專利名稱：濕式過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種過濾裝置，可以充分過濾刻蝕后廢氣中所含的粉塵和氟離子等附產(chǎn)物，減少等離子體刻蝕機(jī)真空泵的損耗，延長等離子體刻蝕機(jī)真空泵的使用壽命。
背景技術(shù)：
目前，在硅太陽能電池的制造過程中，我國太陽能電池制造廠家所采用的等離子刻蝕機(jī)真空泵過濾裝置，如


圖1所示，一般包括殼體1和內(nèi)置于殼體1中的過濾器2，其中， 殼體1包括端蓋11和頂部具有開口的殼身12，端蓋11位于殼身12的開口上使殼體內(nèi)成為一封閉空間，在殼身12上設(shè)有導(dǎo)入廢氣的進(jìn)氣口 13，端蓋11上設(shè)有導(dǎo)出過濾后氣體的出氣口 14。該過濾裝置的工作過程是硅太陽能電池制造工段刻蝕后所產(chǎn)生的廢氣從進(jìn)氣口進(jìn)入過濾器中，通過過濾器的絲網(wǎng)過濾濾芯進(jìn)行過濾，廢氣中的粉塵和氟離子被吸附在過濾濾芯上，過濾后的氣體從出氣口排出后進(jìn)入真空泵。以上過濾裝置的缺陷在于(1)過濾器通過絲網(wǎng)過濾濾芯進(jìn)行過濾，這種結(jié)構(gòu)的過濾濾芯對刻蝕過程中產(chǎn)生的粉塵和氟離子等附產(chǎn)物無法全部過濾，未經(jīng)過濾的廢氣進(jìn)入真空泵后，會對真空泵進(jìn)行磨損和腐蝕，從而縮短真空泵的使用壽命；(2)為了保證循環(huán)使用，過濾廢氣后的過濾濾芯需要進(jìn)行清洗，但是，清洗后的過濾濾芯孔徑會增大，當(dāng)再次使用時，廢氣中的附產(chǎn)物更容易通過過濾濾芯，因此更加劇了對真空泵的磨損和腐蝕；(3)過濾器采用吸收方式進(jìn)行過濾，當(dāng)對廢氣中的附產(chǎn)物吸附到定量時，在過濾器的進(jìn)氣口處將產(chǎn)生較大的阻力，這會導(dǎo)致真空泵無法正常工作；(4)過濾器過濾濾芯的更換價格較高，使得維護(hù)成本高居不下。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可充分吸收廢氣中的附產(chǎn)物、延長真空泵的使用壽命、提高真空泵工作效率的濕式過濾裝置。本實(shí)用新型的目的通過以下的技術(shù)措施來實(shí)現(xiàn)一種濕式過濾裝置，包括殼體，所述殼體包括端蓋和頂部具有開口的殼身，所述端蓋設(shè)置在所述殼身的開口上使殼體內(nèi)成為一封閉空間，在所述殼體上設(shè)有用于導(dǎo)入廢氣的進(jìn)氣口和導(dǎo)出過濾后氣體的出氣口，其特征在于所述殼體上設(shè)有用于向殼體內(nèi)注入機(jī)油的注油孔，所述注油孔與殼體內(nèi)的封閉空間相通，所述殼體上還設(shè)有用于排出混濁機(jī)油的排污口，廢氣由進(jìn)氣口導(dǎo)入殼體內(nèi)，通過機(jī)油吸附凈化后從出氣口導(dǎo)出。本實(shí)用新型采用具有粉塵吸附能力更強(qiáng)的機(jī)油作為吸附媒體，可充分吸收刻蝕后廢氣中所含的粉塵和氟離子等附產(chǎn)物，減少等離子體刻蝕機(jī)真空泵的損耗，從而延長了真空泵的使用壽命，提高真空泵工作效率；本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡單，對真空泵的正常工作狀態(tài)無影響；當(dāng)機(jī)油吸附至飽和時，直接更換機(jī)油即可，維護(hù)成本較低。作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，所述端蓋上設(shè)有通孔，所述通孔內(nèi)活動穿合有一由殼身外伸入殼身內(nèi)的進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管位于殼身外的管口即為進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣管在殼身內(nèi)的伸入長度可調(diào)。進(jìn)氣管在殼體內(nèi)的伸入長度可以調(diào)節(jié)，因此可根據(jù)吸附的實(shí)際情況對其進(jìn)行調(diào)節(jié)以實(shí)現(xiàn)較好的吸附效果。為了保證對廢氣中粉塵和氟離子等附產(chǎn)物的充分吸附，所述進(jìn)氣管位于殼身內(nèi)的管口為喇叭形。作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，所述注油孔設(shè)置在所述端蓋上，所述注油孔穿過端蓋并向殼身內(nèi)伸出一管段。作為本實(shí)用新型的實(shí)施方式，所述排污口設(shè)置在殼身的底部。作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，所述的濕式過濾裝置還包括用于監(jiān)控機(jī)油混濁度和高度而進(jìn)行更換和補(bǔ)充機(jī)油的機(jī)油監(jiān)控機(jī)構(gòu)。作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，所述機(jī)油監(jiān)控機(jī)構(gòu)采用油面透視鏡，所述殼身的側(cè)壁上具有安裝孔，所述油面透視鏡設(shè)置在安裝孔中且外露于殼身。本實(shí)用新型可從外部通過油面透視鏡觀察機(jī)油的渾濁度和油面的高度，如果發(fā)現(xiàn)機(jī)油混濁，可通過排污口排出混濁機(jī)油，并從注油孔注入新更換的干凈機(jī)油；如果發(fā)現(xiàn)機(jī)油的油面高度較低，也可以通過注油孔補(bǔ)充機(jī)油。本實(shí)用新型還可以做以下改進(jìn)，為了實(shí)現(xiàn)更好的排污效果，所述端蓋上設(shè)有用于向殼體內(nèi)吹入壓縮空氣以施壓于機(jī)油的壓縮空氣吹掃口，為了防止吹掃作業(yè)時機(jī)油倒流入等離子體刻蝕機(jī)中，所述進(jìn)氣管位于殼身外的管段上安裝有單向閥。作為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，所述殼體的材質(zhì)采用不銹鋼材料。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下顯著的效果(1)本實(shí)用新型采用具有粉塵吸附能力更強(qiáng)的機(jī)油作為吸附媒體，與現(xiàn)有過濾裝置采用絲網(wǎng)過濾濾芯相比，可充分吸收刻蝕后廢氣中所含的粉塵和氟離子等附產(chǎn)物，減少等離子體刻蝕機(jī)真空泵的損耗，從而延長了真空泵的使用壽命，提高真空泵的工作效率。(2)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡單，機(jī)油對廢氣中附產(chǎn)物的吸附過程對真空泵的正常工作狀態(tài)無影響。(3)當(dāng)機(jī)油吸附至飽和時，直接更換機(jī)油即可，減少了現(xiàn)有清洗過濾濾芯的工作量，提高了工作效率，而且機(jī)油價格相對較低，從而降低了維護(hù)成本。(4)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡單，機(jī)油監(jiān)控機(jī)構(gòu)方便于對機(jī)油進(jìn)行監(jiān)測以便及時更換和補(bǔ)充機(jī)油。(5)本實(shí)用新型的單向閥可防止壓縮空氣吹掃時機(jī)油倒流入等離子體刻蝕機(jī)內(nèi)。(6)本實(shí)用新型的壓縮空氣吹掃口能夠進(jìn)行有效排污。(7)本實(shí)用新型尤其適用于硅太陽能電池的制造工序中，也可以適用于其它需要對氣體中附產(chǎn)物進(jìn)行吸附過濾的場合。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
圖1是現(xiàn)有等離子體刻蝕機(jī)真空泵過濾裝置的結(jié)構(gòu)半剖視圖；圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)透視圖。
具體實(shí)施方式
如圖2所示，是本實(shí)用新型一種濕式過濾裝置，包括殼體1，所述殼體1包括端蓋 11和頂部具有開口的殼身12，端蓋11設(shè)置在殼身12的開口使殼體內(nèi)成為一封閉空間，在殼體1上設(shè)有用于導(dǎo)入廢氣的進(jìn)氣口 13和導(dǎo)出過濾后氣體的出氣口 14;在端蓋11上設(shè)有通孔，通孔內(nèi)活動穿合有一由殼身12外伸入殼身12內(nèi)的進(jìn)氣管16，進(jìn)氣管16位于殼身12 外的管口即為進(jìn)氣口 14，進(jìn)氣管16在殼身12內(nèi)的伸入長度可調(diào)，因此可根據(jù)吸附的實(shí)際情況對其進(jìn)行調(diào)節(jié)以實(shí)現(xiàn)較好的吸附效果；進(jìn)氣管16位于殼身12內(nèi)的管口為喇叭形，以確保機(jī)油對廢氣中粉塵和氟離子等附產(chǎn)物的充分吸附。端蓋11上設(shè)有用于向殼體1內(nèi)注入機(jī)油的注油孔15，注油孔15與殼體1內(nèi)的封閉空間相通，注油孔15穿過端蓋11并向殼身12內(nèi)伸出一管段。殼體1上還設(shè)有用于排出混濁機(jī)油的排污口 16，排污口 16設(shè)置在殼身12的底部。作為改進(jìn)，本實(shí)用新型濕式過濾裝置還包括用于監(jiān)控機(jī)油混濁度和高度而進(jìn)行更換和補(bǔ)充機(jī)油的機(jī)油監(jiān)控機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中，機(jī)油監(jiān)控機(jī)構(gòu)采用油面透視鏡17，殼身12 的側(cè)壁上具有安裝孔，油面透視鏡17設(shè)置在安裝孔內(nèi)且外露于殼身12?？赏ㄟ^油面透視鏡觀察機(jī)油的渾濁度和油面的高度，如果發(fā)現(xiàn)機(jī)油混濁，可通過排污口排出混濁機(jī)油，并從注油孔注入新更換的干凈機(jī)油；如果發(fā)現(xiàn)機(jī)油的油面高度較低，也可以通過注油孔補(bǔ)充機(jī)油。為了實(shí)現(xiàn)更好的排污效果，端蓋11上設(shè)有用于向殼體1內(nèi)吹入壓縮空氣以施壓于機(jī)油的壓縮空氣吹掃口 18，為了防止吹掃作業(yè)時機(jī)油倒流入等離子體刻蝕機(jī)中，進(jìn)氣管16 位于殼身12外的管段上安裝有單向閥19。本實(shí)用新型的工作過程是等離子體刻蝕機(jī)刻蝕過程中產(chǎn)生的粉塵和氟離子等附產(chǎn)物經(jīng)進(jìn)氣口進(jìn)入殼體內(nèi)，由進(jìn)氣管吹入機(jī)油中，利用機(jī)油能夠吸附粉塵等顆粒性雜質(zhì)和防銹防蝕的特性，將廢氣中的粉塵和氟離子等物質(zhì)進(jìn)行吸附，經(jīng)過過濾后的氣體通過等離子體刻蝕機(jī)真空泵的吸力由出氣口吸出；過濾出的粉塵和氟離子等物質(zhì)受重力作用沉淀至殼體的底部，當(dāng)沉淀物質(zhì)達(dá)到一定量時，打開排污口，并通過壓縮空氣吹掃口吹入的壓縮空氣所施加的壓力作用將含有雜質(zhì)的機(jī)油排出，從注油孔補(bǔ)充入干凈機(jī)油后即可再次使用。本實(shí)用新型的殼體采用不銹鋼材料制成，另外本實(shí)用新型其它的零部件的材質(zhì)也采用不銹鋼材料，因此本實(shí)用新型在使用過程中不易腐蝕損壞。本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此，根據(jù)本實(shí)用新型的上述內(nèi)容，按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識和慣用手段，在不脫離本實(shí)用新型上述基本技術(shù)思想前提下，機(jī)油監(jiān)控機(jī)構(gòu)還可以采用其它現(xiàn)有機(jī)構(gòu)，因此本實(shí)用新型還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更，均落在本實(shí)用新型權(quán)利保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種濕式過濾裝置，包括殼體(1)，所述殼體⑴包括端蓋(11)和頂部具有開口的殼身(12)，所述端蓋(11)設(shè)置在所述殼身(12)的開口上使殼體(1)內(nèi)成為一封閉空間，在所述殼體(1)上設(shè)有用于導(dǎo)入廢氣的進(jìn)氣口(1 和導(dǎo)出過濾后氣體的出氣口(14)，其特征在于所述殼體⑴上設(shè)有用于向殼體⑴內(nèi)注入機(jī)油的注油孔(15)，所述注油孔(15)與殼體(1)內(nèi)的封閉空間相通，所述殼體(1)上還設(shè)有用于排出混濁機(jī)油的排污口(16)，廢氣由進(jìn)氣口(13)導(dǎo)入殼體⑴內(nèi)，通過機(jī)油吸附凈化后從出氣口(14)導(dǎo)出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕式過濾裝置，其特征在于所述端蓋(11)上設(shè)有通孔，所述通孔內(nèi)活動穿合有一由殼身(1 外伸入殼身(1 內(nèi)的進(jìn)氣管(16)，所述進(jìn)氣管(16)位于殼身(12)外的管口即為進(jìn)氣口(13)，所述進(jìn)氣管(16)在殼身(12)內(nèi)的伸入長度可調(diào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濕式過濾裝置，其特征在于所述進(jìn)氣管(16)位于殼身(12) 內(nèi)的管口為喇叭形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的濕式過濾裝置，其特征在于所述注油孔(1 設(shè)置在所述端蓋(11)上，所述注油孔(15)穿過端蓋(11)并向殼身(12)內(nèi)伸出一管段。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濕式過濾裝置，其特征在于所述排污口(16)設(shè)置在殼身 (12)的底部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濕式過濾裝置，其特征在于所述的濕式過濾裝置還包括用于監(jiān)控機(jī)油混濁度和高度而進(jìn)行更換和補(bǔ)充機(jī)油的機(jī)油監(jiān)控機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濕式過濾裝置，其特征在于所述機(jī)油監(jiān)控機(jī)構(gòu)采用油面透視鏡(17)，所述殼身(1 的側(cè)壁上具有安裝孔，所述油面透視鏡(17)設(shè)置在安裝孔內(nèi)且外露于殼身(12)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的濕式過濾裝置，其特征在于所述端蓋(11)上設(shè)有用于向殼體(1)內(nèi)吹入壓縮空氣以施壓于機(jī)油的壓縮空氣吹掃口(18)，所述進(jìn)氣管(16)位于殼身 (12)外的管段上安裝有用于防止吹掃作業(yè)時機(jī)油倒流的單向閥(19)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕式過濾裝置，其特征在于所述殼體(1)的材質(zhì)采用不銹鋼材料。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種濕式過濾裝置，包括殼體，所述殼體包括端蓋和頂部具有開口的殼身，所述端蓋設(shè)置在所述殼身的開口上使殼體內(nèi)成為一封閉空間，在所述殼體上設(shè)有用于導(dǎo)入廢氣的進(jìn)氣口和導(dǎo)出過濾后氣體的出氣口，所述殼體上設(shè)有用于向殼體內(nèi)注入機(jī)油的注油孔，所述注油孔與殼體內(nèi)的封閉空間相通，所述殼體上還設(shè)有用于排出混濁機(jī)油的排污口，廢氣由進(jìn)氣口導(dǎo)入殼體內(nèi)，通過機(jī)油吸附凈化后從出氣口導(dǎo)出。本實(shí)用新型采用吸附能力更強(qiáng)的機(jī)油作為吸附媒體，可充分吸收刻蝕后廢氣中所含的粉塵和氟離子等附產(chǎn)物，減少等離子體刻蝕機(jī)真空泵的損耗，從而延長了真空泵的使用壽命，提高真空泵工作效率；本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)成本較低。
文檔編號B01D47/02GK202070268SQ201120114429
公開日2011年12月14日 申請日期2011年4月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月15日
發(fā)明者張存海, 王佩亮 申請人:晶澳太陽能有限公司