本實(shí)用新型涉及硅片清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種超聲波清洗花籃的抓吊手。

背景技術(shù)：

超聲波清洗原理是利用超聲波發(fā)生器發(fā)出的超聲波，通過換能器轉(zhuǎn)換成機(jī)械震蕩傳播到清洗液中，利用超聲波在清洗液中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用，使待清洗物品上的污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的。目前，傳統(tǒng)的硅片清洗裝置結(jié)構(gòu)如下：由清洗槽和超聲波發(fā)生器構(gòu)成，清洗槽底部設(shè)置超聲波振盒，超聲波振盒內(nèi)設(shè)置超聲波換能器，超聲波振盒上方的清洗槽中設(shè)置方形支架，方形支架內(nèi)放置花籃，花籃中放置待清洗的硅片；清洗槽中放置清洗液，方形支架和花籃都浸泡在清洗液中。

在硅片清洗完畢后，放置有硅片的花籃需要被清洗機(jī)的抓吊手抓起并取出，然后抓吊手再將下一個(gè)裝有待清洗硅片的花籃放入清洗液中，如此循環(huán)。然而在抓吊手從清洗液中抓取花籃時(shí)，由于清洗液的浮力和擺動(dòng)鼓泡作用，常常導(dǎo)致花籃傾斜偏離原本所在的位置，進(jìn)而導(dǎo)致抓吊手抓不到花籃；當(dāng)抓吊手再次將下一個(gè)花籃放入清洗液中時(shí)，兩個(gè)花籃疊加到一起，會(huì)導(dǎo)致花籃擠壓花籃，損壞硅片；同時(shí)兩個(gè)花籃在擠壓時(shí)也會(huì)對(duì)清洗機(jī)的機(jī)械傳動(dòng)部分和電機(jī)造成損傷。另外，在清洗機(jī)運(yùn)行過程中，需要人工對(duì)清洗機(jī)進(jìn)行不斷地巡檢，增加工人勞動(dòng)強(qiáng)度和用工成本。

因此，迫切需要一種能夠有效識(shí)別硅片花籃是否被成功抓起的抓吊手裝置，避免對(duì)硅片及機(jī)械設(shè)備制成損傷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提出一種超聲波清洗花籃的抓吊手，解決了現(xiàn)有技術(shù)中清洗機(jī)清洗硅片時(shí)容易損傷硅片和機(jī)械設(shè)備的問題。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種超聲波清洗花籃的抓吊手，包括：花籃提手和感應(yīng)報(bào)警機(jī)構(gòu)，所述感應(yīng)報(bào)警機(jī)構(gòu)包括支架以及位于所述支架上的漫反射式光電開關(guān)和對(duì)射式光電開關(guān)；所述花籃提手通過支臂與所述支架固定連接；所述支架的形狀為長(zhǎng)方形；所述漫反射式光電開關(guān)和對(duì)射式光電開關(guān)的輸出端分別與所述抓吊手的控制器連接。

作為優(yōu)選，所述漫反射式光電開關(guān)的數(shù)量為六個(gè)，并均布于所述支架的其中一組對(duì)邊上；所述對(duì)射式光電開關(guān)的數(shù)量為兩對(duì)，并均布于所述支架的另一組對(duì)邊上。

作為優(yōu)選，所述支臂分別與所述花籃提手、所述支架焊接。

本實(shí)用新型的工作原理如下：

當(dāng)位于清洗槽中的硅片花籃清洗完畢時(shí)，抓吊手的花籃提手將清洗完畢的硅片花籃抓取出來放到指定位置，再將另一個(gè)待清洗的硅片花籃放入清洗槽中，如此循環(huán)。這個(gè)過程中，一旦發(fā)生花籃提手從清洗槽中抓取硅片花籃不成功的情況，漫反射式光電開關(guān)和對(duì)射式光電開關(guān)就會(huì)感應(yīng)到，隨即把報(bào)警信號(hào)發(fā)送給抓吊手的控制器，控制器控制抓吊手停機(jī)，并處理故障。

本實(shí)用新型的有益效果為：

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造方便；通過在超聲波清洗花籃的抓吊手上設(shè)置感應(yīng)報(bào)警機(jī)構(gòu)，能夠及時(shí)準(zhǔn)確地感應(yīng)到硅片花籃抓取是否成功，從而能及時(shí)處理故障，避免對(duì)硅片和設(shè)備造成損傷；同時(shí)也省去了人工巡檢，降低用工成本，提高工作效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：

1、花籃提手，2、支臂，3、支架，4、漫反射式光電開關(guān)，5、對(duì)射式光電開關(guān)，6、清洗槽。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1所示的實(shí)施例可知，本實(shí)用新型所述的一種超聲波清洗花籃的抓吊手，包括：花籃提手1和感應(yīng)報(bào)警機(jī)構(gòu)，感應(yīng)報(bào)警機(jī)構(gòu)包括支架3以及位于支架3上的漫反射式光電開關(guān)4和對(duì)射式光電開關(guān)5；花籃提手1通過支臂2與支架3固定連接；支架3的形狀為長(zhǎng)方形；漫反射式光電開關(guān)4和對(duì)射式光電開關(guān)5的輸出端分別與抓吊手的控制器連接。

上述漫反射式光電開關(guān)4的數(shù)量為六個(gè)，并均布于支架3的其中一組對(duì)邊上；對(duì)射式光電開關(guān)5的數(shù)量為兩對(duì)，并均布于支架3的另一組對(duì)邊上。

上述支臂2分別與花籃提手1、支架3焊接。

上述超聲波清洗花籃的抓吊手的工作原理如下：

當(dāng)位于清洗槽6中的硅片花籃清洗完畢時(shí)，抓吊手的花籃提手1將清洗完畢的硅片花籃抓取出來放到指定位置，再將另一個(gè)待清洗的硅片花籃放入清洗槽6中，如此循環(huán)。這個(gè)過程中，一旦發(fā)生花籃提手1從清洗槽6中抓取硅片花籃不成功的情況，漫反射式光電開關(guān)4和對(duì)射式光電開關(guān)5就會(huì)感應(yīng)到，隨即把報(bào)警信號(hào)發(fā)送給抓吊手的控制器，控制器控制抓吊手停機(jī)，并處理故障。

綜上所述，本實(shí)用新型通過在超聲波清洗花籃的抓吊手上設(shè)置感應(yīng)報(bào)警機(jī)構(gòu)，能夠及時(shí)準(zhǔn)確地感應(yīng)到硅片花籃抓取是否成功，從而能及時(shí)處理故障，避免對(duì)硅片和設(shè)備造成損傷；同時(shí)也省去了人工巡檢，降低用工成本，提高工作效率。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。