專利名稱：一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置。
背景技術(shù)：
擴散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，它的主要用途是對半導體進行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導體內(nèi)雜質(zhì)的類型、 濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。擴散爐在工作過程中，經(jīng)高溫擴散產(chǎn)生的尾氣直接進入排氣管道，會產(chǎn)生較多的廢氣排放，不僅影響廠區(qū)空氣質(zhì)量，還會造成一定的大氣污染。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種使太陽能擴散爐中廢氣得以截流并液化的裝置。為了達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是提供了一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于包括固定在擴散爐上的瓶體，導氣管的一端連接擴散爐的尾部，另一端連接瓶體，在瓶體內(nèi)設(shè)有石英小管，在瓶體的頂部開有排氣口。進一步，所述瓶體設(shè)于固定瓶體平臺上，固定瓶體平臺通過固定螺絲固定在所述擴散爐上。所述石英小管在所述瓶體內(nèi)不規(guī)則堆放，且堆滿瓶體。本實用新型提供的用于用于太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置，擴散工藝產(chǎn)生的高溫廢氣通過導氣管導入廢氣截流的集氣瓶，通過集氣瓶中的大量石英小管的緩沖，廢氣在集氣瓶中的冷卻時間得到較大幅度的延長，可以使排入集氣瓶的廢氣得到充分的冷卻液化，進一步減少廢氣的排放。

圖1為本實用新型提供的一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置的俯視圖；圖2為本實用新型提供的一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置的側(cè)視圖。
具體實施方式
為使本實用新型更明顯易懂，茲以一優(yōu)選實施例，并配合附圖作詳細說明如下。如圖1及圖2所示，為本實用新型提供的一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置，包括瓶體1，瓶體1設(shè)于固定瓶體平臺6上，固定瓶體平臺6通過固定螺絲4固定在所述擴散爐上，導氣管5的一端連接擴散爐的尾部，另一端連接瓶體1，在瓶體1內(nèi)設(shè)有石英小管2， 石英小管2在瓶體1內(nèi)不規(guī)則堆放，且堆滿瓶體1，瓶體1的頂部開有排氣口 3。本實用新型的工作過程如下太陽能晶硅電池在擴散工藝產(chǎn)生的高溫廢氣從擴散爐尾部的導氣管5導入廢氣截流的瓶體1，通過瓶體1中的大量石英小管2的緩沖截流，廢氣在瓶體1中的冷卻時間得到較大幅度的延長，可以使排入瓶體1的廢氣得到充分的冷卻液化，從而使對外排氣管道內(nèi)的廢氣排放實現(xiàn)進一步減少。
權(quán)利要求1.一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于包括固定在擴散爐上的瓶體 (1)，導氣管(5)的一端連接擴散爐的尾部，另一端連接瓶體(1)，在瓶體(1)內(nèi)設(shè)有石英小管(2)，在瓶體(1)的頂部開有排氣口(3)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于所述瓶體 (1)設(shè)于固定瓶體平臺(6)上，固定瓶體平臺(6)通過固定螺絲(4)固定在所述擴散爐上。
3.如權(quán)利要求1所述的一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于所述石英小管(2 )在所述瓶體(1)內(nèi)不規(guī)則堆放，且堆滿瓶體(1)。
專利摘要本實用新型提供了一種太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于包括固定在擴散爐上的瓶體，導氣管的一端連接擴散爐的尾部，另一端連接瓶體，在瓶體內(nèi)設(shè)有石英小管，在瓶體的頂部開有排氣口。本實用新型提供的用于用于太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置，擴散工藝產(chǎn)生的高溫廢氣通過導氣管導入廢氣截流的集氣瓶，通過集氣瓶中的大量石英小管的緩沖，廢氣在集氣瓶中的冷卻時間得到較大幅度的延長，可以使排入集氣瓶的廢氣得到充分的冷卻液化，進一步減少廢氣的排放。
文檔編號B01D5/00GK202096777SQ20112013808
公開日2012年1月4日 申請日期2011年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月4日
發(fā)明者嚴漢元 申請人:百力達太陽能股份有限公司