本實用新型是關(guān)于藍寶石晶片刷洗機輔助設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于藍寶石晶片刷洗的旋轉(zhuǎn)工作平臺。

背景技術(shù)：

刷洗機是將藍寶石晶片表面清洗工藝過程中不可缺少的設(shè)備，而藍寶石晶片作為市面上普遍選用的主要襯底材料，是目前世界上最重要的襯底材料之一，同時它也是發(fā)展手表表盤、航空航天、精密制造、特殊制造的主要窗口材料。

在藍寶石襯底加工行業(yè)內(nèi)，研磨后藍寶石襯底晶片表面有很多臟污，主要是：研磨盤鐵銹、懸浮液殘留，研磨粉顆粒殘留，退火前需將所有臟污全部去除，以便達到退火后要求的清潔度。隨著行業(yè)的發(fā)展人們對藍寶石襯底表面清洗質(zhì)量的要求越來越高和大尺寸晶片的需求量越來越大，晶片在各個工步制作前都需先進行必要的清洗作業(yè)，目前傳統(tǒng)的人工刷洗晶片的方法僅可對晶片表面大多數(shù)輕微污染物清洗掉，但是對于污染物較嚴重及污染輕微但是粘附性較強的污染物，清洗效果不理想，造成產(chǎn)品良率較低，目前業(yè)界生產(chǎn)線上的晶片手動刷洗方式和清洗速度及工藝穩(wěn)定性已無法滿足加工需求。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種能穩(wěn)定可靠吸住晶片的旋轉(zhuǎn)工作平臺。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種用于藍寶石晶片刷洗的旋轉(zhuǎn)工作平臺，能利用吸盤吸住藍寶石晶片進行旋轉(zhuǎn)，所述用于藍寶石晶片刷洗的旋轉(zhuǎn)工作平臺包括安裝座、旋轉(zhuǎn)軸，還包括密封圈B、軸承；

所述旋轉(zhuǎn)軸的軸心處開有從頂部到中部的軸向通氣孔，旋轉(zhuǎn)軸的中部還開有垂直于軸向的徑向通氣孔，且徑向通氣孔與軸向通氣孔連通；旋轉(zhuǎn)軸頂部開有軸上凹槽，用于安裝吸盤；

所述安裝座中部開有徑向的通氣孔A，且通氣孔A的外側(cè)開口端處設(shè)有堵頭；安裝座的下端開有進氣口，進氣口通過進氣通道與通氣孔A連通；

旋轉(zhuǎn)軸與安裝座連接時，安裝座的通氣孔A與旋轉(zhuǎn)軸徑向通氣孔的一端連通(氣體通過進氣口到達安裝座中部通氣孔A處后，因通氣孔A的外側(cè)開口被堵頭堵住，氣體只能沿通氣孔A的內(nèi)側(cè)流動，進入安裝座中部后，因安裝座、旋轉(zhuǎn)軸和密封圈B裝配后形成一個密封空間，氣體僅能進入旋轉(zhuǎn)軸徑向通氣孔，隨后氣體沿旋轉(zhuǎn)軸的軸向通氣孔向上流動，氣體最后到達吸盤處，氣體通過吸盤所開的規(guī)定數(shù)量的小孔將藍寶石晶片表面吸住)；且旋轉(zhuǎn)軸的上部和下部分別安裝有密封圈B，所述軸承也安裝在旋轉(zhuǎn)軸和安裝座之間，用于控制旋轉(zhuǎn)軸徑向和軸向的移動，保證旋轉(zhuǎn)軸的正常工作位置和旋轉(zhuǎn)精度。

作為進一步的改進，所述用于藍寶石晶片刷洗的旋轉(zhuǎn)工作平臺還包括吸盤，吸盤包括橡膠片和吸盤底座，橡膠片上均布有通氣孔B，橡膠片通過膠水黏貼在吸盤底座上；吸盤的底部通過緊定螺釘固定在旋轉(zhuǎn)軸頂部軸上凹槽內(nèi)，且吸盤底座的中心開有通孔，用于連通通氣孔B和旋轉(zhuǎn)軸的軸向通氣孔。

作為進一步的改進，在吸盤和旋轉(zhuǎn)軸之間設(shè)有密封圈A，且密封圈A設(shè)置在吸盤底座的內(nèi)部，用于保證旋轉(zhuǎn)軸與吸盤接觸部分不漏氣。

作為進一步的改進，所述安裝座中部軸向開有的圓環(huán)(直徑24、高度為8的圓環(huán))，用于保證旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時，氣體仍可進入旋轉(zhuǎn)軸的軸向通氣孔內(nèi)。

作為進一步的改進，所述用于藍寶石晶片刷洗的旋轉(zhuǎn)工作平臺采用分段式結(jié)構(gòu)，即旋轉(zhuǎn)軸、密封圈和軸承能各自拆卸。

作為進一步的改進，所述安裝座通過螺釘固定在機架上，旋轉(zhuǎn)軸的底部通過聯(lián)軸器與電機連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型能將藍寶石晶片穩(wěn)定可靠的固定在吸盤上，吸盤做高速旋轉(zhuǎn)時，避免了晶片與吸盤脫離，防止人工接觸晶片表面和，有效的避免了手動刷洗晶片表面不均勻的現(xiàn)象的產(chǎn)生，提高了晶片的潔凈度。

附圖說明

圖1為本實用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)工作平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中的附圖標記為：1晶片；2吸盤；3緊定螺釘；4安裝座；5旋轉(zhuǎn)軸；6密封圈A6；7軸承；8密封圈B。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細描述：

如圖2所示的一種用于藍寶石晶片刷洗的旋轉(zhuǎn)工作平臺包括吸盤2、安裝座4、旋轉(zhuǎn)軸5、密封圈A6、密封圈B8、軸承7，可滿足藍寶石晶片生產(chǎn)線中新的刷洗工藝，替代當前生產(chǎn)線中人工刷洗晶片的傳統(tǒng)刷洗工藝。

旋轉(zhuǎn)軸5的軸心處開有從頂部到中部的軸向通氣孔，旋轉(zhuǎn)軸5的中部還開有垂直于軸向的徑向通氣孔，徑向通氣孔的一端與軸向通氣孔連通。旋轉(zhuǎn)軸5頂部開有軸上凹槽，用于安裝吸盤2。旋轉(zhuǎn)軸5的上部和下部分別安裝有密封圈B8和軸承7。

安裝座4中部開有徑向通氣孔A，且通氣孔A的外側(cè)開口端處設(shè)有堵有堵頭。安裝座4的下端開有進氣口，進氣口通過進氣通道與通氣孔A連通。安裝座4中部軸向開有足夠大小和寬度的圓環(huán)，可保證旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時，氣體仍可進入旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)部。旋轉(zhuǎn)軸組件4采用分段式結(jié)構(gòu)，即旋轉(zhuǎn)軸5、密封圈和軸承7可各自拆卸。

旋轉(zhuǎn)軸5與安裝座4連接時，安裝座4的通氣孔A與旋轉(zhuǎn)軸5徑向通氣孔的另一端連通；旋轉(zhuǎn)軸5兩端有密封圈B8，可在內(nèi)部形成密閉空間，與外界環(huán)境隔離，同時不影響旋轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動；軸承7也安裝在旋轉(zhuǎn)軸和安裝座4之間，用于控制旋轉(zhuǎn)軸徑向和軸向的移動，保證旋轉(zhuǎn)軸的正常工作位置和旋轉(zhuǎn)精度。

吸盤2包括橡膠片和吸盤底座，橡膠片上均布有一定數(shù)量的通氣孔B，橡膠片通過膠水黏貼在吸盤底座上，達到密封的效果，在抽真空狀態(tài)下，具有穩(wěn)定可靠吸附藍寶石晶片的功能，且吸力均勻。橡膠片部分采用硅橡膠材質(zhì)；還可根據(jù)使用環(huán)境使用其他非金屬材質(zhì)，吸盤底座部分采用不銹鋼材質(zhì)，也可使用其余金屬材質(zhì)。

吸盤2的底部通過緊定螺釘3固定在旋轉(zhuǎn)軸5頂部軸上凹槽內(nèi)，可防止吸盤2在高速轉(zhuǎn)動時被甩出，且吸盤底座的中心開有通孔，用于連通通氣孔B和旋轉(zhuǎn)軸的軸向通氣孔。在吸盤2和旋轉(zhuǎn)軸5之間設(shè)有密封圈A6，且密封圈A6設(shè)置在吸盤底座的內(nèi)部，避免了氣體從兩者接觸的縫隙中漏出，可達到一個相對密封的空間。用于藍寶石晶片刷洗的旋轉(zhuǎn)工作平臺在使用過程中，可通過不同規(guī)格大小的吸盤2，吸附不同規(guī)格的晶片1。

氣體從進氣口進入后，到達安裝座4中部通氣孔A處，氣體只能向安裝座4內(nèi)部流動，氣體經(jīng)旋轉(zhuǎn)軸5從頂部到中部的軸向通氣孔到達吸盤2表面去吸附晶片1，這樣的結(jié)構(gòu)不但可以保證旋轉(zhuǎn)軸5在旋轉(zhuǎn)時穩(wěn)定可靠地吸住晶片1，而且在密封圈的作用下可防止安裝座4和旋轉(zhuǎn)軸5之間漏氣。安裝座4通過螺釘固定在機架上，旋轉(zhuǎn)軸5的底部通過聯(lián)軸器與電機連接。晶片1上部有毛刷，毛刷在電機的帶動下旋轉(zhuǎn)，刷洗晶片1表面雜質(zhì)。

新的刷洗工藝不僅可去除傳統(tǒng)刷洗工藝中清洗掉的污染物，而且對于污染較嚴重及污染輕微但是粘附性較強的污染物，也有較好的清洗效果，進一步提高了刷洗晶片的效率和刷洗質(zhì)量，解放人力資源；同時，該平臺也可用于晶片生產(chǎn)線中各個工步制作前進行的清洗作業(yè)，應(yīng)用站點廣泛。

如圖1所示的旋轉(zhuǎn)工作平臺適用于現(xiàn)有的藍寶石晶片清洗生產(chǎn)過程，但是該種人工刷洗晶片1低效率、批量清洗一致性差、人員勞動強度大，且傳統(tǒng)的人工刷洗晶片的方法無法清洗掉污染物較嚴重及污染輕微但是粘附性較強的污染物等問題。

而本實用新型則能穩(wěn)定可靠地吸住晶片1，并在電機的驅(qū)動下可以帶動晶片1高速旋轉(zhuǎn)，在有水或者清洗劑的環(huán)境下依靠晶片1上方反向旋轉(zhuǎn)的毛刷對晶片1表面進行刷洗，提高清洗效果，提升產(chǎn)品良率，進一步提高了刷洗晶片1的效率和刷洗質(zhì)量，解放人力資源。

最后，需要注意的是，以上列舉的僅是本實用新型的具體實施例。顯然，本實用新型不限于以上實施例，還可以有很多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本實用新型公開的內(nèi)容中直接導出或聯(lián)想到的所有變形，均應(yīng)認為是本實用新型的保護范圍。