專利名稱：廢液的處理方法及處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對以制造半導(dǎo)體器件的制造設(shè)備為代表的制造設(shè)備產(chǎn)生的廢液進(jìn)行處理的方法，還涉及處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
舉例來說，在制造如薄膜晶體管(TFT)的半導(dǎo)體器件的工藝中，制造設(shè)備產(chǎn)生的廢液必須進(jìn)行處理。生產(chǎn)廠每天產(chǎn)生大量的廢液，而廢液的處理方法對工廠的運(yùn)轉(zhuǎn)成本有很大的影響。參考文獻(xiàn)1提出一種顯影設(shè)備的基材處理系統(tǒng)，產(chǎn)生自該顯影設(shè)備的諸如顯影溶液和清洗水的廢液在不同系統(tǒng)的不同管道中進(jìn)行處理(參考文獻(xiàn)1日本專利申請公報(bào)No.2003-229356)。此外，存在這樣的情況，即通過使用轉(zhuǎn)換閥，使一個設(shè)備產(chǎn)生的廢液流向不同系統(tǒng)中的不同管道(例如，參考文獻(xiàn)2日本專利申請公報(bào)No.H7-78799)。
在安全方面，存在用加倍的管道處理廢液的情況(例如，參考文獻(xiàn)3日本專利申請公報(bào)No.2000-88148)。參考文獻(xiàn)3提出了一種雙管系統(tǒng)，該系統(tǒng)中，外管道設(shè)置在主管周圍。這種情況下，廢液只在內(nèi)部的主管中流動，而在外部的外管有一孔洞。提供外管是為了避免從主管泄漏的危險(xiǎn)。
有一種情況是，廢液必須冷卻到能為廢液收集槽接受的溫度，因?yàn)橛行┲圃旃に嚠a(chǎn)生高溫的廢液。這種情況下，需要一種制備管道的方法，使其比自然冷卻廢液所需的長度更長，另外在制造設(shè)備上提供用于冷卻廢液的冷卻裝置等。在參考文獻(xiàn)4中，在設(shè)備中另外提供有用于冷卻廢液的冷卻盤管的預(yù)冷卻槽(參考文獻(xiàn)4日本專利申請公報(bào)No.H6-132272)。

發(fā)明內(nèi)容
如上面所述，在測量高溫廢液時(shí)，需要額外投資用于加長管道比所需長度更長，另外提供冷卻裝置等。此外，一直存在設(shè)備尺寸增大的問題。對處理有害廢液的情況，提出采用雙管以確保安全的方法。然而，由于外管有孔洞，構(gòu)成了被浪費(fèi)的空間，因此成本增加，設(shè)備無法最小化。另外提供的冷卻裝置或使用雙管都增加了成本并使設(shè)備體積增加。
因此，在處理廢液時(shí)，本發(fā)明的一個目的是安全處理廢液，且不增加成本，不使用大的設(shè)備。
本發(fā)明的廢液處理方法的一個特點(diǎn)是，使用在外管內(nèi)部有一內(nèi)管的雙管，第一廢液流動通過雙管的內(nèi)管時(shí)，使溫度低于第一廢液的第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動。
本發(fā)明的廢液處理方法的一個特點(diǎn)是，該方法包括下面的步驟將第一處理液體從第一處理液體供應(yīng)部分供給第一處理部分；將第二處理液體從第二處理液體供應(yīng)部分供給第二處理部分；使從第一處理部分排出的第一廢液流動通過第一廢液部分，至位于雙管內(nèi)部的內(nèi)管；使從第二處理部分排出的第二廢液流動通過第二廢液部分，至位于雙管的內(nèi)管外壁與外管內(nèi)壁之間的部分。
本發(fā)明的廢液處理方法的一個特點(diǎn)是，該方法包括下面的步驟將第一處理液體從第一處理液體供應(yīng)部分供給第一處理部分；將第二處理液體從第二處理液體供應(yīng)部分供給第二處理部分；使從第一處理部分排出的第一廢液流動通過第一廢液部分，至位于雙管內(nèi)部的內(nèi)管；使從第二處理部分排出的第二廢液流動通過第二廢液部分，至位于雙管的內(nèi)管外壁與外管內(nèi)壁之間部分；其中，第二廢液開始從第二處理部分排出時(shí)的溫度低于第一廢液，第二廢液包含第一處理液體，所述第一處理液體被第二處理液體中包含的溶劑稀釋。
本發(fā)明的廢液處理方法的一個特點(diǎn)是，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥，使第一廢液流入內(nèi)管；使用第二轉(zhuǎn)換閥，使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動；使用內(nèi)管中的閥儲存第一廢液。
本發(fā)明的廢液處理方法的一個特點(diǎn)是，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥，使第一廢液流入內(nèi)管；使用第二轉(zhuǎn)換閥，使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動；使用在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間的閥，儲存第二廢液。
本發(fā)明的廢液處理方法的一個特點(diǎn)是，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥，使第一廢液流入內(nèi)管；使用第二轉(zhuǎn)換閥，使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動；使用內(nèi)管中的第一閥，儲存第一廢液；使用在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間的第二閥，儲存第二廢液。
本發(fā)明的廢液處理方法的一個特點(diǎn)是，在第一處理液體供應(yīng)部分對第一處理液體進(jìn)行溫度控制。
本發(fā)明的廢液處理方法的一個特點(diǎn)是，由在外管內(nèi)壁或在內(nèi)管外壁上的濃度感應(yīng)器檢測包含在第二廢液中的第一處理液體的濃度。
本發(fā)明的廢液處理設(shè)備的一個特點(diǎn)是，該設(shè)備包括第一處理部分；第二處理部分；向第一處理部分供應(yīng)第一處理液體的第一處理液體供應(yīng)部分；向第二處理部分供應(yīng)第二處理液體的第二處理液體供應(yīng)部分；對從第一處理部分排出的第一廢液進(jìn)行處理的第一廢液部分；對從第二處理部分排出的第二廢液進(jìn)行處理的第二廢液部分；包括內(nèi)管和外管的雙管，所述內(nèi)管與第一廢液部分相連，并且第一廢液流動通過該內(nèi)管，所述外管與第二廢液部分相連，并位于內(nèi)管外部，第二廢液流動通過該外管。
本發(fā)明的廢液處理設(shè)備的一個特點(diǎn)是，該設(shè)備包括第一處理部分；第二處理部分；向第一處理部分供應(yīng)第一處理液體的第一處理液體供應(yīng)部分；向第二處理部分供應(yīng)第二處理液體的第二處理液體供應(yīng)部分；對從第一處理部分排出的第一廢液進(jìn)行處理的第一廢液部分；對從第二處理部分排出的第二廢液進(jìn)行處理的第二廢液部分；包括內(nèi)管和外管的雙管，所述內(nèi)管與第一廢液部分相連，并且第一廢液流動通過該內(nèi)管，所述外管與第二廢液部分相連，并位于內(nèi)管外部，第二廢液流動通過該外管；其中，第二廢液開始從第二處理部分排出時(shí)的溫度低于第一廢液，第二廢液包含第一處理液體，所述第一處理液體被第二處理液體中包含的溶劑稀釋。
本發(fā)明的廢液處理設(shè)備的一個特點(diǎn)是，該設(shè)備包括處理部分；向處理部分供應(yīng)第一處理液體的第一處理液體供應(yīng)部分；向處理部分供應(yīng)第二處理液體的第二處理液體供應(yīng)部分；包括內(nèi)管和外管的雙管，所述內(nèi)管與處理部分相連，從處理部分排出的第一廢液流動通過該內(nèi)管，所述外管與處理部分相連，并位于內(nèi)管外部，第二廢液流動通過該外管。
本發(fā)明的廢液處理設(shè)備的一個特點(diǎn)是，該設(shè)備包括處理部分；向處理部分供應(yīng)第一處理液體的第一處理液體供應(yīng)部分；向處理部分供應(yīng)第二處理液體的第二處理液體供應(yīng)部分；包括內(nèi)管和外管的雙管，所述內(nèi)管與處理部分相連，從處理部分排出的第一廢液流動通過該內(nèi)管，所述外管與處理部分相連，并位于內(nèi)管外部，從處理部分排出的第二廢液流動通過該外管；其中，第二廢液開始從第二處理部分排出時(shí)的溫度低于第一廢液，第二廢液包含第一處理液體，所述第一處理液體被第二處理液體中包含的溶劑稀釋。
本發(fā)明的廢液處理設(shè)備的一個特點(diǎn)是，在處理部分與雙管之間有第一轉(zhuǎn)換閥和第二轉(zhuǎn)換閥，并且雙管的外管和內(nèi)管中至少一個有一個閥。
本發(fā)明的廢液處理設(shè)備的一個特點(diǎn)是，第一處理液體供應(yīng)部分包括一個溫度控制部分。
本發(fā)明的廢液處理設(shè)備的一個特點(diǎn)是，在外管的內(nèi)壁或內(nèi)管的外壁上有濃度感應(yīng)器。
本發(fā)明中，通過使溫度低于流過內(nèi)管的廢液溫度的廢液流動通過外管，可以冷卻在內(nèi)管流動的廢液。此外，采用雙管結(jié)構(gòu)，可以降低諸如有害化學(xué)品泄漏的危險(xiǎn)。
本發(fā)明中，將通常經(jīng)過處理而不再被利用的廢水再利用為冷卻介質(zhì)，這樣可以降低冷卻的成本。此外，由于不必重新提供再利用廢水的冷卻裝置，可以有效和安全地收集和處理高溫的廢棄化學(xué)品，而不會增加成本。此外，通過使廢水流動通過雙管的外管來冷卻流動通過內(nèi)管的廢液，不經(jīng)濟(jì)地延長冷卻用管道的要求可以被取消。


附圖中圖1示出本發(fā)明的一種廢液處理方法。
圖2A和2B示出本發(fā)明的一種廢液處理方法。
圖3示出本發(fā)明的一種廢液處理方法。
圖4A和4B是本發(fā)明雙管結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖5A和5B示出本發(fā)明的一種廢液處理方法。
圖6A和6B示出實(shí)施本發(fā)明的一種廢液處理方法的處理設(shè)備。
圖7示出實(shí)施本發(fā)明的一種廢液處理方法的處理設(shè)備。
圖8A和8B示出實(shí)施本發(fā)明的一種廢液處理方法的處理設(shè)備。
具體實(shí)施例方式
參照

本發(fā)明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員能容易地理解，本發(fā)明不限于下面的描述，在不偏離本發(fā)明精神和范圍的前提下可以在形式和細(xì)節(jié)上進(jìn)行變化。因此，本發(fā)明不應(yīng)限于下面實(shí)施方式的描述。附圖中同樣的標(biāo)號通常表示同樣的部件或具有同樣功能的部件，并省略對其的詳細(xì)說明。實(shí)施方式1至4可以相互自由組合。
實(shí)施方式1參見圖1至4B，實(shí)施方式1描述了一種廢液處理方法和處理設(shè)備，其中，使溫度低于流過內(nèi)管的廢液溫度的廢液流動通過外管。
圖1示出處理設(shè)備101。該處理設(shè)備101包括化學(xué)液體供應(yīng)部分104，該部分將化學(xué)液體供給化學(xué)液體處理部分102，該處理部分102對化學(xué)液體進(jìn)行處理；廢棄化學(xué)品部分106，該部分對從化學(xué)液體處理部分102排出的廢液進(jìn)行處理；水供應(yīng)部分105，該部分將水供應(yīng)給水處理部分103，該處理部分103用水進(jìn)行處理；廢水部分107，該部分對從水處理部分103排出的廢液進(jìn)行處理。此外，處理設(shè)備101包括雙管(未示出)，從化學(xué)液體處理部分102排出的廢液以及從水處理部分103排出的廢液流入該雙管。應(yīng)注意，處理設(shè)備101的結(jié)構(gòu)不限于圖1所示的結(jié)構(gòu)，處理設(shè)備101可以包括多個化學(xué)液體處理部分或多個水處理部分。
這種實(shí)施方式中，在化學(xué)液體處理部分102，可以進(jìn)行諸如濕蝕刻、顯影或剝膜(剝離)的處理。因此，從化學(xué)液體處理部分102排出的廢液含有化學(xué)液體。
這種實(shí)施方式中，在水處理部分103，可以對例如已經(jīng)在化學(xué)液體處理部分進(jìn)行處理的基片進(jìn)行諸如清洗的處理。這種情況下，從水處理部分103排出的廢液含有的化學(xué)液體的濃度低于從化學(xué)液體處理部分102排出的廢液的濃度。在水處理部分103，對在化學(xué)液體處理部分102進(jìn)行處理之前的基片等進(jìn)行清洗，這種情況下，從水處理部分103排出不含化學(xué)液體的污水作為廢液。
這種實(shí)施方式中，從水處理部分103排出的廢液的溫度必須低于從化學(xué)液體處理部分102排出的廢液的溫度?？梢允褂米詠硭蛲ㄟ^除去懸浮物或雜質(zhì)制成的蒸餾水(即純水)，作為從水供應(yīng)部分105供給水處理部分103的水。對于半導(dǎo)體器件的制造設(shè)備，優(yōu)選使用純水。
在化學(xué)液體供應(yīng)部分104(圖1)中有溫度控制部分108，用來控制化學(xué)液體的溫度。這種實(shí)施方式中，對下面的情況進(jìn)行描述，即將通過溫度控制部分108預(yù)先控制在高溫的化學(xué)液體供給化學(xué)液體處理部分102，對從該化學(xué)液體處理部分102排出的廢液進(jìn)行處理；但是，提供溫度控制部分108并不是必需的。本發(fā)明還可應(yīng)用于以下情況，在化學(xué)液體處理部分102引發(fā)放熱的化學(xué)反應(yīng)，并處理因此而具有高溫的廢液。換句話說，只要從化學(xué)液體處理部分102排出的廢液溫度高于從水處理部分103排出的廢液的溫度，就可以進(jìn)行本發(fā)明。
作為處理設(shè)備101，可以使用圖2A所示的設(shè)備。圖2B是圖2A中虛線A-B所示部分的示意剖面圖。在這種實(shí)施方式中，在廢水部分107內(nèi)有廢化學(xué)品部分106。這樣，形成了雙管111，從廢化學(xué)品部分106的排放管延伸的內(nèi)管112被從廢水部分107的排放管延伸的外管113包覆(圖2A和2B)。即，內(nèi)管112在外管113的內(nèi)部。
這種實(shí)施方式中，將由溫度控制部分108控制在高溫的化學(xué)液體從化學(xué)液體供應(yīng)部分104供給化學(xué)液體處理部分102，并在化學(xué)處理部分102中進(jìn)行處理。然后，用從水供應(yīng)部分105供給的水在水處理部分103中進(jìn)行處理?；蛘?，在水處理部分103進(jìn)行處理，然后在化學(xué)液體處理部分102中進(jìn)行處理。處理的順序可根據(jù)目的適當(dāng)改變。
接下來，從化學(xué)液體處理部分102排出的廢液以及從水處理部分103排出的廢液并流進(jìn)入雙管111，分別通過廢化學(xué)品部分106和廢水部分107。換句話說，從化學(xué)液體處理部分102排出的廢液流入內(nèi)管112，從水處理部分103排出的廢液流入外管113，即外管113的內(nèi)壁與內(nèi)管112的外壁之間的空間。這種實(shí)施方式中，流動通過外管113的廢液的溫度低于開始從水處理部分103排出時(shí)流動通過內(nèi)管112的廢液的溫度。因此，流動通過內(nèi)管112的廢液被流動通過外管113的廢液冷卻。
圖3是圖2A所示的廢化學(xué)品部分106、廢水部分107、內(nèi)管112和外管113這些部分的示意剖面圖。如圖3所示，廢化學(xué)品部分106和廢水部分107包括有一坡度的廢化學(xué)品排放盤109和有另一坡度的廢水排放盤110。本文中，排放盤指一斜面板，該板將從各處理部分排出的廢液引導(dǎo)至內(nèi)管或外管，并且使廢液平穩(wěn)流入各管。或者，處理部分與雙管111直接相連，不提供排放盤。
對于雙管111的內(nèi)管112和外管113的形狀，管截面可以是圖4A所示的圓形，或者是圖4B所示的多邊形。管截面具有圖4A所示的圓形，但是，可以是橢圓形。此外，管截面是圖4B所示的四邊形；然而，不限于四邊形，可以是多邊形，如三角形或五邊形。
通過使溫度低于流過內(nèi)管112的廢液溫度的廢液流動通過外管113，可以冷卻流動通過內(nèi)管112的廢液。此外，采用雙管結(jié)構(gòu)，可以降低諸如有害化學(xué)品泄漏的危險(xiǎn)。
此外，將通常經(jīng)過處理而不再被利用的廢水再利用為冷卻介質(zhì)，這樣可以降低冷卻的成本。此外，由于不必重新提供再利用廢水的冷卻裝置，可以有效和安全地收集和處理高溫的廢化學(xué)品，而不會增加成本。此外，通過使廢水流動通過雙管的外管來冷卻在內(nèi)管流動的廢液，可以取消不經(jīng)濟(jì)地延長冷卻用管道的要求。
實(shí)施方式2實(shí)施方式2描述了在廢液處理設(shè)備和廢液處理方法中在外管提供濃度感應(yīng)器的情況，其中，使溫度低于流過內(nèi)管的廢液溫度的廢液流動通過外管。
在雙管結(jié)構(gòu)的外管113的內(nèi)壁上提供至少一個濃度感應(yīng)器114(圖5A和5B)。圖5B是圖5A的剖面圖。在處理設(shè)備中，濃度感應(yīng)器114能檢測流動通過外管113的廢液，并觀察內(nèi)管112中流動的廢液是否混入在外管113中流動的廢液中。濃度感應(yīng)器114是一種能報(bào)警的器件，例如，根據(jù)內(nèi)管112中流動的廢化學(xué)品的組成發(fā)出警報(bào)。例如，可以在內(nèi)管112的外壁上或在外管113的內(nèi)壁上提供濃度感應(yīng)器114，只要濃度感應(yīng)器114能觀察到流過外管113中的廢液的濃度。濃度感應(yīng)器114需要固定，以免隨廢液流動。
對于濃度感應(yīng)器114響應(yīng)的濃度值，考慮到在處理期間可能的混合量，確定一個參考濃度值。在流經(jīng)外管113的廢液中檢測到在內(nèi)管112中流動的廢液所包含的化學(xué)品的濃度，且該濃度等于或大于參考濃度值時(shí)，就可以判斷廢化學(xué)品從內(nèi)管112發(fā)生了泄漏，并對此發(fā)出警報(bào)。
在雙管結(jié)構(gòu)情況中，由于不能從外部觀察到從內(nèi)管的泄漏，因此所述響應(yīng)很可能是滯后的。但是，如同在這種實(shí)施方式中那樣，通過提供濃度感應(yīng)器，可以較早檢測到泄漏。此外，在本發(fā)明的雙管結(jié)構(gòu)中，因?yàn)橐后w還流動通過外管，通過在外管的下部只提供一個用于液相的濃度感應(yīng)器，就能觀察到整個管道的泄漏情況。
注意到，這種實(shí)施方式可以與其他實(shí)施方式自由組合。
實(shí)施方式3實(shí)施方式3結(jié)合附圖描述了一種間歇型處理設(shè)備。
圖6A和6B示出實(shí)施本發(fā)明的廢液處理方法的間歇型處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)。圖6B是圖6A的示意俯視圖。
間歇型處理設(shè)備包括工作站201、化學(xué)液體處理槽205、水處理槽206、包括臂卡具204的自動裝置203、廢液處理部分207。臂卡具204由自動裝置203控制。
首先，將處理對象202移入工作站201，使用臂卡具204，移入化學(xué)液體處理槽205。然后，在化學(xué)液體處理槽205中，使用化學(xué)液體對處理對象202進(jìn)行處理。例如，對于濕蝕刻設(shè)備，在化學(xué)液體處理槽205內(nèi)，用氟化酸、草酸等對處理對象202進(jìn)行蝕刻處理。在剝膜(剝離)設(shè)備中，化學(xué)液體處理槽205例如有兩個化學(xué)液體處理槽，即剝膜(剝離)溶液槽和異丙醇(IPA)槽，在這兩個化學(xué)液體處理槽的每個槽中對處理對象202進(jìn)行剝膜(剝離)處理。
接下來，用臂卡具204，將處理對象202移入水處理槽206中。在水處理槽206中，對已經(jīng)在化學(xué)液體處理槽205中進(jìn)行過處理的處理對象202進(jìn)行諸如清洗的處理。
將一定量的控制了溫度的化學(xué)液體持續(xù)供給化學(xué)液體處理槽205，并且化學(xué)液體始終溢流。當(dāng)轉(zhuǎn)入了處理對象202時(shí)，有一定體積的處理對象202的化學(xué)液體進(jìn)一步溢流。向水處理槽206持續(xù)供給一定量的水，使水始終處于溢流狀態(tài)。當(dāng)轉(zhuǎn)入了處理對象202時(shí)，含有一定體積的處理對象202的水進(jìn)一步溢流。
從化學(xué)液體處理槽205溢流的廢化學(xué)品以及從水處理槽206溢流的廢水流入廢液處理部分207。類似于圖2A，廢液處理部分207具有廢化學(xué)品部分和廢水部分。與實(shí)施方式1類似，從化學(xué)液體處理槽205溢流的廢化學(xué)品通過廢化學(xué)品部分后流入雙管的內(nèi)管，而從水處理槽206溢流的廢水通過廢水處理部分后流入雙管的外管。
這種實(shí)施方式中，溫度低于流經(jīng)內(nèi)管的廢液溫度的廢液流動通過外管。因此，流經(jīng)內(nèi)管的廢液被流經(jīng)外管的廢液冷卻。此外，由于這種雙管結(jié)構(gòu)，可以降低諸如有害化學(xué)品泄漏的危險(xiǎn)。
此外，將通常經(jīng)過處理而不再被利用的廢水再利用為冷卻介質(zhì)，這樣可以降低冷卻的成本。此外，由于不必重新提供再利用廢水的冷卻裝置，可以有效和安全地收集和處理高溫的廢化學(xué)品，而不會增加成本。此外，通過使廢水流動通過雙管的外管來冷卻在內(nèi)管流動的廢液，可以取消不經(jīng)濟(jì)地延長冷卻用管道的要求。
實(shí)施方式4實(shí)施方式4結(jié)合附圖描述一種單晶片設(shè)備。
圖7所示是一種作為單晶片設(shè)備的一個例子的旋涂設(shè)備的結(jié)構(gòu)，該設(shè)備采用了本發(fā)明的廢液處理方法。
這種實(shí)施方式的旋涂設(shè)備上有水供應(yīng)部分301和化學(xué)液體供應(yīng)部分302，它們分別有用來排放水的水排放噴嘴303和用來排放化學(xué)液體的化學(xué)液體排放噴嘴304。化學(xué)液體供應(yīng)部分302可以有溫度控制功能，以控制化學(xué)液體的溫度。
首先，將處理對象305定位于旋轉(zhuǎn)臺306上，該旋轉(zhuǎn)臺在一杯形物(也稱作處理部分)307中。這種實(shí)施方式中，所述杯形物307對應(yīng)于化學(xué)液體處理部分和水處理部分。接下來，將化學(xué)液體排放噴嘴304排出的化學(xué)液體施涂在處理對象305上，同時(shí)，位于旋轉(zhuǎn)臺306上的處理對象305以最佳旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。在處理對象上進(jìn)行施涂后，此步驟產(chǎn)生的廢化學(xué)品流入內(nèi)管312。
接下來，使用來自水排放噴嘴303的水對處理對象進(jìn)行清洗。然后，該清洗處理產(chǎn)生的廢水流入外管311。
這種實(shí)施方式中，與上面所述的實(shí)施方式不同，化學(xué)液體和水的處理都可以在杯形物307中進(jìn)行。因此，提供轉(zhuǎn)換閥308，分別使廢化學(xué)品流入雙管的內(nèi)管312，廢水流入雙管的外管311。
圖8A和8B是圖7中的轉(zhuǎn)換閥的示意俯視圖。在從化學(xué)液體排放噴嘴304排出化學(xué)液體，然后使廢化學(xué)品流入內(nèi)管312的情況中，將轉(zhuǎn)換閥308切換到外側(cè)，以關(guān)閉外管311的進(jìn)口，打開內(nèi)管312的進(jìn)口，如圖8A所示。在從水排放噴嘴303排出水，然后使廢水流入外管311的情況中，將轉(zhuǎn)換閥308切換到內(nèi)側(cè)，以關(guān)閉內(nèi)管312的進(jìn)口，打開外管311的進(jìn)口，如圖8B所示。因此，廢化學(xué)品流入內(nèi)管312，廢水流入外管311。
與上面所述的實(shí)施方式不同，在這種實(shí)施方式中，廢化學(xué)品和廢水在不同時(shí)間各自流入雙管。因此，在廢化學(xué)品通過內(nèi)管的同時(shí)，廢水不通過外管，反之亦然。因此，存在廢化學(xué)品不被冷卻的可能。為解決此問題，如圖7所示，在本實(shí)施方式的旋涂設(shè)備中，在外管311的內(nèi)側(cè)提供外管槽閥309，在內(nèi)管312的內(nèi)側(cè)提供內(nèi)管槽閥310。
這種實(shí)施方式中，當(dāng)化學(xué)液體從化學(xué)液體排放噴嘴304排出時(shí)，轉(zhuǎn)換閥308切換到外側(cè)，使廢化學(xué)品流入內(nèi)管312。然后，內(nèi)管槽閥310關(guān)閉，暫時(shí)儲存廢化學(xué)品。當(dāng)水從水排放噴嘴303排出時(shí)，轉(zhuǎn)換閥308切換到內(nèi)側(cè)，使廢水流入外管311。然后，外管槽閥309關(guān)閉，暫時(shí)儲存廢水。之后，同時(shí)打開外管槽閥309和內(nèi)管槽閥310，對廢液進(jìn)行處理。利用外管槽閥309和內(nèi)管槽閥310，可以對廢化學(xué)品和廢水進(jìn)行有效冷卻。
外管槽閥309和內(nèi)管槽閥310不必都提供，可以提供其中任意一個。這種情況下，制造這樣的結(jié)構(gòu)，使廢液儲存在管道的端部，管道上有槽閥。例如，在只有外管槽閥309的情況下，來自水排放噴嘴303的廢水儲存在外管311中，當(dāng)從化學(xué)品排放噴嘴304產(chǎn)生的廢化學(xué)品流入內(nèi)管312時(shí)，外管槽閥309打開。在只有內(nèi)管槽閥310的情況中，來自化學(xué)液體排放噴嘴304的廢化學(xué)品儲存在內(nèi)管312中，當(dāng)從水排放噴嘴303產(chǎn)生的廢水流入外管311時(shí)，內(nèi)管槽閥310打開?；蛘?，可以同時(shí)提供外管槽閥309和內(nèi)管槽閥310，但可以只使用其中一個槽閥。
這種實(shí)施方式中，溫度低于流過內(nèi)管的廢液溫度的廢液流動通過外管。因此，流經(jīng)內(nèi)管的廢液可以被流經(jīng)外管的廢液冷卻。此外，采用雙管結(jié)構(gòu)，可以降低諸如有害化學(xué)品泄漏的危險(xiǎn)。
此外，將通常經(jīng)過處理而不再被利用的廢水再利用為冷卻介質(zhì)，這樣可以降低冷卻的成本。此外，由于不必重新提供再利用廢水的冷卻裝置，可以有效和安全地收集和處理高溫的廢化學(xué)品，而不會增加成本。此外，通過使廢水流動通過雙管的外管來冷卻在內(nèi)管流動的廢液，可以取消不經(jīng)濟(jì)地延長冷卻用管道的要求。
本申請基于2005年9月28日提交的日本專利申請No.2005-281869，該申請的內(nèi)容參考結(jié)合于本文。
權(quán)利要求
1.一種廢液處理方法，該方法包括下面的步驟第一廢液流動通過雙管的內(nèi)管；當(dāng)?shù)谝粡U液流動通過內(nèi)管時(shí)，使溫度低于第一廢液的第二廢液在雙管的內(nèi)管外壁與外管內(nèi)壁之間流動，其中，所述內(nèi)管在外管的內(nèi)部。
2.一種廢液處理方法，該方法包括下面的步驟將第一處理液體從第一處理液體供應(yīng)部分供給第一處理部分；將第二處理液體從第二處理液體供應(yīng)部分供給第二處理部分；使從第一處理部分排出的第一廢液流動通過第一廢液部分，至位于雙管內(nèi)部的內(nèi)管；以及使從第二處理部分排出的第二廢液流動通過第二廢液部分，至位于雙管的內(nèi)管外壁與外管內(nèi)壁之間的部分。
3.如權(quán)利要求2所述的廢液處理方法，其特征在于，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥，使第一廢液流入內(nèi)管；使用第二轉(zhuǎn)換閥，使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動；以及使用內(nèi)管中的閥，儲存第一廢液。
4.如權(quán)利要求2所述的廢液處理方法，其特征在于，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥，使第一廢液流入內(nèi)管；使用第二轉(zhuǎn)換閥，使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動；以及使用在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間的閥，儲存第二廢液。
5.如權(quán)利要求2所述的廢液處理方法，其特征在于，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥，使第一廢液流入內(nèi)管；使用第二轉(zhuǎn)換閥，使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動；使用內(nèi)管中的第一閥，儲存第一廢液；以及使用在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間的第二閥，儲存第二廢液。
6.如權(quán)利要求2所述的廢液處理方法，其特征在于，在第一處理液體供應(yīng)部分對第一處理液體進(jìn)行溫度控制。
7.如權(quán)利要求2所述的廢液處理方法，其特征在于，由在外管內(nèi)壁或在內(nèi)管外壁上的濃度感應(yīng)器檢測包含在第二廢液中的第一處理液體的濃度。
8.一種廢液處理方法，該方法包括下面的步驟將第一處理液體從第一處理液體供應(yīng)部分供給第一處理部分；將第二處理液體從第二處理液體供應(yīng)部分供給第二處理部分；使從第一處理部分排出的第一廢液流動通過第一廢液部分，至包含在雙管內(nèi)且位于雙管內(nèi)側(cè)的內(nèi)管；使從第二處理部分排出的第二廢液流動通過第二廢液部分，至位于雙管的內(nèi)管外壁與外管內(nèi)壁之間的部分，其中，第二廢液開始從第二處理部分排出時(shí)的溫度低于第一廢液，第二廢液包含第一處理液體，所述第一處理液體被第二處理液體中包含的溶劑稀釋。
9.如權(quán)利要求8所述的廢液處理方法，其特征在于，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥使第一廢液流入內(nèi)管，通過使用第二轉(zhuǎn)換閥使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動，以及通過使用在內(nèi)管中的閥來儲存第一廢液。
10.如權(quán)利要求8所述的廢液處理方法，其特征在于，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥使第一廢液流入內(nèi)管，通過使用第二轉(zhuǎn)換閥使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動，通過使用位于內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間的閥來儲存第二廢液。
11.如權(quán)利要求8所述的廢液處理方法，其特征在于，通過使用第一轉(zhuǎn)換閥使第一廢液流入內(nèi)管，通過使用第二轉(zhuǎn)換閥使第二廢液在內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間流動，通過使用位于內(nèi)管中的第一閥來儲存第一廢液，以及通過使用位于內(nèi)管的外壁與外管的內(nèi)壁之間的第二閥來儲存第二廢液。
12.如權(quán)利要求8所述的廢液處理方法，其特征在于，在第一處理液體供應(yīng)部分對第一處理液體進(jìn)行溫度控制。
13.如權(quán)利要求8所述的廢液處理方法，其特征在于，由在外管內(nèi)壁或在內(nèi)管外壁上的濃度感應(yīng)器監(jiān)測包含在第二廢液中的第一處理液體的濃度。
14.一種處理設(shè)備，包括第一處理部分；第二處理部分；向第一處理部分供應(yīng)第一處理液體的第一處理液體供應(yīng)部分；向第二處理部分供應(yīng)第二處理液體的第二處理液體供應(yīng)部分；對從第一處理部分排出的第一廢液進(jìn)行處理的第一廢液部分；對從第二處理部分排出的第二廢液進(jìn)行處理的第二廢液部分；以及包括內(nèi)管和外管的雙管，所述內(nèi)管與第一廢液部分相連，并且第一廢液流動通過該內(nèi)管；所述外管與第二廢液部分相連，并位于內(nèi)管外部，第二廢液流動通過該外管。
15.如權(quán)利要求14所述的處理設(shè)備，其特征在于，第一處理液體供應(yīng)部分包括一個溫度控制部分。
16.如權(quán)利要求14所述的處理設(shè)備，其特征在于，在外管的內(nèi)壁或內(nèi)管的外壁上有濃度感應(yīng)器。
17.一種處理設(shè)備，包括第一處理部分；第二處理部分；向第一處理部分供應(yīng)第一處理液體的第一處理液體供應(yīng)部分；向第二處理部分供應(yīng)第二處理液體的第二處理液體供應(yīng)部分；對從第一處理部分排出的第一廢液進(jìn)行處理的第一廢液部分；對從第二處理部分排出的第二廢液進(jìn)行處理的第二廢液部分；以及包括內(nèi)管和外管的雙管，所述內(nèi)管與第一廢液部分相連，并且第一廢液流動通過該內(nèi)管，所述外管與第二廢液部分相連，并位于內(nèi)管外部，第二廢液流動通過該外管；第二廢液開始從第二處理部分排出時(shí)的溫度低于第一廢液，第二廢液包含第一處理液體，所述第一處理液體被第二處理液體中包含的溶劑稀釋。
18.如權(quán)利要求17所述的處理設(shè)備，其特征在于，第一處理液體供應(yīng)部分包括一個溫度控制部分。
19.如權(quán)利要求17所述的處理設(shè)備，其特征在于，在外管的內(nèi)壁或內(nèi)管的外壁上有濃度感應(yīng)器。
20.一種處理設(shè)備，包括處理部分；向處理部分供應(yīng)第一處理液體的第一處理液體供應(yīng)部分；向處理部分供應(yīng)第二處理液體的第二處理液體供應(yīng)部分；以及包括內(nèi)管和外管的雙管，所述內(nèi)管與處理部分相連，從處理部分排出的第一廢液流動通過該內(nèi)管，所述外管與處理部分相連，并位于內(nèi)管外部，第二廢液流動通過該外管。
21.如權(quán)利要求20所述的處理設(shè)備，其特征在于，在處理部分與雙管之間有第一轉(zhuǎn)換閥和第二轉(zhuǎn)換閥，并且雙管的外管和內(nèi)管中至少一個有一個閥。
22.如權(quán)利要求20所述的處理設(shè)備，其特征在于，第一處理液體供應(yīng)部分包括一個溫度控制部分。
23.如權(quán)利要求20所述的處理設(shè)備，其特征在于，在外管的內(nèi)壁或內(nèi)管的外壁上有濃度感應(yīng)器。
24.一種處理設(shè)備，包括處理部分；向處理部分供應(yīng)第一處理液體的第一處理液體供應(yīng)部分；向處理部分供應(yīng)第二處理液體的第二處理液體供應(yīng)部分；以及包括內(nèi)管和外管的雙管，所述內(nèi)管與處理部分相連，從處理部分排出的第一廢液流動通過該內(nèi)管，所述外管與處理部分相連，并位于內(nèi)管外部，從處理部分排出的第二廢液流動通過該外管，第二廢液開始從第二處理部分排出時(shí)的溫度低于第一廢液，第二廢液包含第一處理液體，所述第一處理液體被第二處理液體中包含的溶劑稀釋。
25.如權(quán)利要求24所述的處理設(shè)備，其特征在于，在處理部分與雙管之間有第一轉(zhuǎn)換閥和第二轉(zhuǎn)換閥，雙管的外管和內(nèi)管中至少一個有一個閥。
26.如權(quán)利要求24所述的處理設(shè)備，其特征在于，第一處理液體供應(yīng)部分包括一個溫度控制部分。
27.如權(quán)利要求24所述的處理設(shè)備，其特征在于，在外管的內(nèi)壁或內(nèi)管的外壁上有濃度感應(yīng)器。
全文摘要
本發(fā)明目的是在對廢液進(jìn)行冷卻時(shí)，提供通過冷卻來安全處理廢液的機(jī)制，且不增加成本，不使用大的設(shè)備。提出廢液的處理方法，該方法中，將化學(xué)液體從化學(xué)液體供應(yīng)部分供給化學(xué)處理部分；水從水供應(yīng)部分供給水處理部分；使從化學(xué)液體處理部分排出的第一廢液通過廢化學(xué)品部分流入內(nèi)管，同時(shí)從水處理部分排出的第二廢液流經(jīng)廢水處理部分進(jìn)入外管，所述外管在內(nèi)管的外部；第二廢液的溫度低于第一廢液的溫度。
文檔編號C02F1/00GK1939841SQ20061014219
公開日2007年4月4日 申請日期2006年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月28日
發(fā)明者立石文則 申請人:株式會社半導(dǎo)體能源研究所