專利名稱：外延爐尾氣凈化器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種廢氣處理裝置，特別是涉及一種對(duì)Epi、 Ploy或PECVD 化學(xué)氣相沉積工藝尾氣進(jìn)行凈化處理的外延爐尾氣凈化器。
技術(shù)背景在Epi、 Ploy或PECVD化學(xué)氣相沉積工藝尾氣中含有多種有毒廢氣，如 SiHC13、 SiH2C12、 HC1、 PH3及Si02粉塵等，這些有毒氣體必須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的處 理達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排入大氣中。這些廢氣中有的能與水反應(yīng)，生成Si02和 HC1氣體等，而HC1等氣體和廢氣中的其他成份可以被水有效吸收，因此，目 前，美國(guó)、俄羅斯、日本等國(guó)大多采用水吸收型尾氣處理系統(tǒng)，采用水柱淋洗 尾氣和多孔填料吸收，但是在生產(chǎn)過(guò)程中外延爐的尾氣排放量并不是始終一致， 大部分的尾氣是在一次外延沉積結(jié)束后在短期內(nèi)排出，在大部分的時(shí)間內(nèi)尾氣 排放量不是很大，而且外延爐對(duì)尾氣抽風(fēng)有嚴(yán)格的負(fù)壓要求，現(xiàn)有的外延爐尾 氣凈化器不能實(shí)時(shí)檢測(cè)外延爐的尾氣排放量、根據(jù)外延爐尾氣排放量控制電機(jī) 轉(zhuǎn)速，而浪費(fèi)能源。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是解決現(xiàn)在的外延爐尾氣凈化器不能實(shí)時(shí)檢 測(cè)外延爐的尾氣排放量、根據(jù)外延爐尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，而浪費(fèi)能源的 技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種外延爐尾氣凈化器，它能實(shí)時(shí)檢測(cè)外延爐的尾 氣排放量，根據(jù)外延爐尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，在尾氣排放比較少的情況下， 控制電機(jī)低速運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到節(jié)能的效果。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是 一種外延爐尾氣凈化器， 具有殼體，殼體下方設(shè)置有密閉的水箱，殼體內(nèi)設(shè)置有橫隔板和縱隔板，將殼 體內(nèi)腔分隔成初次洗滌室、二次洗滌室和填料室，二次洗滌室設(shè)在初次洗滌室 上方，橫隔板中心開(kāi)有通氣口，橫隔板與殼體間工作時(shí)形成水封，初次洗滌室 底部和填料室底部與水箱間工作時(shí)形成水封，殼體頂端裝有進(jìn)氣口，進(jìn)氣口通過(guò)進(jìn)氣管道與初次洗滌室下部相通，二次洗滌室與填料室通過(guò)通氣管道連通， 初次洗滌室內(nèi)裝有大流量噴嘴噴淋裝置，二次洗滌室內(nèi)裝有多個(gè)細(xì)霧高速噴嘴 噴淋裝置，填料室的上部設(shè)置有填料室橫隔板，填料室橫隔板上有孔，填料室 橫隔板下方的填料室內(nèi)充填有填料，填料室的頂端裝有排泄錐噴嘴噴淋裝置， 排泄錐噴嘴噴淋裝置下方設(shè)置有文丘里管，文丘里管底部與填料室橫隔板固定 連接，填料室橫隔板在對(duì)應(yīng)于文丘里管的管口處還開(kāi)設(shè)有與文丘里管的管口相 配的孔，通氣管道的進(jìn)口在二次洗滌室的上部、出口正對(duì)填料室的排泄錐噴嘴 噴淋裝置，填料室的外部裝有排氣管道，排氣管道的下端接入填料室的下部， 水箱頂端裝有向水箱補(bǔ)水的補(bǔ)水口、水箱的底部裝有排污口和排凈口，初次洗 滌室下部裝有通向殼體外的溢流管道，溢流管道的溢流口高于初次洗滌室的底 面，殼體外裝有循環(huán)泵組，循環(huán)泵組的進(jìn)水口通入水箱液面下、出水口通過(guò)水 管與大流量噴嘴噴淋裝置、細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置及排泄錐噴嘴噴淋裝置相連，還具有PID控制器、實(shí)時(shí)檢測(cè)進(jìn)氣口的負(fù)壓情況的負(fù)壓檢測(cè)裝置和控制循環(huán)泵 組的電機(jī)的轉(zhuǎn)速的變頻器，負(fù)壓檢測(cè)裝置安裝在進(jìn)氣口處，負(fù)壓檢測(cè)裝置接PID 控制器的輸入端，變頻器接PID控制器的輸出端。負(fù)壓檢測(cè)裝置對(duì)進(jìn)氣口的負(fù) 壓情況進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，并不斷的將檢測(cè)的數(shù)據(jù)傳入到PID控制器中，PID控制器 對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)與工藝設(shè)定數(shù)據(jù)進(jìn)行比較計(jì)算并結(jié)合變頻器來(lái)控制循環(huán)泵組的電機(jī) 的轉(zhuǎn)速，實(shí)現(xiàn)對(duì)循環(huán)泵組的PID控制。這樣一方面可以保證外延爐尾氣排放口 的負(fù)壓滿足工藝要求；另一方面，在外延沉積過(guò)程中外延爐的尾氣排放量比較 少的情況下，控制循環(huán)泵組的電機(jī)低速運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到節(jié)能的效果。為便于對(duì)初次洗滌室和二次洗滌室內(nèi)的大流量噴嘴噴淋裝置和細(xì)霧高速噴 嘴噴淋裝置進(jìn)行檢修，在初次洗滌室和二次洗滌室的殼體上開(kāi)有檢修口。所述的循環(huán)泵組出水口處的水管上還接有加藥管，加藥管上裝有單向閥， 針對(duì)處理的尾氣的特點(diǎn)，當(dāng)需要加入中和劑時(shí)，由加藥管向循環(huán)泵組出水口處 的水管中加入中和劑。所述的補(bǔ)水口還通過(guò)補(bǔ)水管道與初次洗滌室相通，補(bǔ)水管道上裝有補(bǔ)水閘 閥。通過(guò)補(bǔ)水管道對(duì)初次洗滌室進(jìn)行補(bǔ)水，這樣一來(lái)可以使初次洗滌室清除的部分粗粒雜質(zhì)隨著泡沫從溢流口排出，二來(lái)防止中和循環(huán)液飽和。所述的殼體外還裝有清洗設(shè)備外殼的沖洗噴嘴，沖洗噴嘴通過(guò)沖洗管道與 循環(huán)泵的出水口相連，沖洗管道上裝有沖洗閘閥，根據(jù)需要打開(kāi)沖洗閘閥對(duì)設(shè) 備外殼進(jìn)行沖洗。本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型的外延爐尾氣凈化器能實(shí)時(shí)檢測(cè)外延 爐的尾氣排放量，根據(jù)外延爐尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，在尾氣排放量比較少 的情況下，控制電機(jī)低速運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到節(jié)能的效果。


以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。 圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中l(wèi).殼體，2.水箱，3.橫隔板，4.縱隔板，5.初次洗滌室，6.二次洗滌 室，7.填料室，8.進(jìn)氣口， 9.進(jìn)氣管道，IO.通氣管道，ll.大流量噴嘴噴淋裝 置，12.細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置，13.填料，14.排泄錐噴嘴噴淋裝置，15.排氣 管道，16.文丘里管，17.補(bǔ)水口， 18.排污口， 19.排凈口， 20.溢流管道，21. 循環(huán)泵組，22.水管，23.填料室橫隔板，24.檢修口， 25.加藥管，26.單向閥， 27.補(bǔ)水管道，28.補(bǔ)水閘闊，29.沖洗噴嘴，30.沖洗管道，31.沖洗閘閥，34. 負(fù)壓檢測(cè)裝置，35.PID控制器，36.變頻器。
具體實(shí)施方式
如圖1所示的本實(shí)用新型的外延爐尾氣凈化器的最佳實(shí)施例，具有殼體1， 殼體1下方設(shè)置有密閉的水箱2，殼體l內(nèi)設(shè)置有橫隔板3和縱隔板4，將殼體 內(nèi)腔分隔成初次洗滌室5、 二次洗滌室6和填料室7， 二次洗滌室6設(shè)在初次洗 滌室5上方，橫隔板3中心開(kāi)有通氣口，橫隔板3與殼體1間工作時(shí)形成水封， 初次洗滌室5底部和填料室7底部與水箱2間工作時(shí)形成水封，殼體1頂端裝 有進(jìn)氣口 8，進(jìn)氣口 8通過(guò)進(jìn)氣管道9與初次洗滌室5下部相通，二次洗滌室6 與填料室7通過(guò)通氣管道10連通，初次洗滌室5內(nèi)裝有大流量噴嘴噴淋裝置11， 二次洗滌室6內(nèi)裝有多個(gè)細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置12，填料室7的上部設(shè)置有填 料室橫隔板23，填料室橫隔板23上有孔，填料室橫隔板23下方的填料室7內(nèi)充填有填料13，填料室7的頂端裝有排泄錐噴嘴噴淋裝置14，排泄錐噴嘴噴淋 裝置14下方設(shè)置有文丘里管16，文丘里管16底部與填料室橫隔板23固定連接， 填料室橫隔板23在對(duì)應(yīng)于文丘里管16的管口處還開(kāi)設(shè)有與文丘里管16的管口 相配的孔，通氣管道10的進(jìn)口在二次洗滌室6的上部、出口正對(duì)填料室7的排 泄錐噴嘴噴淋裝置14，填料室7的外部裝有排氣管道15，排氣管道15的下端 接入填料室7的下部，水箱2頂端裝有向水箱2補(bǔ)水的補(bǔ)水口 17、水箱2的底 部裝有排污口 18和排凈口 19，初次洗滌室5下部裝有通向殼體1外的溢流管道 20，溢流管道20的溢流口高于初次洗滌室5的底面，殼體1外裝有循環(huán)泵組21， 循環(huán)泵組21的進(jìn)水口通入水箱2液面下、出水口通過(guò)水管22與大流量噴嘴噴 淋裝置11、細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置12及排泄錐噴嘴噴淋裝置14相連，外延爐 尾氣凈化器還具有PID控制器35、實(shí)時(shí)檢測(cè)進(jìn)氣口 8的負(fù)壓情況的負(fù)壓檢測(cè)裝 置34和控制循環(huán)泵組21的電機(jī)的轉(zhuǎn)速的變頻器36，負(fù)壓檢測(cè)裝置34安裝在進(jìn) 氣口8處，負(fù)壓檢測(cè)裝置34接PID控制器35的輸入端，變頻器36接PID控制 器35的輸出端。在初次洗滌室5和二次洗滌室6的殼體1上開(kāi)有檢修口 24。循 環(huán)泵組21出水口處的水管22上還接有加藥管25，加藥管25上裝有單向閥26。 補(bǔ)水口 17還通過(guò)補(bǔ)水管道27與初次洗滌室5相通，補(bǔ)水管道27上裝有補(bǔ)水閘 閥28。殼體1外還裝有清洗設(shè)備外殼的沖洗噴嘴29，沖洗噴嘴29通過(guò)沖洗管 道30與循環(huán)泵21的出水口相連，沖洗管道30上裝有沖洗閘閥31。
權(quán)利要求1.一種外延爐尾氣凈化器，具有殼體(1)，殼體(1)下方設(shè)置有密閉的水箱(2)，殼體(1)內(nèi)設(shè)置有橫隔板(3)和縱隔板(4)，將殼體內(nèi)腔分隔成初次洗滌室(5)、二次洗滌室(6)和填料室(7)，二次洗滌室(6)設(shè)在初次洗滌室(5)上方，橫隔板(3)中心開(kāi)有通氣口，橫隔板(3)與殼體(1)間工作時(shí)形成水封，初次洗滌室(5)底部和填料室(7)底部與水箱(2)間工作時(shí)形成水封，殼體(1)頂端裝有進(jìn)氣口(8)，進(jìn)氣口(8)通過(guò)進(jìn)氣管道(9)與初次洗滌室(5)下部相通，二次洗滌室(6)與填料室(7)通過(guò)通氣管道(10)連通，初次洗滌室(5)內(nèi)裝有大流量噴嘴噴淋裝置(11)，二次洗滌室(6)內(nèi)裝有多個(gè)細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置(12)，填料室(7)的上部設(shè)置有填料室橫隔板(23)，填料室橫隔板(23)上有孔，填料室橫隔板(23)下方的填料室(7)內(nèi)充填有填料(13)，填料室(7)的頂端裝有排泄錐噴嘴噴淋裝置(14)，排泄錐噴嘴噴淋裝置(14)下方設(shè)置有文丘里管(16)，文丘里管(16)底部與填料室橫隔板(23)固定連接，填料室橫隔板(23)在對(duì)應(yīng)于文丘里管(16)的管口處還開(kāi)設(shè)有與文丘里管(16)的管口相配的孔，通氣管道(10)的進(jìn)口在二次洗滌室(6)的上部、出口正對(duì)填料室(7)的排泄錐噴嘴噴淋裝置(14)，填料室(7)的外部裝有排氣管道(15)，排氣管道(15)的下端接入填料室(7)的下部，水箱(2)頂端裝有向水箱(2)補(bǔ)水的補(bǔ)水口(17)、水箱(2)的底部裝有排污口(18)和排凈口(19)，初次洗滌室(5)下部裝有通向殼體(1)外的溢流管道(20)，溢流管道(20)的溢流口高于初次洗滌室(5)的底面，殼體(1)外裝有循環(huán)泵組(21)，循環(huán)泵組(21)的進(jìn)水口通入水箱(2)液面下、出水口通過(guò)水管(22)與大流量噴嘴噴淋裝置(11)、細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置(12)及排泄錐噴嘴噴淋裝置(14)相連，其特征是還具有PID控制器(35)、實(shí)時(shí)檢測(cè)進(jìn)氣口(8)的負(fù)壓情況的負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)和控制循環(huán)泵組(21)的電機(jī)的轉(zhuǎn)速的變頻器(36)，負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)安裝在進(jìn)氣口(8)處，負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)接PID控制器(35)的輸入端，變頻器(36)接PID控制器(35)的輸出端。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延爐尾氣凈化器，其特征是在初次洗滌室(5) 和二次洗滌室(6)的殼體(1)上開(kāi)有檢修口 (24)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延爐尾氣凈化器，其特征是所述的循環(huán)泵組(21)出水口處的水管(22)上還接有加藥管(25)，加藥管(25)上裝有單向 閥(26)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延爐尾氣凈化器，其特征是所述的補(bǔ)水口 (17) 還通過(guò)補(bǔ)水管道(27)與初次洗滌室(5)相通，補(bǔ)水管道(27)上裝有補(bǔ)水閘 閥(28)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延爐尾氣凈化器，其特征是所述的殼體(l) 外還裝有清洗設(shè)備外殼的沖洗噴嘴(29)，沖洗噴嘴(29)通過(guò)沖洗管道(30) 與循環(huán)泵(21)的出水口相連，沖洗管道(30)上裝有沖洗閘閥(31)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種廢氣處理裝置，特別是涉及一種對(duì)Epi、Ploy或PECVD化學(xué)氣相沉積工藝尾氣進(jìn)行凈化處理的外延爐尾氣凈化器。它具有PID控制器(35)、實(shí)時(shí)檢測(cè)外延爐尾氣凈化器的進(jìn)氣口(8)的負(fù)壓情況的負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)和控制循環(huán)泵組(21)的電機(jī)的轉(zhuǎn)速的變頻器(36)，負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)安裝在進(jìn)氣口(8)處，負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)接PID控制器(35)的輸入端，變頻器(36)接PID控制器(35)的輸出端。本實(shí)用新型的外延爐尾氣凈化器能實(shí)時(shí)檢測(cè)外延爐的尾氣排放量，根據(jù)外延爐尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，在尾氣排放比較少的情況下，控制電機(jī)低速運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到節(jié)能的效果。
文檔編號(hào)B01D53/18GK201216914SQ20082004073
公開(kāi)日2009年4月8日 申請(qǐng)日期2008年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月4日
發(fā)明者張文光 申請(qǐng)人:張文光