專利名稱：硅塵過濾器的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于三氯氫硅生產設備技術領域，具體涉及對三氯氫硅合成爐流出的 固體硅塵進行過濾分離的裝置即硅塵過濾器。
背景技術：
在三氯氫硅生產中，HCL氣體與硅粉在三氯氫硅合成爐(沸騰床)內高溫28(Γ320 度左右反應生成三氯氫硅和四氯化硅氣體。該氣體從三氯氫硅合成爐出口流出的同時帶走 了大量的硅塵粉沫。硅塵過濾器就是用來過濾分離三氯氫硅氣體中的固體硅塵的，由于硅 塵量大，硅塵過濾器負荷重，工作條件苛刻，過濾器更換頻繁，平均每個月需更換一次，影響 生產正常運行和產品質量。

實用新型內容本實用新型為解決硅塵過濾器易損壞，過濾精度不高的問題，提供一種新式硅塵 過濾器。采用本實用新型解決制約三氯氫硅生產的瓶頸，延長了過濾器的使用壽命，降低過 濾器的阻力，增加過濾器的單位面積過濾量，減少設備的檢修頻率，改造工作環(huán)境，穩(wěn)定生 產運行。為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案如下硅塵過濾器，包括筒體、筒體上的含塵氣體進口、硅塵出口，設置在筒體內的過濾 器網帶，過濾器網帶頂部為露出筒體的法蘭盤，法蘭盤上設置有出氣口，其特征在于所述 過濾器網帶為空心筒狀結構，筒狀的骨架上設置玻璃絲纖維氈。所述筒體內與含塵氣體進口相應位置處設置有緩沖擋板。所述法蘭盤上設置氮氣反沖孔。所述骨架為鋼絲網，包括呈環(huán)形布置的若干立柱、與立柱連接圍繞立柱的加強環(huán)， 筒狀結構內部設置十字筋作支撐結構，鋼絲網頂部與法蘭盤連接，底部設置有底筋。進一步地，筒體內設置三套過濾器網帶以及出氣口和反沖孔。本實用新型有益效果表現在一、鋼絲網采用新式骨架結構，增強了結構的穩(wěn)定性和牢固程度，提高了設備的使 用壽命。二、采用玻璃絲纖維氈作為濾過布，降低了過濾器的阻力，增加了過濾器的單位面 積過濾量，有效地減小了設備的檢修頻率。三、含塵氣體進口相應位置處設置緩沖擋板，避免了含塵三氯氫硅氣體直接沖刷 過濾器表面，進一步延長了過濾網的使用壽命。四、為提高過濾器的過濾效果，采用脈沖式反沖清理系統(tǒng)，可定期地對過濾器進行 反沖，保證過濾器的過濾系數。五、筒體內設置三套過濾器網帶，更有效地利用筒內空間，提升過濾效率。六、本實用新型通過對硅塵過濾器內部結構、材質的改進以及對硅粉過濾器反沖系統(tǒng)的改進，大大延長了硅塵過濾器的使用周期，從原來每個月拆開清理更換一次延長到 現在每4飛個月檢修拆換一次。過濾器的使用壽命大幅度延長，減少了硅塵過濾器的檢修 次數，有效地改造了工作環(huán)境，穩(wěn)定生產運行。
圖1為本實用新型縱剖面結構示意圖圖2為本實用新型橫剖面結構示意圖圖3為鋼絲網立面結構示意圖圖4為圖3 A-A剖面圖圖5為圖3 B-B剖面圖圖中標記1筒體、2含塵氣體進口、3硅塵出口、4過濾器網帶、5法蘭盤、6出氣口、7玻璃絲纖 維氈，8緩沖擋板，9立柱、10加強環(huán)、11十字筋、12底筋、13反沖孔。
具體實施方式
實施例1硅塵過濾器，包括筒體、筒體上的含塵氣體進口、硅塵出口，設置在筒體內的過濾 器網帶，過濾器網帶頂部為露出筒體的法蘭盤，法蘭盤上設置有出氣口，過濾器網帶為空心 筒狀結構，筒狀的骨架上設置玻璃絲纖維氈。較好的是玻璃絲纖維氈宜采用50MM厚，并包覆三層。實施例2為避免含塵三氯氫硅氣體直接沖刷過濾器表面，在筒體內與含塵氣體進口相應位 置處設置有緩沖擋板。實施例3骨架為鋼絲網，其結構為包括呈環(huán)形布置的若干立柱、與立柱連接圍繞立柱的加 強環(huán)，筒狀結構內部設置十字筋作支撐結構，鋼絲網頂部與法蘭盤連接，底部設置有底筋。實施例4為提高過濾器的過濾效果，采用脈沖式反沖清理系統(tǒng)，法蘭盤上設置氮氣反沖孔， 定期地對過濾器進行反沖，保證過濾器的過濾系數。脈沖式反沖清理系統(tǒng)為自動式，采用氮 氣或三氯氫硅合成加壓回收尾氣進行反沖，在過濾器前后壓差達到規(guī)定值時，反沖系統(tǒng)電 磁閥打開，對硅塵過濾器進行反沖。實施例5在以上實施例的基礎之上，筒體內設置三套過濾器網帶以及出氣口和反沖孔，更 有效地利用筒內空間，提升過濾效率。
權利要求1.硅塵過濾器，包括筒體、筒體上的含塵氣體進口、硅塵出口，設置在筒體內的過濾器 網帶，過濾器網帶頂部為露出筒體的法蘭盤，法蘭盤上設置有出氣口，其特征在于所述過 濾器網帶為空心筒狀結構，筒狀的骨架上設置玻璃絲纖維氈。
2.根據權利要求1所述的硅塵過濾器，其特征在于所述筒體內與含塵氣體進口相應 位置處設置有緩沖擋板。
3.根據權利要求1所述的硅塵過濾器，其特征在于所述法蘭盤上設置氮氣反沖孔。
4.根據權利要求1所述的硅塵過濾器，其特征在于所述骨架為鋼絲網，包括呈環(huán)形布 置的若干立柱、與立柱連接圍繞立柱的加強環(huán)，筒狀結構內部設置十字筋作支撐結構，鋼絲 網頂部與法蘭盤連接，底部設置有底筋。
5.根據權利要求3所述的硅塵過濾器，其特征在于筒體內設置三套過濾器網帶以及 出氣口和反沖孔。
專利摘要本實用新型為解決硅塵過濾器易損壞，過濾精度不高的問題，提供一種新式硅塵過濾器。包括筒體、筒體上的含塵氣體進口、硅塵出口，設置在筒體內的過濾器網帶，過濾器網帶頂部為露出筒體的法蘭盤，法蘭盤上設置有出氣口，過濾器網帶為空心筒狀結構，其上設置玻璃絲纖維氈，法蘭盤上設置氮氣反沖孔。采用本實用新型解決制約三氯氫硅生產的瓶頸，延長了過濾器的使用壽命，降低過濾器的阻力，增加過濾器的單位面積過濾量，減少設備的檢修頻率，改造工作環(huán)境，穩(wěn)定生產運行。
文檔編號B01D46/24GK201832514SQ20102059416
公開日2011年5月18日 申請日期2010年11月5日 優(yōu)先權日2010年11月5日
發(fā)明者梁進 申請人:樂山永祥硅業(yè)有限公司