1.一種自支撐摻硼金剛石催化材料的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
(1)將硼或含硼化合物與硅粉按0.1-1.2%的重量百分比混合,硼或含硼化合物與硅粉的尺寸均為10~50納米;將混合后的硼或含硼化合物與硅粉放入乙醇溶液中,超聲振蕩,形成分散液,過濾后干燥處理;
(2)將金剛石粉放入乙醇溶液中,超聲振蕩,形成分散液;金剛石粉的尺寸為10~50納米;
(3)將步驟(1)干燥后的硼或含硼化合物與硅的納米混合粉冷等靜壓成塊體,再將步驟(2)的金剛石粉分散液均勻滴在塊體上,烘干后再滴,反復(fù)2~6次,最后干燥處理得到襯底材料;
(4)將襯底材料放入熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備的襯底架上,待本底真空達(dá)1×10-3Torr以上后通入氫氣,在100%氫氣環(huán)境下,進(jìn)行活化處理,活化處理時熱絲溫度2000-2400℃,熱絲到襯底的距離4-10mm,襯底溫度700-950℃,真空室總壓強(qiáng)20-100Torr,活化處理時間20-40min;
(5)活化處理后立即通入甲烷,甲烷與氫氣的流量比為0.5-1.5%,反應(yīng)壓力20-100Torr,襯底溫度700-950℃;熱絲溫度2000-2400℃,熱絲與襯底距離4-10mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自支撐摻硼金剛石催化材料的制備方法,其特征在于,所述熱絲材料是直徑0.4-1mm的金屬鎢或鉭或鈮。