專利名稱：電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及電子化學(xué)品的提純，是電子化學(xué)品提純設(shè)備，主要應(yīng)用于微電子化學(xué)品制備過程中顆粒的去除。
背景技術(shù)：
電子化學(xué)品作為清洗劑、緩沖劑、剝離劑、腐蝕液主要用于電子工業(yè)中拋光片、芯片、液晶生產(chǎn)過程中的清洗、蝕刻。
經(jīng)過提純的電子化學(xué)品中含有大量的顆粒雜質(zhì)。但是，當(dāng)含有顆粒雜質(zhì)的電子化學(xué)品應(yīng)用于微電子工業(yè)生產(chǎn)中時，會對其質(zhì)量造成嚴(yán)重的影響，甚至于使產(chǎn)品報廢，所以除去這些雜質(zhì)十分重要。近年來，微電子工業(yè)飛速發(fā)展，集成度越來越高，對電子化學(xué)品中的顆粒去除的要求也越來越高。人們對去除顆粒開發(fā)了許多工藝和設(shè)備，但是都存在價格昂貴，不能重復(fù)使用等缺點(diǎn)。而且其過濾設(shè)備主要集中在幾家國外公司的產(chǎn)品上，而國內(nèi)尚無一種可用于電子化學(xué)品過濾的設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
在電子化學(xué)品中，顆粒是影響產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素。為了更好地解決顆粒問題，發(fā)明了本實用新型，從根本上解決了上述顆粒問題?？墒闺娮踊瘜W(xué)品中顆粒達(dá)到SEMI-7標(biāo)準(zhǔn)中的規(guī)定。滿足半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)的要求。該產(chǎn)品設(shè)計靈巧，全密封一體結(jié)構(gòu)；所用材料全部經(jīng)超凈清洗、消毒，不會對電子化學(xué)品的生產(chǎn)造成任何污染。本實用新型入、出口均為螺紋式接口，易于和生產(chǎn)系統(tǒng)聯(lián)接，拆卸更換十分方便。相對進(jìn)口同類產(chǎn)品質(zhì)優(yōu)價廉，可完全替代進(jìn)口產(chǎn)品，填補(bǔ)國內(nèi)空白，是一種比較理想的電子化學(xué)品生產(chǎn)中顆粒去除裝置。其主要技術(shù)方案是本實用新型是一種電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器設(shè)備，其特征在于其由電子化學(xué)品顆粒控制過濾器入口(圖4中1)、電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器外殼(圖4中2)、微孔過濾芯(圖4中3)、固定螺栓(圖4中4)、法蘭盤(圖4中5)、四氟密封墊片(圖4中6)、放氣孔(圖4中7)、電子化學(xué)品顆粒控制過濾器出口(圖4中8)八部分組成；顆?？刂七^濾器外殼上、下兩端為螺絲聯(lián)接；上端法蘭密封聯(lián)接；四氟密封墊片處于兩法蘭之間；入口和出口位于顆?？刂七^濾器外殼兩端或側(cè)面；微孔過濾芯位于外殼中間；入、出口、中間的微孔過濾芯與外殼組成一個整體；顆?？刂七^濾器上部有一個放氣孔。
本實用新型電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器設(shè)備，其應(yīng)用于電子化學(xué)品過濾、分裝過程中的顆粒去除。
所述的電子化學(xué)品顆粒控制過濾器設(shè)備，其特征在于入口(圖4中1)、出口(圖4中8)為公制螺絲接口。


圖1電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器側(cè)視圖圖2電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器頂面剖視圖圖3電子化學(xué)品顆粒控制過濾器底面剖視圖圖4電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器結(jié)構(gòu)圖在圖4中1.電子化學(xué)品顆粒控制過濾器入口、2.電子化學(xué)品顆粒控制過濾器外殼、
3.微孔過濾芯、4.固定螺栓5.法蘭盤、6.四氟密封墊片、7.放氣孔、8.電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器出口等八部分組成圖5電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器在線使用工藝流程圖在圖5中1.半成品儲槽2.料液輸送泵3.安全閥4.管線5.電子化學(xué)品顆粒控制過濾器6.成品儲槽具體實施方式
根據(jù)本實用新型工藝流程圖(圖5)，電子化學(xué)品顆粒控制過濾器結(jié)構(gòu)圖(圖4)對電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器做詳細(xì)具體實施方式
描述如下在圖5(工藝流程)中5為一體化設(shè)計的整體結(jié)構(gòu)。用戶得到該產(chǎn)品后需用超凈純水清洗，再用相應(yīng)的電子化學(xué)品進(jìn)行浸潤洗滌，接入生產(chǎn)系統(tǒng)即可使用。電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器應(yīng)接在生產(chǎn)系統(tǒng)中圖5的2之后，如有必要可在料液輸送泵與電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器之間加裝圖5的3安全閥，在生產(chǎn)過程中如果電子化學(xué)品顆粒控制過濾器或其它的部分出現(xiàn)堵塞，安全閥會自動起動將電子化學(xué)品通過管線回送到圖5中1半成品儲槽，以防止管線或各部分的聯(lián)接因系統(tǒng)壓力過大而破裂造成人身傷害和安全事故。半成品電子化學(xué)品經(jīng)泵壓通過圖4的1電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器入口(入口是螺紋口聯(lián)接，螺紋公制英制均可，用戶可根據(jù)自己的需要在購買電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器時定做接口的尺寸)進(jìn)入圖4的2電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器外殼體內(nèi)，電子化學(xué)品經(jīng)過圖4的3微孔濾芯進(jìn)入濾芯內(nèi)部，顆粒被截留從而達(dá)到過濾的目的。過濾后的電子化學(xué)品經(jīng)圖4的8電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器出口通過管線流入工藝圖5的6成品儲槽。圖4的7是放氣孔，在電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器工作時由于各種原因會造成氣體在電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器內(nèi)的積累，應(yīng)及時排放掉這部分氣體，系統(tǒng)工作壓力較小時可直接打開圖4的7排放，但如果系統(tǒng)工作壓力在0.3MPa以上時，應(yīng)降低壓力或停止泵工作再排放氣體，避免造成電子化學(xué)品飛濺或人身傷害。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作詳細(xì)描述本實用新型公開了一個電子化學(xué)品顆?？刂七^濾設(shè)備。它由電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器入口圖4中1、電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器外殼圖4中2、微孔過濾芯圖4中3、固定螺栓圖4中4、法蘭盤圖4中5、四氟密封墊片圖4中6、放氣孔圖4中7、電子化學(xué)品顆粒控制過濾器出口圖4中8組成。
圖5的5是本發(fā)明電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器。它為一體化設(shè)計生產(chǎn)的過濾器。用戶只要購買到電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器，根據(jù)自己的生產(chǎn)工藝狀況，即電子化學(xué)品輸送管線的口徑制作接頭接入系統(tǒng)，就可以正常使用了，還可以在電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器前加一個安全閥門。安全閥門的作用是電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器一旦出現(xiàn)堵塞，安全閥門會自動起動回流到半成品儲槽，以防止電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器因壓力過大損壞而出現(xiàn)危險。
權(quán)利要求1.一種電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器設(shè)備，其特征在于其由電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器入口(1)、電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器外殼(2)、微孔過濾芯(3)、固定螺栓(4)、法蘭盤(5)、四氟密封墊片(6)、放氣孔(7)、電子化學(xué)品顆粒控制過濾器出口(8)八部分組成；顆?？刂七^濾器外殼上、下兩端為螺絲聯(lián)接；上端法蘭密封聯(lián)接；四氟密封墊片處于兩法蘭之間；入口和出口位于顆?？刂七^濾器外殼兩端或側(cè)面；微孔過濾芯位于外殼中間；入、出口、中間的微孔過濾芯與外殼組成一個整體；顆?？刂七^濾器上部有一個放氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器設(shè)備，其特征在于入口(1)、出口(8)為公制螺絲接口。
專利摘要本實用新型專利公開了一個電子化學(xué)品顆?？刂七^濾設(shè)備。電子化學(xué)品顆粒控制過濾設(shè)備，由以下八個部分組成。一電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器入口圖中(1)、二電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器外殼圖中(2)、三微孔過濾芯圖中(3)、四固定螺栓圖中(4)、五法蘭盤圖中(5)、六四氟密封墊片圖中(6)、七放氣孔圖中(7)、八電子化學(xué)品顆粒控制過濾器出口圖中(8)等八部分組成。為了更好地控制電子化學(xué)品中的顆粒，這一實用新型電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器設(shè)計制造成為一個整體結(jié)構(gòu)。電子化學(xué)品顆粒控制過濾器很容易與電子化學(xué)品生產(chǎn)系統(tǒng)連接，價格遠(yuǎn)低于進(jìn)口產(chǎn)品，其效果優(yōu)于進(jìn)口產(chǎn)品。該裝置可用于電子化學(xué)品(如雙氧水、鹽酸、硫酸、氫氟酸、硝酸、氫氧化銨、甲醇、乙醇、丙酮、異丙醇、乙酸乙酯、乙酸丁酯)生產(chǎn)過程中的顆粒去除。
文檔編號B01D29/33GK2774616SQ20042005989
公開日2006年4月26日 申請日期2004年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月28日
發(fā)明者楊曉紅, 楊長青, 鄒德強(qiáng), 陶鵬, 劉永富 申請人:北京化學(xué)試劑研究所