專利名稱：控溫型除濕柜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微電子、半導(dǎo)體等精密器件和材料的存儲及干燥處理柜，尤其是 一種控溫型除濕柜。
背景技術(shù)：
目前，微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，產(chǎn)品向這高度的微型集成方向發(fā)展，在生產(chǎn)過程 中減少來自環(huán)境中的塵埃和濕氣已成為提高產(chǎn)品品質(zhì)的關(guān)鍵性因素，由此而產(chǎn)生了許多電 子除濕柜，廣泛地應(yīng)用于存放各類濕度敏感器材和材料，但現(xiàn)有的電子除濕柜降濕速度慢， 內(nèi)部低濕穩(wěn)定性及均勻性不佳，不能適應(yīng)于在生產(chǎn)線上頻繁的取放材料和頻繁的開啟柜門 的情況下使用，特別是不能對已受潮的濕敏元器件進(jìn)行處理，此類情況下講不能有效地完 成對濕敏元器件的安全存儲及再處理，并且現(xiàn)有的除濕柜除濕方式單一，在整體除濕效果 上有所欠缺。目前的電子除濕柜的功能只是存儲濕敏器件，對于已受潮的元器件，電子除濕柜 并不能起到對元器件再處理的作用，通常的做法是使用烘箱進(jìn)行高溫烘烤，但對于許多元 器件的材料，并不能使用高溫烘烤，同時(shí)高溫烘烤會(huì)使元器件的金屬引腳氧化，降低元器件 的后續(xù)加工性能，僅使用較低的溫度烘烤，雖然不會(huì)損壞元器件，但也達(dá)不到烘烤的效果， 而只有在對溫度控制的同時(shí)，即溫度可根據(jù)元器件可耐受的烘烤溫度調(diào)節(jié)，又將濕度降低 到很低的水平，如5% RH，才能得到一個(gè)即安全，又有效率的烘烤再處理環(huán)境。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一是提供一種適應(yīng)于生產(chǎn)線上頻繁開啟時(shí)快速除濕存儲的除濕 柜，同時(shí)可以對各類濕敏器件受潮后進(jìn)行控溫除濕烘烤的控溫型除濕柜。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案它包括一柜體，在柜體內(nèi)部設(shè)有溫控模塊、快速除濕模塊，控制模塊組成，所述溫控模塊包括一發(fā)熱源，并設(shè)有對流循環(huán)部件及循環(huán)風(fēng)道?？焖俪凉衲K快速除濕模塊包含除濕裝置及除濕氣流閥控系統(tǒng)?？刂颇K包含顯示及設(shè)定部分，控制主板，溫濕度采樣信號輸入部分。通過設(shè)定部分可對柜內(nèi)的溫濕度進(jìn)行設(shè)定，而且也可對其它參數(shù)如溫濕度的安全 值，報(bào)警，偏差修正的值等進(jìn)行設(shè)定。再由控制主板計(jì)算后進(jìn)行輸出控制信號驅(qū)動(dòng)或停止溫 控模塊及快速除濕模塊工作；實(shí)現(xiàn)溫濕度的自動(dòng)控制。優(yōu)選地，所述發(fā)熱源為雙股發(fā)熱電纜或鐵鉻合金電熱絲，所述發(fā)熱源鋪設(shè)于柜體 循環(huán)風(fēng)道內(nèi)。優(yōu)選地，所述快速除濕模塊包括除濕裝置及氣流閥控系統(tǒng)；除濕裝置深度過濾將 壓縮空氣深度除濕后充入柜內(nèi)并將柜內(nèi)潮濕空氣置換出柜體，實(shí)現(xiàn)除濕功能；氣流閥控系 統(tǒng)用以對干燥后的壓縮空氣是否充入柜體進(jìn)行控制，在柜內(nèi)濕度到達(dá)設(shè)定濕度后，氣流閥 控系統(tǒng)停止充入干燥壓縮空氣，反之則充入。
優(yōu)選地，溫度控制模塊所述傳感部件接受柜內(nèi)溫度狀況并發(fā)送到比較部件與設(shè)定 值比較，并根據(jù)比較結(jié)果調(diào)整控制輸出，并將控制指令輸出至加熱單元，進(jìn)行或停止加熱， 以實(shí)現(xiàn)對溫度的控制和調(diào)節(jié)單元包括一溫濕度傳感部件、一參數(shù)設(shè)定及比較部件，兼具控 制輸出功能。優(yōu)選地，所述經(jīng)過快速除濕后的干燥氣流由對流循環(huán)部件驅(qū)動(dòng)，流經(jīng)循環(huán)風(fēng)道進(jìn) 行溫度處理，從而最終獲得經(jīng)過低濕和溫度調(diào)制的氣體；并由對流循環(huán)部件對氣流按設(shè)定 的風(fēng)速進(jìn)行循環(huán)以保持濕度的均勻性。傳感部件接受柜體溫濕度狀況并發(fā)送到比較部件與 設(shè)定值比較，并根據(jù)比較結(jié)果調(diào)整溫濕度模塊工作條件及對流循環(huán)以確保溫濕度控制的精 度和最小的波動(dòng)度。優(yōu)選地，柜體由防靜電噴涂的鋼體密封空間及磁封密閉門組成，整個(gè)柜體表面 電阻可以滿足IMohm-IOOMohm/每平方單位。對地電阻右可以滿足> IMohm和小于己于 IOOMohm.此表面電阻及對地電阻符合防靜電規(guī)范的要求，保證了有靜電后可以比較快的使 靜電消散，保護(hù)元器件；同時(shí)卸除靜電的同時(shí)，不會(huì)因?yàn)殡娮杼。剐沽麟娏鬟^大造成電 子元器件損傷；優(yōu)選地，所述控制模塊還連接一顯示模塊，可實(shí)現(xiàn)溫濕度的設(shè)定、運(yùn)行狀態(tài)及報(bào)警 顯示等功能。本發(fā)明的控溫型除濕柜能適應(yīng)于在生產(chǎn)線上頻繁的取放材料和頻繁的開啟柜門 的情況下使用，此類情況下將能有效地保證柜內(nèi)的溫度和干燥度的要求。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例的功能模塊組成示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明目的、功能及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說明。
具體實(shí)施例方式如圖1和圖2所示，本發(fā)明的實(shí)施例它包括一柜體1，在柜體內(nèi)部設(shè)有溫控模塊2、 快速除濕模塊3，控制模塊4組成，所述溫控模塊2包括一發(fā)熱源21，并設(shè)有對流循環(huán)部件22及循環(huán)風(fēng)道23。快速除濕模塊3包含除濕裝置31及除濕氣流閥控系統(tǒng)32?？刂颇K4包含顯示及設(shè)定部分41，控制主板42，溫濕度采樣信號輸入部分43。通過設(shè)定41部分可對柜內(nèi)的溫濕度進(jìn)行設(shè)定，而且也可對其它參數(shù)如溫濕度的 安全值，報(bào)警，偏差修正的值等進(jìn)行設(shè)定；再由控制主板42計(jì)算后進(jìn)行輸出控制信號驅(qū)動(dòng) 或停止溫控模塊及快速除濕模塊工作；實(shí)現(xiàn)溫濕度的自動(dòng)控制。優(yōu)選地，所述發(fā)熱源21為雙股發(fā)熱電纜或鐵鉻合金電熱絲，所述發(fā)熱源11鋪設(shè)于 柜體循環(huán)風(fēng)道內(nèi)。優(yōu)選地，所述快速除濕模塊3包括除濕裝置31及氣流閥控系統(tǒng)32 ；除濕裝置深度 過濾將壓縮空氣深度除濕后充入柜內(nèi)并將柜內(nèi)潮濕空氣置換出柜體，實(shí)現(xiàn)除濕功能；氣流 閥控系統(tǒng)用以對干燥后的壓縮空氣是否充入柜體進(jìn)行控制，在柜內(nèi)濕度到達(dá)設(shè)定濕度后， 氣流閥控系統(tǒng)停止充入干燥壓縮空氣，反之則充入。
溫度控制模塊所述傳感部件接受柜內(nèi)溫度狀況并發(fā)送到比較部件與設(shè)定值比較， 并根據(jù)比較結(jié)果調(diào)整控制輸出，并將控制指令輸出至加熱單元，進(jìn)行或停止加熱，以實(shí)現(xiàn)對 溫度的控制和調(diào)節(jié)單元包括一溫濕度傳感部件、一參數(shù)設(shè)定及比較部件，兼具控制輸出功 能。所述經(jīng)過快速除濕后的干燥氣流由對流循環(huán)部件驅(qū)動(dòng)，流經(jīng)循環(huán)風(fēng)道進(jìn)行溫度處 理，從而最終獲得經(jīng)過低濕和溫度調(diào)制的氣體；并由對流循環(huán)部件對氣流按設(shè)定的風(fēng)速進(jìn) 行循環(huán)以保持濕度的均勻性。傳感部件接受柜體溫濕度狀況并發(fā)送到比較部件與設(shè)定值比 較，并根據(jù)比較結(jié)果調(diào)整溫濕度模塊工作條件及對流循環(huán)以確保溫濕度控制的精度和最小 的波動(dòng)度。柜體由防靜電噴涂的鋼體密封空間及磁封密閉門組成，整個(gè)柜體表面電阻可以滿 足IMohm-IOOMohm/每平方單位。對地電阻右可以滿足> IMohm和小于己于IOOMohm.此 表面電阻及對地電阻符合防靜電規(guī)范的要求，保證了有靜電后可以比較快的使靜電消散， 保護(hù)元器件；同時(shí)卸除靜電的同時(shí)，不會(huì)因?yàn)殡娮杼?，使泄流電流過大造成電子元器件損 傷；所述控制主板42還連接一顯示模塊44，可實(shí)現(xiàn)溫濕度的設(shè)定、運(yùn)行狀態(tài)及報(bào)警顯 示等功能。柜體1由防靜電噴涂的鋼體密封空間及磁封密閉門組成，整個(gè)柜體對地電阻 IMohm左右。其中，普通壓縮空氣經(jīng)過快速除濕模塊3處理后，成為深度干燥的壓縮空氣，注入 到柜內(nèi)置換掉柜內(nèi)原有的濕空氣，從而快速降低濕度。1.柜內(nèi)的空氣經(jīng)過對流循環(huán)部件12的作用被吸入循環(huán)風(fēng)道，經(jīng)過加熱源后，空氣 溫度被加熱，并被循環(huán)風(fēng)機(jī)重新吹回到柜內(nèi)，實(shí)現(xiàn)溫度控制的功能。2.圖2為本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)溫濕度控制原理模塊圖，所有上述的溫濕度控制都 有此溫濕度控制單元控制。其工作原理是由溫濕度傳感器檢柜內(nèi)的溫濕度，并反饋回控制主板，經(jīng)與設(shè)定值比較后，將溫濕 度控制的指令發(fā)給溫度控制、除濕功能的執(zhí)行元件，進(jìn)行或停止加熱或除濕動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)溫濕 度的控制。3.本發(fā)明則由于除濕功能不間斷，低濕控制穩(wěn)定等特點(diǎn)而解決了此問題。4.本發(fā)明提供了一個(gè)造價(jià)低，運(yùn)行成本低廉的方法(僅需少量的壓縮空氣)來實(shí) 現(xiàn)除濕功能。5.本發(fā)明更提供了一個(gè)在低濕狀態(tài)下進(jìn)行烘烤的功能，該功能大大擴(kuò)展了可進(jìn)行 烘烤濕敏材料的范圍，同時(shí)相比于傳統(tǒng)的高溫烘烤，還大大提高了烘烤的效率。6.綜合來說，本發(fā)明提供了一個(gè)多功能的控溫型除濕方法-即可以用于濕敏器件的快速除濕存儲-又可以用于中低溫+除濕烘烤，如40°C+5% RH, 60°C +5% RH-還可以用于單純的高溫烘烤，如125°C，150°C本發(fā)明的特點(diǎn)還在于它提供的控溫、除濕方法簡單、價(jià)廉、運(yùn)行成本低、除濕效果 好。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用 本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān) 的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種控溫型除濕柜，其特征在于它包括一柜體，在柜體內(nèi)部設(shè)有溫控模塊、快速除濕模塊，控制模塊組成，所述溫控模塊包括一發(fā)熱源，并設(shè)有對流循環(huán)部件及循環(huán)風(fēng)道。快速除濕模塊包含除濕裝置及除濕氣流閥控系統(tǒng)?？刂颇K包含顯示及設(shè)定部分，控制主板，溫濕度采樣信號輸入部分。通過設(shè)定部分可對柜內(nèi)的溫濕度進(jìn)行設(shè)定，而且也可對其它參數(shù)如溫濕度的安全值，報(bào)警，偏差修正的值等進(jìn)行設(shè)定；再由控制主板計(jì)算后進(jìn)行輸出控制信號驅(qū)動(dòng)或停止溫控模塊及快速除濕模塊工作；實(shí)現(xiàn)溫濕度的自動(dòng)控制。
2.如權(quán)利要求1所述的控溫型除濕柜，其特征在于所述發(fā)熱源為雙股發(fā)熱電纜或鐵 鉻合金電熱絲，所述發(fā)熱源鋪設(shè)于柜體循環(huán)風(fēng)道內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的控溫型除濕柜，其特征在于所述快速除濕模塊包括除濕 裝置及氣流閥控系統(tǒng)；除濕裝置深度過濾將壓縮空氣深度除濕后充入柜內(nèi)并將柜內(nèi)潮濕空 氣置換出柜體，實(shí)現(xiàn)除濕功能；氣流閥控系統(tǒng)用以對干燥后的壓縮空氣是否充入柜體進(jìn)行 控制，在柜內(nèi)濕度到達(dá)設(shè)定濕度后，氣流閥控系統(tǒng)停止充入干燥壓縮空氣，反之則充入。
4.如權(quán)利要求3所述的控溫型除濕柜，其特征在于溫度控制模塊所述傳感部件接受 柜內(nèi)溫度狀況并發(fā)送到比較部件與設(shè)定值比較，并根據(jù)比較結(jié)果調(diào)整控制輸出，并將控制 指令輸出至加熱單元，進(jìn)行或停止加熱，以實(shí)現(xiàn)對溫度的控制和調(diào)節(jié)單元包括一溫濕度傳 感部件、一參數(shù)設(shè)定及比較部件，兼具控制輸出功能。
5.如權(quán)利要求4所述的控溫型除濕柜，其特征在于所述經(jīng)過快速除濕后的干燥氣流由 對流循環(huán)部件驅(qū)動(dòng)，流經(jīng)循環(huán)風(fēng)道進(jìn)行溫度處理，從而最終獲得經(jīng)過低濕和溫度調(diào)制的氣 體；并由對流循環(huán)部件對氣流按設(shè)定的風(fēng)速進(jìn)行循環(huán)以保持濕度的均勻性。傳感部件接受 柜體溫濕度狀況并發(fā)送到比較部件與設(shè)定值比較，并根據(jù)比較結(jié)果調(diào)整溫濕度模塊工作條 件及對流循環(huán)以確保溫濕度控制的精度和最小的波動(dòng)度。
6.如權(quán)利要求5所述的控溫型除濕柜，其特征在于柜體由防靜電噴涂的鋼體密封空 間及磁封密閉門組成，整個(gè)柜體表面電阻可以滿足IMohm-IOOMohm/每平方單位。對地電阻 右可以滿足> IMohm和小于己于IOOMohm.此表面電阻及對地電阻符合防靜電規(guī)范的要求， 保證了有靜電后可以比較快的使靜電消散，保護(hù)元器件；同時(shí)卸除靜電的同時(shí)，不會(huì)因?yàn)殡?阻太小，使泄流電流過大造成電子元器件損傷；
7.如權(quán)利要求6所述的控溫型除濕柜，其特征在于所述控制模塊還連接一顯示模塊， 可實(shí)現(xiàn)溫濕度的設(shè)定、運(yùn)行狀態(tài)及報(bào)警顯示等功能。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種微電子、半導(dǎo)體等精密器件和材料的存儲及干燥處理柜，尤其是一種控溫型除濕柜。它包括一柜體，在柜體內(nèi)部設(shè)有溫控模塊、快速除濕模塊，控制模塊組成，所述溫控模塊包括一發(fā)熱源，并設(shè)有對流循環(huán)部件及循環(huán)風(fēng)道；快速除濕模塊包含除濕裝置及除濕氣流閥控系統(tǒng)；控制模塊包含顯示及設(shè)定部分，控制主板，溫濕度采樣信號輸入部分；通過設(shè)定部分可對柜內(nèi)的溫濕度進(jìn)行設(shè)定，而且也可對其它參數(shù)如溫濕度的安全值，報(bào)警，偏差修正的值等進(jìn)行設(shè)定。本發(fā)明的控溫型除濕柜能適應(yīng)于在生產(chǎn)線上頻繁的取放材料和頻繁的開啟柜門的情況下使用，此類情況下將能有效地保證柜內(nèi)的溫度和干燥度的要求。
文檔編號B01D53/26GK101927121SQ20091004054
公開日2010年12月29日 申請日期2009年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月24日
發(fā)明者周莘 申請人:深圳市洲僑創(chuàng)新除濕技術(shù)有限公司