納米粒子的流體捕集的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明描述了一種用于制備納米粒子的系統(tǒng)。所述系統(tǒng)可包括用于產(chǎn)生在氣體中包含納米粒子的納米粒子氣溶膠的反應器。所述系統(tǒng)還包括擴散泵，所述擴散泵具有配備入口和出口的腔室。所述腔室的入口與所述反應器的出口流體連通。所述擴散泵還包括與所述腔室流體連通用于支撐擴散泵流體的儲集器和用于使所述儲集器中的所述擴散泵流體汽化成蒸汽的加熱器。此外，所述擴散泵具有與所述儲集器流體連通的噴射組件，所述噴射組件具有噴嘴用于將所述汽化的擴散泵流體排放至所述腔室中。所述系統(tǒng)可還包括與所述腔室的所述出口流體連通的真空泵。還提供了制備納米粒子的方法。
【專利說明】納米粒子的流體捕集

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明總體涉及納米粒子，更具體而言，涉及納米粒子的捕集。

【背景技術】
[0002] 本節(jié)中的陳述僅提供與本公開有關的背景信息，并且可能并不構成現(xiàn)有技術。
[0003] 納米技術的出現(xiàn)在許多【技術領域】中引起典范轉移（paradigm shift)，因為在納 米級尺寸下許多材料的性質(zhì)發(fā)生改變。例如，一些結構的尺寸減少至納米級可增加表面積 與體積的比率，由此導致材料的電性質(zhì)、磁性質(zhì)、反應性質(zhì)、化學性質(zhì)、結構性質(zhì)和熱性質(zhì)改 變。納米材料已見于商業(yè)應用中并且將可能在接下來的幾十年內(nèi)存在于多種技術中，包括 電腦、光伏產(chǎn)品、光電子產(chǎn)品、醫(yī)學/藥物、結構材料、軍事應用及許多其他技術。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本文描述的是從納米粒子和氣體的氣溶膠液體捕集納米粒子的系統(tǒng)和方法。某些 制備方法包括使用反應器（如低壓高頻脈沖等離子體反應器）以及通過擴散泵直接流體捕 集該反應器中所形成的納米粒子。
[0005] 根據(jù)本公開的一個形式，提供了一種系統(tǒng)。該系統(tǒng)可包括用于產(chǎn)生在氣體中包含 納米粒子的納米粒子氣溶膠的反應器。該反應器具有前體氣體入口和出口。該系統(tǒng)還包括 具有配備入口和出口的腔室的擴散泵。該腔室的入口與該反應器的出口流體連通。該擴散 泵還包括與該腔室流體連通用于支撐擴散泵流體的儲集器和用于使該儲集器中的擴散泵 流體汽化成蒸汽的加熱器。此外，該擴散泵具有與該儲集器流體連通且具有噴嘴以便將汽 化的擴散泵流體排放至腔室中的噴射組件。該系統(tǒng)還包括與擴散泵的腔室的出口流體連通 的真空泵。
[0006] 根據(jù)本發(fā)明的另一形式，提供了一種制備納米粒子的方法。該方法包括在反應器 中形成納米粒子氣溶膠。納米粒子氣溶膠包含氣體中的納米粒子，并且該方法還包括將納 米粒子氣溶膠從反應器引入擴散泵中。該方法還包括：加熱儲集器中的擴散泵流體以形成 蒸汽、經(jīng)由噴射組件傳送蒸汽、經(jīng)由噴嘴發(fā)射蒸汽至擴散泵的腔室中、使蒸汽冷凝而形成冷 凝物以及使冷凝物流回至儲集器。此外，該方法包括將氣溶膠的納米粒子捕集于冷凝物中 以及將所捕集的納米粒子收集于儲集器中。
[0007] 根據(jù)本文所提供的說明，其他適用領域?qū)⒆兊蔑@而易見。應當理解，本說明和具體 例子旨在僅用于示例目的，而非旨在限制本公開的范圍。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008] 本文所述附圖僅用于示例目的，而非旨在以任何方式限制本公開的范圍。
[0009] 圖1為根據(jù)本發(fā)明的形式具有可用于制備納米粒子的低壓脈沖等離子體反應器 以及收集納米粒子的擴散泵的示例系統(tǒng)的示意圖；
[0010] 圖2為根據(jù)本發(fā)明的形式可用于收集納米粒子的示例擴散泵的示意圖；
[0011] 圖3為具有用于產(chǎn)生納米粒子的等離子體反應器以及用于收集納米粒子的擴散 泵的系統(tǒng)的照片；
[0012] 圖4a為擴散泵中無納米粒子的有機硅油的照片；
[0013] 圖4b為在納米粒子沉積于有機硅油中后擴散泵中的有機硅油的照片；
[0014] 圖5a為來自擴散泵的有機硅油中所捕集的硅納米粒子的明視場透射電子顯微鏡 (TCM)圖像；
[0015] 圖5b為來自擴散泵的有機硅油中所捕集的硅納米粒子的電子衍射圖，其中標記 了娃的晶面；
[0016] 圖6a為來自擴散泵的有機硅油中所捕集的硅納米粒子的另一明視場TEM圖像；
[0017]圖6b為來自擴散泵的有機硅油中所捕集的硅納米粒子的另一電子衍射圖案，其 中標記了娃的晶面；以及
[0018] 圖7為關于三次擴散泵運行的由TEM所測量的粒徑（nm)的圖線。

【具體實施方式】
[0019] 以下說明實質(zhì)上僅為示例性的，并且決不旨在限制本公開或其應用或用途。應當 理解，在整個說明中，相應的參考編號指示相同或相應的部件或特征物。
[0020] 本公開描述了具有用于產(chǎn)生納米粒子氣溶膠（如氣體中的納米粒子）的反應器和 與該反應器流體連通用于收集氣溶膠的納米粒子的擴散泵的系統(tǒng)。本文還描述了制備納米 粒子的方法以及根據(jù)這些方法所制備的納米粒子。
[0021]
【發(fā)明者】已發(fā)現(xiàn)具有各種粒度分布和性質(zhì)的納米粒子可通過這樣來制備：將反應器 (如低壓等離子體反應器）中所產(chǎn)生的納米粒子氣溶膠引入與該反應器流體連通的擴散泵 中，將氣溶膠的納米粒子捕集于擴散泵油、液體或流體（如有機硅流體）的冷凝物中，并將 所捕集的納米粒子收集于儲集器中。該方法成本效益好且可擴展成高通量制造方法。
[0022] 本文描述了產(chǎn)生納米粒子氣溶膠的反應器和方法的例子以及收集納米粒子的擴 散泵和方法。雖然反應器的具體例子可能在本文中進行了描述，但其他反應器也可用以生 成納米粒子氣溶膠。例如，擴散泵可用于收集由幾乎任何類型的能夠產(chǎn)生納米粒子氣溶膠 的反應器產(chǎn)生的氣溶膠的納米粒子。
[0023] 示例的反應器描述于W0 2010/027959和W0 2011/109229中，將它們各自以引用 的方式全文并入本文。這些反應器可為（但不限于）低壓高頻脈沖等離子體反應器，并且 可產(chǎn)生的納米粒子包括（但不限于）包含硅或基本上由硅組成的納米粒子。具體地講，盡 管下面的例子可就硅納米粒子進行描述，但可使用所述系統(tǒng)和方法產(chǎn)生和捕集包含其他材 料和合金的納米粒子。
[0024] 根據(jù)本發(fā)明的一個方面，系統(tǒng)包括用于產(chǎn)生在氣體中包含納米粒子的納米粒子氣 溶膠的反應器。該反應器可包括前體氣體入口和出口。該系統(tǒng)可還包括擴散泵，該擴散泵 包括具有入口和出口的腔室。該腔室的入口與該反應器的出口流體連通。該擴散泵可還包 括與腔室流體連通用于支撐擴散泵流體的儲集器、用于使儲集器中的擴散泵流體氣化成蒸 汽的加熱器、以及與儲集器流體連通且包括用于將汽化的擴散泵流體排放至腔室中的噴嘴 的噴射組件。該系統(tǒng)可還包括與該腔室的出口流體連通的真空泵。
[0025] 圖1為包括用于產(chǎn)生在氣體中包含納米粒子的納米粒子氣溶膠的反應器5的示例 系統(tǒng)100的示意圖。反應器5可為脈沖等離子體反應器。例如，反應器5可包括具有前體 氣體入口 21和出口 22的等離子體產(chǎn)生腔11。反應器5可具有至少一個用于控制將前體 氣體引入進反應器5中的流量的流量控制器。該出口可在其中具有孔隙或孔口 23。等離 子體產(chǎn)生腔11可包括附接至變頻射頻放大器10的電極構造13。等離子體產(chǎn)生腔11還可 包括第二電極構造14。第二電極構造14可接地、直流偏壓或相對于電極13以推挽方式運 行。電極13、14用于將特高頻（VHF)功率耦合至前體氣體以在定為12的區(qū)域內(nèi)引燃和維 持等離子體的輝光放電。前體氣體可隨后在等離子體中解離以提供帶電原子，這些原子成 核以形成納米粒子。例如，至少一種前體氣體可包含具有IV族元素（例如硅及/或鍺）的 氣體。周期表的這些族名稱一般來自CAS或舊IUPAC命名法，但IV族元素在現(xiàn)代IUPAC系 統(tǒng)下稱為14族元素，這在本領域中是易于理解的。
[0026] 為控制所形成的納米粒子的直徑，等離子體產(chǎn)生腔11的出口 22中的孔隙23與擴 散泵17之間的距離可介于約5至約50孔隙直徑的范圍內(nèi)。太接近于等離子體產(chǎn)生腔11 的出口布置擴散泵17可導致等離子體與擴散泵17的流體之間不合需要的相互作用。相反 地，離孔隙23太遠布置擴散泵17可降低粒子收集效率。由于根據(jù)本文所述的運行條件，收 集距離隨出口 22的孔隙直徑以及等離子體產(chǎn)生腔11與擴散泵17之間的壓降而變，收集距 離可為約lcm至約20cm或約5cm至約10cm。換句話講，收集距離可為約5至約50孔隙直 徑。
[0027] 系統(tǒng)5還可包括電源或電源供應器。功率可經(jīng)由由任意函數(shù)發(fā)生器所觸發(fā)的變頻 射頻功率放大器10供應以在區(qū)域12內(nèi)建立高頻脈沖等離子體?？墒褂脷怏w中的環(huán)形電極、 平行板或陽極/陰極機構將射頻功率電容耦合到等離子體中。也可使放電管周圍的射頻線 圈機構將射頻功率以電感模式耦合到等離子體中。
[0028] 等離子體產(chǎn)生腔11還可包括介電質(zhì)放電管。前體氣體進入介電質(zhì)放電管，在該介 電質(zhì)放電管中生成等離子體。當前體氣體分子在等離子體中解離時，由前體氣體形成的納 米粒子開始成核。
[0029] 在本公開的一個形式中，等離子體產(chǎn)生腔11內(nèi)的等離子體源的電極13、14包括流 通式蓮蓬頭（flow-through showerhead)設計，其中VHF射頻偏壓的上游多孔電極板13與 下游多孔電極板14分隔開，而這些板的孔彼此對準。這些孔可為圓形、矩形或任何其他所 需形狀。等離子體產(chǎn)生腔11也可封入電極13，該電極耦合至VHF射頻電源并且具有尖頭電 極，該尖頭電極與腔室11內(nèi)的接地環(huán)之間的距離可變。
[0030] 系統(tǒng)100可還包括擴散泵17。因此，硅納米粒子可通過擴散泵17收集。粒子收 集腔15可與等離子體產(chǎn)生腔11流體連通。擴散泵17可與粒子收集腔15和等離子體產(chǎn)生 腔11流體連通。在本發(fā)明的其他形式中，系統(tǒng)100可能不包括粒子收集腔15。例如，出口 22可耦合至擴散泵17的入口 103,或擴散泵17可與等離子體產(chǎn)生腔11實質(zhì)上直接流體連 通。
[0031] 圖2為示例的擴散泵17的橫截面示意圖。擴散泵17可包括具有入口 103和出口 105的腔室101。入口 103可具有約2英寸至約55英寸的直徑，出口可具有約0. 5英寸至 約8英寸的直徑。腔室101的入口 103與反應器5的出口 22流體連通。擴散泵17可具有 例如約65升/秒至約65, 000升/秒或大于約65, 000升/秒的泵送速度。
[0032] 擴散泵17包括與腔室101流體連通的儲集器107。儲集器107支撐或容納擴散泵 流體。儲集器可具有約30cc至約15升的體積。擴散泵中擴散泵流體的體積可為約30cc 至約15升。
[0033] 擴散泵17可還包括用于使儲集器107中的擴散泵流體汽化成蒸汽的加熱器109。 加熱器109加熱擴散泵流體并使擴散泵流體汽化成蒸氣（如液相至氣相轉化）。例如，可將 擴散泵流體加熱至約KKTC至約400°C或約180°C至約250°C。
[0034] 噴射組件111可與儲集器107流體連通，該儲集器包括噴嘴113以將汽化的擴散 泵流體排放至腔室101中。汽化的擴散泵流體流動并上升穿過噴射組件111并且從噴嘴113 發(fā)射出去。在圖2中使用箭頭說明了汽化的擴散泵流體的流動。汽化的擴散泵流體冷凝并 流回至儲集器107。例如，噴嘴113可對著腔室101的壁排放汽化的擴散泵流體。腔室101 的壁可用冷卻系統(tǒng)113 (例如水冷式系統(tǒng)）冷卻。腔室101的冷卻壁可致使汽化的擴散泵 流體冷凝。冷凝的擴散泵流體可隨后沿著腔室101的壁向下流動并流回至儲集器107。擴 散泵流體可連續(xù)循環(huán)穿過擴散泵17。擴散泵流體的流動使進入入口 103的氣體從入口 103 擴散至腔室101的出口 105。如先前所述的真空源27可與腔室101的出口 105流體連通以 輔助氣體從出口 105移出。
[0035] 隨著氣體流動穿過腔室，氣體中的納米粒子可被擴散泵流體吸收，從而從氣體收 集納米粒子。例如，納米粒子的表面可被汽化和/或冷凝的擴散泵流體濕潤。此外，與靜態(tài) 流體相比，循環(huán)擴散泵流體的攪動可進一步提高納米粒子吸收率。腔室101內(nèi)的壓力可小 于約1毫托。
[0036] 可隨后從擴散泵17中移出具有納米粒子的擴散泵流體。例如，可將具有納米粒子 的擴散泵流體連續(xù)移出并置換為實質(zhì)上不具有納米粒子的擴散泵流體。
[0037] 有利的是，擴散泵17可不僅用于收集納米粒子而且還用于抽空反應器5(以及收 集腔15)。例如，反應器5中的運行壓力可為諸如小于大氣壓、小于760托或在約1托至約 760托之間之類的低壓。收集腔15可例如在約1毫托至約5毫托的范圍內(nèi)。還設想其他運 行壓力。
[0038] 可對擴散泵流體進行選擇以對納米粒子捕集和儲存而言具有所需的性質(zhì)?？捎米?擴散泵流體的流體包括（但不限于）有機硅流體。例如，諸如聚二甲基硅氧烷、混合的苯基 甲基-二甲基環(huán)硅氧烷、四甲基四苯基三硅氧烷和五苯基三甲基三硅氯烷之類的有機硅流 體均適用作擴散泵流體。其他擴散泵流體和油可包括烴、苯基醚、氟化聚苯基醚和離子流體 (ionic fluid)。該流體在23±3°C下可具有約0? 001至約IPa *s、約0? 001至約0? 5Pa *s 或約0. 01至約0. 2Pa ? S的動力粘度。此外，該流體可具有小于約1 X 1(T4托的蒸汽壓。
[0039] 系統(tǒng)100還可包括與擴散泵17的出口 105流體連通的真空泵或真空源27?？蛇x 擇真空源27以便擴散泵17正常工作。在本公開的一個形式中，真空源27包括真空泵（如 輔助泵）。真空源27可包括機械泵、渦輪分子泵或低溫泵。然而，還可以想到其他真空源。
[0040] 根據(jù)本發(fā)明的一個形式，提供了一種制備納米粒子的方法。該方法可包括在反應 器5中形成納米粒子氣溶膠。納米粒子氣溶膠可包括氣體中的納米粒子，并且該方法還包 括將納米粒子氣溶膠從反應器5引入擴散泵17中。該方法還可包括加熱儲集器107中的 擴散泵流體以形成蒸汽、經(jīng)由噴射組件111傳送蒸汽、經(jīng)由噴嘴113發(fā)射蒸汽至擴散泵5的 腔室101中、使蒸汽冷凝而形成冷凝物、以及使冷凝物流回至儲集器107。此外，該方法可還 包括將氣溶膠的納米粒子捕集于冷凝物中以及將所捕集的納米粒子收集于儲集器107中。 該方法可還包括用真空泵從擴散泵移出氣體。
[0041] 在反應器5中形成納米粒子氣溶膠可通過多種方法來進行。例如，納米粒子氣溶 膠可由至少一種前體氣體形成。前體氣體可含有硅。此外，前體氣體可選自硅烷、二硅烷、 齒素取代的娃燒、齒素取代的-娃燒、CK4燒基娃燒、C1至Oi燒基_娃燒以及它們的混 合物。在本發(fā)明的一個形式中，前體氣體可包含硅烷，硅烷占總氣體混合物的約0. 1%至約 2%。然而，氣體混合物還可包含其他百分比的硅烷?；蛘?，前體氣體還可包含（但不限于） 51(：14、邯扣13和11251(：1 2。
[0042] 前體氣體可與諸如惰性氣體之類的其他氣體混合以形成氣體混合物?？砂ㄔ跉?體混合物中的惰性氣體的例子包括氬氣、氙氣、氖氣或惰性氣體的混合物。當存在于氣體混 合物中時，惰性氣體可占氣體混合物總體積的約1 %至約99%。前體氣體可占氣體混合物 總體積的約〇. 1 %至約50%。然而，還可考慮的是前體氣體可占氣體混合物總體積的其他 體積百分比，如約1 %至約50%。
[0043] 在本發(fā)明的一個形式中，反應氣體混合物還包含第二前體氣體，該第二前體氣體 本身可占反應氣體混合物的約〇. 1體積％至約49. 9體積％。第二前體氣體可包含BCI3、 B2H6、PH3、GeH4*GeCl4。第二前體氣體還可包含含有碳、鍺、硼，磷或氮的其他氣體。第一前 體氣體與第二前體氣體組合在一起可構成反應氣體混合物總體積的約〇. 1 %至約50%。
[0044] 在本發(fā)明的另一形式中，反應氣體混合物還包含氫氣。氫氣可以反應氣體混合物 總體積的約1%至約10%的量存在。然而，還可設想的是反應氣體混合物可包含其他百分 比的氫氣。
[0045] 該方法可還包括使至少一種前體氣體流入反應器5中。另外，該方法可還包括由 至少一種前體氣體生成等離子體。
[0046] 使等離子體形成脈沖使得操作者能夠直接管理粒子成核的駐留時間，并從而控制 等離子體中的粒度分布和團聚動力學。系統(tǒng)的脈沖功能使得能對粒子在等離子體中的駐留 時間進行控制調(diào)整，這可影響納米粒子尺寸。通過減少等離子體的"工作"時間，成核粒子 具有較少時間來團聚，并因而納米粒子的尺寸平均可能會減?。ㄈ缂{米粒子分布可移至較 小直徑粒度）。
[0047] 有利的是，等離子體反應器系統(tǒng)5在較高頻率范圍下運行，以及使等離子體形成 脈沖可提供與利用等離子體不穩(wěn)定性來產(chǎn)生高離子能量/密度的常規(guī)收縮/細絲放電技術 相同的條件，但具有額外優(yōu)點：使用者可控制運行條件以選擇和產(chǎn)生具有可引起光致發(fā)光 性質(zhì)的尺寸的納米粒子。
[0048] 在本公開的一個形式中，VHF射頻電源在約30至約500MHz的頻率范圍內(nèi)運行。在 本公開的另一形式中，尖頭電極13可在距以推挽方式（180°異相）運行的VHF射頻功率 環(huán)14可變的距離處設置。在本公開的又一形式中，電極13、14包括耦聯(lián)至VHF射頻電源的 電感線圈，使得射頻功率通過電感線圈所形成的電場傳遞至前體氣體。部分等離子體產(chǎn)生 腔11可被抽空至約1 X 1(T7至約500托之間的范圍內(nèi)的真空水平。然而，還設想與本文中 所公開的方法一起使用的其他電極耦合構造。
[0049] 區(qū)域12中的等離子體可經(jīng)由射頻功率放大器，例如AR Worldwide KAA2040型或 Electronics and Innovation 3200L 型或 EM Power RF Systems, Inc. BBS2E3KUT 型，以高 頻等離子體引發(fā)。放大器可由能夠產(chǎn)生〇. 15至500MHz的最高1000瓦功率的任意函數(shù)發(fā) 生器（如TektronixAFG3252函數(shù)產(chǎn)生器或TektronixAWG7051)驅(qū)動（或產(chǎn)生脈沖）。 在本公開的若干形式中，該任意函數(shù)可能夠用脈沖串、調(diào)幅、調(diào)頻或不同波形驅(qū)動功率放大 器。放大器與反應氣體混合物之間耦合的功率通常隨著射頻功率頻率增加而增加。在較高 頻率下驅(qū)動功率的能力可使得電源供應器與放電之間能更有效地耦合。耦合增加可表現(xiàn)為 電壓駐波比（VSWR)減小。

【權利要求】
1. 一種系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括： 用于產(chǎn)生在氣體中包含納米粒子的納米粒子氣溶膠的反應器，其中所述反應器包括前 體氣體入口和出口； 擴散泵，所述擴散泵包括： 具有入口和出口的腔室，其中所述腔室的所述入口與所述反應器的所述出口流體連 通； 與所述腔室流體連通的儲集器，所述儲集器用于支撐擴散泵流體； 加熱器，所述加熱器用于使所述儲集器中的所述擴散泵流體汽化成蒸汽；和 與所述儲集器流體連通的噴射組件，所述噴射組件包括用于將所述汽化的擴散泵流體 排放至所述腔室中的噴嘴；以及 與所述腔室的所述出口流體連通的真空泵。
2. 根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述反應器還包括至少一個流量控制器，所述流 量控制器用于控制至少一種前體氣體引入進所述反應器中的流量。
3. 根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述至少一種前體氣體包含含有IV族元素的氣 體。
4. 根據(jù)權利要求1-3中任一項所述的系統(tǒng)，其還包括用于給所述反應器供能的電源。
5. 根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的系統(tǒng)，其中所述反應器為脈沖等離子體反應器。
6.根據(jù)權利要求1-5中任一項所述的系統(tǒng)，其中所述噴嘴對著所述腔室的冷卻壁排放 所述汽化的擴散泵流體。
7. -種制備納米粒子的方法，所述方法包括： 在反應器中形成納米粒子氣溶膠，其中所述納米粒子氣溶膠在氣體中包含納米粒子； 將所述納米粒子氣溶膠從所述反應器引入進擴散泵中； 加熱儲集器中的擴散泵流體以形成蒸汽并經(jīng)由噴射組件傳送所述蒸汽； 經(jīng)由噴嘴發(fā)射所述蒸汽至所述擴散泵的腔室中并使所述蒸汽冷凝而形成冷凝物； 使所述冷凝物流回至所述儲集器； 將所述氣溶膠的所述納米粒子捕集于所述冷凝物中：以及 將所述捕集的納米粒子收集于所述儲集器中。
8. 根據(jù)權利要求7所述的方法，其中所述收集的納米粒子是光致發(fā)光的。
9. 根據(jù)權利要求7或8中的一項所述的方法，其中所述擴散泵流體包含有機硅流體。
10. 根據(jù)權利要求7或8中的一項所述的方法，其中所述擴散泵流體包含至少一種選自 烴、苯基醚、氟化聚苯基醚和離子流體的流體。
11. 根據(jù)權利要求7-10中任一項所述的方法，其中所述擴散泵流體在23±3°C下具有 約0? 001至約IPa ? s的動力粘度。
12. 根據(jù)權利要求7-11中任一項所述的方法，其還包括經(jīng)由所述噴嘴對著所述腔室的 冷卻壁發(fā)射所述蒸汽并使所述冷凝物沿著所述冷卻壁向下流回至所述儲集器。
13. 根據(jù)權利要求7-12中任一項所述的方法，其還包括用所述擴散泵抽空所述反應 器。
14. 根據(jù)權利要求7-13中任一項所述的方法，其還包括由至少一種前體氣體形成所述 納米粒子氣溶膠。
15. 根據(jù)權利要求14的方法，其還包括由所述至少一種前體氣體生成等離子體。
16. 根據(jù)權利要求14或15中的一項所述的方法，其還包括使所述至少一種前體氣體流 入所述反應器中。
17. 根據(jù)權利要求7-16中任一項所述的方法，其還包括用所述蒸汽濕潤所述納米粒子 的表面。
18. 根據(jù)權利要求7-17中任一項所述的方法，其中所述納米粒子具有小于約5nm的最 大尺寸。
19. 根據(jù)權利要求7-18中任一項所述的方法，其中所述納米粒子包含硅或硅合金。
20. 根據(jù)權利要求7-19中任一項所述的方法，其中所述擴散泵流體包含有機硅流體。
21. 根據(jù)權利要求7-20中任一項所述的方法，其還包括用真空泵從所述擴散泵移出所 述氣體。
22. 根據(jù)權利要求7-21中任一項所述的方法，其中所述擴散泵與所述反應器流體連 通。
23. -種納米粒子，所述納米粒子通過根據(jù)權利要求7-22中任一項所述的方法制備。
【文檔編號】B01J2/04GK104379247SQ201380029242
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2013年5月29日 優(yōu)先權日:2012年6月5日
【發(fā)明者】杰弗里·安德森, J·A·凱西, 瓦斯根·阿拉姆·莎瑪米安 申請人:道康寧公司