專利名稱：化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，特別是有關(guān)一種用以制造半導(dǎo)體元件的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
當(dāng)在制造半導(dǎo)體元件時，會有多種化學(xué)液體被用于制造過程中。而為了防止半導(dǎo)體元件會受到顆?；螂s質(zhì)的污染，在使用化學(xué)液體之前，都會先進(jìn)行過濾的動作，以減少化學(xué)液體中顆粒的存在。所以若化學(xué)液體不夠純凈，制造半導(dǎo)體元件的良率可能因而下降。
所以為制造半導(dǎo)體元件，會有可過濾化學(xué)液體的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)。通?；瘜W(xué)供應(yīng)系統(tǒng)可具有過濾元件、管路與儲存桶。而當(dāng)化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中有元件損壞時，過濾化學(xué)液體的步驟將會停止，而使得制造半導(dǎo)體元件的時間增長。
而為了通過管路傳輸化學(xué)液體，會將某些氣體傳輸至儲存桶中；若是氣體被傳輸至過濾元件中，就必須將氣體排出，以防過濾元件損壞。然而，在將被傳輸至過濾元件中的氣體排出時，有些化學(xué)液體可能也會被排出而被浪費掉。若是被排出的氣體與被浪費的化學(xué)液體的份量增加，用以處理這些被排出的氣體與化學(xué)液體的成本將會提高。又因某些化學(xué)液體的成本很貴，所以亦會因浪費掉很多化學(xué)液體而增加制造半導(dǎo)體元件的成本。
故如上所述，便需發(fā)展出一化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，以維持制造半導(dǎo)體元件的良率與時間，并減少因處理被排出的氣體與化學(xué)液體而增加的成本，以及減少化學(xué)液體與氣體的使用量。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述已有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的是提供一化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)以制造半導(dǎo)體元件，用以減少因處理由氣體與部份化學(xué)液體組成的廢液而增加的成本、減少氣體與化學(xué)液體的使用量、通過較多次的過濾步驟提供更為純凈的化學(xué)液體而維持制造半導(dǎo)體元件的良率利用數(shù)個可獨立運作的系統(tǒng)而減少提供較純凈化學(xué)液體的時間并在某個獨立運作系統(tǒng)的元件損壞時，仍可持續(xù)操作其他未有損壞元件的獨立運作系統(tǒng)。
本發(fā)明提供一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其具有一第一系統(tǒng)與一第二系統(tǒng)。第一系統(tǒng)具有一第一儲存部與一第一過濾元件；第一儲存部是用以儲存一化學(xué)液體，第一過濾元件則以一第一管狀物與一第二管狀物與第一儲存部連接。且本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)還具有一第三管狀物，以連接第一系統(tǒng)與第二系統(tǒng)。第二系統(tǒng)則具有一第二儲存部與一第二過濾元件，第二過濾元件以一第四管狀物與一第五管狀物與第二儲存部連接。另外，還具有一第一排出管狀物連接于第一系統(tǒng)，以及一第二排出管狀物連接于第二系統(tǒng)。
為進(jìn)一步說明本發(fā)明的上述目的、結(jié)構(gòu)特點和效果，以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。


圖1是本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)的示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)的較佳實施例，將于以下詳述，但本發(fā)明所具的專利范圍，并不以下述的圖形與實施例的描述為限，而應(yīng)以所申請的專利范圍與精神為準(zhǔn)。
本發(fā)明一實施例的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)如圖1所示，其具有一第一系統(tǒng)202(firstsystem)與一第二系統(tǒng)204(second system)。第一系統(tǒng)202具有一第一儲存部206(first tank)與一第一過濾元件208(first filter)；第一儲存部206是用以儲存一化學(xué)液體，而第一過濾元件208則以一第一管狀物210(first tube)與一第二管狀物212(second tube)連接于第一儲存部206。第二系統(tǒng)204具有一第二儲存部216(second tank)與一第二過濾元件218(second filter)。第二過濾元件218藉由一第四管狀物220(fourth tube)與一第五管狀物222(fifth tube)與第二儲存部216相連接。且有一第三管狀物214(third tube)連接于第一系統(tǒng)202與第二系統(tǒng)204之間，以自第一系統(tǒng)202傳輸化學(xué)液體至第二系統(tǒng)204。另外，有一第一排出管狀物224(first vent tube)連接至第一系統(tǒng)202的第一儲存部206；而一第二排出管狀物226(second vent tube)連接至第二系統(tǒng)204的第二過濾元件218。
當(dāng)化學(xué)液體通過第三管狀物214，而由第一系統(tǒng)202被傳輸至第二系統(tǒng)204時，第一排出管狀物224會傳輸一氣體進(jìn)入至第一系統(tǒng)202中，以防止第一儲存部206因壓力的因素而被壓扁。當(dāng)通過第三管狀物214傳輸化學(xué)液體至第二儲存部216后，化學(xué)液體會通過第四管狀物220而被傳輸至第二過濾元件218，以濾除化學(xué)液體中的顆粒。直到化學(xué)液體中絕大多數(shù)的顆粒已被去除干凈前，化學(xué)液體會持續(xù)地通過第四管狀物220與第五管狀物222的輸送，而在第二儲存部216與第二過濾元件218之間來回過濾。當(dāng)化學(xué)液體中絕大多數(shù)的顆粒被第二過濾元件218過濾掉后，化學(xué)液體會被從第二過濾元件218輸出，亦即，由第二系統(tǒng)204將化學(xué)液體應(yīng)用至制造半導(dǎo)體元件的制作工序中。而第二系統(tǒng)204可具有一第三排出管狀物228(third vent tube)，以在第二排出管狀物226自第二過濾元件218中輸出化學(xué)液體，而用以制造半導(dǎo)體元件時，輸入一氣體至第二儲存部216中。
當(dāng)大多數(shù)儲存于第二儲存部216的化學(xué)液體被第二排出管狀物226輸出，而用以制造半導(dǎo)體元件后，儲存于第一儲存部206的化學(xué)液體將會被第三管狀物214輸入至第二系統(tǒng)204中。然而，當(dāng)?shù)谝粌Υ娌?06所儲存的化學(xué)液體快用完時，就需要以一裝滿化學(xué)液體的新的第一儲存部206替換掉空的第一儲存部206。而被輸入到空的第一儲存部206中的部份氣體，可能會在換上新的第一儲存部206前，被輸入到第一管狀物210中。所以在新的第一儲存部206與第一管狀物210以及第二管狀物212連接好之后，這些氣體會被送至新的第一儲存部206。因為在化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中的氣體以及部份化學(xué)液體可藉由第二管狀物212的傳輸而再被利用，無需以處理廢氣或廢液的方式處理，所以可省下處理這些存在于化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中氣體與化學(xué)液體的費用。而且，氣體與化學(xué)液體的用量亦會隨之減少。
儲存在新的第一儲存部206中的化學(xué)液體會先經(jīng)過第一過濾元件208的作用，而濾除掉其中大多數(shù)的顆粒。因此在將化學(xué)液體由第二排出管狀物226輸出以供制造半導(dǎo)體元件前，其至少可先后被兩個過濾元件過濾(一個是第一過濾元件208，另一個則是第二過濾元件218)。由于第一系統(tǒng)202與第二系統(tǒng)204都可過濾化學(xué)液體，所以化學(xué)液體將會變得更純凈。而且，因為化學(xué)液體只會被儲存于第一儲存部206的中、被第一過濾元件208過濾以及傳輸至第二儲存部216中，所以儲存于第一儲存部206中的化學(xué)液體并不會被浪費掉。
而為了加以控制整體的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，第一系統(tǒng)202與第二系統(tǒng)204還具有數(shù)個閥部(valve)設(shè)置于各管狀物之上。舉例而言，當(dāng)更換一新的第一儲存部206以替換空了的第一儲存部206時，閥部224’、210’與212’都會被關(guān)閉。而在將儲存于第一管狀物210中的氣體傳輸回第一儲存部206，以及以第一過濾元件208過濾儲存于第一儲存部206中的化學(xué)液體時，閥部224’以及214’會被關(guān)閉，而閥部210’與212’則會被打開。當(dāng)化學(xué)液體中大多數(shù)的顆粒已被第一過濾元件208過濾之后，閥部212’會被關(guān)閉，而閥部210’、214’與224’則被打開，以傳輸儲存于第一系統(tǒng)202中的化學(xué)液體至第二系統(tǒng)204。當(dāng)?shù)诙^濾元件218在過濾化學(xué)液體時，閥部214’、226’與228’會被關(guān)閉，閥部222’則被打開以自第二儲存部216將化學(xué)液體通過第四管狀物220傳輸至第二過濾元件218；然后再通過第五管狀物222將化學(xué)液體由第二過濾元件218傳輸回第二儲存部216。而在第二排出管狀物226自第二系統(tǒng)204排出以制造半導(dǎo)體元件時，閥部214’與222’會被關(guān)閉，而閥部226’與228’則被打開。
所以，當(dāng)閥部214’被關(guān)閉時，第一系統(tǒng)202與第二系統(tǒng)204成為本發(fā)明化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中兩個可獨立操作的系統(tǒng)。當(dāng)以第二系統(tǒng)204過濾化學(xué)液體，或通過第二排出管狀物226傳輸化學(xué)液體以供制造半導(dǎo)體元件時，第一系統(tǒng)202可以進(jìn)行更換第一儲存部206或是以第一過濾元件208過濾化學(xué)液體的動作。所以用以提供一精純的化學(xué)液體的時間將會縮短。再者，若是化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中，有屬于第一系統(tǒng)202或第二系統(tǒng)204的元件損壞時，另一系統(tǒng)仍可繼續(xù)執(zhí)行過濾化學(xué)液體、更換第一儲存部206或傳輸化學(xué)液體的步驟。而可在操作化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中一獨立運作系統(tǒng)的同時，更換另一獨立運作系統(tǒng)中的損壞元件。
為了檢測化學(xué)液體的品質(zhì)，化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)還具有數(shù)個傳感器(未顯示于圖1中)。當(dāng)傳感器檢測到化學(xué)液體中絕大多數(shù)顆粒已被第一過濾元件208與第二過濾元件218過濾掉時，化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)將會停止過濾的動作，而開始傳輸化學(xué)液體。但當(dāng)傳感器檢測到化學(xué)液體的純度還不夠時，化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)則會以第一過濾元件208或第二過濾元件218持續(xù)地過濾化學(xué)液體。另外，第一排出管狀物224與第三排出管狀物228所傳輸?shù)臍怏w可為氮氣。
本發(fā)明所揭示的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)可節(jié)省用以處理由氣體與部份化學(xué)液體所組成的廢液的費用，且氣體與化學(xué)液體的用量亦會有所減少。因為本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)可使化學(xué)液體既被第一系統(tǒng)過濾也被第二系統(tǒng)過濾，所以可以提供更為純凈的化學(xué)液體。而本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)可有效維持制造半導(dǎo)體元件的良率。通過可分別獨立運作的第一系統(tǒng)與第二系統(tǒng)，供給更純的化學(xué)液體的時間亦會縮短。再者，若化學(xué)系統(tǒng)中的第一系統(tǒng)或第二系統(tǒng)有元件損壞，則沒有損壞元件儲存的另一系統(tǒng)則可繼續(xù)操作。
雖然本發(fā)明已參照當(dāng)前的具體實施例來描述，但是本技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，以上的實施例僅是用來說明本發(fā)明，在沒有脫離本發(fā)明精神的情況下還可作出各種等效的變化和修改，因此，只要在本發(fā)明的實質(zhì)精神范圍內(nèi)對上述實施例的變化、變型都將落在本發(fā)明權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，包含一第一系統(tǒng)，具有一第一儲存部與一第一過濾元件，該第一儲存部是用以儲存一化學(xué)液體，該第一過濾元件以一第一管狀物與一第二管狀物與該第一儲存部連接；一第三管狀物；一第二系統(tǒng)，具有一第二儲存部與一第二過濾元件，該第二過濾元件以一第四管狀物與一第五管狀物與該第二儲存部連接，其中，該第三管狀物連接該第一系統(tǒng)與該第二系統(tǒng)；一第一排出管狀物連接于該第一系統(tǒng)；以及一第二排出管狀物連接于該第二系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于所述的第二管狀物自該第一過濾元件傳輸該化學(xué)液體至該第一儲存部。
3.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于所述的第二管狀物自該第一過濾元件傳輸一氣體至該第一儲存部。
4.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于所述的第三管狀物自該第一系統(tǒng)傳輸該化學(xué)液體至該第二系統(tǒng)。
5.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于還包含數(shù)個閥部設(shè)置于該管狀物上。
全文摘要
一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，具有一第一系統(tǒng)與一第二系統(tǒng)。第一系統(tǒng)具有一第一儲存部與一第一過濾元件；第一儲存部是用以儲存一化學(xué)液體，第一過濾元件則以一第一管狀物與一第二管狀物與第一儲存部連接。且本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)還具有一第三管狀物，以連接第一系統(tǒng)與第二系統(tǒng)。第二系統(tǒng)則具有一第二儲存部與一第二過濾元件，第二過濾元件以一第四管狀物與一第五管狀物與第二儲存部連接。另外，還具有一第一排出管狀物連接于第一系統(tǒng)，以及一第二排出管狀物連接于第二系統(tǒng)。
文檔編號B01J19/00GK1651132SQ20041000359
公開日2005年8月10日 申請日期2004年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月3日
發(fā)明者鄭振華 申請人:矽統(tǒng)半導(dǎo)體股份有限公司