專利名稱：多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅定向凝固爐生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，進(jìn)一步是多晶硅定向凝固爐真空系統(tǒng)抽氣管道，尤其是多晶硅定向凝固爐真空系統(tǒng)抽氣管道的過濾器。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的多晶硅錠定向凝固爐，通過真空泵系統(tǒng)(包括一個(gè)羅茨泵和機(jī)械前級(jí)泵)運(yùn)行前將爐腔抽成真空狀態(tài)。抽氣過程中爐腔內(nèi)的石墨粉和其它固體顆粒雜質(zhì)將隨著抽氣管道抽到真空泵中，特別是在快速抽氣時(shí)(此時(shí)Vl閥打開)。真空泵機(jī)組是滑閥泵，利用潤滑油密封的，如果從爐腔內(nèi)抽出的雜質(zhì)直接進(jìn)入真空泵中，會(huì)造成真空油的污染，導(dǎo)致泵內(nèi)機(jī)械部件的磨損使真空泵漏油或出現(xiàn)真空泵停機(jī)故障。這樣以來會(huì)造成真空油更換頻繁和生產(chǎn)事故，大大降低真空泵機(jī)組的使用壽命，所以在抽氣管道中間增加一個(gè)過濾固體顆粒雜質(zhì)的過濾器顯得非常重要。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，它可克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，可將雜質(zhì)擋在濾網(wǎng)的一側(cè)，定期清理，確保真空泵設(shè)備正常運(yùn)行；還可以更換，方便快捷；從而有效地延長真空泵設(shè)備的使用壽命，降低生產(chǎn)成本。本實(shí)用新型的目的是通過以下方案實(shí)現(xiàn)的多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，其特征在于在抽氣管道中間設(shè)置可過濾固體顆粒雜質(zhì)的過濾器。本實(shí)用新型還可通過以下方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)所述過濾器的結(jié)構(gòu)是過濾器容筒的中間設(shè)置有濾網(wǎng)，過濾器容筒的一端密封，另一端設(shè)置開口及活動(dòng)封蓋；便于打開活動(dòng)封蓋清理固體顆粒。進(jìn)口與出口分別設(shè)置于不同端面與濾網(wǎng)間，濾網(wǎng)可將從爐體中抽出的固體顆粒雜質(zhì)擋在濾網(wǎng)的一側(cè)。所述過濾器的濾網(wǎng)為可拆卸結(jié)構(gòu)。所述過濾器與抽氣管道通過法蘭及卡扣連接。所述過濾器進(jìn)出口管徑與抽氣管道內(nèi)徑相同。所述過濾器內(nèi)的濾網(wǎng)為100 — 300目。其中，優(yōu)選為150 — 250目。本實(shí)用新型的有益效果是在原有的抽氣管道上中間增加一個(gè)過濾器，抽真空和真空模式運(yùn)行時(shí)，可將從爐體內(nèi)抽出的石墨粉和固體顆粒雜質(zhì)，通過過濾器過濾留在過濾器中，過濾器一端部有開口及密封蓋，方便清理贓物和更換濾網(wǎng)。這樣就能減少爐體內(nèi)抽出的贓物對(duì)真空泵油的污染，從而減小對(duì)真空泵機(jī)組的損壞，提高真空泵及真空泵油的使用壽命，降低生產(chǎn)成本。

圖1為本實(shí)用新型抽氣管道線路示意圖。[0014]圖中1為真空泵機(jī)組，2為過濾器，21為濾網(wǎng)，22為活動(dòng)封蓋，3為大抽氣閥，4為爐腔，5為抽氣管道。
具體實(shí)施方式
為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案，并使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。實(shí)施例如圖1所示，真空泵機(jī)組1 (包含機(jī)械泵和羅茨泵)通過抽氣管道5連接多晶硅錠定向凝固爐爐腔4，在抽氣管道5上設(shè)有大排氣閥(VI閥)(快速抽氣和真空模式運(yùn)行時(shí)打開)3，抽氣管道中間加裝一個(gè)過濾器2，過濾器2的兩端通過法蘭與抽氣管道5連接，過濾器2中間的濾網(wǎng)21可將從爐體中抽出的固體顆粒雜質(zhì)擋在濾網(wǎng)的左側(cè)；過濾器2的左端設(shè)置開口及活動(dòng)封蓋22，通過打開活動(dòng)封蓋22，可方便地清理固體顆粒雜質(zhì)和更換濾網(wǎng)。以上所述，僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，其特征在于在抽氣管道中間設(shè)置可過濾固體顆粒雜質(zhì)的過濾器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，其特征在于過濾器的結(jié)構(gòu)是過濾器容筒的中間設(shè)置有濾網(wǎng)，過濾器容筒的一端密封，另一端設(shè)置開口及活動(dòng)封蓋；進(jìn)口與出口分別設(shè)置于不同端面與濾網(wǎng)間，濾網(wǎng)可將從爐體中抽出的固體顆粒雜質(zhì)擋在濾網(wǎng)的一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，其特征在于過濾器的濾網(wǎng)為可拆卸結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，其特征在于過濾器與抽氣管道通過法蘭及卡扣連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，其特征在于過濾器進(jìn)出口管徑與抽氣管道內(nèi)徑相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，其特征在于過濾器內(nèi)的濾網(wǎng)為100 — 300目。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種多晶硅錠定向凝固爐抽氣過濾器，涉及多晶硅定向凝固爐真空系統(tǒng)抽氣管道，在抽氣管道中間設(shè)置可過濾固體顆粒雜質(zhì)的過濾器。所述過濾器的結(jié)構(gòu)是過濾器容筒的中間設(shè)置有濾網(wǎng)，過濾器容筒的一端密封，另一端設(shè)置開口及活動(dòng)封蓋；進(jìn)口與出口分別設(shè)置于不同端面與濾網(wǎng)間，濾網(wǎng)可將從爐體中抽出的固體顆粒雜質(zhì)擋在濾網(wǎng)的一側(cè)。本實(shí)用新型的有益效果是抽真空和真空模式運(yùn)行時(shí)，可將從爐體內(nèi)抽出的石墨粉和固體顆粒雜質(zhì)通過過濾器，過濾留在過濾器中，過濾器一端有開口，方便清理贓物和更換濾網(wǎng)。這樣就能減少爐體內(nèi)抽搐的贓物對(duì)真空泵油的污染，從而減小對(duì)真空泵機(jī)組的損壞，提高真空泵及真空泵油的使用壽命，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)B01D46/00GK202044856SQ201120126239
公開日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2011年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月26日
發(fā)明者劉瑞柱, 印亞峰, 熊濤濤 申請(qǐng)人:安陽市鳳凰光伏科技有限公司