專利名稱：沖洗水回收方法及裝置的制作方法
沖洗水回收方法及裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種沖洗水回收方法及裝置。
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體生產(chǎn)中，UPW系統(tǒng)(超純水系統(tǒng))中的拋光混床在更換完MBP樹脂(精拋光混床樹脂)后，需要大量的沖洗水長時間沖洗MBP樹脂后才能投入使用。但是，大量的沖洗水在沖洗完MBP樹脂后，經(jīng)由沖洗水排放管路直接排放到WffT系統(tǒng)(廢水處理系統(tǒng))中，然后排外到市政水管路，沒有對沖洗水進(jìn)行回收利用，造成大量的沖洗水浪費，提高了成本，極大的浪費了水資源。

發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，有必要提供一種對沖洗水進(jìn)行回收的沖洗水回收方法及裝置。一種沖洗水回收裝置，用于對拋光混床的沖洗水進(jìn)行回收，包括拋光混床、沖洗水排放管路以及回收水箱；所述沖洗水排放管路連接拋光混床和回收水箱。優(yōu)選的，所述沖洗水回收裝置還包括設(shè)置在所述沖洗水排放管路上的第一閥門；所述第一閥門控制所述沖洗水排放管路的導(dǎo)通和關(guān)閉。優(yōu)選的，所述沖洗水回收裝置還包括沖洗水分流支路以及第二閥門；所述沖洗水分流支路一端與第一閥門和拋光混床之間的沖洗水排放管路連接，另一端連接至廢水處理系統(tǒng)，第二閥門設(shè)置在所述沖洗水分流支路上，用于控制沖洗水分流支路的導(dǎo)通與關(guān)閉。優(yōu)選的，所述第一閥門和第二閥門均為電磁閥，所述沖洗水回收裝置還包括監(jiān)測器以及控制器；所述監(jiān)測器設(shè)置在所述回收水箱上，用來監(jiān)測回收水箱中的水位，所述控制器連接監(jiān)測器、第一閥門以及第二閥門，在回收水箱水位高于預(yù)定水位時，控制第一閥門關(guān)閉，第二閥門打開。優(yōu)選的，所述監(jiān)測器采用聲波監(jiān)測器。一種沖洗水回收方法，用于對拋光混床的沖洗水進(jìn)行回收，該方法對拋光混床的沖洗水排放管路進(jìn)行改造，將沖洗水排放管路連接至回收水箱。優(yōu)選的，所述沖洗水回收方法還包括在所述沖洗水排放管路上的設(shè)置第一閥門的步驟；所述第一閥門控制所述沖洗水排放管路的導(dǎo)通和關(guān)閉。優(yōu)選的，所述沖洗水回收方法還包括設(shè)置沖洗水分流支路以及第二閥門的步驟；所述沖洗水分流支路一端與第一閥門和拋光混床之間的沖洗水排放管路連接，另一端連接至廢水處理系統(tǒng)，第二閥門設(shè)置在所述沖洗水分流支路上，用于控制沖洗水分流支路的導(dǎo)通與關(guān)閉。優(yōu)選的，所述第一閥 門和第二閥門均為電磁閥，所述沖洗水回收方法還包括設(shè)置監(jiān)測器以及控制器的步驟；所述監(jiān)測器設(shè)置在所述回收水箱上，用來監(jiān)測回收水箱中的水位，所述控制器連接監(jiān)測器、第一閥門以及第二閥門，在回收水箱水位高于預(yù)定水位時，控制第一閥門關(guān)閉，第二閥門打開。
優(yōu)選的，所述監(jiān)測器采用聲波監(jiān)測器。上述沖洗水回收裝置及方法，對沖洗水排放管路的連接進(jìn)行了改造，沖洗水排放管路連接至回收水箱，回收水箱為生產(chǎn)線機(jī)臺部分排水凈化系統(tǒng)的起始端，能夠使沖洗水回收并凈化，從而使得沖洗水得到回收利用，避免大量的沖洗水的浪費，大大降低了生產(chǎn)成本，極大的節(jié)約了水資源。

圖1是一個實施例中沖洗水回收裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的具體實施方式
進(jìn)行詳細(xì)描述。圖1是一個實施例中沖洗水回收裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。該沖洗水回收裝置對拋光混床100的沖洗水進(jìn)行回收，包括:拋光混床100、沖洗水排放管路200以及回收水箱300。沖洗水排放管路200連接拋光混床100和回收水箱300。該實施例中，回收水箱300為廠務(wù)中原有的。回收水箱300為生產(chǎn)線機(jī)臺部分排水凈化系統(tǒng)的起始端，回收水箱300用于收集生產(chǎn)線機(jī)臺的部分排水交由生產(chǎn)線機(jī)臺部分排水凈化系統(tǒng)進(jìn)行純凈后回收利用。該沖洗水回收裝置對沖洗水排放管路200的連接進(jìn)行了改造，沖洗水排放管路200連接至回收水箱300，能夠?qū)厥諞_洗水，從而使得沖洗水得到回收利用。為控制沖洗水的排放，該裝置還包括第一閥門400。第一閥門400設(shè)置在沖洗水排放管路200上，控制沖洗水排放管路200的導(dǎo)通與關(guān)閉，控制沖洗水的排放。此外，為避免沖洗水進(jìn)入回收水箱300后，水位過高造成回流等，還需對回收水箱300的水位進(jìn)行控制。該裝置還包括沖洗水分流支路500以及第二閥門600。沖洗水分流支路500 —端與第一閥門400和拋光混床100之間的沖洗水排放管路200連接，另一端連接至廢水處理系統(tǒng)(WWT系統(tǒng))700。第二閥門600設(shè)置在沖洗水分流支路500上，用于控制沖洗水分流支路500的導(dǎo)通與關(guān)閉。當(dāng)將沖洗水排放到回收水箱時，打開第一閥門400，關(guān)閉第二閥門600 ;當(dāng)水位過高，超過預(yù)定水位時，關(guān)閉第一閥門400，打開第二閥門600，沖洗水經(jīng)由沖洗水分流支路500排放至廢水處理系統(tǒng)700即可。進(jìn)一步的，為智能的控制回收水箱300的水位，第一閥門400和第二閥門600均采用電閥門，該裝置還包括監(jiān)測器800以及控制器900。監(jiān)測器800設(shè)置在廠務(wù)回收水箱300上，用來監(jiān)測回收水箱300中的水位。該實施例中，監(jiān)測器800采用聲波監(jiān)測器，通過聲波反射時間測距的方式監(jiān)測回收水箱300的水位?？刂破?00連接監(jiān)測器800、第一閥門400以及第二閥門600，在回收水箱300水位高于預(yù)定水位時，控制第一閥門400關(guān)閉，第二閥門600打開。通過監(jiān)測器800的監(jiān)測和控制器900的控制，智能的控制回收水箱300的水位，無需人力操作，極大的節(jié)約了人力成本。此外，還提供一種沖洗水回收方法，該方法對拋光混床的沖洗水排放管路進(jìn)行改造，將沖洗水排放管路連接至回收水箱。
該實施例中，回收水箱為廠務(wù)中原有的?；厥账錇樯a(chǎn)線機(jī)臺部分排水凈化系統(tǒng)的起始端，回收水箱用于收集生產(chǎn)線機(jī)臺的部分排水交由生產(chǎn)線機(jī)臺部分排水凈化系統(tǒng)進(jìn)行純凈后回收利用。該方法對沖洗水排放管路的連接進(jìn)行了改造，沖洗水排放管路連接至回收水箱，從而使得沖洗水得到回收利用。為控制沖洗水的排放，該方法還包括在沖洗水排放管路上設(shè)置第一閥門的步驟。第一閥門控制沖洗水排放管路的導(dǎo)通與關(guān)閉，控制沖洗水的排放。此外，為避免沖洗水進(jìn)入回收水箱后，水位過高造成回流等，還需對回收水箱的水位進(jìn)行控制。該方法還包括設(shè)置沖洗水分流支路以及第二閥門的步驟。沖洗水分流支路連接沖洗水排放管路和廢水處理系統(tǒng)(WffT系統(tǒng))，并且與第一閥門和拋光混床之間的沖洗水排放管路連接。第二閥門設(shè)置在沖洗水分流支路上，用于控制沖洗水分流支路的導(dǎo)通與關(guān)閉。當(dāng)將沖洗水排放到回收水箱時，打開第一閥門，關(guān)閉第二閥門；當(dāng)水位過高，超過預(yù)定水位時，關(guān)閉第一閥門，打開第二閥門，使沖洗水經(jīng)由沖洗水分流支路排放至廢水處理系統(tǒng)即可。進(jìn)一步的，為智能的控制回收水箱的水位，第一閥門和第二閥門均采用電閥門，該方法還包括設(shè)置控制器以及監(jiān)測器的步驟。監(jiān)測器設(shè)置在廠務(wù)回收水箱上，用來監(jiān)測回收水箱中的水位。該實施例中，監(jiān)測器采用聲波監(jiān)測器，通過反射測距的方式監(jiān)測回收水箱的水位?？刂破鬟B接監(jiān)測器、第一閥門以及第二閥門，在回收水箱水位高于預(yù)定水位時，控制第一閥門關(guān)閉，第二閥門打開。通過監(jiān)測器的監(jiān)測和控制器的控制，智能的控制回收水箱的水位，無需人力操作。上述沖洗水回收裝 置及方法，對沖洗水排放管路的連接進(jìn)行了改造，沖洗水排放管路連接至回收水箱，回收水箱為生產(chǎn)線機(jī)臺部分排水凈化系統(tǒng)的起始端，能夠使沖洗水回收并凈化，從而使得沖洗水得到回收利用，避免大量的沖洗水的浪費，大大降低了生產(chǎn)成本，極大的節(jié)約了水資源。以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種沖洗水回收裝置，用于對拋光混床的沖洗水進(jìn)行回收，其特征在于，包括拋光混床、沖洗水排放管路以及回收水箱；所述沖洗水排放管路連接拋光混床和回收水箱。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沖洗水回收裝置，其特征在于，所述沖洗水回收裝置還包括設(shè)置在所述沖洗水排放管路上的第一閥門；所述第一閥門控制所述沖洗水排放管路的導(dǎo)通和關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的沖洗水回收裝置，其特征在于，所述沖洗水回收裝置還包括沖洗水分流支路以及第二閥門；所述沖洗水分流支路一端與第一閥門和拋光混床之間的沖洗水排放管路連接，另一端連接至廢水處理系統(tǒng)，第二閥門設(shè)置在所述沖洗水分流支路上，用于控制沖洗水分流支路的導(dǎo)通與關(guān)閉。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的沖洗水回收裝置，其特征在于，所述第一閥門和第二閥門均為電磁閥，所述沖洗水回收裝置還包括監(jiān)測器以及控制器；所述監(jiān)測器設(shè)置在所述回收水箱上，用來監(jiān)測回收水箱中的水位，所述控制器連接監(jiān)測器、第一閥門以及第二閥門，在回收水箱水位高于預(yù)定水位時，控制第一閥門關(guān)閉，第二閥門打開。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的沖洗水回收裝置，其特征在于，所述監(jiān)測器采用聲波監(jiān)測器。
6.一種沖洗水回收方法，用于對拋光混床的沖洗水進(jìn)行回收，其特征在于，該方法對拋光混床的沖洗水排放管路進(jìn)行改造，將沖洗水排放管路連接至回收水箱。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的沖洗水回收方法，其特征在于，所述沖洗水回收方法還包括在所述沖洗水排放管路上的設(shè)置第一閥門的步驟；所述第一閥門控制所述沖洗水排放管路的導(dǎo)通和關(guān)閉。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的沖洗水回收方法，其特征在于，所述沖洗水回收方法還包括設(shè)置沖洗水分流支路以及第二閥門的步驟；所述沖洗水分流支路一端與第一閥門和拋光混床之間的沖洗水排放管路連接，另一端連接至廢水處理系統(tǒng)，第二閥門設(shè)置在所述沖洗水分流支路上，用于控制沖洗水分流支路的導(dǎo)通與關(guān)閉。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的沖洗水回收方法，其特征在于，所述第一閥門和第二閥門均為電磁閥，所述沖洗水回收方法還包括設(shè)置監(jiān)測器以及控制器的步驟；所述監(jiān)測器設(shè)置在所述回收水箱上，用來監(jiān)測回收水箱中的水位，所述控制器連接監(jiān)測器、第一閥門以及第二閥門，在回收水箱水位高于預(yù)定水位時，控制第一閥門關(guān)閉，第二閥門打開。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的沖洗水回收方法，其特征在于，所述監(jiān)測器采用聲波監(jiān)測器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種沖洗水回收裝置及方法，該裝置用于對拋光混床的沖洗水進(jìn)行回收，包括拋光混床、沖洗水排放管路以及回收水箱；所述沖洗水排放管路連接拋光混床和回收水箱。本發(fā)明對沖洗水排放管路的連接進(jìn)行了改造，沖洗水排放管路連接至回收水箱，回收水箱為生產(chǎn)線機(jī)臺部分排水凈化系統(tǒng)的起始端，能夠使沖洗水回收并凈化，從而使得沖洗水得到回收利用，避免大量的沖洗水的浪費，大大降低了生產(chǎn)成本，極大的節(jié)約了水資源。
文檔編號C02F1/00GK103086444SQ20111034181
公開日2013年5月8日 申請日期2011年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月2日
發(fā)明者王詩濤, 陳志正 申請人:無錫華潤上華科技有限公司