專(zhuān)利名稱(chēng)：一種全金屬過(guò)濾器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種全金屬過(guò)濾器，特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上的全金屬氣體過(guò)濾器。
背景技術(shù)：
隨著微電子行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體電子元器件的精細(xì)化要求越來(lái)越高，尤其是對(duì)提供各種微電子零部件生產(chǎn)和組裝的加工設(shè)備提出了更高要求。在此類(lèi)加工設(shè)備上，加工過(guò)程中許多場(chǎng)合對(duì)各種氣體都要求有一定的純凈度才能保證儀表、儀器和噴頭等關(guān)鍵輔件的正常使用，從而保證產(chǎn)品品質(zhì)。為了去除氣體中的灰塵，雜質(zhì)等顆粒，以免造成相關(guān)輔件阻塞和磨損，通常設(shè)備中采用塑料囊式過(guò)濾器、離線(xiàn)式過(guò)濾器或在線(xiàn)式不銹鋼濾網(wǎng)過(guò)濾器，但是在過(guò)濾高壓高溫氣體時(shí)，塑料囊式過(guò)濾器內(nèi)的塑料濾芯會(huì)因溫度過(guò)高而產(chǎn)生纖維脫落現(xiàn)象，從而失去過(guò)濾效果，同時(shí)過(guò)濾器外殼還會(huì)變形甚至因壓力過(guò)高而爆炸；離線(xiàn)式過(guò)濾器占地面積大，拆裝不便，浪費(fèi)濾器材料并增加人力成本；而不銹鋼濾網(wǎng)過(guò)濾器雖然能滿(mǎn)足耐溫耐壓要求，但是濾網(wǎng)的孔徑較大，無(wú)法滿(mǎn)足工藝用氣的純凈度要求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中所存在的上述問(wèn)題，而提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，可以耐高溫高壓，在線(xiàn)式，拆裝方便的，并且過(guò)濾效率較高的全金屬過(guò)濾器。本實(shí)用 新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:該全金屬過(guò)濾器，其特征是，包括進(jìn)口管、過(guò)濾芯和濾芯套管，所述的濾芯套管套裝在進(jìn)口管上，過(guò)濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內(nèi)，進(jìn)口管上開(kāi)有進(jìn)氣口，濾芯套管上開(kāi)有出氣口，進(jìn)氣口、濾芯腔和出氣口在同一中心中軸線(xiàn)上且相互聯(lián)通，所述的過(guò)濾芯為不銹鋼燒結(jié)濾芯。采用不銹鋼燒結(jié)濾芯不僅機(jī)械強(qiáng)度能得以保證，還滿(mǎn)足高壓高溫要求。作為優(yōu)選，所述的過(guò)濾芯的進(jìn)口端上開(kāi)有槽口，用于氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入濾芯腔內(nèi)的通道，取代了以往過(guò)濾器采用彈簧作為輔助支撐的缺陷，也使得過(guò)濾芯的拆裝更加方便快捷。作為優(yōu)選，所述的不銹鋼燒結(jié)濾芯的過(guò)濾孔直徑在0.5ιιπΓ 00ιιπι之間，孔隙率在
50%以上，孔隙率高，過(guò)濾孔徑更小，具有更高的過(guò)濾效率和使用壽命。作為優(yōu)選，還包括有卡套式接頭，所述的進(jìn)口管上安裝有卡套式接頭，濾芯套管的出氣口上安裝有卡套式接頭，這種接頭改變了以往過(guò)濾器管道需要焊接的弊端，采用卡套式接頭拆裝方便，體積小，能直接與設(shè)備上的預(yù)留管路相連，實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)使用目的。作為優(yōu)選，所述的濾芯套管與進(jìn)口管間套放有進(jìn)口墊片，所述濾芯套管的出氣口上套放有出口密封圈，可進(jìn)一步提高本產(chǎn)品的密封性能。作為優(yōu)選，所述的進(jìn)口管和濾芯套管為不銹鋼，機(jī)械強(qiáng)度更高。本實(shí)用新型的有益效果是:本產(chǎn)品密封性能好，使用壽命長(zhǎng)，采用不銹鋼材質(zhì)的外殼，機(jī)械強(qiáng)度高，能長(zhǎng)時(shí)間處理高溫高壓氣體；采用的管式殼體和兩端的卡套式接頭，使得過(guò)濾器結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，拆裝方便；安裝的過(guò)濾芯由于采用金屬粉末燒結(jié)工藝，孔徑小，孔隙率高，能實(shí)現(xiàn)更高的過(guò)濾效率。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意部分剖視圖。圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例過(guò)濾芯的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。實(shí)施例:參見(jiàn)圖1和圖2，本實(shí)用新型實(shí)施例包括進(jìn)口管1、過(guò)濾芯2、濾芯套管3、進(jìn)口墊片4、出口密封圈5和卡套式接頭6。本產(chǎn)品的濾芯套管3套裝在進(jìn)口管I上，過(guò)濾芯2套放在濾芯套管3的濾芯腔7內(nèi)，進(jìn)口管I上開(kāi)有進(jìn)氣口 8，濾芯套管3上開(kāi)有出氣口 9，進(jìn)氣口 8、濾芯腔7和出氣口 9在同一中心中軸線(xiàn)上且相互聯(lián)通，過(guò)濾芯2的開(kāi)口朝向?yàn)V芯套管3的出氣口 9，本產(chǎn)品的過(guò)濾芯2為不銹鋼燒結(jié)濾芯，采用不銹鋼燒結(jié)濾芯不僅機(jī)械強(qiáng)度能得以保證，還滿(mǎn)足高壓高溫要求，不銹鋼燒結(jié)濾芯的過(guò)濾孔直徑在0.5unTl00um之間，孔隙率在50%以上，孔隙率高，過(guò)濾孔徑更小，具有更高的過(guò)濾效率和使用壽命。此外進(jìn)口管I和濾芯套管3為不銹鋼，機(jī)械強(qiáng)度也更高。本產(chǎn)品過(guò)濾芯2的進(jìn)口端上開(kāi)有槽口 10，用于氣體從進(jìn)氣口 8進(jìn)入濾芯腔7內(nèi)的通道，取代了以往過(guò)濾器采用彈簧作為輔助支撐的缺陷，也使得過(guò)濾芯2的拆裝更加方便快捷。本產(chǎn)品的進(jìn)口管I上安裝有卡套式接頭6，濾芯套管3的出氣口 9上安裝有卡套式接頭6，這種接頭改變了以往過(guò)濾器管道需要焊接的弊端，采用卡套式接頭6拆裝方便，體積小，能直接與設(shè)備上的預(yù)留管路相連，實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)使用目的。為了進(jìn)一步提高本產(chǎn)品的密封性能，濾芯套管3與進(jìn)口管I間套放有進(jìn)口墊片4，濾芯套管3的出氣口 9上套放有出口密封圈5，本產(chǎn)品所用出口密封圈5為氟橡膠。本產(chǎn)品在工作過(guò)程中雜質(zhì)氣體首先通過(guò)進(jìn)氣口 8進(jìn)入濾芯腔7，經(jīng)過(guò)濾芯2進(jìn)行過(guò)濾，由于進(jìn)口管I和濾芯套管3為不銹鋼的全金屬結(jié)構(gòu)，過(guò)濾芯2為不銹鋼燒結(jié)濾芯，機(jī)械強(qiáng)度高，耐溫高，能長(zhǎng)時(shí)間處理高溫高壓氣體；本產(chǎn)品過(guò)濾芯2拆裝方便，當(dāng)本產(chǎn)品進(jìn)出口壓差達(dá)到更換壓差時(shí)，取出過(guò)濾芯2，用純水沖洗或用潔凈氣體反吹即可實(shí)現(xiàn)再生，重復(fù)安裝使用。本說(shuō)明書(shū)中所描述的以上內(nèi)容僅僅是對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)所作的舉例說(shuō)明。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類(lèi)似的方式替代，只要不偏離本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)或者超越本權(quán)利要求書(shū)所定義的范圍，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù) 范圍。
權(quán)利要求1.一種全金屬過(guò)濾器，其特征在于:包括進(jìn)口管、過(guò)濾芯和濾芯套管，所述的濾芯套管套裝在進(jìn)口管上，過(guò)濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內(nèi)，進(jìn)口管上開(kāi)有進(jìn)氣口，濾芯套管上開(kāi)有出氣口，進(jìn)氣口、濾芯腔和出氣口在同一中心中軸線(xiàn)上且相互聯(lián)通，所述的過(guò)濾芯為不銹鋼燒結(jié)濾芯。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全金屬過(guò)濾器，其特征在于:所述的過(guò)濾芯的進(jìn)口端上開(kāi)有槽口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全金屬過(guò)濾器，其特征在于:所述的不銹鋼燒結(jié)濾芯的過(guò)濾孔直徑在0.5unTl00um之間，孔隙率在50%以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全金屬過(guò)濾器，其特征在于:還包括有卡套式接頭，所述的進(jìn)口管上安裝有卡套式接頭，濾芯套管的出氣口上安裝有卡套式接頭。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全金屬過(guò)濾器，其特征在于:所述的濾芯套管與進(jìn)口管間套放有進(jìn)口墊片，所述濾芯套管的出氣口上套放有出口密封圈。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全金屬過(guò)濾器，其特征在于:所述的進(jìn)口管和濾芯套管為不銹鋼。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種全金屬過(guò)濾器，特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上的全金屬氣體過(guò)濾器。該全金屬過(guò)濾器，其特征是，包括進(jìn)口管、過(guò)濾芯和濾芯套管，所述的濾芯套管套裝在進(jìn)口管上，過(guò)濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內(nèi)，進(jìn)口管上開(kāi)有進(jìn)氣口，濾芯套管上開(kāi)有出氣口，進(jìn)氣口、濾芯腔和出氣口在同一中心中軸線(xiàn)上且相互聯(lián)通，所述的過(guò)濾芯為不銹鋼燒結(jié)濾芯。本產(chǎn)品密封性能好，使用壽命長(zhǎng)，采用不銹鋼材質(zhì)的外殼，機(jī)械強(qiáng)度高，能長(zhǎng)時(shí)間處理高溫高壓氣體；采用的管式殼體和兩端的卡套式接頭，使得過(guò)濾器結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，拆裝方便；安裝的過(guò)濾芯由于采用金屬粉末燒結(jié)工藝，孔徑小，孔隙率高，能實(shí)現(xiàn)更高的過(guò)濾效率。
文檔編號(hào)B01D46/24GK203108348SQ20132006621
公開(kāi)日2013年8月7日 申請(qǐng)日期2013年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月5日
發(fā)明者張凌霄, 王文富 申請(qǐng)人:杭州帝凡過(guò)濾技術(shù)有限公司