結(jié)構(gòu)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述加強(qiáng)結(jié)構(gòu)包括延伸可(在一個(gè)實(shí)施例中)提供雙重功能(提供流徑及加強(qiáng)所述主體)的裝置的長(zhǎng)度(或其它長(zhǎng)度)的加強(qiáng)肋。所述加強(qiáng)肋可界定弧形、橢圓形或其它圓形流徑，借此提供加強(qiáng)拱形件。因此，根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，一系列加強(qiáng)拱形件可沿所述側(cè)壁界定所述流徑。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述主體可包含多個(gè)箍環(huán)狀結(jié)構(gòu)以通過(guò)所述壓力容器結(jié)構(gòu)分布負(fù)載，從而允許所述壓力容器承受高壓及高溫應(yīng)用。所述箍環(huán)狀結(jié)構(gòu)可提高箍環(huán)應(yīng)力以拉緊所述第一側(cè)壁、所述第二側(cè)壁、所述第三側(cè)壁及所述第四側(cè)壁?？商峁┮换蚨鄠€(gè)張力部件。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述張力部件可平行于所述第三側(cè)壁及所述第四側(cè)壁延伸并將所述介質(zhì)腔分為多個(gè)腔道?？稍谒龆鄠€(gè)腔道中的每一者中安置凈化元件。在一些實(shí)施例中，所述凈化元件可包括經(jīng)壓縮大體上矩形褶裥網(wǎng)片(pleatpack)，其經(jīng)布置使第一組褶裥尖端面向所述介質(zhì)腔的上游部分且第二組褶裥尖端面向所述介質(zhì)腔的下游部分。所述凈化器匣可進(jìn)一步包括沿所述第一側(cè)壁安置的第一組主流動(dòng)通道及沿所述第二側(cè)壁安置的第二組主流動(dòng)通道。所述第一組主流動(dòng)通道及所述第二組主流動(dòng)通道可在所述多個(gè)腔道的相對(duì)側(cè)上與所述多個(gè)腔道對(duì)準(zhǔn)。所述第一組主流動(dòng)通道中的每一者可經(jīng)流體耦合到所述第一端口且經(jīng)配置以與所述多個(gè)腔道的第一側(cè)交換流體，且所述第二組主流動(dòng)通道中的每一者可經(jīng)流體耦合到所述第二端口且經(jīng)配置以與所述多個(gè)腔道的第二側(cè)交換流體。可在所述第一組主流動(dòng)通道中安置第一組子通道且可在所述第二組主流動(dòng)通道中安置第二組子通道。所述第一組主流動(dòng)通道可包含連接到所述第一組子通道的第一組充氣室，且所述第二組主流動(dòng)通道可包含連接到所述第二組子通道的第二組充氣室。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述主體包括：第一側(cè)蓋，其包括所述第一側(cè)壁并界定所述第一組主流動(dòng)通道；第二側(cè)蓋，其包括所述第二側(cè)壁并界定所述第二組主流動(dòng)通道；及主殼體。所述主殼體可進(jìn)一步包括底座，其具有開(kāi)口以允許流體在所述多個(gè)腔道與所述第二組流動(dòng)通道之間流動(dòng)。所述主殼體可進(jìn)一步包括所述第三側(cè)壁、所述第四側(cè)壁及一組張力部件。所述第二側(cè)蓋可耦合到所述底座且所述第一側(cè)蓋可耦合到所述第三側(cè)壁的遠(yuǎn)端、所述第四側(cè)壁的遠(yuǎn)端及所述張力部件的遠(yuǎn)端，且所述第二側(cè)蓋耦合到所述底座。所述凈化器匣可進(jìn)一步包含第一端帽及第二端帽。端帽可包含端口接頭，其具有一組端口接頭外螺紋，例如經(jīng)配置以接合連接螺母的內(nèi)螺紋的多線螺紋。連接系統(tǒng)及接頭可包含對(duì)準(zhǔn)特征以有助于確保所述接頭外螺紋及所述連接螺母內(nèi)螺紋適當(dāng)對(duì)準(zhǔn)。所述連接系統(tǒng)及所述匣可包含對(duì)準(zhǔn)特征。在一個(gè)實(shí)施例中，所述接頭的所述對(duì)準(zhǔn)特征可包含對(duì)準(zhǔn)肋且安置在旋轉(zhuǎn)部件中的狹槽容納所述對(duì)準(zhǔn)肋。所述對(duì)準(zhǔn)肋及所述狹槽可經(jīng)配置使得所述旋轉(zhuǎn)部件在所述對(duì)準(zhǔn)肋可進(jìn)入所述狹槽之前旋轉(zhuǎn)到某個(gè)角度(例如，對(duì)應(yīng)于其中所述螺紋對(duì)準(zhǔn)的位置)。所述對(duì)準(zhǔn)肋及所述狹槽可呈螺旋狀。所述連接螺母可包含所述連接系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)特征。在一個(gè)實(shí)施例中，所述連接螺母可包含第一對(duì)準(zhǔn)特征且所述端口接頭可包括分開(kāi)以對(duì)準(zhǔn)所述連接螺母的所述第一對(duì)準(zhǔn)特征的第二對(duì)準(zhǔn)特征。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述第一對(duì)準(zhǔn)特征可為一組內(nèi)突出體且所述第二對(duì)準(zhǔn)特征可為一組缺口(例如，界定在端口肋中或其它處)。所述第二對(duì)準(zhǔn)特征可與一組端口接頭外螺紋的螺紋線分開(kāi)，使得除非所述連接螺母的所述對(duì)準(zhǔn)特征配接所述接頭的所述對(duì)準(zhǔn)特征(例如，所述內(nèi)突出體是由所述缺口容納)，否則連接螺母內(nèi)螺紋不能接合所述組端口接頭外螺紋。在一些情況下，所述連接系統(tǒng)的所述對(duì)準(zhǔn)特征在所述連接螺母可旋轉(zhuǎn)之前行進(jìn)穿過(guò)所述接頭的所述對(duì)準(zhǔn)特征(或反之亦然)。所述對(duì)準(zhǔn)特征可經(jīng)配置使得只有某些匣裝配在某些歧管(或歧管內(nèi)的特定位置)中(例如，以確保適當(dāng)匣用于某些應(yīng)用)。例如，缺口組及所述內(nèi)突出體可在不同接頭/連接螺母的幾何形狀、間隔或其它方面中有所變更。另一實(shí)施例可包括端帽，其經(jīng)配置以接合連接系統(tǒng)，所述連接系統(tǒng)具有連接系統(tǒng)接頭及具備多線內(nèi)螺紋的連接螺母。所述端帽可包含第一端口接頭，其具有經(jīng)配置以接合所述連接螺母多線內(nèi)螺紋的一組多線外螺紋。所述連接螺母內(nèi)螺紋可經(jīng)配置以在旋轉(zhuǎn)小于360度的情況下在所述第一端口接頭與另一接頭之間產(chǎn)生密封。在一些實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)小于360度可導(dǎo)致至少360度或更大螺紋式接合，且在其它實(shí)施例中可導(dǎo)致小于360度螺紋式接合。所述螺紋式接合可提供足以在所述接頭之間產(chǎn)生密封的圓周軸向密封力(例如，至少360度或在一些情況下小于360度的軸向密封力)。所述端帽的接頭還可包含與所述第一端口接頭的開(kāi)口分開(kāi)的對(duì)準(zhǔn)肋。在一個(gè)實(shí)施例中，所述對(duì)準(zhǔn)肋可界定一組分開(kāi)缺口，所述分開(kāi)缺口經(jīng)定位以在所述連接螺母的選定角位置中對(duì)準(zhǔn)所述連接螺母的內(nèi)突出體。所述肋可與所述組多線外螺紋的螺紋線分開(kāi)，使得除非所述內(nèi)突出體行進(jìn)穿過(guò)所述分開(kāi)缺口，否則所述連接螺母多線內(nèi)螺紋不能接合所述多線外螺紋。在另一實(shí)施例中，所述對(duì)準(zhǔn)肋可經(jīng)分開(kāi)以對(duì)準(zhǔn)在所述連接系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)臂中的狹槽。本文中描述的實(shí)施例通過(guò)提供緊湊凈化器匣而提供優(yōu)點(diǎn)，所述緊湊凈化器匣可提供相當(dāng)于具有相同隔膜面積的圓柱形凈化器的凈化、流速及壓降但包裝更緊湊。具有較小大小的凈化器匣甚至可用可變形材料(例如全氟烷氧基聚合物(PFA))及用于半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的其它此類材料來(lái)實(shí)現(xiàn)。本文中描述的實(shí)施例通過(guò)最大化折疊式凈化器(例如折疊式多微孔聚合物隔膜)的有效性提供另一優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于矩形褶裥網(wǎng)片，褶裥網(wǎng)片密度可在所述裝置內(nèi)保持均勻，從而最大化凈化面積的有效性。對(duì)于具有相同凈化面積的裝置，矩形褶裥網(wǎng)片將表現(xiàn)如同其具有多于圓形折疊式隔膜的凈化面積。作為使用矩形褶裥網(wǎng)片的實(shí)施例的另一優(yōu)點(diǎn)，矩形形狀褶裥網(wǎng)片大體上允許褶裥高于圓形凈化器匣的褶裥。因此，矩形褶裥網(wǎng)片可更好地填充體積并與圓形褶裥網(wǎng)片相比提供更均勻形狀，借此減小矩形褶裥網(wǎng)片裝置的封套尺寸。作為另一優(yōu)點(diǎn)，實(shí)施例可減小凈化器堵塞。在許多當(dāng)前凈化系統(tǒng)中，單一凈化器負(fù)責(zé)凈化整個(gè)流體流。因此，基于要凈化的最精細(xì)顆粒大小選擇所使用的凈化器。這意味著精細(xì)粒度(通常昂貴的)凈化器是用以凈化大顆粒及小顆粒兩者，從而導(dǎo)致不適當(dāng)堵塞。然而，本文中描述的凈化系統(tǒng)的實(shí)施例允許連續(xù)凈化，從而提供優(yōu)于其中使用單一凈化器的傳統(tǒng)凈化系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)。在最后一個(gè)凈化器之前，可使用其它可能更便宜的凈化器以預(yù)凈化去除較大顆粒及其它污染物。這可導(dǎo)致減小惡化或擴(kuò)大最終凈化器的容量。作為另一優(yōu)點(diǎn)，許多制造商(例如，半導(dǎo)體制造商)使用遍及制造系統(tǒng)分布(例如，分布在進(jìn)入點(diǎn)處、底板中、制造工具處)的凈化系統(tǒng)。允許以單一凈化單元連續(xù)凈化的凈化系統(tǒng)可避免需要多個(gè)分離凈化系統(tǒng)且允許在制造系統(tǒng)中的單一點(diǎn)處發(fā)生所有凈化。作為又另一優(yōu)點(diǎn)，實(shí)施例可提供一種用于流體接頭的快速連接機(jī)構(gòu)，且在一些實(shí)施例中可提供一種允許同時(shí)密封多個(gè)接頭的快速連接系統(tǒng)。在一些情況下，即使端口位于凈化器匣后面且遠(yuǎn)離用戶，所述快速連接系統(tǒng)仍然可允許所述用戶密封所述端口。此外，所述快速連接可不具備O形環(huán)，從而改善污染物控制并提供更可靠的較高溫操作。附圖說(shuō)明包含隨附本說(shuō)明書并形成其部分的圖式以描繪本發(fā)明的實(shí)施例的某些方面。通過(guò)參考所述圖式中說(shuō)明的示范性且因此非限制性實(shí)施例將更加容易明白本發(fā)明的更清晰印象及具備本發(fā)明的系統(tǒng)的組件及操作的更清晰印象，其中相同參考數(shù)字指定相同組件。注意，所述圖式中說(shuō)明的特征不一定按比例繪制。圖1A到1B是匣的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖2是匣主體的一個(gè)實(shí)施例的視圖的圖形表示。圖3是側(cè)蓋的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖4A到4B是側(cè)蓋及端帽的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖5是通過(guò)系統(tǒng)的流動(dòng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖6是匣中的應(yīng)力的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖7是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖8A到8B是側(cè)蓋及端帽的另一實(shí)施例的圖形表示。圖9是通過(guò)匣的另一實(shí)施例的流動(dòng)的圖形表示。圖10是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖11是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖12是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖13A到13B是端帽的實(shí)施例的圖形表示。圖14是端帽的實(shí)施例的圖形表示。圖15A到15D是端帽的實(shí)施例的圖形表示。圖16是主殼體及腔道蓋的另一實(shí)施例的圖形表示。圖17A到17B是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖18A到18B是匣的又另一實(shí)施例的圖形表示。圖19是匣的另一實(shí)施例的橫截面的圖形表示。圖20A到20B是側(cè)蓋的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖21A到21B是側(cè)蓋的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖22是介質(zhì)蓋的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖23是介質(zhì)蓋的另一實(shí)施例的圖形表示。圖24A到24B是主體的一部分的圖形表示。圖25A到25B是匣的一部分的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖26A到26B是匣的一部分的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖27A到27D是凈化器匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖28是凈化器匣的視圖的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖29A到29B是主殼體的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖30A到30B是主殼體的另一實(shí)施例的圖形表示。圖31是主殼體及介質(zhì)蓋的實(shí)施例的圖形表示。圖32是主殼體及介質(zhì)蓋的實(shí)施例的另一視圖的圖形表示。圖33是具有側(cè)蓋的主殼體及介質(zhì)蓋的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖34A到34D是凈化器匣的一個(gè)實(shí)施例的視圖的圖形表示。圖35是凈化器匣的一個(gè)實(shí)施例的橫截面視圖的圖形表示。圖36是凈化器匣的一個(gè)實(shí)施例的另一視圖的圖形表示。圖37是入口開(kāi)口的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖38A到38C是主殼體的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖39是主殼體及介質(zhì)蓋的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖40是主殼體、介質(zhì)蓋及側(cè)蓋的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖41是處于非接合狀態(tài)的連接系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖42是處于接合狀態(tài)的連接系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖43是連接系統(tǒng)的另一實(shí)施例的圖形表示。圖44A到44B是連接系統(tǒng)的另一實(shí)施例的圖形表示。圖45是連接外殼的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖46A是連接螺母的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖46B是連接螺母及接頭的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖47A到47B是傳動(dòng)系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖48是對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖49A到49C是傳動(dòng)系統(tǒng)的另一實(shí)施例的圖形表示。圖50是連接系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖51是連接系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的視圖的圖形表示。圖52是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖53是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖54是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖55是匣的另一實(shí)施例的圖形表示。圖56是使用大體上矩形匣對(duì)照傳統(tǒng)圓柱形匣的過(guò)濾系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。具體實(shí)施方式參考附圖中說(shuō)明且下列描述中詳述的非限制性實(shí)施例將更加完整地解釋凈化系統(tǒng)及其各種特征及有利細(xì)節(jié)。省略眾所周知的起始材料、處理技術(shù)、組件及設(shè)備的描述以免不必要地在細(xì)節(jié)方面混淆本發(fā)明。然而，應(yīng)了解，在指示優(yōu)選實(shí)施例時(shí)，詳細(xì)描述及特定實(shí)例是只通過(guò)說(shuō)明的方式且非通過(guò)限制的方式給定。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明將明白基礎(chǔ)概念的精神及/或范圍內(nèi)的各種替代、修改、添加及/或重新布置。如本文中使用，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”、“具有”或其任何其它變體旨在涵蓋非排斥包含。例如，包括一系列元件的過(guò)程、物品或設(shè)備不一定只限于所述元件，但是可包含未明確列出或此過(guò)程、物品或設(shè)備固有的其它元件。此外，除非明確說(shuō)明相反的情形，否則“或”是指包含性或而非排斥性或。例如，以下任何一者滿足條件A或B：A為真(或存在)且B為假(或不存在)，A為假(或不存在)且B為真(或存在)，以及A及B皆為真(或存在)。此外，本文中給定的任何實(shí)例或說(shuō)明無(wú)論如何均不會(huì)被視為約束、限于搭配其使用的任何術(shù)語(yǔ)或表達(dá)其定義。相反，此類實(shí)例或說(shuō)明被視為相對(duì)于一個(gè)特定實(shí)施例描述且只被視為說(shuō)明性。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將明白，搭配這些實(shí)例或說(shuō)明使用的任何術(shù)語(yǔ)將涵蓋可由或不一定由任何術(shù)語(yǔ)或說(shuō)明書中其它處給定的其它實(shí)施例，且所有此類實(shí)施例旨在包含于所述術(shù)語(yǔ)的范圍內(nèi)。指定此類非限制性實(shí)例及說(shuō)明的用語(yǔ)包含(但不限于)：“例如”、“在一個(gè)實(shí)施例中”。為便于解釋，可相對(duì)于第一軸(x軸)、第二軸(y軸)及第三軸(z軸)描述實(shí)施例。此外，實(shí)施例可被稱作具頂部、底部、前部、后部、左側(cè)及右側(cè)以及高度、深度及寬度。這些軸及術(shù)語(yǔ)是通過(guò)解釋方式提供。可以其它方式定向并配置實(shí)施例。此外，雖然某些項(xiàng)目可被稱作“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等等(例如，第一側(cè)壁、第二側(cè)壁)，但是應(yīng)了解此類術(shù)語(yǔ)是用于解釋且多個(gè)此類項(xiàng)目中的任一者均可被視為“第一”、“第二”等等。本文中描述的實(shí)施例涉及緊湊型大體上矩形壓力容器，其包含能夠從液體移除如顆粒、離子、氣體等等的污染物的凈化器匣。更特定地說(shuō)，一些實(shí)施例涉及用于凈化多種流體(包含(但不限于)半導(dǎo)體工藝流體，例如用于濕式蝕刻及清洗應(yīng)用的化學(xué)物質(zhì))的凈化器匣。在其它實(shí)例中，實(shí)施例可應(yīng)用于凈化光刻處理中的化學(xué)物質(zhì)(光化學(xué)物質(zhì))。光化學(xué)物質(zhì)包含例如底材(primer)、助粘劑、光致抗蝕劑、邊珠去除劑(edgebeadremover)、抗反射涂層、顯影劑、電介質(zhì)等等的材料?？稍谑褂命c(diǎn)(POU)、底板或其它處凈化化學(xué)物質(zhì)。凈化器匣還可用以過(guò)濾其它液體，包含漿體。凈化器匣可包含從工藝液體或其它流體添加或移除材料的凈化元件。凈化元件或凈化器元件是指可從液體或其它流體添加或移除材料的任何凈化介質(zhì)。例如，可由介質(zhì)移除的污染物包含(但不限于)顆粒、凝膠、分子污染物、離子、溶解氣體、氣泡或此類的組合。可添加的材料可包含如臭氧及二氧化碳的氣體。如本文中使用的過(guò)濾是指從液體或其它流體移除污染物的所有或部分的動(dòng)作或步驟。凈化可包含(但不限于)機(jī)篩、靜電、化學(xué)鍵結(jié)、離子交換、螯合作用、吸收、脫氣及此類的組合。介質(zhì)是指從液體或其它流體移除污染物或?qū)⒉牧限D(zhuǎn)移到液體或其它流體中的材料或材料組合。介質(zhì)可包含(但不限于)用于移除顆粒的多孔隔膜；用于脫氣液體的無(wú)孔隔膜；具有離子交換基團(tuán)或配位基的多孔隔膜，或隔膜內(nèi)含有離子交換介質(zhì)的多孔隔膜，或囊封離子交換、吸收或用于移除液體中的離子或殘留物的其它反應(yīng)性微粒介質(zhì)(例如(但不限于)硅珠粒、離子交換珠?；蚧钚蕴?的多孔隔膜。介質(zhì)可為多孔介質(zhì)(例如，用于過(guò)濾)或無(wú)孔介質(zhì)(例如，用于氣體交換)。在一些實(shí)施例中，介質(zhì)可用以將材料轉(zhuǎn)移到例如液體的工藝流體中。實(shí)例將包含用于對(duì)液體添加臭氧氣體或二氧化碳?xì)怏w的多孔或無(wú)孔隔膜。在各種實(shí)施例中，凈化器匣含有一或多種介質(zhì)。凈化介質(zhì)可包含隔膜。實(shí)例隔膜包含(但不限于)由聚合物材料制成的隔膜。實(shí)例可包含(但不限于)聚烯烴，如超高分子量聚乙烯、聚丙烯及高密度聚乙烯；鹵化聚烯烴，例如聚四氟乙烯及聚偏二氟乙烯；全氟化聚合物，如全氟烷氧基聚合物(PFA)及氟化乙烯丙烯(FEP)；聚砜、包含尼龍6,6的聚酰胺及聚酯。隔膜可為多孔、無(wú)孔或具有去皮表面(多孔或無(wú)孔)。多孔隔膜可為單層或多層且包含具有跨隔膜的厚度的對(duì)稱或不對(duì)稱(及組合)小孔大小的隔膜。隔膜可通過(guò)熔噴或電紡絲而澆鑄、擠壓或形成或可為由此類的組合制成的多層隔膜。聚合物結(jié)網(wǎng)材料及其它材料可連同隔膜一起折疊。在一些實(shí)施例中，無(wú)孔隔膜可用于熱量交換。在討論特定實(shí)施例之前，某種背景可能有用。在過(guò)濾半導(dǎo)體制造流體時(shí)，通常需要平衡顆粒保留或污染物移除、流速、大小及跨過(guò)濾器的壓降。隨著保留或污染物移除或流速增加，過(guò)濾器的大小也可增加以減小增加的壓降。例如，對(duì)于給定過(guò)濾介質(zhì)，將小孔大小減小50％可使流阻增加400％。這意味著為了維持所需流速，過(guò)濾器中的壓降將大幅增加。為了補(bǔ)償壓降增加，因此可能必須增加過(guò)濾器外殼的大小及對(duì)應(yīng)隔膜面積。然而，大型過(guò)濾器的使用歸因于空間約束或其它考慮而可能非所需或不可行。常規(guī)上，圓柱形過(guò)濾器表示大小、保留或污染物移除、流速及壓力損失的良好的平衡。因此，半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)大體上采用圓柱形過(guò)濾器。避免矩形過(guò)濾器，因?yàn)榫匦芜^(guò)濾器中的應(yīng)力要求矩形過(guò)濾器經(jīng)制造大于相當(dāng)?shù)膱A柱形過(guò)濾器以實(shí)現(xiàn)相同過(guò)濾及流速。此外，認(rèn)為半導(dǎo)體制造過(guò)濾器中通常經(jīng)歷的壓力將造成典型的矩形設(shè)計(jì)中的高局部應(yīng)力。此類應(yīng)力將導(dǎo)致通常用于半導(dǎo)體制造裝置的非反應(yīng)性材料(例如全氟烷氧基聚合物(PFA)及聚四氟乙烯(PTFE))屈服，從而導(dǎo)致過(guò)濾器故障。本文中描述的實(shí)施例可提供一種凈化器匣，其具有呈緊湊設(shè)計(jì)的大體上矩形外形，與具有相當(dāng)?shù)倪^(guò)濾器介質(zhì)面積的圓柱形過(guò)濾器相比，所述凈化器匣可提供相當(dāng)或優(yōu)越的保留(或其它凈化)、流速及壓降。所述匣可進(jìn)一步提供較低外殼表面面積及無(wú)效體積以改善過(guò)濾性能。在一些實(shí)施例中，所述匣可由例如PFA的材料及其它非反應(yīng)性材料形成，且可因此適用于搭配半導(dǎo)體制造流體使用。RFID標(biāo)簽及其它特征可集成于凈化器匣中以促進(jìn)編程操作并促進(jìn)由機(jī)器人進(jìn)行過(guò)濾器替換。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，匣可配置為凈化器匣?？墒褂枚喾N凈化器元件，包含由隔膜形成以過(guò)濾液體或其它流體的折疊式過(guò)濾器。隔膜可經(jīng)選擇以實(shí)現(xiàn)所需顆粒大小保留或其它凈化結(jié)果。對(duì)于一些半導(dǎo)體制造應(yīng)用，可選擇具有20納米、15納米、10納米或更小的顆粒大小保留的多孔隔膜。對(duì)于亞15納米保留，可將相對(duì)較高流速維持在這些保留額定(包含(但不限于)大于每分鐘15公升)。例如，可由介質(zhì)移除的污染物包含(但不限于)顆粒、凝膠、分子污染物、離子、溶解氣體、氣泡或此類的組合。半導(dǎo)體制造中經(jīng)歷的另一問(wèn)題是缺少適當(dāng)快速連接接頭?？沙惺茌^高壓力的許多接頭必須旋轉(zhuǎn)若干次以完成密封。此類連接尤其難以在狹小空間中使用，且無(wú)法促進(jìn)由機(jī)器人進(jìn)行過(guò)濾器替換。為此，本文中描述的實(shí)施例進(jìn)一步提供一種快速連接接頭，其可用于多種應(yīng)用，包含半導(dǎo)體制造系統(tǒng)?？焖龠B接接頭可提供非O形環(huán)密封。非O形環(huán)設(shè)計(jì)可減小污染物并提供更可靠的高溫操作。快速連接接頭可進(jìn)一步提供防止插入錯(cuò)誤或不正確就位的特征。應(yīng)注意，凈化器匣可包含如上文討論般執(zhí)行凈化的任何適當(dāng)凈化介質(zhì)。在一些情況下，匣可經(jīng)配置用于其它應(yīng)用，例如熱量交換或其它應(yīng)用。圖1A及1B是凈化器匣100的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。為討論的目的，將就第一端120(頂端)、第二端122(底端)、第一側(cè)123(前側(cè))、第二側(cè)124(后側(cè))、第三側(cè)125及第四側(cè)126描述凈化器匣。凈化器匣100具有具備大體上矩形外形的主體102、第一端帽104及第二端帽106。主體102可提供其中安置凈化器元件的內(nèi)部腔。端帽104及端帽106提供經(jīng)流體耦合到內(nèi)部腔的端口(例如，第一端口108、第二端口110、第三端口112及第四端口114中的一或多者)。取決于凈化器匣100的配置，所述一或多個(gè)端口中的任一者可用作入口端口、出口端口、排氣端口、排放端口或其它類型的端口。在一些情況下，所述端口可經(jīng)放置使得可顛倒凈化器匣(例如，凈化器匣可在端120作為頂部且端122作為底部(或反之亦然或在另一定向上)的情況下配接到歧管)?？墒褂萌魏芜m當(dāng)機(jī)構(gòu)(包含(但不限于)通過(guò)音波粘結(jié)、熱粘結(jié)、粘著劑或其它連結(jié)方案或通過(guò)機(jī)械緊固件或其組合進(jìn)行的連結(jié))將各種外殼組件耦合在一起。在其它實(shí)施例中，端口接頭可在內(nèi)部具有螺紋或不具備螺紋。如所描繪，端口在x-y平面中開(kāi)向匣100后面且穿過(guò)端口的主要流徑平行于z軸。端帽上的端口在x及y軸兩者上彼此偏離。由于端口沿y軸偏離，因此端帽可能較為狹窄，從而允許凈化器匣100的總寬度(例如，x方向上的大小)保持較小。雖然說(shuō)明兩個(gè)端帽，但是凈化器匣可具有一個(gè)端帽，而另一端被密封。在其它實(shí)施例中，端口可安置在匣的側(cè)壁中或其它處且未使用端帽。如圖1A中描繪，端口接頭可包含端口接頭外螺紋以接合歧管或其它組件的螺紋。此外，端口接頭可包含從端帽的表面延伸且從相應(yīng)端口開(kāi)口(例如，端口108及端口112)后移的徑向突出端口肋(例如，徑向肋130及徑向肋132)。徑向肋130及徑向肋132可用作對(duì)準(zhǔn)特征且有助于確保如下討論般進(jìn)行密封連接。在一些實(shí)施例中，不存在徑向肋。徑向肋的一個(gè)實(shí)例是下文結(jié)合圖49討論的螺旋肋。然而，徑向肋130及徑向肋132還可具有其它配置。端帽可包含例如對(duì)準(zhǔn)孔、軌道、導(dǎo)槽或類似物的特征以接合歧管組合件上的互補(bǔ)特征以有助于確保適當(dāng)?shù)胤胖脙艋飨?。在圖1A的實(shí)施例中，端帽104包含對(duì)準(zhǔn)孔134且端帽106包含開(kāi)向匣100前面的對(duì)準(zhǔn)孔136以容納歧管的導(dǎo)銷(例如，例如下文討論的對(duì)準(zhǔn)把手或其它導(dǎo)軌)。對(duì)準(zhǔn)孔134/136可容納歧管的對(duì)應(yīng)導(dǎo)軌以垂直定位并固持匣100。端帽104可進(jìn)一步包含對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口140且端帽106可包含對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口142。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口140軸向?qū)?zhǔn)端口108，且對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口142軸向?qū)?zhǔn)端口112。對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口140及對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口142可如下文討論般容納傳動(dòng)手柄的對(duì)準(zhǔn)柱。匣100的外側(cè)壁可進(jìn)一步包含可用以支撐并對(duì)準(zhǔn)匣的軸肩138。例如，軸肩138可接觸歧管的導(dǎo)引臂或其它對(duì)準(zhǔn)特征以有助于對(duì)準(zhǔn)并支撐匣100。如下文討論，匣100可包含用于方便安全地處置的額外特征(例如標(biāo)簽、手柄等等)。作為一個(gè)實(shí)例，可在匣100與端口開(kāi)口相對(duì)的側(cè)上安置腳座或平坦表面以允許匣100擱在表面上使得端口開(kāi)口面向上且不傾倒。圖2是從某個(gè)端觀察的主體102的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示(例如，移除端帽106)。主體102可界定介質(zhì)腔。介質(zhì)腔可隔離為腔道，其中每一腔道中安置凈化器元件225。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，平行腔道在x-z平面及x-y平面中具有大體上矩形(包含正方形)外形。雖然展示三個(gè)腔道，但是凈化器匣可具有更多或更少個(gè)腔道。腔道可經(jīng)密封使其彼此阻隔使得流體未在腔道之間流動(dòng)。在其它實(shí)施例中，可提供開(kāi)口使得流體可在隔離腔道之間流動(dòng)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，主體102包括第一側(cè)蓋210、第二側(cè)蓋220、主殼體230及腔道蓋240(指示其中的一者)。主殼體230、第一側(cè)蓋210、第二側(cè)蓋220及端帽可使用緊固件、音波粘結(jié)、干涉配合或其它耦合機(jī)構(gòu)耦合在一起，且可協(xié)同以形成介質(zhì)腔及平行腔道。主殼體230提供在外側(cè)壁234與外側(cè)壁236之間延伸的底座232及從底座232延伸的一組分開(kāi)張力部件238。側(cè)壁234、側(cè)壁236、側(cè)蓋210及側(cè)蓋220可形成內(nèi)腔的側(cè)壁。主殼體側(cè)壁及張力部件238可沿長(zhǎng)軸在腔內(nèi)延伸某個(gè)長(zhǎng)度以形成腔道側(cè)壁。底座232介于腔道側(cè)壁之間(例如，外側(cè)壁234/236與張力部件238之間及兩個(gè)張力部件238之間)的部分形成集成腔道蓋239，其包括格柵以允許流體流入或流出對(duì)應(yīng)腔道。在一些實(shí)施例中，支撐部件252可延伸格柵的長(zhǎng)度以提供額外支撐。在一些情況下，支撐部件252可被分成不連續(xù)區(qū)段以允許格柵的不同部分在用于組裝過(guò)程的熱量下獨(dú)立地膨脹或收縮。例如，多個(gè)格柵狹槽可全程跨集成腔道蓋239延伸，從而將支撐部件252分為若干區(qū)段。底座232的一側(cè)可包含促進(jìn)將側(cè)蓋220耦合到底座232的特征。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，底座提供可熱粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋220的部分的一組側(cè)蓋安裝表面。在相對(duì)側(cè)上，外側(cè)壁234、外側(cè)壁236及張力部件238遠(yuǎn)離底座232的端可提供促進(jìn)將側(cè)蓋210耦合到主殼體230的特征。例如，遠(yuǎn)端表面可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋210的部分的側(cè)蓋安裝表面。腔道蓋240跨越在每一主殼體側(cè)壁234/236與張力部件238之間或鄰近張力部件238之間，且可延伸腔道的長(zhǎng)度以遮蓋腔道與底座232相對(duì)的側(cè)。腔道蓋240可包括包含延伸腔道蓋240的長(zhǎng)度的框架部件244的外框架及跨越在框架部件244之間的格柵部分。延伸格柵的長(zhǎng)度的支撐部件242可對(duì)腔道蓋240提供額外剛性。在一些情況下，支撐部件242可被分成不連續(xù)區(qū)段以允許格柵的不同部分在熱量下獨(dú)立地膨脹或收縮。腔道蓋240中的開(kāi)口可相同或不同于底座232的集成腔道蓋239中的開(kāi)口?？蚣懿考?44面向側(cè)蓋210的表面可提供側(cè)蓋安裝表面以促進(jìn)側(cè)蓋210的耦合。例如，側(cè)蓋安裝表面可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋210的一部分的表面。腔道蓋240還可包含耦合特征以促進(jìn)使用卡扣配合、干涉配合、音波粘結(jié)或根據(jù)任何適當(dāng)耦合機(jī)構(gòu)將腔道蓋240耦合到主殼體230。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，腔道蓋240可包含從框架部件244突出的舌狀物246。舌狀物246容納在相應(yīng)外側(cè)壁234/236或張力部件238的對(duì)應(yīng)凹槽中以將腔道蓋240卡住在適當(dāng)位置中。如圖2中描繪，在凈化器元件225的上游側(cè)及下游側(cè)兩者上提供腔道蓋(例如，呈腔道蓋240及集成腔道蓋239的形式)。在其它實(shí)施例中，只在凈化器元件225的一側(cè)上提供腔道蓋。在又另一實(shí)施例中，完全不使用腔道蓋。具有腔道蓋以遮蓋凈化器元件225的上游側(cè)及下游側(cè)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是：可在正向流動(dòng)及反向流動(dòng)中支撐凈化器元件225，從而允許匣在任一流動(dòng)方向上類似地運(yùn)行。側(cè)蓋210可包含側(cè)支撐部件260、對(duì)準(zhǔn)張力部件238的一組分開(kāi)肋262，且可包含對(duì)準(zhǔn)介質(zhì)蓋支撐部件242的一組分開(kāi)肋263。在圖1A及1B的定向上，側(cè)支撐部件沿側(cè)蓋210的前側(cè)(側(cè)123)及后側(cè)(側(cè)124)邊緣延伸。側(cè)蓋220可類似地包含側(cè)支撐部件270、對(duì)準(zhǔn)張力部件238的一組分開(kāi)肋272及大體上對(duì)準(zhǔn)第二腔道蓋的支撐部件252的一組分開(kāi)肋273?？裳貍?cè)壁安置流動(dòng)通道。為此，側(cè)支撐部件260、分開(kāi)肋262及分開(kāi)肋263可延伸某個(gè)長(zhǎng)度并協(xié)同以形成一組平行流動(dòng)通道264，其沿其長(zhǎng)度開(kāi)向腔道蓋240。類似地，側(cè)支撐部件270、分開(kāi)肋272及分開(kāi)肋273可延伸某個(gè)長(zhǎng)度并協(xié)同以形成一組平行流動(dòng)通道274，其沿其長(zhǎng)度開(kāi)向腔道蓋239。流動(dòng)通道的端可經(jīng)流體耦合到入口端口、出口端口、排氣端口或排放端口中的一或多者。雖然每個(gè)腔道描繪兩個(gè)流動(dòng)通道，但是匣的每個(gè)腔道可具有單一流動(dòng)通道。例如，可省略肋狀物263及273或肋狀物263/273與相應(yīng)腔道蓋之間可存在間隙。其它實(shí)施例的每個(gè)腔道可具有額外流動(dòng)通道。流動(dòng)通道264及274可具有任何所需形狀及大小，且相同側(cè)或相對(duì)側(cè)上的不同流動(dòng)通道可具有不同配置。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，流動(dòng)通道可呈弧形、橢圓形或圓形以沿界定通道的側(cè)蓋內(nèi)側(cè)產(chǎn)生一系列拱形件。圓形或橢圓形形狀可產(chǎn)生箍環(huán)應(yīng)力以拉緊主體，從而最大化其強(qiáng)度能力。每一側(cè)蓋上的一些分開(kāi)肋分開(kāi)以對(duì)準(zhǔn)張力部件238。這些肋狀物的內(nèi)表面可耦合到張力部件的端。例如，肋狀物272的內(nèi)表面可在張力部件238的底座處耦合到主殼體230且肋狀物262的內(nèi)表面可耦合到張力部件238的遠(yuǎn)端。因此，當(dāng)壓力容器腔受到壓力時(shí)，張力部件238將在側(cè)蓋210及220上施加某個(gè)力以減小或防止側(cè)蓋210及220彎曲。張力部件238的大小及配置可經(jīng)選擇使得在期望操作壓力下，壓力容器腔的體積變形小于所需百分比。其它分開(kāi)肋可對(duì)準(zhǔn)腔道蓋的支撐部件242(例如，分開(kāi)肋263對(duì)準(zhǔn)腔道蓋240的支撐部件242且分開(kāi)肋273對(duì)準(zhǔn)腔道蓋239的支撐部件252)。肋狀物263及273的端可耦合到相應(yīng)支撐部件242/252，或肋狀物263及273的端與相應(yīng)支撐部件之間可保留間隙。主體102可包括更好地分布力的一系列箍環(huán)狀結(jié)構(gòu)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，內(nèi)表面中平行于腔道延伸的過(guò)渡部是彎曲的。因此，例如，側(cè)蓋210的拐角280、側(cè)蓋220的拐角290及流動(dòng)通路關(guān)于平行于腔道的軸是彎曲的。此外，主殼體側(cè)壁234及236具有彎曲外部，且側(cè)蓋210及220在從側(cè)125到側(cè)124及側(cè)123的過(guò)渡部及從側(cè)126到側(cè)124及側(cè)123的過(guò)渡部處具有彎曲拐角。圍繞腔道的箍環(huán)狀結(jié)構(gòu)在腔室中產(chǎn)生壓力以造成至少部分箍環(huán)應(yīng)力(法向于正切于曲率的方向上的壓力的應(yīng)力)且分布應(yīng)力。效應(yīng)可能是在中心腔道上方于側(cè)蓋210及側(cè)蓋220中產(chǎn)生張力且沿側(cè)壁的中心軸于側(cè)壁234及236中產(chǎn)生張力。箍環(huán)狀結(jié)構(gòu)的配置可經(jīng)選擇使得馮米斯應(yīng)力(vonMisesstress)小于側(cè)蓋210、側(cè)蓋220、側(cè)壁234及側(cè)壁236以及張力部件、過(guò)濾器蓋及其它特征及當(dāng)加壓主體時(shí)經(jīng)歷此應(yīng)力的配接位置的屈服應(yīng)力。如上文討論，腔道可提供凈化器元件固持區(qū)域以固持凈化器元件225。凈化器元件225可為多孔聚合物隔膜的褶裥網(wǎng)片，其經(jīng)折疊使得隔膜褶裥的長(zhǎng)度平行于匣的長(zhǎng)軸。褶裥尖端可經(jīng)定向使得一側(cè)上的褶裥尖端指向側(cè)蓋210，而相對(duì)褶裥尖端經(jīng)定向以指向側(cè)蓋220使得褶裥尖端鄰接相應(yīng)腔道蓋。在此布置中，一組褶裥尖端面向腔的上游部分且另一組褶裥尖端面向腔的下游部分。凈化器元件225可為分離凈化器元件，或凈化器元件中的每一者可為同一連續(xù)褶裥網(wǎng)片的部分，使得(例如)一個(gè)凈化器元件225的最后的褶裥過(guò)渡到下一個(gè)凈化器元件225的第一褶裥中，且所述凈化器元件的最后的褶裥過(guò)渡到下一個(gè)凈化器元件225的第一褶裥中，以這些推。每一凈化器元件的褶裥可由單一隔膜或多個(gè)隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。優(yōu)選地，褶裥壓縮在一起并在上游側(cè)上形成大體上平坦矩形入口界面且在下游側(cè)上形成大體上平坦矩形出口界面。腔道中給定隔膜區(qū)域的隔膜褶裥壓縮量可經(jīng)選擇以優(yōu)化所需壓降對(duì)流速。在一些實(shí)施例中，腔道蓋(例如，腔道蓋240)可經(jīng)輪廓化以增加所暴露的褶裥網(wǎng)片的表面面積，這可呈現(xiàn)輪廓化形狀。圖3是側(cè)蓋220的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示，側(cè)蓋220可與側(cè)蓋210相似或可不同。側(cè)蓋220包括側(cè)支撐部件270、中間肋272及中間肋273。側(cè)支撐部件270、中間肋272及中間肋273的內(nèi)表面可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合到其它組件的安裝表面。側(cè)蓋220還可包含可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合到端帽的端帽安裝表面的端表面302。側(cè)支撐部件270及分開(kāi)中間肋272可形成對(duì)準(zhǔn)腔道的一組主流動(dòng)通道304，且分開(kāi)中間肋273可在主流動(dòng)通道內(nèi)形成一組子通道274。主流動(dòng)通道304可在一端或兩端處包括充氣室區(qū)域(例如，充氣室區(qū)域310及充氣室區(qū)域311)。充氣室區(qū)域310可為具有大于子通道274的橫截面面積的區(qū)域(例如，從所述端觀察時(shí))且可用以在減小損失的情況下將流體分布到子通道274且還幫助減小歸因于粘結(jié)溢料(bondingflash)或?qū)⒍嗣瘪詈系街黧w的錯(cuò)位造成的壓力損失效應(yīng)。在所描繪的實(shí)施例中，充氣室區(qū)域310具有具備圓形拐角290的大體上矩形橫截面(從所述端觀察時(shí))，而子通道274具有半圓形外形。增加充氣室區(qū)域310的入口橫截面可降低由側(cè)蓋220造成的壓降。例如，使用腔道蓋作為參考，其中充氣室區(qū)域310的內(nèi)表面312相距腔道蓋比子通道274的內(nèi)表面314的頂點(diǎn)相距腔道蓋遠(yuǎn)3毫米的配置提供的壓力損失與其中內(nèi)表面312及內(nèi)表面314的頂點(diǎn)與腔道蓋相距相同距離的配置相比有所降低。此外，將過(guò)渡部316塑形到子通道274中可減小壓降。因此，在充氣室區(qū)域310與次級(jí)流動(dòng)通路274之間包括內(nèi)圓角、倒角的過(guò)渡部或其它形狀的過(guò)渡部316可展現(xiàn)出小于銳利拐角的壓降，但是在一些實(shí)施例中可使用拐角。此外，如圖3中說(shuō)明，側(cè)蓋220還可包含從側(cè)支撐部件270的前側(cè)外表面突出的突片320。突片320可包含凹槽、開(kāi)口或其它特征以容納標(biāo)簽、手柄或如下文討論的其它組件。此外，蓋220的突片320與介質(zhì)蓋210(未展示)上的對(duì)應(yīng)突片一起作用可提供腳座，使得凈化器匣可放置在平坦表面上，使得端口面向上且不傾倒。圖4A及4B是耦合到端帽104及端帽106的側(cè)蓋220(圖4A)及側(cè)蓋210(圖4B)的一個(gè)實(shí)施例的橫截面的圖形表示。端帽106可包含在子通道274的一端處將端口腔室401流體耦合到充氣室310的端帽流動(dòng)通道400及在子通道264的一端處將充氣室410流體耦合到端口腔室403的第二端帽流動(dòng)通道402。端帽104可包含在子通道264的另一端處將端口腔室421流體耦合到充氣室411的流動(dòng)通道420及將充氣室311流體耦合到端口腔室423的第二流動(dòng)通道422。從圖4A及4B應(yīng)注意，端帽及側(cè)蓋可為所描繪的相同部分。在其它實(shí)施例中，所述兩個(gè)側(cè)蓋可具有不同特征或不對(duì)稱使得其不可互換。參考圖5，凈化器匣100的一個(gè)實(shí)施例的剖視圖，所述凈化器匣100具有粘結(jié)或以其它方式耦合到側(cè)蓋210、側(cè)蓋220及主殼體230(圖2)的端以形成密封外殼的端帽104及端帽106。端帽104具有可用作腔道的一端處的端壁的內(nèi)壁512，且端帽106可包含可用作腔道的另一端處的端壁的內(nèi)壁506。張力部件238及主殼體側(cè)壁的端可密封到端壁506及512。此外，過(guò)濾器隔膜的端還可通過(guò)(例如)用聚合物樹(shù)脂裝填接著粘結(jié)到端壁506及512而密封，使得過(guò)濾器隔膜的端與可讓流體流過(guò)的端壁之間不存在空間。端帽104包含形成通道420及端口腔室421的塑形腔及包括流動(dòng)通道422及端口腔室423的塑形腔。所描繪的實(shí)施例中的端口腔室421大體上是圓柱形且可呈錐形以在端口開(kāi)口處較寬。端口腔室421到流動(dòng)通道420的界面可偏離流動(dòng)通道420與充氣室411之間的界面。因此，流動(dòng)通道420可從端口腔室421向外成角度行進(jìn)到充氣室411。流動(dòng)通道420可具有與充氣室411的橫截面入口面積相同的恒定橫截面面積。在其它實(shí)施例中，流動(dòng)通道420可具有不同橫截面面積且可具有不同于充氣室411的橫截面面積的橫截面面積。在又另一實(shí)施例中，可將流動(dòng)通道420分為多個(gè)內(nèi)部通道。端帽106包含形成通道400及端口腔室401的塑形腔及包括流動(dòng)通道402及排放端口腔室403的塑形腔。所描繪的實(shí)施例中的端口腔室401大體上是圓柱形且可呈錐形以在端口開(kāi)口處較寬。端口腔室401到流動(dòng)通道400的界面可偏離流動(dòng)通道400與充氣室310之間的界面。因此，流動(dòng)通道400可從端口腔室401向外成角度行進(jìn)到充氣室310。流動(dòng)通道400可具有與充氣室310的橫截面入口面積相同的恒定橫截面面積。在其它實(shí)施例中，流動(dòng)通道400可具有不同橫截面面積且可具有不同于充氣室310的橫截面區(qū)域的橫截面面積。在又另一實(shí)施例中，可將流動(dòng)通道400分為多個(gè)內(nèi)部通道。端帽106可進(jìn)一步包含形成流動(dòng)通道402及排放端口腔室403的塑形腔。在圖5的實(shí)例中，液體供應(yīng)系統(tǒng)經(jīng)配置使得端口112是入口端口，端口108(圖1A)是出口端口，端口114(圖1A)是出口排放端口，且端口110是入口排氣端口。在操作中，流體可通過(guò)端口112進(jìn)入凈化器匣，通過(guò)流動(dòng)通道400從端口腔室401引導(dǎo)到充氣室310且分布到主流動(dòng)通道304及/或子通道274。流體流過(guò)腔道蓋239、在褶裥尖端-尖端方向上流過(guò)凈化器元件225且流過(guò)腔道蓋240而到側(cè)蓋210中的主流動(dòng)通道及/或子通道264。因此，凈化器匣可提供有效法向流動(dòng)過(guò)濾。在側(cè)蓋210中流動(dòng)的流體可在通道420及出口腔室421中合并。流體通過(guò)出口端口退出腔室421。流體中的氣體可上升到排氣端口(端口110)，且當(dāng)從凈化器匣移除壓力時(shí)，流體中的氣體可排出排放端口及出口端口(例如，啟動(dòng)時(shí))或入口端口。各種流徑經(jīng)配置以避免無(wú)效空間——即其中工藝流體可滯留的空間。因此，凈化器匣可提供增加的清潔度。關(guān)于排氣，主體102可由某種材料形成使得內(nèi)部表面比凈化器元件更親近氣體——或換句話來(lái)說(shuō)，凈化器元件可經(jīng)選擇以比外殼材料更疏遠(yuǎn)氣體——以促進(jìn)氣體對(duì)外殼側(cè)壁的親和力。例如(但非限制)，側(cè)蓋220材料與凈化器元件225之間的表面能量的差可大于10達(dá)因/平方厘米。因此，凈化器元件與側(cè)壁之間可存在表面能量梯度。因此，隨著流體沖洗側(cè)蓋220的內(nèi)部，流體中的氣體將被吸附到側(cè)壁。因此與氣體行進(jìn)穿過(guò)凈化器元件相比，氣體更加可能上升到過(guò)濾器排氣口。因此，入口排氣口可位于過(guò)濾器的上游側(cè)上的最高點(diǎn)處以有助于確保氣體不會(huì)被困。在圖5的實(shí)施例中，流動(dòng)通道經(jīng)配置使得流動(dòng)平行行進(jìn)穿過(guò)每一褶裥網(wǎng)片。然而，在其它實(shí)施例中，流動(dòng)通道可經(jīng)配置使得流體連續(xù)流過(guò)凈化器元件225(例如，流過(guò)呈側(cè)蓋及/或端帽的幾何形狀)。因此，可在每一腔道中放置不同凈化器元件使得每一腔道用于凈化目的(例如，預(yù)過(guò)濾、脫氣、離子交換、精致過(guò)濾等等)。使用具有三個(gè)腔道(例如，第一腔道、第二腔道、第三腔道)的介質(zhì)腔的實(shí)例，入口流動(dòng)通道可連接到第一腔道的第一側(cè)上的分布通道。流體可流過(guò)分布通道并流過(guò)第一腔道中的凈化器元件。第一腔道的第二側(cè)上的流動(dòng)通道可將流動(dòng)引導(dǎo)到第二腔道，且流體可流過(guò)第二腔道中的凈化器元件而返回到第一側(cè)。過(guò)濾器的第一側(cè)上的分布通道可將接收自第二腔道的流體引導(dǎo)到第三腔道。流體可流過(guò)第三腔道中的凈化器元件而到連接到出口端口的分布通道。在另一實(shí)施例中，端帽可包含流動(dòng)通道以按連續(xù)方式將流體從一個(gè)腔道引導(dǎo)到下一個(gè)腔道。在又另一實(shí)施例中，多種類型的凈化器元件(例如，兩種或更多種類型的褶裥網(wǎng)片)可堆疊在腔道中，使得即使流體被并行引導(dǎo)到腔道，仍然可在單一腔道中連續(xù)執(zhí)行多種類型的凈化器元件(例如，在圖5的實(shí)施例中，粗糙過(guò)濾褶裥網(wǎng)片可位于蓋239附近且精細(xì)過(guò)濾褶裥網(wǎng)片可位于腔道中的蓋240附近)。在凈化期間，凈化器匣將受到壓力。凈化器匣的實(shí)施例可并入有(在安全因素下)防止或最小化在期望操作壓力下的變形的特征。參考圖6，圖6是主體102的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示，其展示實(shí)例應(yīng)力分布及額外應(yīng)力分布特征。如上文討論，實(shí)施例可圍繞每一腔道提供箍環(huán)狀結(jié)構(gòu)。為此，側(cè)蓋210的一個(gè)實(shí)施例可具有對(duì)應(yīng)于每一腔道的腔道部分602。每一腔道部分602可包括彎曲外部拐角。例如，最外面的腔道部分602包含彎曲端拐角604，使得從一側(cè)到鄰近側(cè)的外表面過(guò)渡部是彎曲的。此外，外表面可在鄰近腔道部分602之間的拐角606處向內(nèi)彎曲(例如，以產(chǎn)生大體上對(duì)準(zhǔn)張力部件238的平行折痕)。因此，在側(cè)蓋210的每一外部拐角處，內(nèi)表面可彎曲(例如，歸因于流動(dòng)通道或拐角280(如圖2中所示)的曲率)，且外表面可彎曲。提供箍環(huán)狀結(jié)構(gòu)可提供所需應(yīng)力外形。如圖6中描繪，雖然可存在應(yīng)力增加的一些局部化區(qū)域，但是側(cè)蓋210中經(jīng)計(jì)算馮米斯應(yīng)力大體上在每一腔道部分602的中心軸附近最高(如由增加應(yīng)力的區(qū)域608指示)，且每一主殼體側(cè)壁中的馮米斯應(yīng)力大體上在沿每一主殼體側(cè)壁的中心軸處最高(如由側(cè)壁234中的增加應(yīng)力的區(qū)域610指示)。在安全因素下，馮米斯應(yīng)力保持在主體102的屈服強(qiáng)度以下。圖7是凈化器匣700的另一實(shí)施例的圖形表示。凈化器匣700具有具備大體上矩形外形的匣外殼702、第一端帽704及第二端帽706。匣外殼702可提供其中安置一或多個(gè)凈化器元件的內(nèi)部腔。如上文討論，內(nèi)部腔可隔離為一組腔道，其中每一腔道中安置大體上矩形褶裥網(wǎng)片或其它凈化器元件。端帽704及端帽706可提供經(jīng)流體耦合到內(nèi)部腔的端口(例如，第一端口708、第二端口710、第三端口712及第四端口714中的一或多者)。取決于凈化器匣700的配置，所述一或多個(gè)端口中的任一者可用作入口端口、出口端口、排氣端口、排放端口或另一類型的端口(且可存在更多或更少個(gè)端口)。如圖7中描繪，端口接頭具有端口接頭外螺紋以連接到歧管或其它供應(yīng)器。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，螺紋式端口可為如下文討論的多線螺紋。如所描繪，端口在x-y平面中朝匣700前面敞開(kāi)且穿過(guò)端口的主要流徑平行于z軸。在一些情況下，端口可經(jīng)放置使得凈化器匣可顛倒(例如，凈化器匣可在端720作為頂部且端722作為底部(或反之亦然)的情況下配接到歧管)。端帽可包含例如對(duì)準(zhǔn)孔、軌道、導(dǎo)槽或類似物的特征以接合歧管組合件上的互補(bǔ)特征以有助于確保適當(dāng)?shù)胤胖脙艋飨?。在圖7的實(shí)施例中，端帽704包含導(dǎo)引槽724且端帽706包含開(kāi)向匣700前面的導(dǎo)引槽726。導(dǎo)引槽724/726可容納歧管的對(duì)應(yīng)導(dǎo)引臂以垂直定位并固持匣700。匣可包含連接到與端口開(kāi)向的側(cè)相同的匣的側(cè)的搬運(yùn)手柄。例如，匣700包含手柄連接部件728以允許可移除式手柄從匣后面連接。此布置允許用戶(例如人類用戶或機(jī)器人)在所有端口面向上的情況下搬運(yùn)匣。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，手柄連接部件可包括在側(cè)邊緣處從匣向后延伸且界定從可移除式手柄容納突出部的開(kāi)口的突片。在另一實(shí)施例中，手柄連接特征可集成于表面730中。在又另一實(shí)施例中，可集成手柄。在另一實(shí)施例中，手柄連接特征可并入端帽704及706、側(cè)蓋中或其它處。匣還可包含允許方便地搬運(yùn)并存放所述匣的特征。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，匣可在所述匣與端口開(kāi)口相對(duì)的側(cè)上或其它處包含平坦表面以允許將匣放置在平坦表面上。例如，匣700包括從端帽704及端帽706的前側(cè)延伸的腳座772。因此，匣700可放置在存放貨架上，其中端口面向上且匣700不翻倒或滾動(dòng)。匣700還可包含標(biāo)簽系統(tǒng)。雖然可使用基于粘著劑的標(biāo)簽，但是此類標(biāo)簽在附接到PFA裝置時(shí)通常剝落(尤其對(duì)于高溫應(yīng)用而言)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，匣700可包含一或多個(gè)標(biāo)簽固持件732。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，標(biāo)簽固持件732可包括從匣的側(cè)邊緣附近或其它處向后延伸且界定面向彼此的一組凹槽的突片或其它延伸部。標(biāo)簽734可為裝配在凹槽中的卡扣配合標(biāo)簽，且還可制成使得(如果需要)在匣組裝操作期間插入標(biāo)簽。標(biāo)簽可由塑料材料、金屬或其它材料制成。例如，標(biāo)簽可包括經(jīng)激光切割、模制、直接注入等等的彩色PTFE或PFA材料，使得其與凈化器匣成對(duì)比且使文字高度可見(jiàn)。顏色編碼標(biāo)簽讓用戶易于區(qū)分裝置。例如，一種顏色的標(biāo)簽可用以加標(biāo)簽于15納米的過(guò)濾器，而另一種顏色標(biāo)簽可用以加標(biāo)簽于10納米的過(guò)濾器。對(duì)于用于需要“全特氟龍(allTeflon)”命名的應(yīng)用的凈化器匣，PTFE材料維持凈化器匣的此命名。如果需要，可使用替代材料。在圖1A及1B的實(shí)施例中可使用標(biāo)簽系統(tǒng)，且(例如)可在側(cè)123或124上實(shí)施所述標(biāo)簽系統(tǒng)。還可在凈化器匣的其它實(shí)施例中實(shí)施標(biāo)簽。圖8A到8B是匣700的一個(gè)實(shí)施例的橫截面的圖形表示，其描繪耦合到端帽704及706的側(cè)蓋800及側(cè)蓋810。注意，所述兩側(cè)是對(duì)稱的。在圖8A及8B的實(shí)施例中，側(cè)蓋800可包含可粘結(jié)或以其它方式耦合到一組側(cè)壁的側(cè)支撐部件804、可耦合到張力部件的分開(kāi)中間肋806及可耦合到腔道蓋的分開(kāi)中間肋808(在一些情況下，并非所有肋均耦合到腔道蓋)。側(cè)支撐部件804及分開(kāi)肋806可形成對(duì)應(yīng)于過(guò)濾器外殼中的每一腔道的流動(dòng)通道，且分開(kāi)肋808進(jìn)一步將主流動(dòng)通道分為較小流動(dòng)通道。側(cè)蓋810可包含可粘結(jié)或以其它方式耦合到一組側(cè)壁的側(cè)支撐部件814、可耦合到張力部件的分開(kāi)中間肋816及可耦合到腔道蓋的分開(kāi)中間肋818。側(cè)支撐部件814及分開(kāi)肋816形成對(duì)應(yīng)于過(guò)濾器外殼中的每一腔道的流動(dòng)通道，以及分開(kāi)肋818，其可進(jìn)一步將腔道分為較小流動(dòng)通道。然而，在圖8A到8B的實(shí)施例中，側(cè)蓋中未提供充氣室。參考圖8A，端帽704可包含塑形腔，其提供端口腔室820及將端口腔室820連接到分布流動(dòng)通道的第一端的流動(dòng)通道821。端帽706可包含塑形腔，其提供端口腔室830及將端口腔室830連接到由側(cè)蓋800界定的分布流動(dòng)通道的第二端的流動(dòng)通道831。參考圖8B，端帽704提供第二塑形腔，其提供端口腔室840及將端口腔室840連接到由側(cè)蓋810界定的分布流動(dòng)通道的第一端的流動(dòng)通道841。端帽706提供第二塑形腔，其提供端口腔室850及將端口腔室850連接到由側(cè)蓋810界定的分布流動(dòng)通道的第一端的流動(dòng)通道851。端口腔室可傾斜使得端口腔室820的頂面朝端口710的開(kāi)口向上傾斜，端口腔室830的底面朝端口714的開(kāi)口向下傾斜，端口腔室840的上表面朝端口708的開(kāi)口向上傾斜，且端口腔室850的底面朝端口712的開(kāi)口向下傾斜。對(duì)于端口腔室820及840，這意味著到達(dá)端口腔室的氣體可退出相應(yīng)端口。圖9是通過(guò)凈化器匣700的流動(dòng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。在此實(shí)例中，供應(yīng)器系統(tǒng)經(jīng)配置使得端口712(圖7)是入口端口，端口714是出口端口，端口708是上游(入口)側(cè)排放端口，且端口710是下游(出口)側(cè)排放端口。在操作中，流體通過(guò)端口開(kāi)口流入端口腔室850中且經(jīng)由流動(dòng)通道851引導(dǎo)到安置在側(cè)蓋810上的上游流動(dòng)分布通道，通過(guò)腔道蓋905、通過(guò)凈化器元件925且通過(guò)腔道蓋910。流動(dòng)通道831連接安置在側(cè)蓋800上的下游流動(dòng)通道與端口腔室830，使得流體可流入端口腔室830中且經(jīng)由端口714退出凈化器匣700。如上文討論，側(cè)蓋可比凈化器元件925更加親近氣體。因此，氣泡可被吸附到側(cè)蓋。上游流體分布通道可將氣體引導(dǎo)到端口腔室840，且下游流體分布通道可將氣體引導(dǎo)到端口腔室820。端口腔室840及820可經(jīng)設(shè)計(jì)使得氣體流到相應(yīng)端口開(kāi)口并流出匣700。圖10是凈化器匣1000的另一實(shí)施例的圖形表示，凈化器匣1000具有凈化器匣主體1002、端帽1004及端帽1006。凈化器匣1000可類似于凈化器匣700(圖7)。然而，如圖10中描繪，端帽1004具有沿x及y軸兩者彼此偏離的端口1008及1010，且端帽1006具有沿x及y軸兩者彼此偏離的端口1012及1014。端口沿y軸偏離可允許將端口一起更緊密地放置在x方向上，因此允許凈化器匣1000的總寬度(x方向上的大小)保持較小。圖11是凈化器匣1100的另一實(shí)施例的圖形表示。凈化器匣1100具有具備大體上矩形外形的主體1102、第一端帽1104及第二端帽1106。主體1102可提供其中安置凈化器元件的內(nèi)部腔。端帽1104及端帽1106可提供經(jīng)流體耦合到內(nèi)部腔的端口(例如，第一端口1108、第二端口1110、第三端口1112及第四端口1114中的一或多者)。取決于凈化器匣1100的配置，所述一或多個(gè)端口中的任一者可用作入口端口、出口端口、排氣端口、排放端口或另一類型的端口。在圖11的實(shí)施例中，端口不具備螺紋。圖12是凈化器匣1200的另一實(shí)施例的圖形表示。凈化器匣1200具有具備大體上矩形外形的主匣外殼1202、第一端帽1204及第二端帽1206。匣外殼1202可提供其中安置凈化器元件的內(nèi)部腔。端帽1204及端帽1206可提供經(jīng)流體耦合到內(nèi)部腔的端口(例如，第一端口1208、第二端口1210、第三端口及第四端口中的一或多者)。取決于凈化器匣1200的配置，所述一或多個(gè)端口中的任一者可用作入口端口、出口端口、排氣端口、排放端口或另一類型的端口。端帽可包含例如對(duì)準(zhǔn)孔、軌道、導(dǎo)槽或類似物的特征以接合歧管組合件上的互補(bǔ)特征以有助于確保適當(dāng)?shù)胤胖脙艋飨弧Ｔ趫D12的實(shí)施例中，端帽1204包含導(dǎo)引槽1224且端帽1206包含開(kāi)向匣1200前面的導(dǎo)引槽1226。導(dǎo)引槽1224/1226可容納歧管的對(duì)應(yīng)導(dǎo)引臂以垂直定位并固持匣1200。此外，端帽1204或端帽1206可包含垂直卡扣配合狹槽1228以容納歧管上的銷以水平定位并固定匣1200。匣1200可進(jìn)一步包含手柄連接部件1230。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，手柄連接部件可包括在側(cè)邊緣處從匣向后延伸的突片。突片界定可從可移除式手柄1232容納突出部的開(kāi)口。圖13A到13B是端帽1300的另一實(shí)施例的圖形表示。端帽1300可包含在第一平面(例如，x-y平面)中敞開(kāi)的主端口1302及在第二平面(例如，x-z平面)中敞開(kāi)的次級(jí)端口1304。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，主端口1302可用作如上文討論般配置或以其它方式配置的入口或出口，且次級(jí)端口1304可用作排氣口或排放口。端帽1300可進(jìn)一步界定塑形腔1308，其與內(nèi)部流體分布通道流體連通且經(jīng)塑形使得界定腔1308的所有內(nèi)部表面將會(huì)將氣泡引導(dǎo)到通道1320及出口端口1304，使得端口1304用作排氣端口，或?qū)⒘黧w引導(dǎo)到端口1304使得端口1304用作排放口。圖14是匣端帽1400的另一實(shí)施例的圖形表示。端帽1400包括端口1402及1404。進(jìn)入端口1402的流體被分布到端帽1400內(nèi)部的一系列端帽流動(dòng)通道1406。流體可通過(guò)端帽1400內(nèi)部的端帽流動(dòng)通道1408容納且在退出端口1404之前在端帽1400中合并。端帽流動(dòng)通道1406及1408可對(duì)準(zhǔn)界定在過(guò)濾器主體中的對(duì)應(yīng)流動(dòng)分布通道，且可經(jīng)布置以連續(xù)或并行分布流體。端帽流動(dòng)通道可對(duì)準(zhǔn)(例如)充氣室、主流動(dòng)通道或子通道，且可搭配多種端口設(shè)計(jì)使用。圖15A到15D是端帽1500的另一實(shí)施例的圖形表示。端帽1500包括可耦合到匣主體的底座1502、第一端口接頭1510及第二端口接頭1520。雖然展示兩個(gè)端口接頭，但是可使用具有一個(gè)端口接頭或兩個(gè)以上端口接頭的裝置。端口接頭可具有外螺紋，如螺紋1512及1522所示。端口接頭可在相同或相反方向上具有螺紋。端口接頭可包含對(duì)準(zhǔn)特征，其可協(xié)同連接系統(tǒng)的對(duì)應(yīng)對(duì)準(zhǔn)特征而促進(jìn)端口接頭與連接系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)。對(duì)準(zhǔn)特征可經(jīng)配置使得除非接頭及連接系統(tǒng)的對(duì)應(yīng)特征對(duì)準(zhǔn)或配接，否則螺紋1512及1522的螺紋線不能接合連接系統(tǒng)的對(duì)應(yīng)螺紋。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，例如，一組對(duì)準(zhǔn)特征可包含對(duì)準(zhǔn)連接螺母的內(nèi)突出體(例如，圖46A的連接螺母4410的內(nèi)突出體4604)的缺口。為此，在已說(shuō)明的實(shí)施例中，環(huán)形對(duì)準(zhǔn)肋如由端口肋1514及1524所示般從每一端口接頭向外徑向延伸。每一對(duì)準(zhǔn)肋可在肋狀物的外圍處包含分開(kāi)對(duì)準(zhǔn)缺口。例如，肋狀物1514包含分開(kāi)缺口1516且肋狀物1524包含分開(kāi)缺口1526。分開(kāi)對(duì)準(zhǔn)缺口可經(jīng)布置使得只有當(dāng)螺紋1512及1522適當(dāng)?shù)貙?duì)準(zhǔn)連接系統(tǒng)的螺紋時(shí)，所述連接系統(tǒng)中的對(duì)準(zhǔn)特征方可穿過(guò)所述缺口。端口肋1514可從端口接頭外螺紋1512的螺紋線后移選定距離，使得除非對(duì)準(zhǔn)特征穿過(guò)對(duì)準(zhǔn)缺口1516，否則螺紋1512的螺紋線不能接合連接系統(tǒng)的對(duì)應(yīng)螺紋。類似地，端口肋1524可從端口接頭外螺紋1522的螺紋線后移選定距離，使得除非對(duì)準(zhǔn)特征穿過(guò)對(duì)準(zhǔn)缺口1526，否則螺紋1522的螺紋線不能接合連接系統(tǒng)的對(duì)應(yīng)螺紋。雖然使用對(duì)應(yīng)突出體及缺口的實(shí)例，但是可采用任何適當(dāng)對(duì)準(zhǔn)特征。端帽1500可具有對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口1530以接受傳動(dòng)手柄對(duì)準(zhǔn)插入件。對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口1530可軸向?qū)?zhǔn)端口1510或可以其它方式定位。對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口1530可形成鍵孔使得手柄可只在所需定向上裝配在對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口1530中。圖15D是底座1502的底部的視圖。底座1502可包含用于流動(dòng)通路的開(kāi)口，其將端口1510及端口1520流體連接到過(guò)濾器主體中的流動(dòng)通路。為此，到底座1502中的流動(dòng)通路1540的開(kāi)口可經(jīng)定位使得其介接第一組充氣室，且到流動(dòng)通路1542的開(kāi)口可經(jīng)定位使得其介接第二組充氣室。雖然展示為單一流動(dòng)通路，但是流動(dòng)通路1540及1542中的每一者可被分為若干流動(dòng)通路。底座1502還可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合到匣主體的端的表面。例如，區(qū)域1550可粘結(jié)到側(cè)蓋的端，且區(qū)域1554可粘結(jié)到主殼體側(cè)壁的端。區(qū)域1556可將端壁提供到凈化器匣主體內(nèi)部的一組腔道，且可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合張力部件及腔道蓋的端的表面。圖16是主殼體1630及腔道蓋1640的另一實(shí)施例的圖形表示。在圖16的實(shí)施例中，腔道蓋1640包含具有框架部件1660的框架。腔道蓋1640及主殼體1630可包含促進(jìn)使用卡扣配合、干涉配合、音波粘結(jié)或根據(jù)任何適當(dāng)耦合機(jī)構(gòu)將腔道蓋1640耦合到主殼體1630的特征。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，腔道蓋1640可包含沿框架部件1660的長(zhǎng)度延伸的凹槽1662。從主殼體側(cè)壁及張力部件突出的舌狀物1664可容納在對(duì)應(yīng)凹槽1662中以產(chǎn)生卡扣配合。在其它實(shí)施例中，舌狀物可位于腔道蓋1640上且凹槽位于側(cè)壁及張力部件上。還可使用其它機(jī)構(gòu)以固定腔道蓋?？梢匀魏芜m當(dāng)方式組裝凈化器匣。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，可將側(cè)蓋(例如，圖2的側(cè)蓋220)粘結(jié)到主殼體且接著將褶裥網(wǎng)片插入在腔道中。褶裥網(wǎng)片的第一及最后的褶裥可沿褶裥網(wǎng)片的長(zhǎng)度伸出?？稍诿恳获揆芯W(wǎng)片的第一及最后的翻瓣卡住在腔道蓋與相應(yīng)側(cè)壁或張力部件之間的情況下附接分離的腔道蓋。可將第二側(cè)蓋(例如，圖2的側(cè)蓋220)粘結(jié)到主殼體。可裝填或以其它方式密封主體的端以密封腔道及褶裥網(wǎng)片的端。接著可將端帽粘結(jié)到主體。在另一實(shí)施例中，例如，第一步驟可為安裝凈化元件及腔道蓋且接著串聯(lián)粘結(jié)側(cè)蓋210、220、端帽104及端帽106或同時(shí)粘結(jié)這些組件中的兩者或更多者。可在腔道中放置其它凈化介質(zhì)或促進(jìn)如本文中描述的其它過(guò)程(例如，熱量交換)的介質(zhì)。如上文討論，凈化器匣的實(shí)施例可用于多種應(yīng)用，包含(但不限于)半導(dǎo)體制造應(yīng)用。在一些半導(dǎo)體制造工藝中，過(guò)濾器通常以小于100psi操作。本文中描述的實(shí)施例可提供全聚合物匣(過(guò)濾器，其中所述過(guò)濾器的流體流徑及結(jié)構(gòu)組件是由聚合物材料制成，且無(wú)需(例如)金屬支撐板、金屬安裝支架等等)(包含凈化器匣，其中主體及端帽主要或完全是由PFA、PTFE或其它非反應(yīng)性材料形成)，其可具有100psi(.68MPa)或更大(包含大于400psi(2MPa))的破裂壓力，且在一些情況下在小于提供相當(dāng)?shù)谋Ａ?、流速及壓降的圓柱形過(guò)濾器所需體積的體積中大于900psi(6.2MPa)。此外，流速通常為約5公升/分鐘(lpm)至20公升/分鐘(lpm)，且通常使用可處置多達(dá)50lpm的過(guò)濾器。凈化器匣的實(shí)施例可用于具有廣泛范圍的流速(包含小于50lpm的流速及大于50lpm的流速)的應(yīng)用。如上文討論的凈化器匣可在亞15納米顆粒的過(guò)濾期間提供高流速(例如，大于15lpm)。凈化器匣還可經(jīng)配置有其它凈化介質(zhì)以執(zhí)行其它過(guò)濾或凈化過(guò)程。此外，凈化器匣可展現(xiàn)出所需壓降。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，凈化器匣可經(jīng)配置以具有基線壓降(在流體具有1MPa的粘度且未安裝凈化器元件的情況下的壓降)，包含(但不限于)在40公升/分鐘下小于30kPa(在一些情況下，包含小于10kPa)、在30公升/分鐘下小于20kPa(在一些情況下，包含小于10kPa)、在20公升/分鐘下小于20kPa(在一些情況下，包含小于10kPa)的基線壓降。通常，凈化器的配置可平衡流速及壓降。給腔道添加凈化介質(zhì)可增加壓降，且凈化器元件的配置可經(jīng)選擇以平衡保留性能與壓降。一般來(lái)說(shuō)，以給定流速跨過(guò)濾器的壓降將隨褶裥高度(褶裥尖端之間的距離)及相同量的隔膜面積的壓縮比的增加而增加。壓縮比是褶裥網(wǎng)片相對(duì)于比率1.0壓縮的量，其中褶裥并未分離且并未進(jìn)一步壓縮在一起。因此，例如，具有100個(gè)褶裥及.0415厘米的厚度的過(guò)濾器隔膜在1.0的壓縮比下將具有近似4.15厘米的寬度，但在0.7的壓縮比下具有近似2.905cm的寬度。對(duì)于給定隔膜過(guò)濾面積，固持矩形褶裥網(wǎng)片所需的體積大致上是：v＝a*t*cr，其中：v＝過(guò)濾器網(wǎng)片體積，a＝過(guò)濾面積，t＝過(guò)濾器隔膜的未壓縮厚度cr＝壓縮比?，F(xiàn)在采用具有隔膜面積3m2、210毫米的褶裥網(wǎng)片長(zhǎng)度(平行于褶裥)、63毫米的內(nèi)徑及76毫米的外徑及0.0415厘米的厚度的圓柱形過(guò)濾器，圓柱形凈化器元件需要近似714cm3的體積且寬度必須為至少7.6厘米。對(duì)于相同隔膜面積，具有1.0的壓縮比的正方形褶裥網(wǎng)片可為近似124cm3。褶裥網(wǎng)片可通過(guò)選擇褶裥的長(zhǎng)度、褶裥的高度及褶裥網(wǎng)片的寬度而布置在所需體積中。褶裥的高度及壓縮比可影響跨褶裥網(wǎng)片的壓降。所需褶裥高度及壓縮比可通過(guò)測(cè)試不同隔膜而確定。取決于應(yīng)用及流動(dòng)需要，褶裥網(wǎng)片可具有任何所需壓縮比，包含(但不限于)0.6到1.0的壓縮比。在一些情況下，褶裥不被壓縮(可具有大于1的比率)。圖17A及17B是凈化器匣1700的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示，凈化器匣1700具有主體1702及端帽1704及1706。主體1702可界定介質(zhì)腔。介質(zhì)腔可隔離為腔道，其中每一腔道中安置凈化器元件。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，平行腔道具有大體上矩形(包含正方形)外形。雖然展示兩個(gè)腔道，但是凈化器匣可具有更多或更少個(gè)腔道。腔道可經(jīng)密封使其彼此阻隔使得流體不能在腔道之間流動(dòng)。在其它實(shí)施例中，可提供開(kāi)口使得流體可在隔離腔道之間流動(dòng)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，主體1702包括第一側(cè)蓋1710、第二側(cè)蓋1720及主殼體1730。主殼體1730、第一側(cè)蓋1710、第二側(cè)蓋1720及端帽可使用緊固件、音波粘結(jié)、干涉配合或其它耦合機(jī)構(gòu)耦合在一起，且可協(xié)同以形成介質(zhì)腔及平行腔道。主殼體1730提供在外側(cè)壁1734與外側(cè)壁1736之間延伸的底座1732及從底座1732延伸的張力部件1738。側(cè)壁1734、側(cè)壁1736、側(cè)蓋1710及側(cè)蓋1720可形成內(nèi)腔的側(cè)壁。主殼體側(cè)壁及張力部件1738可沿長(zhǎng)軸在腔內(nèi)延伸某個(gè)長(zhǎng)度以形成腔道側(cè)壁。底座1732介于腔道側(cè)壁之間(例如，外側(cè)壁1734/1736與張力部件1738之間及兩個(gè)張力部件1738之間(如果存在多個(gè)張力部件))的部分形成集成腔道蓋1739，其包括格柵以允許流體流入或流出對(duì)應(yīng)腔道。底座1732的一側(cè)可包含促進(jìn)將側(cè)蓋1720耦合到底座1732的特征。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，底座提供可粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋1720的一部分的一組側(cè)蓋安裝表面。在相對(duì)側(cè)上，外側(cè)壁1734、外側(cè)壁1736及張力部件1738遠(yuǎn)離底座1732的端可提供促進(jìn)將側(cè)蓋1710耦合到主殼體1730的特征。例如，遠(yuǎn)端表面可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋1710的一部分的側(cè)蓋安裝表面。腔道蓋1740可跨越在每一主殼體側(cè)壁1734/1736與張力部件1738之間或鄰近張力部件1738之間，且延伸腔道的長(zhǎng)度以遮蓋腔道與底座1732相對(duì)的側(cè)(還可提供分離腔道蓋)。腔道蓋1740可包括包含延伸腔道蓋1740的長(zhǎng)度的框架部件1744的框架及跨越在框架部件之間的格柵部分。腔道蓋1740還可包含如上文討論的支撐部件。腔道蓋1740中的開(kāi)口可相同或不同于底座1732的集成腔道蓋1739中的開(kāi)口。腔道蓋1740面向側(cè)蓋1710的表面可提供側(cè)蓋安裝表面以促進(jìn)側(cè)蓋1710的耦合。例如，側(cè)蓋安裝表面可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋1710的部分的表面。腔道蓋還可包含耦合特征以促進(jìn)使用卡扣配合、干涉配合、音波粘結(jié)、熱粘結(jié)或根據(jù)任何適當(dāng)耦合機(jī)構(gòu)將腔道蓋1740耦合到主殼體1730。如圖17A中描繪，在凈化器元件的上游側(cè)及下游側(cè)兩者上均提供腔道蓋(呈腔道蓋1740及腔道蓋1739的形式)。在其它實(shí)施例中，只在腔道的一側(cè)上提供腔道蓋。在又另一實(shí)施例中，完全不使用腔道蓋。側(cè)蓋1710可包含側(cè)支撐部件1760、對(duì)準(zhǔn)張力部件1738的中心肋1762。側(cè)蓋1720可類似地包含側(cè)支撐部件1770、對(duì)準(zhǔn)張力部件1738的中心肋1772(或一組分開(kāi)肋(如果存在更多腔道))。這些肋狀物的內(nèi)表面可耦合到張力部件的端。例如，肋狀物1772的內(nèi)表面可在張力部件1738的底座處耦合到主殼體1730且肋狀物1762的內(nèi)表面可耦合到張力部件1738的遠(yuǎn)端。因此，當(dāng)壓力容器腔受到壓力時(shí)，張力部件1738將于側(cè)蓋1710及1720上施加某個(gè)力以減小或防止側(cè)蓋1710及1720彎曲。張力部件1738的大小及配置可經(jīng)選擇使得在期望操作壓力下壓力容器腔的體積變形小于所需百分比。側(cè)支撐部件與肋狀物之間的區(qū)域可形成每一腔道的流動(dòng)通道。在一些情況下，額外肋狀物或其它特征可界定額外流動(dòng)通道。主體1702可經(jīng)配置以分布應(yīng)力。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，側(cè)蓋1720及側(cè)蓋1710可向外彎曲。此外，主殼體側(cè)壁1734及1736可具有彎曲外部，且側(cè)蓋1710及1720可在凈化器匣的側(cè)之間的過(guò)渡部處具有彎曲拐角。如上文討論，腔道可提供凈化器元件固持區(qū)域以固持凈化器元件。凈化器元件優(yōu)選地為褶裥網(wǎng)片，其經(jīng)折疊使得褶裥的長(zhǎng)度平行于匣的長(zhǎng)軸。褶裥尖端可經(jīng)定向使得一側(cè)上的褶裥尖端指向側(cè)蓋，而相對(duì)褶裥尖端經(jīng)定向以指向側(cè)蓋使得褶裥尖端鄰接相應(yīng)腔道蓋。在此布置中，一組褶裥尖端面向腔的上游部分且另一組褶裥尖端面向腔的下游部分。凈化器元件可為分離凈化器元件，或凈化器元件中的每一者可為同一連續(xù)褶裥網(wǎng)片的部分，使得(例如)一個(gè)凈化器元件的最后的翻瓣過(guò)渡到下一個(gè)過(guò)濾器元件的第一翻瓣中，且所述凈化器元件的最后的翻瓣過(guò)渡到下一個(gè)凈化器元件的第一翻瓣中，以此類推。每一凈化器元件的褶裥可由單一隔膜或多個(gè)隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。優(yōu)選地，褶裥壓縮在一起并在上游側(cè)上形成大體上較平坦矩形入口界面且在下游側(cè)上形成大體上較平坦矩形出口界面。給定隔膜區(qū)域的壓縮量可經(jīng)選擇以實(shí)現(xiàn)所需壓降及流速。端帽1704可包括端口接頭1750，其經(jīng)流體耦合到腔道的一側(cè)上的流動(dòng)通道(例如，如由開(kāi)口1752指示)。端帽1706可包括端口接頭1754，其經(jīng)流體耦合到腔道的另一側(cè)上的流動(dòng)通道。因此，一個(gè)端口接頭可提供入口端口且另一端口接頭可提供出口端口。在其它實(shí)施例中，入口端口及出口端口可位于相同端帽上。還可提供排氣端口及排放端口。圖17B是包覆模制某種包覆模制材料1770的凈化器匣1700的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，包覆模制的使用可提供若干優(yōu)勢(shì)。包覆模制材料可經(jīng)選擇以減小成本、提供強(qiáng)度、提供不同熱膨脹性質(zhì)、考慮主體材料的尺寸變動(dòng)、減小通過(guò)外殼的滲入(化學(xué)物質(zhì)、氣體等等)、提供其中更加易于并有人體工學(xué)及裝飾特征的材料等等。雖然在匣1700的背景中展示包覆模制，但是應(yīng)了解還可包覆模制匣的其它實(shí)施例。圖18A到18B是凈化器匣1800的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。凈化器匣外殼可由多個(gè)外殼組件形成。凈化器匣外殼是由側(cè)蓋1805、側(cè)蓋1810、第一端蓋1812及第二端蓋1814形成。外殼可包含各種端口，其包含過(guò)濾器入口端口、過(guò)濾器出口端口1835及過(guò)濾器排氣端口1840。圖19是凈化器匣1800的橫截面的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示，凈化器匣1800具有過(guò)濾器外殼(包含第一側(cè)蓋1805及第二側(cè)蓋1810)，其界定由安置在過(guò)濾器固持區(qū)域1925中的凈化器元件(未展示)分為上游部分及下游部分的介質(zhì)腔。凈化器元件可為任何適當(dāng)凈化介質(zhì)，包含(但不限于)一或多個(gè)折疊式過(guò)濾器、深度過(guò)濾器、中空纖維隔膜或其它凈化介質(zhì)。在一個(gè)實(shí)施例中，凈化器元件包括一或多個(gè)矩形褶裥網(wǎng)片。過(guò)濾器的褶裥可由單一隔膜或多個(gè)隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。過(guò)濾器隔膜可經(jīng)折疊使得褶裥的長(zhǎng)度平行于匣的長(zhǎng)軸。凈化器元件固持區(qū)域1925可經(jīng)配置使得當(dāng)從褶裥的端觀察時(shí)，褶裥網(wǎng)片將具有移位平行四邊形橫截面。過(guò)濾器入口端口1930位于凈化器元件上游，且過(guò)濾器出口端口1835位于凈化器元件下游(從延伸穿過(guò)過(guò)濾器的流體流動(dòng)觀點(diǎn)來(lái)看)。過(guò)濾器排氣端口(例如，過(guò)濾器排氣端口1840)可位于凈化器元件上游及/或下游。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器入口端口1930界定垂直于褶裥方向的向上垂直入口流徑(使得流動(dòng)進(jìn)入法向于褶裥網(wǎng)片的頂部及底部翻瓣)，過(guò)濾器出口端口1835界定垂直于褶裥方向的向上垂直出口流徑，且過(guò)濾器排氣端口1840界定向上垂直排氣流徑。優(yōu)選地，過(guò)濾器排氣端口1840在可能最高點(diǎn)處開(kāi)向介質(zhì)腔的上游部分，使得上游部分中的任何氣體自然地上升到過(guò)濾器排氣端口1840。類似地，可提供出口排氣端口，其優(yōu)選地在可能最高點(diǎn)處開(kāi)向介質(zhì)腔的下游部分，使得下游部分中的任何氣體自然地上升到出口排氣端口。排氣端口(或歧管中的對(duì)應(yīng)端口)可在大于流體的驅(qū)動(dòng)壓力的致動(dòng)壓力下而以壓力致動(dòng)。端口可包括來(lái)自Entegris,Inc.(馬薩諸塞州比爾里卡市)的連接件、接頭套管(Swagelok)接頭或能夠進(jìn)行流體密封的其它連接件。還可使用其它類型的連接件，包含如下文討論的螺紋式連接件。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，各種端口可經(jīng)定位盡可能遠(yuǎn)離凈化器匣前面，并同時(shí)仍然允許粘結(jié)組件。在其它實(shí)施例中，端口可以其它方式布置(例如，一或多個(gè)端口在凈化器匣中心或后端附近)。在一個(gè)實(shí)施例中，過(guò)濾器入口端口(例如，圖19的過(guò)濾器入口端口1930)及1835的開(kāi)口的中線可位于匣的最寬部分處。從匣內(nèi)的流體流動(dòng)觀點(diǎn)來(lái)看，過(guò)濾器入口端口的開(kāi)口可位于介質(zhì)腔的最低點(diǎn)處，且端口1835及1840的開(kāi)口可位于介質(zhì)腔的最高點(diǎn)處。可在腔中安置下游介質(zhì)蓋1940及上游介質(zhì)蓋1945，且其可形成凈化器元件固持區(qū)域1925。上游介質(zhì)蓋1945及下游介質(zhì)蓋1940可從下而上朝上游側(cè)壁成角度。在一個(gè)實(shí)施例中，上游介質(zhì)蓋1945與下游介質(zhì)蓋1940的角度可匹配安置在側(cè)蓋1805上的肋狀物的側(cè)壁偏離部分的錐面。上游及下游介質(zhì)蓋的實(shí)施例在下文加以更詳細(xì)討論。為了將端口有效地放置在占據(jù)面積中，凈化器元件固持區(qū)域1925可經(jīng)定位使得凈化器元件的折疊區(qū)域與過(guò)濾器入口端口1930、過(guò)濾器出口端口1835及/或過(guò)濾器排氣端口1840重疊。然而，如果進(jìn)入過(guò)濾器組合件1800的流體流動(dòng)充足，那么流體可破壞隔膜。因此，上游介質(zhì)蓋1945(其一個(gè)實(shí)施例在下文加以更詳細(xì)討論)可包含阻礙朝隔膜流動(dòng)并將流動(dòng)改向到上游側(cè)壁的部分。介質(zhì)腔的內(nèi)部表面可由比凈化器元件的材料更具有疏親氣性的材料形成。在一個(gè)實(shí)施例中，過(guò)濾器外殼可由某種材料形成使得側(cè)壁的內(nèi)部表面比凈化器元件更親近氣體——或換句話來(lái)說(shuō)，凈化器元件可經(jīng)選擇比外殼材料更疏遠(yuǎn)氣體——以促進(jìn)氣體對(duì)側(cè)壁的親和力。氣體因此更加可能上升到過(guò)濾器排氣端口1840而非穿過(guò)凈化器元件。下游部分中可發(fā)生類似現(xiàn)象。此外，匣的形狀可經(jīng)選擇使得內(nèi)部腔的上游及下游部分的寬度及/或高度在遠(yuǎn)離相應(yīng)端口的方向上降低。因此，介質(zhì)腔的上游部分的水力直徑在遠(yuǎn)離過(guò)濾器入口端口1930的方向上降低，且介質(zhì)腔的下游部分的水力直徑可在朝向過(guò)濾器出口端口1835的方向上增加。圖20A到20B是側(cè)蓋1805的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。側(cè)蓋1805可包含頂壁部分2002、上游側(cè)壁2005及底壁部分2009。頂壁部分2002可從上游側(cè)壁2005延伸到頂壁部分連結(jié)邊緣2007，且底壁部分2009可從側(cè)壁部分2005延伸到底壁部分連結(jié)邊緣2011。頂壁部分2002及底壁部分2009可包含上耦合部分2015及下耦合部分2016。上耦合部分2015及下耦合部分2016可包括延伸側(cè)蓋1805的長(zhǎng)度的舌狀物及凹槽。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，側(cè)蓋1805可具有突出進(jìn)入內(nèi)部腔的一系列肋狀物，包含(例如)端肋20271及20272、底肋20301到2030n、頂肋20351到2035n以及中間肋20371到2037n。優(yōu)選地n可為1到20，甚至更優(yōu)選地n可為從1個(gè)到10個(gè)底肋、頂肋及中間肋。可存在不同數(shù)目的頂肋、底肋及中間肋(例如，10個(gè)頂肋、4個(gè)中間肋及7個(gè)底肋)。每一肋狀物可包含底部偏離部分(例如，底部偏離部分2040)、頂部偏離部分(例如，頂部偏離部分2045)及側(cè)壁偏離部分(例如，側(cè)壁偏離部分2049)中的一或多者。例如，肋狀物2030可大體上呈L形狀，其中底部偏離部分2040從底壁部分2009延伸第一高度且側(cè)壁偏離部分2049延伸大于所述第一高度的第二高度。在一個(gè)實(shí)施例中，底部偏離部分2040從壁2005跨內(nèi)部腔的底部延伸垂直于內(nèi)部腔的長(zhǎng)度(或至少與內(nèi)部腔的長(zhǎng)度成另一角度)的第一距離，且側(cè)壁偏離部分2049從側(cè)壁2005延伸到內(nèi)部腔中達(dá)小于底部偏離部分2040從側(cè)壁2005延伸到內(nèi)部腔中的距離的距離。底部偏離部分2040可用作來(lái)自內(nèi)部腔的底面的隔膜支座，且側(cè)壁偏離部分2049可用作來(lái)自側(cè)壁2005的褶裥支座。側(cè)壁偏離部分2049可呈錐形使得側(cè)壁偏離部分2049在遠(yuǎn)離側(cè)壁2005的方向上延伸的距離朝頂部降低，借此從下而上減小內(nèi)部腔的上游部分的面積。頂肋2035還可大體上呈L形狀，其中頂部偏離部分2045從頂壁部分2002延伸第一深度且靠近側(cè)壁2005的側(cè)壁偏離部分2049延伸大于所述第一深度的第二深度。在一個(gè)實(shí)施例中，頂部偏離部分2045從側(cè)壁2005跨內(nèi)部腔的頂部延伸垂直于內(nèi)部腔的長(zhǎng)度(或至少與內(nèi)部腔的長(zhǎng)度成另一角度)的第一距離，且側(cè)壁偏離部分2049從側(cè)壁2005延伸到內(nèi)部腔中達(dá)小于頂部偏離部分2045從側(cè)壁2005延伸到內(nèi)部腔中的距離的距離。頂部偏離部分2045可用作來(lái)自內(nèi)部腔的頂面的隔膜支座，且側(cè)壁偏離部分2049可用作來(lái)自側(cè)壁2005的褶裥支座。側(cè)壁偏離部分2049可呈錐形使得側(cè)壁偏離部分2049在遠(yuǎn)離側(cè)壁2005的方向上延伸的距離朝頂部降低。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，底肋2030的高度經(jīng)選擇使得當(dāng)安裝凈化器匣時(shí)底部偏離部分2040的上沿彼此齊平。當(dāng)凈化器匣處于完全安裝位置中(例如，過(guò)濾器入口端口1930垂直對(duì)準(zhǔn))時(shí)，交替底肋的側(cè)壁偏離部分2049的頂端也可彼此齊平。例如，肋狀物2030的底部偏離部分2040的上沿位于第一平面中，且第一組交替底肋2030的側(cè)壁偏離部分2049的上沿位于第二平面中。因此，當(dāng)安裝過(guò)濾器時(shí)，每一肋狀物20301到2030n的底部偏離部分2040的頂部將處于相同液面，且所述第一組交替底肋2030(例如，肋狀物20302、20304等等)的側(cè)壁偏離部分2049的頂部將彼此處于相同液面。類似地，當(dāng)安裝凈化器匣時(shí)，頂肋2035的頂部偏離部分2045的下沿可彼此齊平，且交替頂肋2035的側(cè)壁偏離部分2049的下沿也可彼此齊平。例如，肋狀物2035的頂部偏離部分2045的下沿可位于第三平面中，且第一組頂肋2035的側(cè)壁偏離部分2049的下沿可處于第四平面中。當(dāng)凈化器匣處于完全安裝、操作位置中(例如，過(guò)濾器入口端口1930垂直對(duì)準(zhǔn))時(shí)，第一、第二、第三及第四平面可為平行水平面。側(cè)蓋1805可進(jìn)一步包括對(duì)準(zhǔn)交替頂肋及底肋并從側(cè)壁2005向內(nèi)突出以提供側(cè)壁偏離的一組中間肋20371到2037n。中間肋2037向內(nèi)突出的距離可從下而上沿肋狀物降低。交替頂肋2035及底肋2030可垂直對(duì)準(zhǔn)中間肋2037。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，中間肋2037的長(zhǎng)度經(jīng)選擇使得中間肋的頂端與鄰近交替頂肋2035的側(cè)壁偏離部分2049重疊，且中間肋的下端與鄰近交替底肋2030的側(cè)壁偏離部分2049重疊。例如，肋狀物20371的頂端與肋狀物20351及20353的側(cè)壁偏離部分2049重疊，且肋狀物20371的下端與底肋20301及20303的側(cè)壁偏離部分2049重疊。鄰近肋狀物之間的空間協(xié)同上游介質(zhì)蓋的底部形成流動(dòng)通道。例如，鄰近肋狀物20301及20302之間的區(qū)域形成開(kāi)向過(guò)濾器入口的流動(dòng)通道20502。當(dāng)上游介質(zhì)蓋位于適當(dāng)位置且流體被引入到介質(zhì)腔中時(shí)，流體將跟隨流動(dòng)通道。在所示實(shí)例中，流體將沿內(nèi)部腔的底部填充流動(dòng)通道20502，且接著順著側(cè)壁2005跟隨流動(dòng)通道20502直到其高出肋狀物20302，此時(shí)流體將流入鄰近通道20503中。流體將繼續(xù)填充通道20502及20503直到流體高出肋狀物20301及20303以開(kāi)始填充流動(dòng)通道20501及20504。此過(guò)程可繼續(xù)進(jìn)行直到流體填充通道2050n。肋狀物配置有助于確保流體沿側(cè)壁2005迂回前進(jìn)，從而增加氣泡將被吸附到側(cè)壁2005且向上流動(dòng)的可能性。此外，肋狀物配置有助于沿側(cè)壁2005的長(zhǎng)度分布流體以促進(jìn)凈化器元件均勻濕潤(rùn)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，底部偏離及頂部偏離各自具有圓角底座以形成具有圓角側(cè)的流動(dòng)通道。圓角底座提供優(yōu)于其中肋狀物以銳角接觸頂壁及底壁的情況的應(yīng)力分布。此外，穿過(guò)底肋2030的底部偏離部分及頂肋2035的頂部偏離部分的孔允許鄰近流動(dòng)通道之間的流動(dòng)。圖20B進(jìn)一步說(shuō)明頂壁部分2002及底壁部分2009可具有在遠(yuǎn)離過(guò)濾器入口端口1930的方向上朝彼此呈錐形的內(nèi)表面。在所說(shuō)明的實(shí)施例中，錐形緊接過(guò)濾器入口端口1930處開(kāi)始。此可有助于在遠(yuǎn)離過(guò)濾器入口端口1930的方向上降低介質(zhì)腔的水力直徑，從而有助于減小或消除無(wú)效空間。此外，在所示實(shí)施例中，過(guò)濾器排氣端口1840開(kāi)向介質(zhì)腔中的最高點(diǎn)。其它實(shí)施例可包含非錐形部分及錐形部分。圖21A及21B是側(cè)蓋1810的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。側(cè)蓋1810可包含頂壁部分2135、底壁部分2140、側(cè)壁部分2145、第一端部分2141及第二端部分2143。頂壁部分2135可從側(cè)壁部分2145延伸到內(nèi)沿2177，且底壁部分2140可從側(cè)壁部分2145延伸到內(nèi)沿2179。邊緣2177及2179可分別粘結(jié)到邊緣2007及2011以產(chǎn)生平行于褶裥網(wǎng)片的褶裥延伸過(guò)濾器匣的長(zhǎng)度的連結(jié)接縫。側(cè)蓋1810可經(jīng)塑形使得匣的最寬部分或至少內(nèi)部腔的下游部分的最寬部分與過(guò)濾器出口端口1835的中線重合。此外，側(cè)蓋1810可經(jīng)塑形使得內(nèi)部腔的下游部分的前區(qū)段的面積從出口端口前面降低，及/或內(nèi)部腔的下游部分的后區(qū)段的面積從過(guò)濾器出口端口1835后面降低。例如，頂壁部分2135還可經(jīng)塑形使得內(nèi)部腔從過(guò)濾器出口端口1835后面向下呈錐形。頂壁部分2135還可經(jīng)塑形使得內(nèi)部腔從過(guò)濾器出口端口1835前面向下呈錐形。類似地，底壁部分2140可經(jīng)塑形使得內(nèi)部腔從過(guò)濾器出口端口1835后面且從過(guò)濾器出口端口1835前面向上呈錐形。側(cè)壁2145還可經(jīng)塑形使得內(nèi)部腔從過(guò)濾器出口端口1835后面及從過(guò)濾器出口端口1835下面向內(nèi)呈錐形。圖22是下游介質(zhì)蓋1940的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。介質(zhì)蓋1940可經(jīng)配置以將凈化器元件維持在適當(dāng)位置并同時(shí)允許流動(dòng)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，介質(zhì)蓋1940可包括外框架，其具有上部部件2260、下部部件2265、跨越上部部件2260與下部部件2265之間的前端部件2270及后端部件2275。上部部件2260及下部部件2265可包含允許將介質(zhì)蓋1940耦合到凈化器匣的剩余部分的特征。如下文討論，例如，介質(zhì)蓋1940可包含用于卡扣配合連接到主蓋的舌狀物及凹槽特征。介質(zhì)蓋2260可經(jīng)配置使得上部部件2260的第一側(cè)含有接觸頂肋2035的尖端的接觸表面，且下部部件2265包含接觸底肋2030的尖端的接觸表面。介質(zhì)蓋1940還可包含跨越上部部件2260與下部部件2265之間的中間分開(kāi)部件2280。分開(kāi)部件在其之間具有敞開(kāi)空間以允許液體或流體流動(dòng)。從端部件2270及后端部件2275跨越的支撐部件可對(duì)分開(kāi)部件2280提供額外支撐。優(yōu)選地，中間部件2280或其它固定結(jié)構(gòu)足夠堅(jiān)固以抵著主蓋的肋狀物固持凈化器元件。側(cè)蓋1810還可包含肋狀物以接觸中間部件2280以提供額外支撐。中間部件2280可向上成角度且成角度到前面，以允許側(cè)蓋上的此類肋狀物用作流動(dòng)引導(dǎo)裝置以將進(jìn)入內(nèi)部腔的下游部分的流動(dòng)引導(dǎo)到過(guò)濾器出口端口。在其它實(shí)施例中，介質(zhì)蓋1940可包含網(wǎng)孔或其它結(jié)構(gòu)元件以維持凈化器元件并同時(shí)允許流動(dòng)。圖23是上游介質(zhì)蓋1945的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。上游介質(zhì)蓋1945可包括主介質(zhì)蓋部分2302，其包括一組分開(kāi)部件2304。分開(kāi)部件在其之間具有敞開(kāi)空間以允許流動(dòng)。支撐部件2306可跨越介質(zhì)蓋1945的長(zhǎng)度以對(duì)分開(kāi)部件2304提供支撐。上部及下部延伸部2320及2310可從介質(zhì)蓋部分2302延伸(例如，以對(duì)過(guò)濾器固持區(qū)域產(chǎn)生頂部及底部)。突片2322可從上部延伸部2320向上延伸，且突片2312可從下部延伸部2310延伸。突片2322及2312可足夠薄使得當(dāng)側(cè)蓋1805與下游介質(zhì)蓋1940耦合在一起時(shí)突片2322及2312可卡住在下游介質(zhì)蓋1940與側(cè)蓋1805之間。參考圖24A、24B、25A、25B、26A及26B(圖24A、25A及26A表示上部部分，且圖24B、25B及26B表示下部部分)，介質(zhì)蓋1940及1945可使用卡扣配合、干涉配合、音波粘結(jié)、熱粘結(jié)或根據(jù)任何適當(dāng)耦合機(jī)構(gòu)耦合到側(cè)蓋1805。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，側(cè)蓋1805可包含下部及上部耦合部分2015及2016以將介質(zhì)蓋1940及1945耦合到側(cè)蓋1805。耦合部分2015界定延伸側(cè)蓋1805的長(zhǎng)度的凹槽2430及舌狀物2435。耦合部分2016包含延伸側(cè)蓋1805的長(zhǎng)度的凹槽2440及舌狀物2445。介質(zhì)蓋1940包含對(duì)應(yīng)下部舌狀物2555及凹槽2560以及上部舌狀物2765及凹槽2570。凹槽2430卡住舌狀物2765且凹槽2570卡住舌狀物2435。類似地，凹槽2440卡住舌狀物2555且凹槽2560卡住舌狀物2445。在操作中，介質(zhì)蓋1940可使用卡扣配合固定，使得上部耦合部分及下部耦合部分2015稍微展開(kāi)以允許舌狀物2555及2765分別通過(guò)舌狀物2435及2445并坐落在凹槽2430及2440中。側(cè)蓋1805材料的彈性可導(dǎo)致耦合部分2015及2016向后卡扣到其中卡住介質(zhì)蓋1940的位置。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，卡扣可足以提供介質(zhì)蓋1940固定的觸覺(jué)或聽(tīng)覺(jué)反饋。突片2322及2312可足夠薄使得當(dāng)側(cè)蓋1805與下游介質(zhì)蓋1940卡扣配合在一起時(shí)突片2322及2312可卡住在下游介質(zhì)蓋1940與側(cè)蓋1805之間。雖然未展示，但是折疊式凈化器元件的上部及下部翻瓣也可卡住在下游介質(zhì)蓋1940與側(cè)蓋1805之間。介質(zhì)蓋1940及1945可在耦合部分2015及2016處粘結(jié)到側(cè)蓋1805。此外，上游介質(zhì)蓋可粘結(jié)到端肋、中間肋、頂肋或底肋中的一或多者的邊緣。此外，下游介質(zhì)蓋1940可粘結(jié)到側(cè)蓋1810。例如，上部部件2260的一側(cè)可粘結(jié)到邊緣2177且下部部件2265的一側(cè)可粘結(jié)到邊緣2179。上游介質(zhì)蓋1945及下游介質(zhì)蓋1940的端還可粘結(jié)到端蓋。上游介質(zhì)蓋1945及下游介質(zhì)蓋1940可用作張力部件以在平行于褶裥及垂直于褶裥的方向上(例如，平行于入口及出口流徑)提供張力。例如，上游介質(zhì)蓋1945及下游介質(zhì)蓋1940可在圖19的匣中從上而下及從前而后提供強(qiáng)度。返回到圖19，在操作中，過(guò)濾器組合件可提供法向流動(dòng)過(guò)濾(NFF)。流體以大體上向上方向進(jìn)入過(guò)濾器入口端口1930并被引導(dǎo)到介質(zhì)腔的上游側(cè)壁2005。在上游部分中隨著壓力增加，流體流過(guò)凈化器元件(在褶裥尖端對(duì)褶裥尖端方向上)。在一個(gè)實(shí)施例中，流體通過(guò)凈化器元件的主要流徑可大體上垂直于通過(guò)過(guò)濾器入口端口1930的流徑。介質(zhì)腔可經(jīng)配置以促進(jìn)遍及所述裝置的均勻或近似均勻流動(dòng)以完整地掃掠過(guò)濾器(例如，以最小化或消除無(wú)效空間)并最小化壓力損失效應(yīng)?？筛鶕?jù)下列步驟組裝使用褶裥網(wǎng)片凈化器元件的凈化器匣?？蓪⑦^(guò)濾器隔膜插入到介質(zhì)蓋1945中且可將介質(zhì)蓋1945放置在側(cè)蓋1805中(或反之亦然)，其中褶裥的最后的翻瓣及突片2322及2312(圖23)的端沿耦合部分2015及2016坐落?？稍谝换蚨鄠€(gè)點(diǎn)處將介質(zhì)蓋1945粘結(jié)到側(cè)蓋1805。可將介質(zhì)蓋1940卡扣配合到適當(dāng)位置。此步驟通過(guò)蓋1940與殼體之間的舌狀物及凹槽裝配將隔膜及介質(zhì)蓋1940鎖定在適當(dāng)位置。不同于典型的圓柱形樣式匣裝置，在兩個(gè)長(zhǎng)隔膜邊緣組裝到裝置中之前將所述兩個(gè)長(zhǎng)隔膜邊緣密封在一起無(wú)須纏繞褶裥網(wǎng)片。接著可使用任何適當(dāng)粘結(jié)方案(包含(但不限于)音波粘結(jié)、熔接、粘著劑、熱接觸粘結(jié)或非接觸熱粘結(jié)操作)將側(cè)蓋1810粘結(jié)到側(cè)蓋1805。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，可以單一粘結(jié)操作發(fā)生粘結(jié)外殼及密封隔膜邊緣。還可使用機(jī)械緊固件將側(cè)蓋1810耦合到側(cè)蓋1805。如果需要，可在側(cè)蓋1810與側(cè)蓋1805之間安置墊片?？梢跃酆衔锘驑?shù)脂裝填褶裥網(wǎng)片的端。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，組合件的每一端的所需長(zhǎng)度可浸泡在所需裝填材料(例如層壓材料、聚合物、樹(shù)脂、粘著劑或其它裝填材料)中以密封內(nèi)部腔室及褶裥網(wǎng)片的端。優(yōu)選地，裝填材料是熱塑塑料。例如(但非限制)，可使用裝填材料密封褶裥網(wǎng)片前面及后面達(dá)0.3175厘米到1.27厘米。裝填材料可密封褶裥網(wǎng)片的端及內(nèi)部腔，從而分離過(guò)濾器組合件的上游部分及下游部分并減小或防止占用體積。在其它實(shí)施例中，褶裥網(wǎng)片的端可在插入到側(cè)蓋1805之前使用裝填材料而密封，然而這可在裝填材料與凈化器匣的端之間產(chǎn)生一定的無(wú)效空間。可使用裝填材料、音波粘結(jié)、熔接、粘著劑、熱粘結(jié)、接觸或非接觸粘結(jié)操作、機(jī)械緊固件或其它方式將前端蓋及后端蓋1812/1814(圖18B)耦合到凈化器匣的主體。圖27A到D是布置成凈化器匣的過(guò)濾器組合件2700的另一實(shí)施例的圖形表示。過(guò)濾器組合件2700可包括由一或多個(gè)部分形成的外殼。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器組合件2700可大體上呈矩形，其具有第一壁2705、第二壁2710、與第一壁相對(duì)的第三壁2715、與第二壁相對(duì)的第四壁2720、第五壁2725及與第五壁相對(duì)的第六壁2730。各個(gè)壁可由過(guò)濾器組合件2700的一或多個(gè)部分形成。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器組合件2700的外壁可相對(duì)平直。過(guò)濾器組合件2700可進(jìn)一步包括第一端處的過(guò)濾器入口端口2740及第二端處的過(guò)濾器出口端口2745及入口排氣端口2747。入口端口及出口端口可包含任何適當(dāng)連接系統(tǒng)。例如(但非限制)，入口端口及出口端口可使用接頭。在一些實(shí)施例中，還可包含一或多個(gè)排放端口(例如，在壁2725處)。壁2725及2730可為具有相同數(shù)目及配置的端口的相同部分。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器組合件2700的側(cè)壁可由第一蓋2750、第二蓋2755及集成凈化器元件殼體2760形成。端壁2725及2730可與集成凈化器元件殼體2760集成或與其分離。集成凈化器元件殼體2760可使至少一介質(zhì)蓋與用作壓力容器的外殼的壁集成。圖28是過(guò)濾器組合件2700的一個(gè)實(shí)施例的橫截面的圖形表示。外殼界定介質(zhì)腔，其具有由安置在凈化器元件固持區(qū)域2804中的凈化器元件(未展示)分離的上游部分2800及下游部分2802。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，凈化器元件可包括一或多個(gè)矩形褶裥網(wǎng)片，其中平行于過(guò)濾器組合件的長(zhǎng)軸的褶裥具有大體上布置在平面中且面向上游部分2800的第一組褶裥尖端及大體上布置在平面中且面向下游部分2802的第二組褶裥尖端。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，集成凈化器元件殼體2760可包含延伸介質(zhì)腔的長(zhǎng)度的第一介質(zhì)蓋2806(例如，上游介質(zhì)蓋)、從第一介質(zhì)蓋2806延伸且形成壁2710的一部分的第一側(cè)壁部分2808及從第一介質(zhì)蓋2806延伸且形成相對(duì)壁2720的一部分的第二側(cè)壁部分2810。蓋2750的第一內(nèi)沿及第二內(nèi)沿可連結(jié)到集成凈化器元件殼體2760，且第二蓋2755的第一內(nèi)沿及第二內(nèi)沿可連結(jié)到第一側(cè)壁部分2808及第二側(cè)壁部分2810的端以形成平行于褶裥延伸側(cè)壁的長(zhǎng)度的粘結(jié)接縫。第一蓋2750及第二蓋2755的端邊緣可粘結(jié)到端壁以完成對(duì)過(guò)濾器組合件2700的密封。凈化器元件固持區(qū)域2804可通過(guò)延伸介質(zhì)腔的長(zhǎng)度的第二介質(zhì)蓋2820(例如，下游介質(zhì)蓋)協(xié)同集成凈化器元件殼體2760而界定為移位平行四邊形。第一側(cè)壁部分2808及第二側(cè)壁部分2810的端可包含使用如上文討論的卡扣配合而耦合到第二介質(zhì)蓋2820的耦合部分2822。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，凈化器元件可為褶裥網(wǎng)片，其具有鄰接上游介質(zhì)蓋2806的褶裥尖端及鄰接下游介質(zhì)蓋2820的一組褶裥尖端，所述褶裥從介質(zhì)腔的第一端延伸到第二端。流體可在平行于褶裥的方向上(例如，從第一端壁)進(jìn)入介質(zhì)腔，且在平行于褶裥的方向上(例如，從第二端壁)退出。在另一實(shí)施例中，流體可從同一端壁進(jìn)入并離開(kāi)。圖29A到B是集成凈化器元件殼體2760的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。在已說(shuō)明的實(shí)施例中，端壁2725及2730是集成凈化器元件殼體2760的部分。第一介質(zhì)蓋2806從端壁2725延伸到端壁2730且介于第一側(cè)壁部分2808與第二側(cè)壁部分2810之間。第一介質(zhì)蓋可包含跨第一介質(zhì)蓋2806延伸且允許流體流過(guò)2806的分開(kāi)部件2902。可包含從第一介質(zhì)蓋2806的第一端延伸到第二端以對(duì)分開(kāi)部件提供支撐的支撐件2904。第一介質(zhì)蓋2806可成角度以使得當(dāng)集成凈化器元件殼體2760在適當(dāng)位置時(shí)，上游部分2800的面積從第四壁2720到第二壁2710降低(參見(jiàn)圖28)使得水力直徑隨著流體向上移動(dòng)且遠(yuǎn)離入口而降低。圖29A進(jìn)一步說(shuō)明開(kāi)向過(guò)濾器入口端口2740的開(kāi)口2906。圖30A到B說(shuō)明具有介質(zhì)蓋2806及側(cè)壁部分2810/2808的集成凈化器元件殼體2760的另一實(shí)施例。在此實(shí)施例中，介質(zhì)蓋2806與過(guò)濾器外殼的側(cè)壁集成，但與端蓋分離。凈化器元件殼體2760可在凈化器元件殼體2760的第一端及第二端處界定端面3002及1493以促進(jìn)粘結(jié)或其它耦合。端面3002可在端面3002在介質(zhì)蓋2806上游的側(cè)上具有切口使得端面3002不會(huì)阻礙流體進(jìn)入介質(zhì)腔。圖31及32是介質(zhì)蓋2820在適當(dāng)位置中的集成凈化器元件殼體2760的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，介質(zhì)蓋2820可卡扣配合到凈化器元件殼體2760且可被進(jìn)一步粘結(jié)。介質(zhì)蓋2820可進(jìn)一步粘結(jié)或以其它方式耦合到(圖29B的)端壁2725及2730。圖33說(shuō)明第二蓋2755在適當(dāng)位置中的過(guò)濾器組合件的一個(gè)實(shí)施例。介質(zhì)蓋2820的上部部件可粘結(jié)或以其它方式耦合到第二蓋2755的上沿的一部分，且介質(zhì)蓋2820的下部部件可沿介質(zhì)蓋2820的長(zhǎng)度粘結(jié)或以其它方式耦合到第二蓋2755的內(nèi)部下沿。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，圖27到33的實(shí)施例可經(jīng)安裝使得褶裥垂直延伸。過(guò)濾器入口端口及出口端口可經(jīng)布置使得入口流徑及出口流徑平行于布置在凈化器元件固持區(qū)域2804中的凈化器元件的褶裥。此垂直配置提供更好的排氣及排放特性，且減小凈化器匣封套。此外，集成端壁及上游介質(zhì)蓋可減小褶裥網(wǎng)片的端處的無(wú)效空間。過(guò)濾器還可在水平部分中延伸，優(yōu)選地使得入口位于外殼的低點(diǎn)處且排氣口及出口位于外殼的高點(diǎn)處。此外，集成凈化器元件殼體2760及介質(zhì)蓋2820可提供張力部件以在平行于褶裥方向的方向上提供結(jié)構(gòu)支撐(對(duì)端壁2725及2730提供結(jié)構(gòu)支撐)及在垂直于褶裥的方向上提供結(jié)構(gòu)支撐(例如，對(duì)壁2710及2720提供支撐)。圖34A到D是布置成凈化器匣的過(guò)濾器組合件3400的另一實(shí)施例的圖形表示。過(guò)濾器組合件3400可包括由一或多個(gè)部分形成的外殼。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器組合件3400可大體上呈矩形，其具有第一壁3402、第二壁3404、與第一壁相對(duì)的第三壁3406、與第二壁相對(duì)的第四壁3408、第五壁3410及與第五壁相對(duì)的第六壁3412。各個(gè)壁可由過(guò)濾器組合件3400的一或多個(gè)部分形成。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器組合件3400的外壁可相對(duì)平直。過(guò)濾器組合件3400可進(jìn)一步包括第一端處的過(guò)濾器入口端口3420及第二端處的過(guò)濾器出口端口3422及排氣端口3424及3426?？梢云渌绞椒胖门艢饪?。例如，至少一個(gè)排氣口可開(kāi)向介質(zhì)腔的上游側(cè)。例如，在3430處說(shuō)明替代排氣口位置。入口端口及出口端口可包含任何適當(dāng)連接系統(tǒng)。例如(但非限制)，入口端口及出口端口可使用接頭。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器組合件3400的壁可由第一蓋3438、第二蓋3440及集成凈化器元件殼體3442形成。端壁3410及3412可與集成凈化器元件殼體3442集成或與其分離。集成凈化器元件殼體3442可使至少一個(gè)介質(zhì)蓋與用作壓力容器的外殼的壁(包含側(cè)壁及/或端蓋)集成。圖35是過(guò)濾器組合件3400的一個(gè)實(shí)施例的橫截面的圖形表示。外殼界定介質(zhì)腔，其具有由安置在凈化器元件固持區(qū)域3506中的凈化器元件(未展示)分離的上游部分3502及下游部分3504。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，凈化器元件可包括一或多個(gè)矩形褶裥網(wǎng)片，其中平行于過(guò)濾器組合件的長(zhǎng)軸的褶裥具有大體上布置在平面中且面向上游部分3502的第一組褶裥尖端及大體上布置在平面中且面向下游部分3504的第二組褶裥尖端。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，集成凈化器元件殼體3442可包含延伸介質(zhì)腔的長(zhǎng)度的第一介質(zhì)蓋3508(例如，上游介質(zhì)蓋)、從第一介質(zhì)蓋3508延伸且形成側(cè)壁3404的一部分的第一側(cè)壁部分3510及從第一介質(zhì)蓋3508延伸且形成相對(duì)側(cè)壁3408的一部分的第二側(cè)壁部分3512。第一蓋3438的第一內(nèi)沿及第二內(nèi)沿可連結(jié)到集成凈化器元件殼體3442，且第二蓋3440的第一內(nèi)沿及第二內(nèi)沿可連結(jié)到集成凈化器元件殼體3442的第一側(cè)壁部分3510及第二側(cè)壁部分3512的端以形成平行于褶裥延伸側(cè)壁的長(zhǎng)度的粘結(jié)接縫。第一蓋3438及第二蓋3440的端邊緣可粘結(jié)到端壁以完成對(duì)過(guò)濾器組合件3400的密封。凈化器元件固持區(qū)域3506可通過(guò)延伸介質(zhì)腔的長(zhǎng)度的第二介質(zhì)蓋3507(例如，下游介質(zhì)蓋)協(xié)同集成凈化器元件殼體3442而界定。第一側(cè)壁部分3510及第二側(cè)壁部分3512的端可包含使用如上文討論的卡扣配合而耦合到第二介質(zhì)蓋3507的耦合部分?？稍?506中放置且裝填褶裥網(wǎng)片隔膜，且蓋3438及3440可如上文討論般粘結(jié)到3442。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，凈化器元件可為褶裥網(wǎng)片，其具有鄰接上游介質(zhì)蓋3508的褶裥尖端及鄰接下游介質(zhì)蓋3507的一組褶裥尖端，所述褶裥從介質(zhì)腔的第一端延伸到第二端。流體可在平行于褶裥的方向上(例如，從第一端壁)進(jìn)入介質(zhì)腔，且在平行于褶裥的方向上(例如，從第二端壁)退出。圖36說(shuō)明過(guò)濾器組合件3400的一個(gè)實(shí)施例的另一橫截面視圖。在圖36的實(shí)施例中，可在凈化器元件固持區(qū)域3506中安置一或多個(gè)折疊式過(guò)濾器，其中第一組褶裥尖端面向上游介質(zhì)蓋3508且第二組褶裥尖端面向下游介質(zhì)蓋3507。褶裥網(wǎng)片可跨介質(zhì)腔的長(zhǎng)度成角度使得入口接頭及出口接頭同軸或更接近同軸，且無(wú)須針對(duì)接頭使流徑改向。在此實(shí)例中，存在從入口到上游組的褶裥尖端的直線路徑。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器格柵開(kāi)口及/或介質(zhì)蓋3508的入口側(cè)表面可經(jīng)設(shè)計(jì)使得入口流體流改向而以等體積通過(guò)每一格柵開(kāi)口。例如，上游介質(zhì)蓋3508可經(jīng)設(shè)計(jì)，使得如果入口流體孔分成等面積的水平矩形截面，那么每一區(qū)域區(qū)段將各自對(duì)準(zhǔn)入口側(cè)介質(zhì)蓋3508中的對(duì)應(yīng)開(kāi)口。簡(jiǎn)要地參考圖37，圖37說(shuō)明到介質(zhì)腔且分成等面積區(qū)域3704的入口孔3702的一個(gè)實(shí)施例。等面積的每一區(qū)域可突出到上游介質(zhì)蓋3508中的分離開(kāi)口。返回到圖36，隨著流體從入口端口3420進(jìn)入上游腔3502，流體將趨于散開(kāi)。上游蓋3508的格柵大小可經(jīng)設(shè)計(jì)以適應(yīng)此效應(yīng)以確保以均勻流動(dòng)體積將即將來(lái)臨的流體流動(dòng)卡住在每一格柵開(kāi)口處。格柵開(kāi)口可成角度以改向流動(dòng)使其垂直通過(guò)褶裥網(wǎng)片。格柵開(kāi)口還可成角度以分散由入口端口3420的較小水力直徑驅(qū)動(dòng)進(jìn)入過(guò)濾器外殼中的流體流動(dòng)的力。格柵開(kāi)口中還可并有幾何形狀以將流動(dòng)更均勻地引導(dǎo)到暴露開(kāi)口內(nèi)的暴露褶裥尖端中的每一者。介質(zhì)蓋(及因此凈化器元件)相距上游側(cè)壁的距離從第一端壁3410到第二端壁3412降低，且介質(zhì)蓋(及因此凈化器元件)相距下游側(cè)壁的距離從第一端壁3410到第二端壁3412增加。因此，在上游腔3502中水力直徑隨著流體在遠(yuǎn)離入口端口的方向上移動(dòng)而降低，且在下游腔3504中水力直徑隨著流體移動(dòng)朝向出口端口3422而增加。此外，集成凈化器元件殼體3442及介質(zhì)蓋3507可提供張力部件以在平行于褶裥方向的方向上提供結(jié)構(gòu)支撐(對(duì)端壁3410及3412提供結(jié)構(gòu)支撐)及在垂直于褶裥的方向上提供結(jié)構(gòu)支撐(例如，對(duì)圖34A的壁3404及3408提供支撐)。圖38A到38C是集成凈化器元件殼體3442的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。第一介質(zhì)蓋3508在分開(kāi)第一側(cè)壁部分3510與第二側(cè)壁部分3512之間從第一端延伸到第二端。第一介質(zhì)蓋3508可包含跨第一介質(zhì)蓋3508延伸的分開(kāi)部件3805，借此提供格柵使得流體流過(guò)3442。如上文討論，分開(kāi)部件3805可經(jīng)設(shè)計(jì)以提供所需流動(dòng)特性并引導(dǎo)流動(dòng)使其垂直于褶裥尖端。此外，分開(kāi)部件3805可分開(kāi)使得分開(kāi)部件之間的開(kāi)口對(duì)應(yīng)于等面積的入口開(kāi)口的不同區(qū)段?？砂瑥牡谝唤橘|(zhì)蓋3508的第一端延伸到第二端以對(duì)分開(kāi)部件提供支撐的支撐件3810(且支撐件3810可用作外殼的張力支撐件)。圖39是介質(zhì)蓋3507在適當(dāng)位置中且界定凈化器元件固持區(qū)域3506(未展示隔膜褶裥網(wǎng)片)的集成凈化器元件殼體3442的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。凈化器元件固持區(qū)域3506可具有實(shí)質(zhì)上矩形端外形。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，介質(zhì)蓋3507可卡扣配合到凈化器元件殼體3442且還可被進(jìn)一步粘結(jié)。凈化器元件的上部及下部隔膜翻瓣可卡住在介質(zhì)蓋3507與集成過(guò)濾器殼體3442之間。介質(zhì)蓋3507可進(jìn)一步粘結(jié)或以其它方式耦合到端壁。圖40說(shuō)明蓋3438及3440在適當(dāng)位置中的過(guò)濾器組合件的一個(gè)實(shí)施例。介質(zhì)蓋3507的上部部件可粘結(jié)或以其它方式耦合到蓋3440的上沿的部分，且介質(zhì)蓋3507的下部部件可沿介質(zhì)蓋3507的長(zhǎng)度粘結(jié)或以其它方式耦合到蓋3440的內(nèi)部下沿。在圖27到40的實(shí)施例中，褶裥網(wǎng)片或其它網(wǎng)片可放置在集成過(guò)濾器殼體中且第二介質(zhì)蓋耦合到集成過(guò)濾器殼體。隔膜的最后的翻瓣可卡住在集成過(guò)濾器殼體與第二蓋之間。第二蓋還可粘結(jié)到集成過(guò)濾器殼體。外殼的剩余部分可通過(guò)粘結(jié)操作或其它耦合操作而耦合到集成過(guò)濾器殼體。褶裥網(wǎng)片可或可不裝填?？稍诩蛇^(guò)濾器殼體中放置其它凈化介質(zhì)或促進(jìn)如本文中描述的其它過(guò)程(例如熱量交換)的介質(zhì)。凈化器匣的實(shí)施例可由多種材料制成，多種材料包含(但不限于)親油性樹(shù)脂、全氟化樹(shù)脂(例如(但不限于)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚碳酸酯、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚二醚酮(PEEK)、金屬或其它材料。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，外層可由相對(duì)便宜的聚合物形成，而內(nèi)層可包括不太可能與工藝流體反應(yīng)或污染工藝流體的更昂貴的聚合物。例如，組件可包括由聚丙烯或可承受應(yīng)用的溫度及壓力需求的其它材料形成的外殼體。在外殼體內(nèi)側(cè)，通常更昂貴、更耐化學(xué)腐蝕、較高純度的材料的內(nèi)層可經(jīng)熱成型且附接到外層。在另一實(shí)施例中，可在外層內(nèi)側(cè)上方包覆模制所需材料的內(nèi)層。過(guò)濾器的整個(gè)濕潤(rùn)表面可為更耐化學(xué)腐蝕、純度較高的聚合物，例如PTFE、FEP、PFA)或其它材料。例如下文討論的腔道蓋的內(nèi)部組件可由多種材料制成，多種材料包含(但不限于)親油性樹(shù)脂、全氟化樹(shù)脂(例如(但不限于)PTFE、FEP、PFA)、PVDF、聚酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚碳酸酯、PP、PE、PEEK、金屬或其它材料。在一個(gè)實(shí)施例中，腔道蓋可由多層形成。核心可包括相對(duì)便宜的第一聚合物(例如，聚丙烯)，而接觸流體的任何層可包括不太可能與工藝流體反應(yīng)或污染工藝流體的更耐化學(xué)腐蝕、純度較高的第二聚合物。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，第二聚合物可包覆模制在第一聚合物上方。例如，PET的熔化溫度低于PFA及PTFE隔膜。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，因此，具有PFA及PTFE組份的過(guò)濾器組合件的一或多個(gè)部分可經(jīng)PET包覆模制或裝填。凈化器匣可經(jīng)配置以提供法向流動(dòng)過(guò)濾(NFF)，其中流體在所施加的壓力下直接朝過(guò)濾器隔膜對(duì)流。太大而不能行進(jìn)穿過(guò)隔膜的小孔的顆粒累積在隔膜表面處或過(guò)濾介質(zhì)的深度中，而小分子行進(jìn)穿過(guò)隔膜小孔到下游側(cè)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，凈化器匣可經(jīng)選擇以移除微米及/或亞微米顆粒(例如，100納米或更小的顆粒)。可在單一過(guò)濾系統(tǒng)單元中串聯(lián)應(yīng)用多個(gè)過(guò)濾器以連續(xù)移除較小顆?；虿煌愋偷念w粒?？勺詈蟠?lián)放置最精細(xì)過(guò)濾器使得在較大顆粒到達(dá)所述最后的過(guò)濾器之前濾除較大顆粒。此可減小最精細(xì)(通常最昂貴)的過(guò)濾器的磨損。在其它實(shí)施例中，匣可經(jīng)配置用于交叉流動(dòng)過(guò)濾，例如(但不限于)切向流動(dòng)過(guò)濾或氣體接觸。在一個(gè)實(shí)施例中，凈化器匣使用非圓形折疊式凈化器元件。例如，一個(gè)實(shí)施例可包含一或多個(gè)矩形折疊式過(guò)濾器，其中第一組褶裥尖端面向介質(zhì)腔的上游部分及第二組褶裥尖端面向介質(zhì)腔的下游部分。第一組褶裥尖端可大體上布置在第一平面中，且第二組褶裥尖端可大體上布置在第二平面中。凈化器元件可提供大體上較平坦的矩形入口界面及大體上較平坦的矩形出口界面。在多孔聚合物隔膜的情況下，使用矩形褶裥網(wǎng)片可在與傳統(tǒng)半導(dǎo)體液體過(guò)濾器相同的占據(jù)面積中提供相當(dāng)多的額外過(guò)濾區(qū)域。過(guò)濾器的褶裥可由單一隔膜或多個(gè)隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。此外，聚合物結(jié)網(wǎng)材料及其它材料可連同隔膜一起折疊。可使用允許在隔膜中橫向流動(dòng)(平行于褶裥流動(dòng))的隔膜。將褶裥網(wǎng)片分成由張力部件分離的多個(gè)腔道提供強(qiáng)度的改善，從而允許使用較小匣。在一些情況下，可使用相對(duì)較薄壁的匣。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，可形成PFA匣，其中外殼的厚度是致使流體相距裝置的四側(cè)上的外表面小于5毫米且在一些情況下小于4毫米。在占據(jù)面積減小且材料較少的情況下，此匣可提供可相當(dāng)于圓柱形過(guò)濾器的過(guò)濾、流速及壓降。例如，可形成具有PFA主體的匣，其具有3m2隔膜，所述3m2隔膜實(shí)現(xiàn)與具有3m2隔膜的相當(dāng)?shù)膱A柱形過(guò)濾器相同的過(guò)濾、流速及壓力損失，但體積較小且占據(jù)小于一半的寬度。因此，凈化器匣的實(shí)施例可經(jīng)配置以減小占據(jù)面積及維護(hù)空間需要。注意，3m2隔膜及其它尺寸被提供作為實(shí)例，且可形成包含任何適當(dāng)隔膜面積的匣，且所述匣可包含其它類型的過(guò)濾器介質(zhì)。此外，凈化器匣可由多種材料形成且用于其它凈化應(yīng)用或其它應(yīng)用。除了使大小減小以外，凈化器匣可使復(fù)雜度減小。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，可使用最小數(shù)目的獨(dú)有部分形成凈化器匣，從而減小制造復(fù)雜度及成本。在一些實(shí)施例中，這些部分可包含主殼體、側(cè)蓋、腔道蓋及端帽。然而，在其它實(shí)施例中，凈化器匣可由任何數(shù)目的部分形成。此外，與圓柱形過(guò)濾器相比，凈化器匣可改善排放及排氣且降低外殼表面面積及無(wú)效體積以改善性能及清潔度。本文中描述的實(shí)施例還可通過(guò)促進(jìn)個(gè)別平行及連續(xù)過(guò)濾來(lái)促進(jìn)先進(jìn)的過(guò)濾應(yīng)用。本文中描述的實(shí)施例還可更容易受機(jī)器人操控，從而促進(jìn)過(guò)濾器替換及維護(hù)的自動(dòng)化。如可根據(jù)前文了解，凈化器匣可具有多種配置。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，可組合各個(gè)圖式中所示的特征且可搭配其它實(shí)施例使用一個(gè)實(shí)施例中所示的特征。此外，雖然某些組件可展示為整體式或分離式，但是也可以其它方式布置所述組件。因此，雖然側(cè)壁234、側(cè)壁236、第二腔道蓋239及張力部件被描繪為集成于主殼體230中，但是其也可為分離組件。例如，第二腔道蓋239可為分離蓋且張力部件238可與側(cè)蓋中的一者集成。此外，將了解，考慮其它布置，例如與主體集成的端口或其它配置。此外，雖然已主要就過(guò)濾描述匣，但是匣可提供緊湊壓力容器以用于任何適當(dāng)凈化應(yīng)用或其它應(yīng)用，包含(例如)作為虛擬匣、加壓混合器、熱量交換器或其它應(yīng)用。匣可使用任何適當(dāng)連接件接合供應(yīng)器系統(tǒng)。例如，可使用如Gashgaee等人在2009年6月16日發(fā)布且標(biāo)題是“無(wú)O環(huán)低外形接頭及接頭組合件(O-Ring-LessLowProfileFittingsandFittingAssemblies)”的第7,547,049號(hào)美國(guó)專利中(所述案是以引用方式全部并入本文)描述的非O形環(huán)接頭及接頭組合件或其它連接機(jī)構(gòu)連接凈化器匣。在其它實(shí)施例中，過(guò)濾器可使用例如以下專利中描述的連接機(jī)構(gòu)使得可通過(guò)旋轉(zhuǎn)而連接端口：2002年4月30日發(fā)布且標(biāo)題是“連接器設(shè)備及包含連接器設(shè)備的系統(tǒng)(ConnectorApparatusandSystemIncludingConnectorApparatus)”的第6,378,907號(hào)美國(guó)專利、2006年4月4日發(fā)布且標(biāo)題是“連接器設(shè)備及包含連接器設(shè)備的系統(tǒng)(ConnectorApparatusandSystemIncludingConnectorApparatus)”的第7,021,667號(hào)美國(guó)專利、2007年11月20日發(fā)布且標(biāo)題是“清除包含無(wú)過(guò)濾器連接器設(shè)備的流體施配系統(tǒng)內(nèi)的施配流體的方法及系統(tǒng)(MethodandSystemforPurgingaDispensedFluidWithinaFluidDispensingSystemIncludingaFilter-FreeConnectorApparatus)”的第7,296,582號(hào)美國(guó)專利、2008年4月1日發(fā)布且標(biāo)題是“清除包含無(wú)過(guò)濾器連接器設(shè)備的流體施配系統(tǒng)內(nèi)的施配流體的方法及系統(tǒng)(MethodandSystemforPurgingaDispensedFluidWithinaFluidDispensingSystemIncludingaFilter-FreeConnectorApparatus)”的第7,350,821號(hào)美國(guó)專利、2006年5月2日發(fā)布且標(biāo)題是“連接器設(shè)備及包含連接器設(shè)備的系統(tǒng)(ConnectorApparatusandSystemIncludingConnectorApparatus)”的7,037,424號(hào)美國(guó)專利，所述案是各自以引用方式全部并入本文。此外，凈化器匣端口可使用所屬領(lǐng)域中已知或開(kāi)發(fā)的任何其它適當(dāng)連接件(包含(但不限于)FlareMountTM、Pillar5300、SuperPillar、Flaretek、Galtek、Swagelok連接件)而連接。圖41及42系是實(shí)例連接系統(tǒng)4200的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。連接系統(tǒng)4200包括界定螺母容納區(qū)域的連接外殼4202、安置在螺母容納區(qū)域中的連接螺母4210、至少部分由螺母容納的第一接頭4212及第二接頭4214。第一接頭4212提供開(kāi)向第一接頭4212靠近連接螺母4210的端的流體流動(dòng)通路，且第二接頭4214提供開(kāi)向第二接頭4214靠近連接螺母4210的端的流體流動(dòng)通路。第一接頭4212及第二接頭4214可經(jīng)配置以配接或鄰接以使得流動(dòng)通路可經(jīng)連接以形成連續(xù)流動(dòng)通路。優(yōu)選地，接頭是經(jīng)配置以在軸向力下形成密封的互補(bǔ)接頭，例如接頭、FlareMountTM接頭或所屬領(lǐng)域中已知或開(kāi)發(fā)的其它接頭。雖然接頭4212被說(shuō)明為母接頭且接頭4214被說(shuō)明為公接頭，但是在其它實(shí)施例中，接頭4212可為公接頭且接頭4214可為母接頭。接頭中的一者可為(例如，如圖1A中所示的)匣的端帽的部分。連接螺母4210包括沿連接螺母4210的主軸從第一側(cè)4215延伸到第二側(cè)4216的開(kāi)口。螺母圍封接頭中的一者的端部分且可繞與流動(dòng)通路同軸的接頭旋轉(zhuǎn)。穿過(guò)螺母的開(kāi)口可具有包含較小直徑的區(qū)域4220及較大直徑的區(qū)域4222的不同直徑的區(qū)域。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，螺母的開(kāi)口在穿過(guò)連接螺母4210的開(kāi)口的第一端處具有較狹窄直徑，且在穿過(guò)連接螺母4210的開(kāi)口的第二端處具有較大直徑(形成階狀軸肩)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，接頭中的一者可經(jīng)塑形使得接頭的第一部分行進(jìn)穿過(guò)較狹窄直徑的區(qū)域，而第二部分具有大于較狹窄直徑的區(qū)域的直徑(或其它塑形占據(jù)面積)。如所描繪，例如，第一接頭4212的端部分具有行進(jìn)穿過(guò)螺母的左端的第一區(qū)段4230及太大而不能行進(jìn)穿過(guò)較狹窄直徑區(qū)域4220的第二區(qū)段4232。在此實(shí)施例中，連接螺母4210及第一接頭形成在使用期間經(jīng)塑形且經(jīng)定位以鄰接的互補(bǔ)徑向軸肩4240(例如，連接螺母4210的內(nèi)軸肩鄰接接頭4212的外軸肩)。第二接頭4214可包含通過(guò)螺母開(kāi)口的第二端容納的端部分4242。第二接頭4214的容納部分可包含外螺紋4244。一組連接螺母內(nèi)螺紋4246安置在連接螺母4210的第二端附近且可經(jīng)設(shè)計(jì)以接合端口接頭外螺紋4244。連接螺母4210還可包含安置在連接螺母4210的外側(cè)的至少一部分上且接合安置在外殼4202內(nèi)側(cè)上的外殼螺紋4252的外螺紋4250。在操作中，第一接頭4212及第二接頭4214的端可放在一起。當(dāng)?shù)诙宇^4214的端部分在適當(dāng)位置處時(shí)，連接螺母4210可經(jīng)旋轉(zhuǎn)以使螺母內(nèi)螺紋4246接合接頭外螺紋4244。接頭外螺紋4244上及接頭4212的軸肩4240上的力將第一接頭4212及第二接頭4214按壓在一起以產(chǎn)生密封(如圖42中所示)。連接系統(tǒng)4200可用以有助于尤其維護(hù)其中形成或由軸向力促進(jìn)密封的接頭的密封。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，螺母內(nèi)螺紋4246可繞接頭360度接合接頭外螺紋4244，而無(wú)須使連接螺母4210旋轉(zhuǎn)360度以產(chǎn)生360度接合。為此，螺母內(nèi)螺紋4246及接頭外螺紋4244可為多線螺紋，例如雙線螺紋、三線螺紋等等。雙線、三線或其它多線螺紋可大致上旋轉(zhuǎn)一半或更少而繞全密封連接件提供360度軸向負(fù)載。螺母內(nèi)螺紋4246及接頭外螺紋4244可為接受高軸向負(fù)載的螺紋。螺紋可包含各種標(biāo)準(zhǔn)的螺紋外形，包含(但不限于)1個(gè)至12個(gè)UNF螺紋、鋸齒螺紋、梯形螺紋或其它螺紋。此外，可使用定做或?qū)俾菁y。在一個(gè)實(shí)施例中，螺母內(nèi)螺紋4246及接頭外螺紋4244可為雙線螺紋，其中每一螺紋線偏離近似180度且螺紋從每一各螺紋線延伸至少180度。在此情況下，連接螺母4210可經(jīng)旋轉(zhuǎn)以接合雙線螺紋。螺母旋轉(zhuǎn)180度將導(dǎo)致雙線螺紋繞外部接頭進(jìn)行360度接合。更特定地說(shuō)，使用第一螺紋的螺紋線作為參考，開(kāi)始于第一螺紋線的螺母內(nèi)螺紋4246的第一螺紋可從0度到180度接觸接頭外螺紋4244且開(kāi)始于第二螺紋線的螺母內(nèi)螺紋4246的第二螺紋可從180度到360度接觸接頭外螺紋4244，使得接頭4214上存在繞接頭360度的軸向力。雖然使用180度的實(shí)例，但是還可使用其它長(zhǎng)度的雙線螺紋。使用三線螺紋的實(shí)例，每一螺紋線可偏離近似120度且螺紋可從每一螺紋線延伸近似135度。在此情況下，連接螺母4210旋轉(zhuǎn)135度將產(chǎn)生360度接合。在此實(shí)例中，開(kāi)始于第一螺紋線的螺母內(nèi)螺紋4246的第一螺紋可從0度到135度接觸接頭外螺紋4244，開(kāi)始于第二螺紋線的螺母內(nèi)螺紋4246的第二螺紋可從120度到255度接觸接頭外螺紋4244，且開(kāi)始于第三螺紋線的第三螺紋可從240度到15度接觸接頭外螺紋4244，使得接頭4214上存在繞接頭360度的軸向力。雖然使用135度的實(shí)例，但是還可使用其它長(zhǎng)度的三線螺紋。因此，多線螺紋配置可用以在連接螺母4210旋轉(zhuǎn)小于360度(且在一些情況下小于180度)的情況下繞全密封連接件提供360度軸向負(fù)載。在其它實(shí)施例中，軸向負(fù)載可小于360度，但是足以產(chǎn)生密封。例如，負(fù)載外形中可存在小間隙，前提是所述密封仍然可頂住間隙(例如，存在其中不具備螺紋接合的角度范圍)。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，所提供的螺紋實(shí)例是通過(guò)實(shí)例方式提供且可使用多線螺紋的其它配置。連接系統(tǒng)4200可包含反向旋轉(zhuǎn)防止特征以產(chǎn)生足夠大的力，使得連接螺母4210將不會(huì)在軸向負(fù)載下反向旋轉(zhuǎn)(旋轉(zhuǎn)以釋放所述密封)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，反向旋轉(zhuǎn)防止特征可為摩擦配合。摩擦配合可由外殼內(nèi)螺紋4252與螺母外螺紋4250之間的摩擦力而提供。螺母外螺紋4250及外殼內(nèi)螺紋4252可為經(jīng)選擇以在螺紋之間產(chǎn)生足夠大的表面面積接觸的較精細(xì)螺紋，使得連接螺母4210與連接外殼4202之間存在有效大小的摩擦力以防止連接螺母4210在期望軸向負(fù)載(包含循環(huán)軸向負(fù)載)下反向旋轉(zhuǎn)。然而，有效大小的摩擦力可足夠低使得當(dāng)連接螺母4210上施加足夠大的外部旋轉(zhuǎn)力時(shí)，連接螺母4210可反向旋轉(zhuǎn)，借此允許脫離接頭。在此情況下，螺母外螺紋4250固持連接螺母4210的位置且螺母內(nèi)螺紋4246支承軸向負(fù)載。反向旋轉(zhuǎn)防止螺紋可包含任何標(biāo)準(zhǔn)的螺紋，包含統(tǒng)一螺釘螺紋或提供足夠大的摩擦力的定做螺紋。還可使用其它螺紋設(shè)計(jì)，包含(但不限于)鋸齒螺紋。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，螺母外螺紋4250及外殼內(nèi)螺紋4252是單線螺紋。還可提供鎖定機(jī)構(gòu)(例如，例如接頭的旋轉(zhuǎn)部件上的止回爪及/或凹口、卡扣配合或其它特征)以防止螺母4210非所期地反向旋轉(zhuǎn)。在一些情況下，除較高摩擦力螺母外螺紋4250以外還可使用鎖定機(jī)構(gòu)或可使用鎖定機(jī)構(gòu)來(lái)代替較高摩擦力螺母外螺紋4250(同時(shí)仍然使用螺母外螺紋或根本不使用螺母外螺紋)以防止螺母旋出。在一些實(shí)施例中，連接螺母4210不具備外螺紋且螺母4210由替代固定機(jī)構(gòu)軸向固持在適當(dāng)位置。連接系統(tǒng)可包含將螺母固持到所需角度范圍的特征(例如螺紋上的止動(dòng)塊)以防止螺母旋轉(zhuǎn)超過(guò)某個(gè)點(diǎn)。特定地說(shuō)，螺母的旋轉(zhuǎn)可限于第一角位置與第二角位置之間的范圍，其中第一角位置對(duì)應(yīng)于全接合且第二角位置對(duì)應(yīng)于全脫離。在第二角位置中，內(nèi)螺紋的螺紋線將處于已知位置，從而有助于確保使螺母內(nèi)螺紋與接頭外螺紋適當(dāng)?shù)貙?duì)準(zhǔn)。連接系統(tǒng)可適于不同端口大小?？苫诙丝诖笮　⑤S向行進(jìn)需求、負(fù)載需求及密封性能需求改變內(nèi)螺紋及外螺紋。組件可由多種材料制成，多種材料包含聚合物材料，例如(但不限于)親油性樹(shù)脂、全氟化樹(shù)脂(例如(但不限于)PTFE、FEP、PFA)、PVDF、聚酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚碳酸酯、PP、PE、PEEK、金屬或其它材料。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，連接系統(tǒng)可主要由PFA形成以對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供真實(shí)超凈PFA、快速連接密封連接件。連接系統(tǒng)可用于多種應(yīng)用，包含獨(dú)立接頭、直立管套接接頭、彎頭接頭或其它接頭，且可集成于其它裝置中。雖然上文說(shuō)明的接頭以FlareMountTM密封機(jī)構(gòu)為特征，但是還可使用其它樣式的接頭。接頭可經(jīng)熔接到管道或管子或使用一或兩端處的管子連接件而模制。接頭還可插入到管子的擴(kuò)邊端中。接頭中的一者還可熔接到過(guò)濾器外殼上或模制到過(guò)濾器外殼中(例如，Chemline或過(guò)濾器外殼或(例如)其它過(guò)濾器外殼)。替代地還可使用連接系統(tǒng)以進(jìn)行管子密封樣式連接。圖43是使用經(jīng)修改螺紋設(shè)計(jì)的連接系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。已說(shuō)明的連接系統(tǒng)的部分包括具有連接外殼內(nèi)螺紋4304的連接外殼4302、具有螺母內(nèi)螺紋4312及螺母外螺紋4314的連接螺母4310及具有外螺紋4322的流體接頭4320。還說(shuō)明另一接頭4324的部分。螺母內(nèi)螺紋4312及接頭外螺紋4322可為經(jīng)修改鋸齒螺紋。美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)鋸齒螺紋具有與法向軸成7度的負(fù)載螺腹角及與法向軸的相對(duì)側(cè)成45度的離隙螺腹角，從而產(chǎn)生52度的螺紋角(在負(fù)載螺腹角與鄰近離隙螺腹角之間的角度)。螺母內(nèi)螺紋4312及接頭外螺紋4322的實(shí)施例可具有小于45度的離隙螺腹角。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，離隙螺腹角介于15度到40度之間，但是可以更小。負(fù)載螺腹角可介于0度到15度之間且如離隙螺腹角一樣可在法向軸的相同或相對(duì)側(cè)。在一個(gè)實(shí)施例中，例如，離隙螺腹角是近似30度且負(fù)載螺腹角是近似3度以提供33度螺紋角。在另一實(shí)施例中，負(fù)載螺腹可成角度使得螺紋角小于離隙螺腹角。換句話來(lái)說(shuō)，負(fù)載螺腹及離隙螺腹可與離隙螺腹一樣成角度到法向軸的相同側(cè)。此外，在一些實(shí)施例中，接頭外螺紋4322的負(fù)載螺腹角可不同于螺母內(nèi)螺紋4312的負(fù)載螺腹角以增加干涉。例如，如說(shuō)明，接頭外螺紋的負(fù)載螺腹可為近似0度，而連接螺母內(nèi)螺紋的負(fù)載螺腹朝接頭螺紋負(fù)載螺腹成若干度。此外，外殼內(nèi)螺紋4304及螺母外螺紋4314可經(jīng)配置以增加干涉。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，例如，外殼內(nèi)螺紋4304及螺母外螺紋4314的負(fù)載螺腹角可不同。在一些實(shí)施例中，連接螺母4310不具備外螺紋且軸向固定在外殼中，同時(shí)使用另一機(jī)構(gòu)以防止連接螺母4310反向旋轉(zhuǎn)。上文討論的連接件可由任何適當(dāng)材料形成，材料包含(但不限于)PVDF、FEP、PP、PFA及PTFE、包括聚合物的組份、金屬或其它材料，其滿足用于半導(dǎo)體制造的需求。在一些情況下，如果期望高溫，那么可期望使用展現(xiàn)出較低潛變的材料。因此，例如，當(dāng)應(yīng)用超過(guò)100攝氏度時(shí)可優(yōu)選對(duì)連接螺母及接頭使用PFA，因?yàn)镻TFE在這些溫度下展現(xiàn)出更大潛變。在任何情況下，連接系統(tǒng)可超過(guò)半導(dǎo)體制造接頭的限制條件，且在室溫或更高溫度下可承受245psi(1.69MPa)達(dá)5分鐘(例如，在室溫下承受535psi(3.7MPa)達(dá)5分鐘)。例如，當(dāng)在室溫下施加壓力達(dá)5分鐘時(shí)，由PFA及PTFE形成的圖43的連接系統(tǒng)可具有大于415psi的泄漏壓力(214磅軸向密封力)(2.87MPa及952牛頓密封力)。接頭的泄漏壓力在室溫下可大于500psi(3.4MPa)且甚至大于950psi(6.6MPa)。例如，具有由PFA形成的螺母及接頭的連接系統(tǒng)可因此在安全因素下提供規(guī)定用于FlareMountTM連接件的所需150磅(667牛頓)力(例如，連接系統(tǒng)可對(duì)1英寸(2.54厘米)接頭提供高于210磅(934牛頓)軸向力)。連接螺母可具有任何適當(dāng)形狀因數(shù)且可集成為另一組件的部分。在一些實(shí)施例中，連接螺母可以翼形螺母樣式設(shè)計(jì)為特征，其中所述翼經(jīng)定位使得用戶可在螺母上提供扭力負(fù)載以接合或脫離接頭。在其它實(shí)施例中，可提供允許用戶更容易施加扭力于螺母的另一形式的旋轉(zhuǎn)部件。在一個(gè)實(shí)施例中，連接螺母可耦合到齒輪組合件或使一或多個(gè)連接螺母旋轉(zhuǎn)的其它傳動(dòng)系統(tǒng)。傳動(dòng)系統(tǒng)可任意復(fù)雜且可一次同時(shí)使多個(gè)連接螺母旋轉(zhuǎn)以產(chǎn)生若干密封件。圖44A及44B是連接系統(tǒng)4400的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。連接系統(tǒng)4400包括連接外殼4402、可繞第一流體接頭4412旋轉(zhuǎn)的第一連接螺母4410、可繞第二流體接頭4422旋轉(zhuǎn)的第二連接螺母4420及傳動(dòng)系統(tǒng)。連接外殼4402包含從外殼4402的第一側(cè)行進(jìn)穿過(guò)外殼4402到外殼4402的第二側(cè)的螺紋式開(kāi)口。螺紋可經(jīng)配置以接合連接螺母4410及4420的螺母外螺紋。傳動(dòng)系統(tǒng)操作地耦合到第一連接螺母4410及第二連接螺母4420以同時(shí)使第一連接螺母4410及第二連接螺母4420在外殼4402內(nèi)旋轉(zhuǎn)。齒輪臂4430的第一端處的螺母耦合部件4434延伸到外殼4402的第一側(cè)。傳動(dòng)臂4432從螺母耦合部件4434延伸超過(guò)外殼4402的第二側(cè)達(dá)所需距離。連接螺母耦合部件4434耦合到第一螺母4410且包含具有齒輪齒4436的外表面。齒輪臂4430驅(qū)動(dòng)耦合到第二連接螺母4420的第二齒輪4440。齒輪臂4430用作旋轉(zhuǎn)部件使得齒輪臂4430的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致第一連接螺母4410及第二連接螺母4420同時(shí)旋轉(zhuǎn)以在第一流體接頭4412與凈化器匣上的接頭之間及第二流體接頭4422與凈化器匣上的第二接頭之間形成密封。當(dāng)齒輪臂4430旋轉(zhuǎn)時(shí)，較小的齒輪4440又在相反方向上旋轉(zhuǎn)以在接合較大端口的同時(shí)接合較小端口。此機(jī)構(gòu)允許在齒輪臂4430上使用單個(gè)旋轉(zhuǎn)動(dòng)作密封兩個(gè)端口。在已說(shuō)明的實(shí)施例中，齒輪具有1.6:1齒輪比，因此較小的連接螺母4420旋轉(zhuǎn)次數(shù)大于較大的連接螺母4410(但是也可使用任何適當(dāng)齒輪比)。如果連接螺母4410經(jīng)配置具有三線內(nèi)螺紋使得旋轉(zhuǎn)165度導(dǎo)致360度(或更大)螺紋接合，那么連接螺母4420可經(jīng)配置具有三線或其它多線內(nèi)螺紋使得旋轉(zhuǎn)264度導(dǎo)致360度密封力。注意，當(dāng)連接螺母轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，連接螺母可朝凈化器匣端帽(或其它接頭)平移。因此，齒輪臂4430及齒輪4440也可平移。在其它實(shí)施例中，連接螺母產(chǎn)生小于360度螺紋式接合(及小于360度圓周軸向密封力)，但仍產(chǎn)生足夠大的力以密封接頭。較小的連接螺母4420的內(nèi)螺紋及外螺紋可具有相對(duì)于連接螺母4410的內(nèi)螺紋及外螺紋縮放的節(jié)距，使得過(guò)濾器及螺母軸向移動(dòng)與齒輪臂4430旋轉(zhuǎn)相同的距離。齒輪比及節(jié)距高度可基于所需端口大小及軸向行進(jìn)距離的選取而改變。此外，可提供齒輪以使額外連接螺母旋轉(zhuǎn)以對(duì)額外端口提供密封，且連接系統(tǒng)可經(jīng)嚙合使得所有連接螺母在相同方向上旋轉(zhuǎn)。可提供容易受人類或機(jī)器人用戶操控的傳動(dòng)手柄4450。傳動(dòng)軸件4452從手柄4450朝外殼4402延伸且可容納在齒輪臂4430中的傳動(dòng)軸件通路中。傳動(dòng)軸件4452及傳動(dòng)軸件通路可用齒條接合或以其它方式配置以允許在通路中平移傳動(dòng)軸件4452。端帽對(duì)準(zhǔn)柱4454可平行于傳動(dòng)軸件4452延伸。端帽對(duì)準(zhǔn)柱4454可容納在凈化器匣端帽中的互補(bǔ)開(kāi)口(例如，圖15的開(kāi)口1530)中。端帽對(duì)準(zhǔn)柱4454界定傳動(dòng)軸件樞轉(zhuǎn)軸。齒輪臂4430的旋轉(zhuǎn)可限于特定旋轉(zhuǎn)范圍，且可提供鎖定齒輪臂4430的角位置的特征。為此，傳動(dòng)軸件通路更靠近連接外殼4402、接近齒輪臂4430的第一端的部分可敞開(kāi)以暴露傳動(dòng)軸件4452的外表面。傳動(dòng)軸件4452可收縮使得隨著傳動(dòng)軸件4452繞其樞轉(zhuǎn)點(diǎn)旋轉(zhuǎn)，傳動(dòng)軸件4452最接近連接外殼4402的端可行進(jìn)超過(guò)表面4460。即，傳動(dòng)軸件通路及外殼4402可經(jīng)配置使得傳動(dòng)軸件4452的端與外殼4402的表面4460重疊且在繞傳動(dòng)軸件樞轉(zhuǎn)軸的角位置范圍中與外殼4402的表面4460分開(kāi)。但在某些位置中，傳動(dòng)軸件4452的端可容納在表面4460的開(kāi)口中，外殼的側(cè)中的缺口或凹槽4464或其它特征將齒輪臂4430鎖定在所需角位置中。因此，例如，傳動(dòng)軸件4452的端可在表面4460上方從位置4465行進(jìn)到缺口4464。當(dāng)傳動(dòng)軸件4452對(duì)準(zhǔn)缺口4464時(shí)，傳動(dòng)軸件4452可經(jīng)平移使得傳動(dòng)軸件4452的一部分容納在缺口4464(接合位置)中，從而防止齒輪臂4430旋轉(zhuǎn)?？墒褂闷渌鼨C(jī)構(gòu)以禁止齒輪臂4430旋轉(zhuǎn)。作為另一實(shí)例，外殼4402的表面4462及螺母耦合部件4434的面對(duì)表面可包含錐齒輪齒或其它特征使得可維持齒輪臂4430的角位置。還可使用其它鎖定機(jī)構(gòu)，例如凹口及止回爪、鎖定銷、夾具。在一些實(shí)施例中，可由圓點(diǎn)及箭頭或其它視覺(jué)指示符標(biāo)記旋轉(zhuǎn)的結(jié)束點(diǎn)。圓點(diǎn)及箭頭還提供用以確認(rèn)接合或脫離的視覺(jué)指示符的一個(gè)實(shí)例。在又另一實(shí)施例中，可使用當(dāng)旋轉(zhuǎn)部件在適當(dāng)位置中時(shí)接通的LED或其它指示燈，從而再次提供適當(dāng)接合/脫離的指示。圖45是連接外殼4402的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示，其描繪具有內(nèi)螺紋的第一連接螺母開(kāi)口4502及具有內(nèi)螺紋的第二連接螺母開(kāi)口4504的實(shí)施例。雖然說(shuō)明兩個(gè)連接螺母開(kāi)口，但是實(shí)施例可包含具有一或多個(gè)螺紋式開(kāi)口的連接外殼及對(duì)應(yīng)連接螺母及流體接頭。在其它實(shí)施例中，外殼可軸向固定不具備螺紋的連接螺母。圖45進(jìn)一步描繪安置在外殼4402的側(cè)壁中的缺口4464，其經(jīng)配置以卡住傳動(dòng)軸件4452的一部分。連接外殼4402可包括具有可經(jīng)塑形使得連接外殼4402可安裝到歧管板的狹槽4506的支架。緊固件開(kāi)口4508允許使用螺釘、銷或其它部件以將連接外殼4402耦合到歧管板。螺紋孔4510可允許匣對(duì)準(zhǔn)特征耦合到連接外殼4402。圖46A是連接螺母4410的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。連接螺母4410包括外螺紋4600及內(nèi)螺紋4602。內(nèi)螺紋4602可經(jīng)配置使得旋轉(zhuǎn)小于360度(且在一些情況下旋轉(zhuǎn)小于180度)可在接頭之間產(chǎn)生密封(且可產(chǎn)生360度螺紋式接合或大于或小于360度螺紋式接合)。外螺紋4600可經(jīng)配置以防止連接螺母4410旋出。在其它實(shí)施例中，連接螺母4410可缺少外螺紋且可軸向固定在外殼中，同時(shí)使用另一機(jī)構(gòu)以防止連接螺母4410反向旋轉(zhuǎn)。連接螺母4410可包括對(duì)準(zhǔn)接頭上的互補(bǔ)特征的一組對(duì)準(zhǔn)特征。例如，連接螺母4410可包括從螺母開(kāi)口的內(nèi)部徑向表面向內(nèi)突出的突出體4604。突出體4604可對(duì)準(zhǔn)接頭上的特征。參考圖15B，例如，突出體4604可配合穿過(guò)對(duì)準(zhǔn)肋1514中的缺口1516。突出體4604可與內(nèi)螺紋4602的螺紋線分開(kāi)，使得除非突出體4604行進(jìn)穿過(guò)對(duì)應(yīng)缺口，否則內(nèi)螺紋4602不能接合固定件外螺紋(例如，圖15B的螺紋1512)。突出體4604可經(jīng)定位使得當(dāng)連接螺母4410是在關(guān)于端帽或其它接頭螺紋的特定定向上時(shí)，內(nèi)螺紋4602可只接合固定件外螺紋。此外，在已說(shuō)明的實(shí)施例中，連接螺母4410在突出體行進(jìn)穿過(guò)缺口后才能旋轉(zhuǎn)。因此，接頭的對(duì)準(zhǔn)特征及連接系統(tǒng)上(在此實(shí)例中，連接螺母上)的對(duì)準(zhǔn)特征防止連接螺母在螺紋彼此相對(duì)適當(dāng)?shù)囟ㄎ恢靶D(zhuǎn)。連接螺母4410可進(jìn)一步包括從一側(cè)延伸的彈性指狀物4606。彈性指狀物4606可由齒輪臂或齒輪卡住。彈性指狀物4606的端處的特征4608可提供可鄰接齒輪或齒輪臂的表面的軸肩4609。圖46B是連接螺母4410及流體接頭4412的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。穿過(guò)連接螺母4410的開(kāi)口可包括較大直徑的區(qū)域及小直徑的區(qū)域以形成連接螺母軸肩4610。流體接頭4412容納在連接螺母4410中的部分可具有具備較小直徑的部分及具備較大直徑的部分以形成鄰接連接螺母軸肩4610的流體接頭軸肩4612。連接螺母軸肩4610可抵著流體接頭軸肩4612推動(dòng)以提供足以將流體接頭4412密封到凈化器匣的端口或其它組件的軸向力。圖47A是傳動(dòng)系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。齒輪臂4430可包含具有開(kāi)口以容納第一連接螺母的螺母耦合部件4434及具有開(kāi)口以容納第二連接螺母的齒輪4440。特征4702及4704可產(chǎn)生可讓相應(yīng)連接螺母的彈性指狀物行進(jìn)穿過(guò)的通道。彈性指狀物的端處的特征(圖46A的特征4608)可用以將連接螺母緊固到齒輪臂或齒輪開(kāi)口中。當(dāng)齒輪臂及齒輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，特征4702及4704可通過(guò)在彈性臂的側(cè)沿上推動(dòng)而施加徑向力于相應(yīng)連接螺母，從而導(dǎo)致連接螺母旋轉(zhuǎn)。圖47A進(jìn)一步說(shuō)明具有傳動(dòng)軸件4452及端帽對(duì)準(zhǔn)柱4454的傳動(dòng)手柄的一個(gè)實(shí)施例。傳動(dòng)軸件4452可插入到齒輪臂4430的通路中。傳動(dòng)軸件4452的所有或一部分及所述通路可用齒條接合。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，傳動(dòng)軸件通路齒條可由插入件4706提供到齒輪臂4430的端中。端帽對(duì)準(zhǔn)柱4454可包括配合在端帽開(kāi)口中的通道中的一或多個(gè)徑向突出體4708。通道及突出體4708可協(xié)同以導(dǎo)引傳動(dòng)手柄4450的移動(dòng)以有助于確保如下文討論的適當(dāng)密封。對(duì)準(zhǔn)柱4454的端可包括具有環(huán)形凹槽及唇緣的可壓縮環(huán)4709。唇緣可如下文進(jìn)一步討論般由端帽的一部分卡住。圖47B是圖47A中所示的傳動(dòng)系統(tǒng)的實(shí)施例的橫截面視圖的圖形表示。齒輪臂4430包括容納傳動(dòng)軸件4452的傳動(dòng)軸件通路4720。傳動(dòng)軸件通路4720的端部分敞開(kāi)以暴露傳動(dòng)軸件4452的一部分(部分4710處指示)。傳動(dòng)軸件4452可在傳動(dòng)軸件通路4720中平移，使得傳動(dòng)軸件尖端4722可被推進(jìn)且收縮。在收縮傳動(dòng)軸件4452的方向上的平移可受限于插入件4706。插入件4706可包含與傳動(dòng)軸件4452同軸且向內(nèi)推動(dòng)的一組彈性指狀物4730。當(dāng)傳動(dòng)軸件4452收縮一定距離時(shí)，彈性指狀物4730向內(nèi)推動(dòng)進(jìn)入環(huán)形凹槽4732以禁止在所述方向上進(jìn)一步平移。插入件4706可在通路4720中旋轉(zhuǎn)使得傳動(dòng)手柄4450可繞傳動(dòng)軸件4452的軸旋轉(zhuǎn)，直到將對(duì)準(zhǔn)柱4454向前推動(dòng)進(jìn)入端帽對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口，從而使齒條與狹槽對(duì)準(zhǔn)，狹槽允許進(jìn)一步推進(jìn)傳動(dòng)手柄4450以將所述兩個(gè)部分旋轉(zhuǎn)地鎖定在一起。圖48是安置在端帽或其它組件中以容納對(duì)準(zhǔn)柱4454(圖44A)的對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口4800的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。可在對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口4800內(nèi)側(cè)上界定多個(gè)肋狀物或其它特征以界定一系列軸向通道及徑向通道。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述特征界定入口通道4802、第一徑向通道4804、第二徑向通道4806及連接第一徑向通道與第二徑向通道4806的第二軸向通道4808(展示其中的一者)。在一個(gè)實(shí)施例中，可在插入到端帽開(kāi)口中的插入件4850中界定所述通道。參考圖44到48，當(dāng)對(duì)準(zhǔn)柱4454插入到開(kāi)口4800中時(shí)，突出體4708容納在入口通道4802中。這意味著在可插入對(duì)準(zhǔn)柱4454之前，傳動(dòng)系統(tǒng)是在正確定向上。此定向可與其中連接螺母4410及連接螺母4420的內(nèi)螺紋適當(dāng)對(duì)準(zhǔn)端帽、接頭或其它固定件上的外螺紋的定向一致。可平移傳動(dòng)手柄4450，從而在通路4720中平移傳動(dòng)軸件4452。然而，第二軸向通道4808未對(duì)準(zhǔn)入口通道4802(例如，肋狀物4810與入口通道4802重疊且用作止動(dòng)塊)，使得傳動(dòng)手柄4450的進(jìn)一步平移受限。傳動(dòng)手柄4450可旋轉(zhuǎn)直到突出體4708對(duì)準(zhǔn)軸向通道4808。此位置可對(duì)應(yīng)于其中傳動(dòng)軸件4452對(duì)準(zhǔn)外殼4402中的缺口4464且連接螺母4410及連接螺母4420旋轉(zhuǎn)以產(chǎn)生360度密封的位置。接著可進(jìn)一步推進(jìn)傳動(dòng)手柄4450使得傳動(dòng)軸件4452容納在缺口4464中。壓縮環(huán)4709的環(huán)狀唇緣可在脊部4812上方行進(jìn)使得脊部4812卡住在壓縮環(huán)4709的凹槽中。壓縮環(huán)4709及脊部4812可產(chǎn)生當(dāng)傳動(dòng)軸件4452完全接合缺口4464時(shí)提供觸覺(jué)反饋的卡扣配合。此外，壓縮環(huán)4709及脊部4812提供防止傳動(dòng)軸件4452突然收縮的機(jī)構(gòu)。因此，對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口4800可提供鍵合特征，其經(jīng)配置使得當(dāng)傳動(dòng)軸件4452在第一角位置中時(shí)，可將傳動(dòng)軸件4452推進(jìn)有限第一距離。傳動(dòng)軸件4452可接著通過(guò)旋轉(zhuǎn)齒輪臂4430而旋轉(zhuǎn)到第二角位置，所述第二角位置對(duì)應(yīng)于密封連接。傳動(dòng)軸件4452可被推進(jìn)到最終完全插入位置，其中傳動(dòng)軸件4452用作固定銷以防止進(jìn)一步角旋轉(zhuǎn)。圖49A是類似于連接系統(tǒng)4400的連接系統(tǒng)4900的一部分的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。連接系統(tǒng)4900可包含接合端帽、接頭或其它固定件上的互補(bǔ)對(duì)準(zhǔn)特征的對(duì)準(zhǔn)特征。在此實(shí)例中，旋轉(zhuǎn)部件(例如，齒輪臂4930)是狹槽4932，狹槽4932具有法向于齒輪臂4930的徑向行進(jìn)的方向(即，平行于樞轉(zhuǎn)軸的側(cè)中)的入口。狹槽4932可容納端帽、接頭或其它固定件上的徑向延伸肋4934(例如，圖1的肋狀物130)。這些配接特征部分纏繞在端口的軸周圍。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，狹槽4932及肋狀物4934經(jīng)配置，使得當(dāng)連接螺母內(nèi)螺紋及端帽、接頭或其它固定件的外螺紋經(jīng)正確定位以允許進(jìn)行適當(dāng)接合時(shí)，肋狀物4934的端與狹槽4932的入口對(duì)準(zhǔn)。因此，連接系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)特征及互補(bǔ)端帽、接頭或其它固定件對(duì)準(zhǔn)特征經(jīng)配置使得在齒輪臂旋轉(zhuǎn)之前，所述螺紋是在適當(dāng)位置中及適當(dāng)定向上。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，肋狀物4934歸因于肋狀物4934的橫截面由于肋狀物4934徑向伸出(圖49B中所示)而變得更大而固持在齒輪臂4930的狹槽4932中。狹槽4932還可隨著狹槽徑向伸出而變得更寬。此外，根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，狹槽4932及肋狀物4934可呈螺旋形。此機(jī)構(gòu)可用以有助于相對(duì)于過(guò)濾器端帽固持齒輪臂4930的位置，且還可隨著齒輪臂4930繞端口軸旋轉(zhuǎn)而(例如，通過(guò)干涉配合)在端帽與流體接頭之間產(chǎn)生更大軸向負(fù)載。連接外殼4902的另一側(cè)上的負(fù)載可大致上等效于由狹槽4932的壁與肋狀物4934之間的接合的干涉配合產(chǎn)生的負(fù)載。這可有助于將負(fù)載分布在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的兩側(cè)上以確保平滑旋轉(zhuǎn)及密封接合。肋狀物4934及狹槽4932可具有近似等于(即，較大連接螺母的)連接螺母內(nèi)螺紋的節(jié)距的節(jié)距。傳動(dòng)軸件可以凸座或經(jīng)設(shè)計(jì)以接合位于過(guò)濾器接頭的螺旋肋狀物4934上的凹槽4940的其它特征為特征。當(dāng)在流體密封過(guò)濾器之后向前推動(dòng)傳動(dòng)軸件時(shí)，迫使凸座進(jìn)入肋狀物4934上的凹槽4940中。此在靠近過(guò)濾器接頭處提供防旋轉(zhuǎn)特征。如果傳動(dòng)軸件并非在正確定向上，那么將不會(huì)接合所述特征，從而警告用戶傳動(dòng)手柄未旋轉(zhuǎn)到正確定向且密封并不完全。圖49B說(shuō)明肋狀物4934的橫截面的一個(gè)實(shí)施例。圖49C是具有具備凸座4954的傳動(dòng)軸件4952的傳動(dòng)手柄4950的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。圖50說(shuō)明用于連接到匣端帽或其它接頭的連接系統(tǒng)5000的另一實(shí)施例。連接系統(tǒng)5000可包含安置在連接外殼5012上的連接螺母5010。連接螺母5010將彎頭接頭5014連接到端帽5016上的接頭。旋轉(zhuǎn)部件5020促進(jìn)螺母5010的旋轉(zhuǎn)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，旋轉(zhuǎn)部件5020包括耦合到螺母5010且與穿過(guò)螺母5010的開(kāi)口相距徑向距離的臂5022。臂5022可從螺母5010的端面延伸。臂5022可長(zhǎng)于與端帽接頭同軸的彎頭接頭5014的第一部分。旋轉(zhuǎn)部件5020還可包含垂直于臂5022延伸的平臺(tái)5024使得平臺(tái)5024的外面平行于螺母5010的端面。平臺(tái)5024可包含工具接口5026以允許旋轉(zhuǎn)工具鉆頭(例如，例如六角起子、Philips鉆頭、平頭鉆頭、星形鉆頭)或其它工具接合旋轉(zhuǎn)部件。旋轉(zhuǎn)部件5020旋轉(zhuǎn)會(huì)使螺母5010旋轉(zhuǎn)。在一些實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)部件5020小于360度(包含小于180度，且在一些情況下小于135度)的旋轉(zhuǎn)可導(dǎo)致螺母的內(nèi)螺紋360度接合端帽5016的外螺紋。旋轉(zhuǎn)部件5020的旋轉(zhuǎn)范圍可受到限制使得螺母5010在已知位置中停止旋轉(zhuǎn)。此可有助于確保螺母5010的螺紋適當(dāng)?shù)貙?duì)準(zhǔn)在完全脫離位置中。在一些實(shí)施例中，可由圓點(diǎn)及箭頭或其它視覺(jué)指示符標(biāo)記旋轉(zhuǎn)的結(jié)束點(diǎn)。圓點(diǎn)及箭頭還提供用以確認(rèn)接合或脫離的視覺(jué)指示符的一個(gè)實(shí)例。在又另一實(shí)施例中，可使用當(dāng)旋轉(zhuǎn)部件在適當(dāng)位置中時(shí)接通的LED或其它指示燈，從而再次提供適當(dāng)接合/脫離的指示。圖51是連接系統(tǒng)5000的一個(gè)實(shí)施例的橫截面的圖形表示。如圖51中描繪，連接螺母5010可包含接合端帽5016的端口接頭上的外螺紋5011的螺母內(nèi)螺紋5102及接合連接外殼5012的內(nèi)螺紋的螺母外螺紋5104。如上文討論，螺紋可經(jīng)配置使得螺母5010在旋轉(zhuǎn)小于360度的情況下在接頭5014與端帽5016之間產(chǎn)生360度密封且將不會(huì)在期望負(fù)載下旋出。還可提供鎖定機(jī)構(gòu)(例如，例如接頭的旋轉(zhuǎn)部件上的止回爪/凹口、旋轉(zhuǎn)部件與接頭之間的卡扣配合或其它組件或其它特征)以防止旋轉(zhuǎn)部件非預(yù)期地旋轉(zhuǎn)。在一些情況下，可使用鎖定機(jī)構(gòu)來(lái)代替螺母外螺紋以防止螺母旋出。圖52是從某一端觀察的主體5200(例如，移除端帽104及端帽106)的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示。主體5200可界定介質(zhì)腔。介質(zhì)腔可隔離為腔道，其中每一腔道中安置凈化器元件5225。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，平行腔道在x-z平面及x-y平面中具有大體上矩形(包含正方形)外形。雖然展示三個(gè)腔道，但是凈化器匣可具有更多或更少個(gè)腔道。腔道可經(jīng)密封使其彼此阻隔使得流體未在腔道之間流動(dòng)。在其它實(shí)施例中，可提供開(kāi)口使得流體可在隔離腔道之間流動(dòng)。圖52進(jìn)一步說(shuō)明標(biāo)簽固持件5292中的標(biāo)簽5294。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，主體5200包括第一側(cè)蓋5210、第二側(cè)蓋5220、主殼體5230及腔道蓋5240(指示其中的一者)。主殼體5230、第一側(cè)蓋5210、第二側(cè)蓋5220及端帽可使用緊固件、音波粘結(jié)、干涉配合或其它耦合機(jī)構(gòu)耦合在一起，且可協(xié)同以形成介質(zhì)腔及平行腔道。主殼體5230提供在外側(cè)壁5234與外側(cè)壁5236之間延伸的底座5232及從底座5232延伸的一組分開(kāi)張力部件5238。側(cè)壁5234、側(cè)壁5236、側(cè)蓋5210及側(cè)蓋5220可形成內(nèi)腔的側(cè)壁。主殼體側(cè)壁及張力部件5238可沿長(zhǎng)軸在腔內(nèi)延伸某個(gè)長(zhǎng)度以形成腔道側(cè)壁。底座5232介于腔道側(cè)壁之間(例如，外側(cè)壁5234/5236與張力部件5238之間及兩個(gè)張力部件5238之間)的部分形成集成腔道蓋5239，其包括格柵以允許流體流入或流出對(duì)應(yīng)腔道。底座5232的一側(cè)可包含促進(jìn)將側(cè)蓋5220耦合到底座5232的特征。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，底座提供可粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋5220的一部分的一組側(cè)蓋安裝表面。在相對(duì)側(cè)上，外側(cè)壁5234、外側(cè)壁5236及張力部件5238遠(yuǎn)離底座5232的端可提供促進(jìn)將側(cè)蓋5210耦合到主殼體5230的特征。例如，遠(yuǎn)端表面可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋5210的一部分的側(cè)蓋安裝表面。腔道蓋5240跨越在每一主殼體側(cè)壁5234/5236與張力部件5238之間或鄰近張力部件5238之間，且延伸腔道的長(zhǎng)度以遮蓋腔道與底座5232相對(duì)的側(cè)。腔道蓋5240可包括包含延伸腔道蓋5240的長(zhǎng)度的框架部件5244的外框架及跨越在框架部件5244之間的格柵部分。腔道蓋5240中的開(kāi)口可相同或不同于底座5232的集成腔道蓋5239中的開(kāi)口。框架部件5244面向側(cè)蓋5210的表面可提供側(cè)蓋安裝表面以促進(jìn)側(cè)蓋5210的耦合。例如，側(cè)蓋安裝表面可提供可粘結(jié)或以其它方式耦合側(cè)蓋5210的一部分的表面。腔道蓋5240還可包含耦合特征以促進(jìn)使用卡扣配合、干涉配合、音波粘結(jié)或根據(jù)任何適當(dāng)耦合機(jī)構(gòu)將腔道蓋5240耦合到主殼體5230。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，腔道蓋5240可包含舌狀物、凹槽或其它特征使得腔道蓋5240可卡住在適當(dāng)位置中。如圖52中描繪，在凈化器元件5225的上游側(cè)及下游側(cè)兩者上均提供腔道蓋(例如，呈腔道蓋5240及集成腔道蓋5239的形式)。在其它實(shí)施例中，只在凈化器元件5225的一側(cè)上提供腔道蓋。在又另一實(shí)施例中，完全不使用腔道蓋。具有腔道蓋以遮蓋凈化器元件5225的上游側(cè)及下游側(cè)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是：可在正向流動(dòng)及反向流動(dòng)中支撐凈化器元件5225，從而允許匣在任一流動(dòng)方向上類似地運(yùn)行。側(cè)蓋5210可包含側(cè)支撐部件5260、對(duì)準(zhǔn)張力部件5238的一組分開(kāi)肋5262及一組分開(kāi)肋5263。側(cè)蓋5220可類似地包含側(cè)支撐部件5270、對(duì)準(zhǔn)張力部件5238的一組分開(kāi)肋5272及一組分開(kāi)肋5273。注意，與圖2的肋狀物263及273相比，肋狀物5263及肋狀物5273并未全程延伸到腔道蓋。即，腔道蓋5240與肋狀物5263的端之間存在間隙且肋狀物5273的端與腔道蓋5239之間存在間隙?？裳貍?cè)壁安置流動(dòng)通道。為此，側(cè)支撐部件5260、分開(kāi)肋5262及分開(kāi)肋5263可延伸某個(gè)長(zhǎng)度并協(xié)同以形成細(xì)分為子通道5264的一組平行流動(dòng)通道，子通道5264沿其長(zhǎng)度開(kāi)向腔道蓋5240。類似地，側(cè)支撐部件5270、分開(kāi)肋5272及分開(kāi)肋5273可延伸某個(gè)長(zhǎng)度并協(xié)同以形成細(xì)分為流動(dòng)通道部分5274的一組平行流動(dòng)通道，流動(dòng)通道部分5274沿其長(zhǎng)度開(kāi)向腔道蓋5239。流動(dòng)通道的端可形成如上文討論的充氣室且經(jīng)流體耦合到入口、出口、排氣口或排放口中的一或多者。雖然每個(gè)腔道描繪細(xì)分為兩個(gè)子通道的一個(gè)流動(dòng)通道，但是匣的每個(gè)腔道可具有多個(gè)隔離流動(dòng)通道及額外子通道或不具備子通道。流動(dòng)通道5264及5274可具有任何所需形狀及大小，且相同側(cè)或相對(duì)側(cè)上的不同流動(dòng)通道可具有不同配置。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，流動(dòng)通道可呈弧形、橢圓形或圓形以沿側(cè)蓋產(chǎn)生一系列拱形件。每個(gè)腔道還可使用一個(gè)弧形、橢圓形或圓形形狀(例如，使得流體通道未被細(xì)分，但仍然為圓形)。每一側(cè)蓋上的一些分開(kāi)肋分開(kāi)以對(duì)準(zhǔn)張力部件5238。這些肋狀物的內(nèi)表面可耦合到張力部件的端。例如，肋狀物5272的內(nèi)表面可在張力部件5238的底座處耦合到主殼體5230且肋狀物5262的內(nèi)表面可耦合到張力部件5238的遠(yuǎn)端。因此，當(dāng)壓力容器腔受到壓力時(shí)，張力部件5238將于側(cè)蓋5210及5220上施加某個(gè)力以減小或防止側(cè)蓋5210及5220彎曲。張力部件5238的大小及配置可經(jīng)選擇使得在期望操作壓力下壓力容器腔的體積變形小于所需百分比。主體5200可包括如上文討論般更好地分布力的一系列箍環(huán)狀結(jié)構(gòu)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，內(nèi)表面中平行于腔道延伸的過(guò)渡部是彎曲的。因此，例如，如上文結(jié)合圖2討論，側(cè)蓋5210的拐角、側(cè)蓋5220的拐角及流動(dòng)通路繞平行于腔道的軸彎曲。此外，主殼體側(cè)壁5234及5236具有彎曲外部，且側(cè)蓋5210及5220具有彎曲拐角(例如，參考圖1A及1B，在從側(cè)125到側(cè)124及側(cè)123的過(guò)渡部及從側(cè)126到側(cè)124及側(cè)123的過(guò)渡部處)。如上文討論，腔道可提供凈化器元件固持區(qū)域以固持凈化器元件5225。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，凈化器元件5225可包括褶裥網(wǎng)片，其經(jīng)折疊使得褶裥的長(zhǎng)度平行于匣的長(zhǎng)軸。褶裥尖端可經(jīng)定向使得一側(cè)上的褶裥尖端指向側(cè)蓋5210，而相對(duì)褶裥尖端經(jīng)定向以指向側(cè)蓋5220使得褶裥尖端鄰接相應(yīng)腔道蓋。在此布置中，一組褶裥尖端面向腔的上游部分且另一組褶裥尖端面向腔的下游部分。凈化器元件5225可為分離凈化器元件，或凈化器元件中的每一者可為相同連續(xù)褶裥網(wǎng)片的部分，使得(例如)一個(gè)凈化器元件5225的最后的翻瓣過(guò)渡到下一個(gè)過(guò)濾器元件5225的第一翻瓣中，且所述凈化器元件的最后的翻瓣過(guò)渡到下一個(gè)凈化器元件5225的第一翻瓣中，以此類推。每一凈化器元件的褶裥可由單一隔膜或多個(gè)隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。優(yōu)選地，褶裥壓縮在一起并在上游側(cè)上形成大體上較平坦矩形入口界面且在下游側(cè)上形成大體上較平坦矩形出口界面。腔道中給定隔膜區(qū)域的隔膜壓縮量可經(jīng)選擇以實(shí)現(xiàn)所需壓降及流速。如上文討論，還可在腔道中放置其它凈化介質(zhì)或用于其它目的(例如，熱量交換)的其它介質(zhì)。圖53是凈化器匣5300的另一實(shí)施例的圖形表示，凈化器匣5300包括主體5301、第一端帽5302及第二端帽5304。主體5301可如上文討論般配置。端帽5302可提供第一端口5306及第二端口5308，且端帽5304可提供第三端口5310及第四端口5312。所述端口可提供入口端口、出口端口、排氣端口及排放端口。例如，端口5306可為出口端口，端口5308可為排氣端口，端口5310可為入口端口，且端口5312可為排放端口。在圖53的實(shí)施例中，端口接頭可為用于(例如)半導(dǎo)體制造的標(biāo)準(zhǔn)端口接頭。端帽5302可經(jīng)配置使得匣的上游側(cè)上的氣體被引導(dǎo)到第二端口5308(例如，端帽5302可經(jīng)設(shè)計(jì)或以其它方式塑形使得排氣端口是在腔的上游側(cè)上的最高點(diǎn)處)，且端帽5304可經(jīng)配置使得下游側(cè)上的流體流到端口5312(例如，端帽5304可經(jīng)設(shè)計(jì)或以其它方式塑形使得排放端口是在腔的下游側(cè)上的最低點(diǎn)處)。圖54是凈化器匣5400的另一實(shí)施例的圖形表示，凈化器匣5400包括主體5401、第一端帽5402及第二端帽5404。主體5401可如上文討論般配置。端帽5402可提供第一端口5406及第二端口5408，且端帽5404可提供第三端口5410及第四端口5412。所述端口可提供入口端口、出口端口、上游排氣端口及下游排氣端口。例如，端口5406可為下游排氣端口，端口5408可為上游排氣端口，端口5410可為入口端口，且端口5412可為出口端口。端帽5402可經(jīng)配置使得氣體被引導(dǎo)到第一端口5406及第二端口5408(例如，端帽5402可經(jīng)設(shè)計(jì)或以其它方式塑形使得排氣端口是在腔的上游側(cè)及腔的下游側(cè)上的最高點(diǎn)處)。在圖54的實(shí)施例中，端口接頭可為用于(例如)半導(dǎo)體制造的標(biāo)準(zhǔn)端口接頭。圖55是流體端口面向前面及后面的凈化器匣5500的另一實(shí)施例的圖形表示，凈化器匣5500包括主體5501、第一端帽5502及第二端帽5504。主體5501可如上文討論般配置。端帽5502可提供第一端口5506及第二端口5508，且端帽5504可提供第三端口5510及第四端口5512。所述端口可提供入口端口、出口端口、排氣端口及排放端口。在此情況下，所有端口可為水平端口。在圖55的實(shí)施例中，端口接頭可為用于(例如)半導(dǎo)體制造的標(biāo)準(zhǔn)端口接頭。端帽5502可經(jīng)配置使得匣的上游側(cè)上的氣體被引導(dǎo)到排氣端口(例如，端帽5502可經(jīng)設(shè)計(jì)或以其它方式塑形使得排氣端口是在腔的上游側(cè)上的最高點(diǎn)處)，且端帽5504可經(jīng)配置使得下游側(cè)上的流體流到端口5512(例如，端帽5504可經(jīng)設(shè)計(jì)或以其它方式塑形使得排放端口是在腔的下游側(cè)上的最低點(diǎn)處)。圖56是過(guò)濾系統(tǒng)5600的一個(gè)實(shí)施例的圖形表示，過(guò)濾系統(tǒng)5600具有兩個(gè)大體上矩形凈化器匣5602，其與具有相同過(guò)濾面積的先前圓柱形過(guò)濾器(由Entegris,Inc.(馬薩諸塞州比爾里卡市)生產(chǎn)的ChemlineI過(guò)濾器5604及Chemlock圓柱形過(guò)濾器5606(也由Entegris,Inc.生產(chǎn)))相比各自提供3m2過(guò)濾隔膜(總計(jì)6m2)。大體上矩形凈化器匣在較小體積中提供相同過(guò)濾面積。過(guò)濾系統(tǒng)5600占用空間且只需要歧管前面的空間以操控齒輪臂并插入過(guò)濾器。圓柱形過(guò)濾器較寬，且實(shí)際上占用多于所示橫向空間的橫向空間以使用戶在更換過(guò)濾器時(shí)操控過(guò)濾器接頭。圖56的尺寸是由上下文提供且無(wú)限制。凈化器匣可取決于應(yīng)用及凈化及流動(dòng)需求而被制造得更大或更小。雖然已描述特定實(shí)施例，但是這些實(shí)施例只是說(shuō)明本發(fā)明且非限制本發(fā)明。本發(fā)明的已說(shuō)明的實(shí)施例的本文描述(包含發(fā)明摘要及發(fā)明內(nèi)容中的描述)不旨在詳盡無(wú)遺或?qū)⒈景l(fā)明限于本文中揭示的精確形式(且特定地說(shuō)，發(fā)明摘要或發(fā)明內(nèi)容內(nèi)包含任何特定實(shí)施例、特征或功能不旨在將本發(fā)明的范圍限于此實(shí)施例、特征或功能)。相反，所述描述旨在描述說(shuō)明實(shí)施例、特征及功能以使所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員理解本發(fā)明且不將本發(fā)明限于任何特定描述的實(shí)施例、特征或功能，包含發(fā)明摘要或發(fā)明內(nèi)容中描述的任何此實(shí)施例、特征或功能。雖然本文中已只針對(duì)說(shuō)明目的而描述本發(fā)明的特定實(shí)施例及實(shí)例，但是如所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)知并明白，各種等效修改在本發(fā)明的精神及范圍內(nèi)是可行的。如指示，鑒于本發(fā)明的已說(shuō)明的實(shí)施例的前述描述，可對(duì)本發(fā)明作出這些修改，且這些修改包含在本發(fā)明的精神及范圍內(nèi)。因此，雖然本文中已參考本發(fā)明的特定實(shí)施例而描述本發(fā)明，但是修改的范圍、各種改變及替代旨在前述揭示內(nèi)容中，且應(yīng)明白在一些實(shí)例中，在不脫離如陳述的本發(fā)明的范圍及精神的情況下，可采用本發(fā)明的實(shí)施例的一些特征而不對(duì)應(yīng)地使用其它特征。因此，可作出許多修改以使特定情形或材料適于本發(fā)明的本質(zhì)范圍及精神。例如，本文中描述的任何過(guò)濾器結(jié)構(gòu)可包括使用第二聚合物包覆模制在一或多個(gè)表面上的第一聚合物。作為另一實(shí)例，介質(zhì)可包含可通過(guò)化學(xué)涂層、等離子處理、激光或燈具處理等進(jìn)行表面改質(zhì)以包含離子交換基團(tuán)、親水基、疏水基及輔助凈化由多孔隔膜處理的流體的其它官能基團(tuán)的隔膜。作為另一實(shí)例，離子交換介質(zhì)可放置在隔膜袋中且這些袋密封到匣的通道或腔道中。在另一實(shí)施例中，可將具有嵌入式離子交換隔膜的多孔隔膜折疊并粘結(jié)到腔道中。還將可在匣內(nèi)使用多孔或無(wú)孔隔膜通過(guò)使液體在外殼的一側(cè)上流動(dòng)并通過(guò)匣的另一側(cè)上的接頭施加氣體或牽引真空而氣化或脫氣液體。在另一實(shí)施例中，匣可經(jīng)配置以使用無(wú)孔隔膜轉(zhuǎn)移熱量。在本說(shuō)明書內(nèi)對(duì)“一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”或“特定實(shí)施例”或類似術(shù)語(yǔ)的引用意指結(jié)合實(shí)施例描述的特定特征、結(jié)構(gòu)或特性包含在至少一個(gè)實(shí)施例中且不一定存在于所有實(shí)施例中。因此，詞組“在一個(gè)實(shí)施例中”、“在實(shí)施例中”或“在特定實(shí)施例中”或類似術(shù)語(yǔ)在本說(shuō)明書內(nèi)各處的相應(yīng)出現(xiàn)不一定是指相同實(shí)施例。此外，任何特定實(shí)施例的特定特征、結(jié)構(gòu)或特性可以任何適當(dāng)方式與一或多個(gè)其它實(shí)施例組合。應(yīng)了解，鑒于本文中的教示，本文中描述并說(shuō)明的實(shí)施例的其它變動(dòng)及修改是可行的且被視為本發(fā)明的精神及范圍的部分。在本文中的描述中，提供數(shù)種特定細(xì)節(jié)(例如組件及/或方法的實(shí)例)以提供對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例的完整理解。然而，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)知，實(shí)施例能夠在不具備所述特定細(xì)節(jié)中的一或多者的情況下或在具有其它設(shè)備、系統(tǒng)、組合件、方法、組件、材料、部分及/或類似物的情況下加以實(shí)踐。在其它實(shí)例中，并未具體展示或詳細(xì)描述眾所周知的結(jié)構(gòu)、組件、系統(tǒng)、材料或操作以避免混淆本發(fā)明的實(shí)施例的方面。雖然可通過(guò)使用特定實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明，但是此未將且的確未將本發(fā)明限于任何特定實(shí)施例，且所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)知額外實(shí)施例可容易理解且是本發(fā)明的部分。還應(yīng)明白，所述圖式及/或圖中描繪的元件中的一或多者還可以更分離或整體方式實(shí)施，或甚至在某些情況下被移除或呈現(xiàn)為不可操作，這在符合特定應(yīng)用時(shí)是有用的。此外，除非另有具體說(shuō)明，否則所述圖式/圖中的任何標(biāo)示箭頭應(yīng)只被視為示范性且非限制。上文已關(guān)于特定實(shí)施例描述益處、其它優(yōu)點(diǎn)及解決問(wèn)題的方法。然而，所述益處、優(yōu)點(diǎn)及解決問(wèn)題的方法及可導(dǎo)致任何益處、優(yōu)點(diǎn)及解決問(wèn)題的方法發(fā)生或變得更明顯的任何組件不應(yīng)被解釋為重要、必需或本質(zhì)特征或組件。