專利名稱：：含硫化合物氣體凈化濾材裝置與方法及其使用的催化劑吸附材料的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是關(guān)于一種含硫化合物的氣體凈化濾材裝置與方法及其所使用的催化劑(觸媒)吸附材料，特別是關(guān)于一種針對例如二曱基硫(DMS)、二甲基二硫(DMDS)、硫化氫(H2S)等空氣中含硫化合物的氣體凈化濾材裝置與方法及其所使用的催化劑吸附材料。
背景技術(shù)：
：近來，國際間對于環(huán)保議題及工業(yè)安全衛(wèi)生及高科技廠潔凈室分子污染物凈化的日益重視，考慮工業(yè)廢氣對環(huán)境及勞工以至于一般大眾身體產(chǎn)生的危害，對于工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)日趨嚴(yán)格，國內(nèi)外法規(guī)都制定出濃度及臭味的排放標(biāo)準(zhǔn)；另一方面，近來高科技廠的高階制程對于含硫化合物等難處理的分子污染物，在外氣引入潔凈室前的凈化程度要求愈為嚴(yán)格。例如在半導(dǎo)體晶圓制造廠及TFT-LCD面板光電制造業(yè)面板制程中，去光阻程序(strippingprocess)所4吏用的去光阻剝離液(stripper)主要成分為高沸點(diǎn)且?guī)缀跞苡谒挠袡C(jī)化合物，包括單乙醇胺(MEA)、二曱基亞砜(DMSO)以及乙二醇單丁醚(BDG)等。在去光阻制程中，去光阻劑中的二曱基亞砜雖然是一種高沸點(diǎn)水溶性而且揮發(fā)性低的液體，但在處理過程中，極容易形成惡臭的二曱基硫(dimethylsulfide,DMS)和二曱基二硫(dimethyldisulfide,DMDS)的氣態(tài)污染物。然而，以傳統(tǒng)冷凝法及吸收法并無法完全去除低沸點(diǎn)及低可溶性的二曱基硫與二曱基二硫，而且其在低濃度下即會(huì)產(chǎn)生惡臭，極易影響廠房周圍生活環(huán)境而引發(fā)民眾抗議，同時(shí)也影響到廠房周圍其它高科技廠高階制程的產(chǎn)品良率?？諝庵泻蚧衔餁怏w的凈化技術(shù)可運(yùn)用物理方法、化學(xué)方法及。物理方法是將空氣通過采用吸收、分離等物理步驟的凈化設(shè)備以除去空氣中含硫化合物，常用的物理方法有機(jī)械分離法、過濾法、吸附法、洗滌法和靜電法。常用的化學(xué)方法有熱氧化法和催化燃燒法等。國內(nèi)目前最常采用的凈化設(shè)備是以抽風(fēng)與簡易濾網(wǎng)或一般吸附或水洗洗滌處理，此傳統(tǒng)設(shè)備及方法無法有效凈化如二曱基硫與二曱基二硫等含硫化合物的氣體，是造成空氣污染臭味陳情的主因；同時(shí)，也是造成被污染的外氣導(dǎo)？j進(jìn)入如半導(dǎo)體晶圓制造廠及TFT-LCD面板光電制造廠等高階制程潔凈室，影響產(chǎn)品良率的分子污染物主要來源之一。此外，尚有運(yùn)用催化劑催化法來凈化處理空氣中含硫化合物氣體，催化劑催化法的優(yōu)點(diǎn)為含硫化合物的脫除效率高、反應(yīng)溫度低、能源消耗低、避免生成二次污染物等，是一種環(huán)境友好的催化凈化技術(shù)。然而，此項(xiàng)技術(shù)目前最需要突破的是開發(fā)低溫氧化催化劑，由于含硫化合物的處理效率不佳，所以開發(fā)的催化劑必需具有以下特點(diǎn)l.具低溫氧化活性的納米(奈米)催化劑負(fù)載技術(shù)利用納米催化劑特有的催化特性，小晶粒催化劑載體粒徑小、孔道短、晶內(nèi)擴(kuò)散阻力小、暴露在外的原子多(高30%)、含有眾多的晶間隙(二次孔洞)、具有較強(qiáng)的吸附能力，對于大分子或液相反應(yīng)有利。反應(yīng)物與產(chǎn)物能于多孔性催化劑載體孔洞快速擴(kuò)散，減少阻塞或積碳，而降低催化劑的失活速率，延長催化劑壽命。2.具中孔洞特性的吸附/催化基材合成技術(shù)利用中孔洞的高表面積與孔洞特性，提高含硫化合物的吸附去除效率，由于孔容積和孔隙率均提高，預(yù)估可增加三成的吸附量，且因晶間空隙增大可吸附較大分子，總體催化劑效率可提升30%以上。3.提升氧化活性的助劑輔助技術(shù)無論吸附劑或催化劑，均會(huì)隨使用時(shí)間而呈現(xiàn)部分覆蓋的現(xiàn)象，設(shè)計(jì)以低電壓激發(fā)系統(tǒng)中的氧氣或水氣使產(chǎn)生具較高氧化活性的氧化助劑，如(V、0'、HO'、03等，加速催化劑表面的氧化還原循環(huán)進(jìn)行，加速催化劑表面污染物的降解，以達(dá)到降低積碳的目的，預(yù)計(jì)可大幅提升催化劑的壽命。
發(fā)明內(nèi)容為了改善上述已知技術(shù)所面臨的問題，本發(fā)明的目的在提供一種含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其包含至少一個(gè)催化劑吸脫附單元，其以并聯(lián)及/或串聯(lián)設(shè)置；及一臭氧產(chǎn)生單元，其可提供臭氧給該催化劑吸脫附單元，作為加強(qiáng)催化劑吸附功能或低溫氧化分解反應(yīng)之用。本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化濾材裝置中，該裝置可進(jìn)一步包含一水氣或蒸氣產(chǎn)生單元，其可提供水氣或蒸氣于該催化劑吸脫附單元，與臭氧產(chǎn)生單元所提供的臭氧一并作為催化劑吸附活化再生還原反應(yīng)之用。本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化濾材裝置中，可于該裝置的下游端進(jìn)一步設(shè)置空氣凈化處理設(shè)備，以作為氣流終處理之用。該空氣凈化處理設(shè)備并無特別限制，較佳為臭氧分解催化劑或濕式洗滌塔或吸附床。本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化濾材裝置中，可包含多個(gè)催化劑吸脫附單元，其中該裝置催化劑吸脫附單元型號(hào)可為固定床式、轉(zhuǎn)輪式、轉(zhuǎn)塔式或、浮動(dòng)床式、流體化床式；各催化劑吸脫附單元可同時(shí)進(jìn)行吸附反應(yīng)或催化劑氧化分解反應(yīng)?；蛘呤牵撐酱呋瘎﹩卧刹糠诌M(jìn)行吸附反應(yīng)，同時(shí)部分進(jìn)行催化劑氧化分解反應(yīng)。此外，本發(fā)明另一目的在于提供一種含硫化合物的氣體凈化方法，其包含下列步驟(1)提供一種上述的空氣中含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其中該催化劑吸脫附單元中充填有催化劑吸附材料；(2)經(jīng)由風(fēng)機(jī)將欲處理的含硫化合物的空氣導(dǎo)入該裝置，開啟及/或關(guān)閉相關(guān)閥組，同時(shí)可導(dǎo)入臭氧產(chǎn)生單元所產(chǎn)生的臭氧，使充填催化劑吸附材料的催化劑吸脫附單元進(jìn)一步進(jìn)行化學(xué)性吸附反應(yīng)或低溫氧化分解反應(yīng)，同時(shí)排出經(jīng)吸附后的干凈氣流；(3)開啟及/或關(guān)閉相關(guān)閥組，將已吸附飽和的催化劑吸脫附單元導(dǎo)入臭氧產(chǎn)生單元所產(chǎn)生的臭氧及/或進(jìn)一步導(dǎo)入一水氣或蒸氣產(chǎn)生單元產(chǎn)生的水氣或蒸氣，以進(jìn)行催化劑吸附材料的再生還原反應(yīng)。本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化方法中，該空氣中含硫化合物的氣體凈化裝置可包含一水氣或蒸氣產(chǎn)生單元，其的型號(hào)并無特別限制，較佳可為噴霧加濕器、超音波加濕器、蒸氣加濕器。本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化方法中，可進(jìn)一步包含一步驟(4),為設(shè)置一空氣凈化處理設(shè)備于下游端，可筒易地終處理步驟(3)所可能生成的新污染物。對于該空氣凈化處理設(shè)備的型號(hào)并無特別限制，較佳可為臭氧分解催化劑或濕式洗滌塔或吸附床。本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化方法中，該裝置可包含多個(gè)催化劑吸脫附單元，其可同時(shí)進(jìn)行步驟(2)?；蛘呤?，該多個(gè)催化劑吸脫附單元可部分進(jìn)行步驟(2)，同時(shí)部分進(jìn)行步驟(3)。亦或是，該催化劑吸脫附單元可于在線進(jìn)行步驟(1)或步驟(1)及(2)，線外進(jìn)行步驟(2)及或步驟(3)。本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化方法中，該催化劑吸附材料是由催化劑載體與催化劑組成，其中該催化劑載體是選自活性碳、沸石、氧化鋁、其它多孔性物質(zhì)或其的混合物；該催化劑的活性部分為過渡金屬第一類(N-orbit)金屬，其是選自Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Pb或Zn。而催化劑吸附材料成形的形狀并無特別限制，較佳可為圓柱狀或顆粒狀或真球狀或蟲奪巢狀或多層次堆棧狀(MultiLayersMedia)或發(fā)泡狀等形式。本發(fā)明另一目的在提供一種用于上述含硫化合物的氣體凈化裝置與方法的催化劑吸附材料，其是由催化劑載體與催化劑組成，其中該催化劑載體是選自活性碳、沸石、氧化鋁、其它多孔性物質(zhì)或其的混合物；該催化劑的活性部分為N-orbit金屬，其是選自Mn、Fe、Co、Ni、Cu或Zn。而催化劑吸附材料成形的形狀并無特別限制，較佳可為圓柱狀或顆粒狀或真球狀或蜂巢狀或多層次堆棧狀或發(fā)泡狀等形式。根據(jù)本發(fā)明的催化劑吸附材料，其可進(jìn)行化學(xué)性吸附并可化學(xué)性再生還原。例如以DMS的有機(jī)廢氣為例，在單獨(dú)進(jìn)行化學(xué)性吸附時(shí)的機(jī)制Ma++DMS^Ma+—S(CH3)2在線以臭氧加強(qiáng)還原吸附的機(jī)制(其可延長吸附劑的壽命)Ma++DMS^Ma+—S(CH3)2Ma+—S(CH3)2+03—Ma++S02+C02+H20+CH4以臭氧化學(xué)性再生還原機(jī)制Ma+—S(CH3)2+03—Ma++S02+C02+H20+CH4或者是以臭氧、水氣或蒸汽化學(xué)性再生還原機(jī)制Ma+—S(CH3)2+03+H20—Ma++S02+C02+H20+CH4因此本發(fā)明的催化劑吸附材料可搭配所設(shè)計(jì)的裝置使用，吸附后的催化劑吸附材料可取出用其它裝置化學(xué)性再生還原，或者是于在線直接化學(xué)性再生還原。圖1為本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化裝置較佳具體例的示意圖。圖2為本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化裝置較佳具體例的示意圖。其中主要組件附圖標(biāo)記為11、12、13催化劑吸脫附單元131化學(xué)性吸附區(qū)132化學(xué)性再生還原脫附區(qū)20、21臭氧產(chǎn)生單元30風(fēng)機(jī)40水氣產(chǎn)生單元51、52、53、54、55、56、57、58、59閥A空氣入口B空氣出口C廢氣出口具體實(shí)施例方式下列實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)是為說明，不應(yīng)限制本發(fā)明的范疇，合理的變化，諸如對于熟悉此項(xiàng)技藝者顯而易見為合理者，可于不脫離本發(fā)明的范疇下進(jìn)行。實(shí)施例1圖1為本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化裝置較佳具體例的示意圖。該裝置包含二個(gè)催化劑吸脫附單元11及12,其中充填有催化劑吸附材料，其是由催化劑載體與催化劑組成，其中該催化劑載體是選自活性碳、沸石、氧化鋁、其它多孔性物質(zhì)或其的混合物；該催化劑的活性部分為N-orbit金屬，其是選自Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Pb或Zn。且其以并聯(lián)設(shè)置；一風(fēng)機(jī)30,設(shè)置于催化劑吸脫附單元11及12的上游端，其可抽送欲處理的空氣至該催化劑吸脫附單元11及/或12;及二個(gè)臭氧產(chǎn)生單元20及21,其可提供臭氧于該催化劑吸脫附單元11及/或12,作為加強(qiáng)催化劑還原吸附功能或低溫氧化分解反應(yīng)之用；一水氣產(chǎn)生單元40，可提供水氣或蒸氣至該催化劑吸脫附單元11及/或12。以下各閥組除另有說明外，皆為關(guān)閉狀態(tài)。首先，開啟風(fēng)才幾30、閥51、52、57及58，經(jīng)由風(fēng)才幾30可將空氣入口A的欲處理的含好u化合物氣體導(dǎo)入催化劑吸脫附單元11及12，其中所充填的催化劑吸附材料可將空氣中含硫化合物的氣體吸附，而吸附處理后的干凈氣流經(jīng)由煙囪(圖未示)排放。而吸附完成的催化劑吸附材料可取出還原處理，另充填新品于催化劑吸脫附單元11及12。實(shí)施例2如實(shí)施例1的裝置及方法，但在催化劑吸脫附單元11及12吸附飽和后，開啟閥53、54、55及56，以臭氧產(chǎn)生單元20所提供的臭氧及水氣產(chǎn)生單元40所提供的水氣或蒸氣，進(jìn)行低溫氧化分解反應(yīng)，將催化劑吸脫附單元11及12內(nèi)的催化劑吸附材料再生還原。而所產(chǎn)生的廢氣由廢氣出口C排出，經(jīng)由后端所設(shè)置的終處理裝置(圖未示)處理。實(shí)施例3如實(shí)施例l及2的裝置及方法，但在經(jīng)由風(fēng)機(jī)30將空氣入口A的欲處理的有機(jī)廢氣導(dǎo)入催化劑吸脫附單元11及12時(shí)，同時(shí)以臭氧產(chǎn)生單元21提供臭氧于該催化劑吸脫附單元11及/或12，以加強(qiáng)催化劑還原吸附功能。實(shí)施例4使用如實(shí)施例1所述的裝置，開啟風(fēng)機(jī)30、閥51、57、56及54，經(jīng)由風(fēng)機(jī)30可將空氣入口A的欲處理的含硫化合物的氣體導(dǎo)入催化劑吸脫附單元ll，進(jìn)行化學(xué)性吸附反應(yīng)，吸附后的干凈氣流經(jīng)由煙囪排放。同時(shí)導(dǎo)入臭氧產(chǎn)生單元20所產(chǎn)生的臭氧及水氣產(chǎn)生單元40所產(chǎn)生的水氣或蒸氣，使先前已吸附飽和的催化劑吸脫附單元12進(jìn)行低溫氧化分解反應(yīng)，以再生還原內(nèi)部所充填的催化劑吸附材料，而所產(chǎn)生的廢氣由廢氣出口C排出，經(jīng)由后端所設(shè)置的終處理裝置(圖未示)處理。在催化劑吸脫附單元11吸附飽和后，開啟閥52、58、55及53,將已再生還原的催化劑吸脫附單元12進(jìn)行化學(xué)性吸附反應(yīng)，而將已吸附飽和的催化劑吸脫附單元11導(dǎo)入臭氧產(chǎn)生單元所產(chǎn)生的臭氧，以進(jìn)行催化劑吸附材料的再生還原反應(yīng)。依次循環(huán)，可連續(xù)進(jìn)行在線含硫化合物氣體的凈化。實(shí)施例5圖2為本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化裝置較佳具體例的示意圖。該裝置包含一轉(zhuǎn)輪式催化劑吸脫附單元13，其包含有催化劑吸附材料；一風(fēng)機(jī)30,設(shè)置于轉(zhuǎn)輪式催化劑吸脫附單元13的上游端，其可抽送欲處理的空氣至該轉(zhuǎn)輪式催化劑吸脫附單元13;及二個(gè)臭氧產(chǎn)生單元20及21,其可分別提供臭氧于該轉(zhuǎn)輪式催化劑吸脫附單元13的化學(xué)性再生還原脫附區(qū)132及化學(xué)性吸附區(qū)131，作為加強(qiáng)催化劑還原吸附功能或低溫氧化分解反應(yīng)之用。以下各閥組除另有說明外，皆為關(guān)閉狀態(tài)。首先，開啟風(fēng)機(jī)30及轉(zhuǎn)輪的驅(qū)動(dòng)裝置(圖未示)，經(jīng)由風(fēng)機(jī)30可將空氣入口A的欲處理的含硫化合物氣體導(dǎo)入轉(zhuǎn)輪式催化劑吸脫附單元13的化學(xué)性吸附區(qū)131，其中所含的催化劑吸附材料可將空氣中含硫化合物的氣體吸附，而吸附處理后的干凈氣流在經(jīng)由煙囪(圖未示)排放。經(jīng)由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式催化劑吸脫附單元13轉(zhuǎn)動(dòng)，將吸附完成的催化劑吸脫附單元轉(zhuǎn)移至化學(xué)性再生還原脫附區(qū)132。導(dǎo)入臭氧產(chǎn)生單元20所產(chǎn)生的臭氧或及水氣產(chǎn)生單元40所產(chǎn)生的水氣或蒸氣，使化學(xué)性再生還原脫附區(qū)132的催化劑吸脫附單元進(jìn)行低溫氧化分解反應(yīng)，以再生還原內(nèi)部所含的催化劑吸附材料，而所產(chǎn)生的廢氣由廢氣出口c排出，經(jīng)由后端所設(shè)置的終處理裝置(圖未示)處理。實(shí)施例6-8實(shí)施例6-8為分別以DMS、DMDS及H2S作為含石克化合物的氣體，測試本發(fā)明裝置所充填的催化劑吸附材料的處理效能，實(shí)施例6、7所使用的催化劑吸附材料組成為含有銅的活性碳及Y型沸石，實(shí)施例8所使用的催化劑吸附材料組成為含有Mn的堿性活性碳，各實(shí)施例結(jié)果如下。實(shí)施例6<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>實(shí)施例7<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>實(shí)施例8<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage13</table本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化裝置與方法及其所使用的催化劑吸附材料可處理較難處理的含硫化合物的氣體，例如DMS或DMDS，可解決傳統(tǒng)處理裝置不能或不適處理某些含硫化合物的氣體的問題，并可增加催化劑效率，延長催化劑壽命，為相當(dāng)符合環(huán)保及能源需求的優(yōu)良技術(shù)，值得應(yīng)用于高風(fēng)量低濃度排放的高科技晶圓制造、光電面板制造業(yè)、涂裝印刷業(yè)及相關(guān)化工業(yè)。權(quán)利要求1.一種含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其包含至少一個(gè)催化劑吸脫附單元，其以并聯(lián)及/或串聯(lián)設(shè)置，其中該催化劑吸附單元中充填有催化劑吸附材料；及一臭氧產(chǎn)生單元，其可提供臭氧于該催化劑吸脫附單元，作為加強(qiáng)催化劑吸附功能或低溫氧化分解反應(yīng)之用。2.如權(quán)利要求1所述的含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其特征在于，該催化劑吸附材料是由催化劑載體與催化劑組成。3.如權(quán)利要求1所述的含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其特征在于，該裝置催化劑吸脫附單元型號(hào)可為固定床式、轉(zhuǎn)輪式、轉(zhuǎn)塔式或、浮動(dòng)床式、流體化床式。4.如權(quán)利要求1所述的含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其特征在于，該裝置進(jìn)一步包含一水氣或蒸氣產(chǎn)生單元，其可提供水氣或蒸氣于該催化劑吸脫附單元，與臭氧產(chǎn)生單元所提供的臭氧一并作為催化劑吸附活化再生還原反應(yīng)之用。5.如權(quán)利要求1所述的含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其特征在于，于該裝置的下游端可進(jìn)一步設(shè)置空氣凈化處理設(shè)備。6.—種含硫化合物的氣體凈化方法，其包含下列步驟(1)提供一種如權(quán)利要求1至5項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其中該催化劑吸脫附單元中充填有催化劑吸附材料；(2)經(jīng)由風(fēng)機(jī)將欲處理的含有含硫化合物的空氣導(dǎo)入該裝置，開啟及/或關(guān)閉相關(guān)閥組，同時(shí)導(dǎo)入臭氧產(chǎn)生單元所產(chǎn)生的臭氧，使充填催化劑吸附材料的催化劑吸脫附單元進(jìn)一步進(jìn)行化學(xué)性吸附反應(yīng)或低溫氧化分解反應(yīng)，同時(shí)排出經(jīng)吸附后的干凈氣流；(3)開啟及/或關(guān)閉相關(guān)閥組，將已吸附飽和的催化劑吸脫附單元導(dǎo)入臭氧產(chǎn)生單元所產(chǎn)生的臭氧及/或進(jìn)一步導(dǎo)入一水氣或蒸氣產(chǎn)生單元產(chǎn)生的水氣或蒸氣，以進(jìn)行催化劑吸附材料的再生還原反應(yīng)。7.如權(quán)利要求6所述的含硫化合物的氣體凈化方法，其特征在于，該裝置包含一水氣或蒸氣產(chǎn)生單元，可為噴霧加濕器、超音波加濕器、蒸氣加濕器。8.如權(quán)利要求6所述的含硫化合物的氣體凈化方法，其進(jìn)一步包含步驟(4),設(shè)置一空氣凈化處理設(shè)備以終處理步驟(3)所生成的新污染物。9.如權(quán)利要求6所述的含硫化合物的氣體凈化方法，其中該至少二個(gè)催化劑吸脫附單元可同時(shí)進(jìn)行步驟(2)或步驟(3)。10.如權(quán)利要求6所述的含硫化合物的氣體凈化方法，其中該催化劑吸脫附單元可部分進(jìn)行步驟(2),同時(shí)部分進(jìn)行步驟(3);亦或是，該催化劑吸脫附單元可于在線進(jìn)行步驟(1)或步驟(1)及(2),可于線外進(jìn)行步驟(2)及或步驟(3)。全文摘要本發(fā)明提供一種含硫化合物的氣體凈化濾材裝置，其包含至少一個(gè)催化劑吸脫附單元，其以并聯(lián)及/或串聯(lián)設(shè)置；及一臭氧產(chǎn)生單元，其可提供臭氧給該催化劑吸脫附單元，作為加強(qiáng)催化劑吸附功能或低溫氧化分解反應(yīng)之用。本發(fā)明亦提供一種空氣中含硫化合物的氣體凈化方法及其所使用的催化劑吸附材料。本發(fā)明的含硫化合物的氣體凈化裝置與方法及其所使用的催化劑吸附材料可處理較難處理的含硫化合物的氣體，例如DMS或DMDS，可解決傳統(tǒng)處理裝置不能或不適于處理某些含硫化合物的氣體的問題，并可增加催化劑效率，延長催化劑壽命，適于高風(fēng)量低濃度排放的高科技晶圓制造、光電面板制造業(yè)、涂裝印刷業(yè)及相關(guān)化工業(yè)。文檔編號(hào)B01D53/48GK101322916SQ20071011133公開日2008年12月17日申請日期2007年6月15日優(yōu)先權(quán)日2007年6月15日發(fā)明者吳國卿,張豐堂,張智能申請人:杰智環(huán)境科技股份有限公司;華智智財(cái)技術(shù)服務(wù)有限公司