技術(shù)編號：4896635
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明有關(guān)一種化學供應系統(tǒng)，特別是有關(guān)一種用以制造半導體元件的化學供應系統(tǒng)。背景技術(shù) 當在制造半導體元件時，會有多種化學液體被用于制造過程中。而為了防止半導體元件會受到顆粒或雜質(zhì)的污染，在使用化學液體之前，都會先進行過濾的動作，以減少化學液體中顆粒的存在。所以若化學液體不夠純凈，制造半導體元件的良率可能因而下降。所以為制造半導體元件，會有可過濾化學液體的化學供應系統(tǒng)。通常化學供應系統(tǒng)可具有過濾元件、管路與儲存桶。而當化學供應系統(tǒng)中有元件損壞時，過濾化學液體...
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