專利名稱：監(jiān)測(cè)利用含有一種或多種烴的反應(yīng)性氣體的工藝過(guò)程的方法
背景技術(shù)：
本發(fā)明涉及利用含有一種或多種氣態(tài)烴的試劑氣體的工藝，特別涉及膠接部件的工藝、通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)在基材上形成熱解碳涂層的工藝、或采用化學(xué)氣相滲透(CVI)形成的熱解碳基質(zhì)壓實(shí)多孔基材的工藝。
本發(fā)明一個(gè)特別但非排它的應(yīng)用領(lǐng)域，是生產(chǎn)包括纖維增強(qiáng)基材或被熱解碳基質(zhì)壓實(shí)的“壓片(preform)”的復(fù)合材料部件，特別是碳/碳(C/C)復(fù)合材料部件。
用于壓實(shí)的基材放到爐中，以低壓向其中引入含有一種或多種前體的試劑氣體。所述前體是由一種或多種氣態(tài)烴通常為甲烷、丙烷、或其混合物組成的。調(diào)節(jié)爐的操作參數(shù)，以通過(guò)分解(裂化)與基材接觸的前體氣體制備熱解碳基質(zhì)。通過(guò)泵抽，從爐中抽出含有反應(yīng)副產(chǎn)物的廢氣。
通常地，爐的操作參數(shù)，特別是爐的溫度、爐內(nèi)壓力、流過(guò)爐的試劑氣體的流速、和試劑氣體的組成，在壓實(shí)工藝中都是恒定的。不幸的是，隨著工藝的進(jìn)行，滲透條件會(huì)改變，這是因?yàn)樵诨闹械钠鹗伎紫稌?huì)逐漸地被填充。因此選用的參數(shù)是適合于壓實(shí)作用起始的最佳條件與適合于壓實(shí)作用末尾最佳條件的協(xié)調(diào)結(jié)果，但是，由于基材變化的孔隙尺寸，即孔隙的變化的幾何特征，這要冒著改變所沉積的基質(zhì)材料的微結(jié)構(gòu)的危險(xiǎn)。使?fàn)t的操作參數(shù)適合于壓實(shí)工藝的進(jìn)程，能使得該工藝整體上是最佳的，從而降低獲得希望水平的壓實(shí)所需要的時(shí)間，并保證所形成的基質(zhì)材料具有希望的微結(jié)構(gòu)。
這樣，在文獻(xiàn)WO96/31447中，申請(qǐng)人已經(jīng)提出改變爐的操作參數(shù)，以優(yōu)化壓實(shí)工藝，同時(shí)控制基質(zhì)材料的微結(jié)構(gòu)。然而，這種改變是在應(yīng)用預(yù)先確立的模型中進(jìn)行的，它沒(méi)有考慮該工藝的實(shí)際進(jìn)程。
在文獻(xiàn)US5348774中給出了建議，以連續(xù)基準(zhǔn)測(cè)量基材重量的變化，以監(jiān)測(cè)壓實(shí)工藝的進(jìn)程。作為所測(cè)量的變量的函數(shù)，它可能會(huì)對(duì)多種不同參數(shù)起作用，特別是提供給感應(yīng)圈的功率，它是通過(guò)與限定爐的側(cè)壁的感受器耦合，用來(lái)加熱爐的。監(jiān)測(cè)基材的重量變化，也可使得檢測(cè)壓實(shí)工藝何時(shí)達(dá)到末尾成為可能。但是，這要求爐進(jìn)行特定的配置，以使得以連續(xù)基準(zhǔn)測(cè)量基材重量成為可能，即使是在存在于爐中的高溫下。這類設(shè)置也會(huì)不利于爐內(nèi)部工作空間的基材負(fù)載能力。
發(fā)明目的和概述本發(fā)明的一個(gè)目的是提供允許采用熱解碳基質(zhì)壓實(shí)基材的工藝能夠連續(xù)地被監(jiān)測(cè)的方法，而不需要在滲透爐內(nèi)作任何特定的配置。
更一般地，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供連續(xù)監(jiān)測(cè)工藝的方法，所述工藝是在爐中、使用含有氣態(tài)烴的試劑氣體于相對(duì)高溫下進(jìn)行的并會(huì)導(dǎo)致在從爐中抽出的廢氣中存在有焦油。
這個(gè)目的是通過(guò)這樣一種本發(fā)明的方法實(shí)現(xiàn)的，其中，從爐中抽出的廢氣，要采用可吸收存在于廢氣中的焦油的油對(duì)其進(jìn)行洗滌，關(guān)于工藝的進(jìn)程的信息是通過(guò)測(cè)量被油吸收的焦油數(shù)量而得到，有利地使用表示被油吸收的焦油數(shù)量隨著時(shí)間變化的幅度(magnitude)而得到的。
為此目的，油可被促使沿著一個(gè)密閉回路循環(huán)，并對(duì)油的體積或重量的增量進(jìn)行測(cè)量。這樣，在實(shí)施所述方法時(shí)，油就可連續(xù)地自罐中取出，以便被注入到廢氣流中，焦油填充的油被返回到該罐中，關(guān)于工藝進(jìn)程的信息，是通過(guò)測(cè)量罐中油水平的變化而得到的。油可被注入到流入噴霧塔中的廢氣流中，例如一個(gè)文丘里塔。
油優(yōu)選是一種能夠吸收廢氣中所含的多環(huán)芳烴的芳族油。具體而言油是選自芳族礦物油，例如，基于二甲苯的油類。
所得到的有關(guān)工藝進(jìn)程的信息，可用來(lái)確定工藝何時(shí)結(jié)束。
通過(guò)響應(yīng)所得到的有關(guān)工藝進(jìn)程的信息，也可控制該工藝，以在合適的地方改變爐的至少一個(gè)如下參數(shù)爐溫、爐內(nèi)壓力、流過(guò)爐的試劑氣體的流速、和所述試劑氣體的組成。
本發(fā)明的方法特別地可用于監(jiān)測(cè)膠接工藝、化學(xué)氣相沉積、或化學(xué)氣相滲透的壓實(shí)工藝。
通過(guò)分析來(lái)自爐或反應(yīng)器的流出物中的反應(yīng)副產(chǎn)物來(lái)監(jiān)測(cè)化學(xué)或物理-化學(xué)工藝，是公知的技術(shù)。對(duì)于使用含有氣態(tài)烴如甲烷和/或丙烷的試劑氣體的化學(xué)氣相滲透的具體情形來(lái)說(shuō)，應(yīng)該注視的是自爐中抽出的廢氣可以進(jìn)行分析，以測(cè)量產(chǎn)生的某些特定反應(yīng)副產(chǎn)物的數(shù)量，例如苯，它是工藝是如何進(jìn)展的良好指示劑。然而，這種測(cè)量是難以進(jìn)行的，因?yàn)閺U氣中含有非常多的輕質(zhì)烴和重質(zhì)烴，其含有相對(duì)大量的焦油，它們?nèi)菀缀芸熳枞麥y(cè)量管道系統(tǒng)和設(shè)備。
申請(qǐng)人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，僅僅監(jiān)測(cè)被用來(lái)洗滌廢氣的油所吸收的焦油數(shù)量，就可提供可以信賴的關(guān)于所述工藝進(jìn)程的指示，而不需求助于復(fù)雜的裝置，同時(shí)完全適用于處理廢氣的裝置的一體化。為了避免阻塞管道系統(tǒng)和為了滿足環(huán)境要求，對(duì)廢氣進(jìn)行處理以除去焦油，是非常受人歡迎的。通過(guò)在油中洗滌以除去焦油，是一種有效的處理方法。本發(fā)明可利用這類處理方法，以簡(jiǎn)便且便宜的方式，來(lái)連續(xù)監(jiān)測(cè)該工藝。
附圖簡(jiǎn)要說(shuō)明通過(guò)閱讀下述參考附圖的唯一圖形所作的示例性但非限制性的描述，本發(fā)明將得到更好的理解，附圖顯示用于化學(xué)氣相滲透的工業(yè)設(shè)備，能夠使本發(fā)明的方法得以實(shí)施。
具體實(shí)施例方式


圖1以高度概略方式給出了用于采用熱解碳基質(zhì)壓實(shí)多孔基材的化學(xué)氣相滲透設(shè)備?；瘜W(xué)氣相滲透工藝可為等溫等壓型，即在基材中沒(méi)有使用溫度梯度或壓力梯度，或者它可為溫度梯度型，即基材是非均勻地被加熱的，或者它可為壓力梯度型，即在基材的相對(duì)面具有不同的壓力。
位于外殼12中的爐10，接受用于壓實(shí)的多孔基材14，例如，用于將用碳基質(zhì)復(fù)合材料制造的部件的纖維壓片。纖維壓片的實(shí)例有用于火箭發(fā)動(dòng)機(jī)噴嘴的發(fā)散部分或發(fā)散部分元件的壓片，或用于C/C復(fù)合制動(dòng)盤的壓片。爐10由形成感受器的側(cè)壁16(例如由石墨制成)、與底板18和蓋板20(也是由石墨制成)一起限定而成的。感受器與圍繞它的感應(yīng)圈22耦合。爐基本通過(guò)來(lái)自感受器的輻射而被加熱，所述感受器通過(guò)與感應(yīng)圈感應(yīng)耦合而加熱。
經(jīng)由管道24引入試劑氣體，通過(guò)在爐的底板18中形成的入口19。試劑氣體包括一種或多種碳前體成分，可能地還含有摻雜物。在所示實(shí)例中，試劑氣體由兩種來(lái)自物源25a和25b的成分組成的，兩個(gè)物源經(jīng)由閥26a和26b與管道24連接，并通過(guò)裝置27測(cè)量流速。廢氣經(jīng)由形成于蓋板20中的出口21和連接到泵裝置60上的管道28，從爐中抽出，泵裝置60可使試劑氣體流過(guò)爐，而且使?fàn)t內(nèi)處于希望的低壓。
熱解碳的氣態(tài)前體主要是由烷烴、烷基類、和烯烴組成，特別是甲烷、丙烷或其混合物，通過(guò)與將要進(jìn)行壓實(shí)的基材進(jìn)行接觸而分解(裂化)從而制得碳。本申請(qǐng)所用術(shù)語(yǔ)“摻雜物”是指任選的試劑氣體成分，在選用的操作條件下，它可執(zhí)行活化從前體沉積熱解碳的功能。摻雜物也可構(gòu)成前體。這樣，在包括來(lái)自物源28a和28b的甲烷和丙烷混合物(兩種前體)的試劑氣體中，在某些溫度和壓力條件下，丙烷也可充當(dāng)摻雜物。
基材的最終壓實(shí)程度和熱解碳的微結(jié)構(gòu)，主要是由爐的如下操作參數(shù)決定·爐溫；·爐內(nèi)壓力；·流過(guò)爐的試劑氣體流速；和·試劑氣體的組成，即具體而言是試劑氣體中的前體含量和摻雜物的含量(如果存在的話)。
廢氣含有熱解碳前體(裂化)反應(yīng)的副產(chǎn)物、以及那些未反應(yīng)的前體、和來(lái)自前體裂化的氫氣(H2)。副產(chǎn)物包括不飽和烴、輕質(zhì)芳烴(苯、單環(huán)烴)、和多環(huán)芳烴(PAHs)，例如，特別是萘、芘、蒽、和苊，它們以焦油形式濃縮。
按照本發(fā)明，基材壓實(shí)工藝的進(jìn)程是通過(guò)使廢氣在吸收這些焦油的油中進(jìn)行洗滌、并通過(guò)得到表示被油吸收的焦油數(shù)量的幅度(magnitude)而進(jìn)行監(jiān)測(cè)的。
這種在油中的洗滌可使得除去焦油成為可能，否則它將阻塞爐的出口管道系統(tǒng)，而且它會(huì)堵死所用的泵裝置，例如，在真空泵的油中或在來(lái)自蒸汽噴射器的冷凝物中。
附圖給出油洗滌裝置30的實(shí)施方式，它是設(shè)置在來(lái)自爐10的廢氣的出口與泵裝置60之間。這類裝置也公開在與本申請(qǐng)同時(shí)提交且名稱為“Procede et installation pour le traitement de gaz effluent contenantdes hydrocarbures”[用于處理含烴廢氣的方法和設(shè)備]的法國(guó)專利申請(qǐng)之中。
油洗滌裝置優(yōu)選是位于接近爐10出口，以避免在連接爐出口到洗滌裝置的管道中形成焦油沉積物，在此處這種沉積物會(huì)由于廢氣冷卻而增加。
油洗滌裝置30包括噴霧塔32，它在其頂端連接至管道26。舉例來(lái)說(shuō)，塔32為文丘里塔34，它是由在氣體流動(dòng)區(qū)域的壓縮所形成的。在其底端，塔32與氣體入口42相連通，它是穿過(guò)油再循環(huán)罐40的頂壁，在其一端的鄰近處形成的。氣體出口44還流過(guò)罐40的頂壁，并經(jīng)由管道42與泵裝置60相連通。
油出口穿過(guò)罐40的底部而形成，并連接到泵50上，它是用來(lái)從罐40中抽出油，為基本軸向設(shè)置在塔32中的噴嘴36、38提供進(jìn)料，并流經(jīng)熱交換器52。附加噴嘴46a和46b可以放置在所40中，噴嘴46a和46b與噴嘴36、38平行，它們的進(jìn)料為熱交換器52下游的油。熱交換器52具有冷卻流體例如冷水從其流過(guò)，以冷卻來(lái)自罐40的油。冷卻水還流過(guò)熱交換器54，例如，其呈平板形式，與熱交換器52串聯(lián)連接，并放置在罐40中。
熱交換器54以及噴嘴46a和46b都位于氣體入口42和氣體出口44之間的罐的內(nèi)部，并高于油的平面。液滴去除器48設(shè)置在罐40的氣體出口44處。
油洗滌裝置30按下述方式進(jìn)行操作。進(jìn)料到噴嘴36和38中的油被噴霧到沿著塔32前行的廢氣流之中，這種噴霧由于文丘里塔的存在被氣體速度的提高而得到促進(jìn)。噴嘴36可設(shè)置在塔32的頂端，在文丘里塔34的上游，而另一個(gè)噴嘴38是設(shè)置在文丘里塔的爐喉處。僅僅使用一個(gè)噴嘴36或38，也是可行的。
噴霧油吸收大部分被廢氣輸送的焦油，特別是多環(huán)芳烴(PAHs)，而且，它們被攜帶到罐40中的油浴中。
所用的油必須具有足夠低的蒸汽壓，使得在處于爐10的出口處的壓力時(shí)避免揮發(fā)，從而避免使廢氣負(fù)載有油蒸汽。作為指示，在采用熱解碳基質(zhì)壓實(shí)多孔基材的常規(guī)工藝過(guò)程中的爐10內(nèi)壓力，一般小于10.1千帕斯卡(kpa)。油必須還具有足夠低的粘度，使得它能夠被循環(huán)并能夠在噴嘴的出口處形成薄霧。
這就是為什么優(yōu)選使用一種在0℃的蒸汽壓小于100帕斯卡的芳族礦物油的原因。
有利地，使用二甲苯基油，如法國(guó)供應(yīng)商Elf Atochem出售的商品名為“Jarithem AX 320”的合成油，它是由85wt％單二甲苯基二甲苯和15wt％雙二甲苯基二甲苯組成。這種油在0℃具有60厘泊的粘度，并且，在0℃時(shí)具有小于100Pa的蒸汽壓。
熱交換器52和58充有溫度接近0℃的冷水，以盡可能地冷卻被噴嘴36和38注入的油，以及經(jīng)由噴嘴46a和46b被注入到位于氣體入口和罐40的出口之間的通道上的油。
熱交換器54有助于促進(jìn)仍然存在于廢氣之中的焦油在塔32的所述出口處冷凝。
液滴去除器48，例如，擋板型的有助于“打碎”存在于罐40出口處的薄霧，這樣就能分隔出液滴，并使它們結(jié)合，這樣它們就可在油浴中被收集。
由油洗滌裝置30實(shí)施的截留，可使得最大數(shù)量的焦油如PAHs得到消除。僅有最輕的芳烴(苯、單環(huán)烴)會(huì)殘留在洗滌后的廢氣中，但是，由于它們較高的蒸汽壓，它們不存在任何阻塞管道的危險(xiǎn)。
舉例來(lái)說(shuō)，泵裝置60包括噴射器-冷凝器64，或大量串聯(lián)連接的相似噴射器-冷凝器(在附圖中僅給示一個(gè)冷凝器)，可以理解，其它泵裝置也可使用，例如旋轉(zhuǎn)泵。
噴射器-冷凝器64包括進(jìn)料為鍋爐80的蒸汽的噴射器部分66，和冷凝器部分68，它位于所述噴射器的下游。冷凝器68為是間接冷凝器，來(lái)自噴射器的氣體，與輸送冷卻流體如冷水的管道接觸。
在流過(guò)冷凝器68之后，水被移至冷卻塔70，在該處，它被收集到罐72中，自該罐處，它被泵74輸送返回到冷凝器68。
在冷凝器出口管道76中獲得的冷凝物，含有烴類如苯、甲苯、二甲苯、還有溶解在來(lái)自噴射器66蒸汽的冷凝的水中的所有殘余的PAHs。冷凝物可通過(guò)在活性碳上吸附而得到處理。
在冷凝器的出口處，廢氣流過(guò)泵78。使用被熱交換器冷卻的水位泵(water level pump)，也是可行的，這樣，從處理設(shè)備中抽出的氣體，實(shí)際上就是處于環(huán)境溫度。
抽出氣體含有基本不飽和烴，以及殘余的試劑氣體和來(lái)自所述爐10的氫氣H2。它可經(jīng)由管道79被送到火炬處，它至少可以部分地被用作鍋爐80的燃?xì)狻Ｔ谶@種情形下，它是在緩沖缸82中與氣態(tài)燃料如天然氣進(jìn)行混合，從而為鍋爐80中的燃燒器86提供燃料。
在所示實(shí)例中，被洗滌油吸收的焦油數(shù)量，是通過(guò)測(cè)量罐40中油的水平而進(jìn)行評(píng)價(jià)的。傳感器58為表示油水平的信號(hào)提供處理器回路90，以產(chǎn)生信息I，它可用于監(jiān)測(cè)壓實(shí)工藝。傳感器58可為任意已知類型，例如，振動(dòng)葉片型或雷達(dá)型，在這些情形中，它測(cè)量檢測(cè)器安裝在其中的罐頂壁與油表面的距離。
信息I，例如，是代表表示油水平的信號(hào)相對(duì)于時(shí)間的導(dǎo)數(shù)，從而代表一種方式，其中存在廢氣中的焦油數(shù)量隨著時(shí)間而變化。
一種可能性存在于監(jiān)測(cè)信息I，以檢測(cè)壓實(shí)工藝的末期?？梢约俣?，在一個(gè)給定觀察時(shí)間之內(nèi)，一旦油水平變化即存在于廢氣中的焦油數(shù)量變化提高到高于某一給定的閾值，例如提高到高于2％，則所述壓實(shí)工藝就已經(jīng)完成。這可能會(huì)為1小時(shí)至數(shù)個(gè)小時(shí)，這是由于壓實(shí)周期通常是非常長(zhǎng)的。
除第一種可能性之外，還有另一種可使用的可能性，其在于控制爐的操作性能，作為信息I數(shù)值的函數(shù)。這樣·當(dāng)在一個(gè)給定觀察時(shí)間內(nèi)測(cè)得的油水平變化的速率下降到低于閾值S1時(shí)，例如約0.1％，就有可能對(duì)壓實(shí)參數(shù)(例如溫度、試劑氣體組成)進(jìn)行作用，以增大壓實(shí)作用；和·當(dāng)油水平變化提高到高于閾值S2時(shí)，例如約1％，就有可能對(duì)壓實(shí)參數(shù)進(jìn)行作用，使壓實(shí)作用放慢。
作為一種指示，對(duì)于標(biāo)定流速為500升/分鐘(L/min)的允許進(jìn)入爐的試劑氣體(甲烷和丙烷的混合物)來(lái)說(shuō)，閾值S1對(duì)應(yīng)于焦油重量變化的降低，其數(shù)值落在0.5克每小時(shí)(g/h)-2 g/h的范圍之內(nèi)，閾值S2對(duì)應(yīng)于焦油重量變化的提高，其數(shù)值落在5g/h-8 g/h的范圍之內(nèi)。
在工藝的末尾，罐40可至少部分地從泵50的出口被排空，這是通過(guò)關(guān)閉安裝在連接泵50到熱交換器52的管道中的閥門51并通過(guò)打開安裝在連接泵50的出口到廢油出口56的管道中的閥門53而實(shí)現(xiàn)的?；厥盏膹U油，可通過(guò)燒棄而被破壞，清潔油被添加到罐40中。
當(dāng)然測(cè)量循環(huán)罐中水平或體積的增量的裝置以外的其它裝置也可以用來(lái)監(jiān)測(cè)被洗滌油吸收的焦油數(shù)量，例如測(cè)量油重量的增量的裝置。
還應(yīng)當(dāng)觀察到，在罐40中的油的水平或重量的變化可以轉(zhuǎn)化為表示壓實(shí)工藝進(jìn)程的幅度，例如轉(zhuǎn)化為存在于廢氣中的苯的當(dāng)量數(shù)量。
正如已經(jīng)提到的，按照本發(fā)明所述的方法，除了用于通過(guò)化學(xué)氣相滲透壓實(shí)工藝之外，還可用來(lái)監(jiān)測(cè)其它工藝的進(jìn)程，條件是這些工藝是在利用含有氣態(tài)烴、特別是甲烷和/或丙烷的試劑氣體的爐中在相對(duì)高的溫度下進(jìn)行，并在廢氣中產(chǎn)生焦油。這些其它工藝具體包括化學(xué)氣相沉積以在基材上形成熱解碳的涂層(這些工藝通常是在約1000℃或更高溫度下進(jìn)行的)、和在能利用甲烷和丙烷的混合物的爐中于約900℃下進(jìn)行的部件膠接。
權(quán)利要求
1.一種監(jiān)測(cè)在爐中進(jìn)行并使用含至少一種氣態(tài)烴的試劑氣體的工藝進(jìn)程的方法，所述工藝包括設(shè)定所述爐的操作參數(shù)，向所述爐中引入所述含有至少一種氣態(tài)烴的試劑氣體，和從所述爐中抽出含有所述試劑氣體反應(yīng)副產(chǎn)物的廢氣，所述方法的特征在于所述廢氣要采用可吸收存在于該廢氣中的焦油的油對(duì)其進(jìn)行洗滌，關(guān)于所述工藝進(jìn)程的信息通過(guò)測(cè)量被所述油吸收的焦油的數(shù)量而得到。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述方法，其特征在于關(guān)于所述工藝進(jìn)程的信息是從表示被所述油吸收的焦油的數(shù)量隨著時(shí)間變化的幅度而得到。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述方法，其特征在于所述油是繞著密閉回路循環(huán)，并對(duì)油的體積增量進(jìn)行測(cè)量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述方法，其特征在于所述油是連續(xù)地取自罐中，以便被注入到廢氣流中，所述負(fù)載焦油的油返回到所述罐，所述關(guān)于所述工藝進(jìn)程的信息通過(guò)測(cè)量所述罐中油水平的變化而得到。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述方法，其特征在于所述油是繞著密閉回路循環(huán)，并對(duì)油的重量增量進(jìn)行測(cè)量。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述方法，其特征在于所述油被注入到流入噴霧塔中的廢氣流。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述方法，其特征在于所述廢氣流過(guò)文丘里塔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述方法，其特征在于所述油能夠吸收存在于所述廢氣中的多環(huán)芳烴。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述方法，其特征在于所述油選自芳烴礦物油。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述方法，其特征在于所得到的關(guān)于工藝進(jìn)程的信息，是用來(lái)確定所述工藝的結(jié)束。
11.根據(jù)權(quán)利要求1-10任一所述方法，其特征在于所得到的關(guān)于工藝進(jìn)程的信息用于控制所述工藝，通過(guò)在合適的地方，并作為所得到的關(guān)于工藝進(jìn)程信息的函數(shù)，改變至少一個(gè)涉及爐操作的下述參數(shù)而實(shí)現(xiàn)控制爐溫、爐內(nèi)壓力、流過(guò)所述爐的試劑氣體的流速、和所述試劑氣體的組成。
12.根據(jù)權(quán)利要求1-10任一項(xiàng)所述方法的用途，其用于監(jiān)測(cè)采用由化學(xué)氣相滲透方法形成的熱解碳基質(zhì)壓實(shí)多孔基材的工藝。
13.根據(jù)權(quán)利要求1-11任一項(xiàng)所述方法的用途，其用于監(jiān)測(cè)由化學(xué)氣相沉積方法在基材上形成熱解碳涂層的工藝。
14.根據(jù)權(quán)利要求1-11任一項(xiàng)所述方法的用途，其用于監(jiān)測(cè)膠接部件的工藝。
全文摘要
本方法適用于諸如膠接或化學(xué)氣相滲透或沉積的工藝，所述工藝是在爐中實(shí)行的，且所述方法包括設(shè)定爐的操作參數(shù)；引入試劑氣體到爐中，試劑氣體含有至少一種氣態(tài)烴；和從爐中抽出含有試劑氣體反應(yīng)副產(chǎn)物的廢氣。廢氣要在可吸收存在于廢氣中的焦油的油中對(duì)其進(jìn)行洗滌，關(guān)于工藝的進(jìn)程的信息是通過(guò)測(cè)量被油吸收的焦油數(shù)量而得到。
文檔編號(hào)B01D53/14GK1606634SQ02825547
公開日2005年4月13日 申請(qǐng)日期2002年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月20日
發(fā)明者B·德爾佩里耶, E·蒂博多 申請(qǐng)人:斯奈克瑪動(dòng)力部件公司