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硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):10053756閱讀:620來源:國(guó)知局
硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅烷的制備領(lǐng)域,特指一種新型的硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅烷,又名甲硅烷、四氫化硅,分子式SiH4,SiH4是強(qiáng)還原性物質(zhì),與氧化性物質(zhì)、堿或重金屬鹽類溶液接觸,會(huì)顯示出很強(qiáng)的活潑性,屬易燃、易爆的危險(xiǎn)性氣體。硅烷是生產(chǎn)單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列硅化合物的基本原料,廣泛應(yīng)用電子及半導(dǎo)體工業(yè)中。
[0003]傳統(tǒng)的硅烷生產(chǎn)塔內(nèi)部并未設(shè)置冷凝器和再沸器,使得反應(yīng)效率低下,能耗高、原料利用率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,安全可靠,反應(yīng)效率高的新型的硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng)。
[0005]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0006]硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng),包括塔身,還包括
[0007]冷凝器,其用于對(duì)硅烷提純塔頂部的氣體進(jìn)行降溫并冷凝;冷凝器和再沸器通過管路連接,管路內(nèi)充滿制冷劑;
[0008]再沸器,其用于對(duì)硅烷提純塔的底部進(jìn)行加熱,使得硅烷提純塔內(nèi)的反應(yīng)活躍;再沸器和低溫冷凍系統(tǒng)通過管路連接;
[0009]低溫冷凍系統(tǒng),其用于對(duì)制冷劑進(jìn)行降溫,低溫冷凍系統(tǒng)和增壓栗通過管路連接;
[0010]增壓栗,其用于對(duì)制冷劑進(jìn)行增壓,增壓栗通過管路與冷凝器連接。
[0011]所述制冷劑為氟利昂。
[0012]所述冷凝器和再沸器均包括殼體,殼體內(nèi)設(shè)置有內(nèi)膽,內(nèi)膽將殼體內(nèi)腔分隔為制冷劑腔和交換腔,制冷劑腔上下兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)制冷劑管路或出制冷劑管路;所述交換腔的上下兩側(cè)分別通過管路連通至硅烷提純塔內(nèi)。
[0013]本實(shí)用新型相比現(xiàn)有技術(shù)突出且有益的技術(shù)效果是:
[0014]1、本實(shí)用新型通過冷凝器和再沸器通過管路連接,管路內(nèi)充滿制冷劑,使得冷凝器冷凝后的制冷劑,通至硅烷提純塔內(nèi)后升溫,高溫的制冷劑通過管路與再沸器連接,從而讓能源充分利用。
[0015]2、本實(shí)用新型通過再沸器,其用于對(duì)硅烷提純塔的底部進(jìn)行加熱,使得硅烷提純塔內(nèi)的反應(yīng)活躍,使得硅烷提純時(shí)反應(yīng)效率高,充分利用了原材料,符合綠色環(huán)保的理念。
[0016]3、制冷劑增壓栗采用單氣控非平衡氣體分配閥來實(shí)現(xiàn)栗的往復(fù)運(yùn)動(dòng),該裝置用于制冷行業(yè)生產(chǎn)中需要較遠(yuǎn)距離輸送的冷媒中央輸送增壓站,可節(jié)省生產(chǎn)線上冷媒搬運(yùn)、換儲(chǔ)氣罐環(huán)節(jié),節(jié)約人力,減少冷媒浪費(fèi)。
【附圖說明】
[0017]圖1是硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng)。
[0018]1-冷凝器;2_管路;3_增壓栗;4_低溫冷卻系統(tǒng);5_管路;6_再沸器;7_硅烷提純塔。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖以具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0020]硅烷提純塔7塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng),包括塔身,還包括
[0021]冷凝器1,其用于對(duì)硅烷提純塔7頂部的氣體進(jìn)行降溫并冷凝;冷凝器1和再沸器6通過管路5連接,管路5內(nèi)充滿制冷劑;
[0022]再沸器6,其用于對(duì)硅烷提純塔7的底部進(jìn)行加熱,使得硅烷提純塔7內(nèi)的反應(yīng)活躍;再沸器6和低溫冷凍系統(tǒng)4通過管路5連接;
[0023]低溫冷凍系統(tǒng)4,其用于對(duì)制冷劑進(jìn)行降溫,低溫冷凍系統(tǒng)4和增壓栗3通過管路5連接;
[0024]增壓栗3,其用于對(duì)制冷劑進(jìn)行增壓,增壓栗3通過管路5與冷凝器1連接。
[0025]所述制冷劑為氟利昂。
[0026]所述冷凝器1和再沸器6均包括殼體,殼體內(nèi)設(shè)置有內(nèi)膽,內(nèi)膽將殼體內(nèi)腔分隔為制冷劑腔和交換腔,制冷劑腔上下兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)制冷劑管路或出制冷劑管路;所述交換腔的上下兩側(cè)分別通過管路2連通至硅烷提純塔內(nèi)。
[0027]本實(shí)用新型有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,安全可靠,反應(yīng)效率高的特點(diǎn)。
[0028]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng),包括塔身,其特征在于,還包括 冷凝器,其用于對(duì)硅烷提純塔頂部的氣體進(jìn)行降溫并冷凝;冷凝器和再沸器通過管路連接,管路內(nèi)充滿制冷劑; 再沸器,其用于對(duì)硅烷提純塔的底部進(jìn)行加熱,使得硅烷提純塔內(nèi)的反應(yīng)活躍;再沸器和低溫冷凍系統(tǒng)通過管路連接; 低溫冷凍系統(tǒng),其用于對(duì)制冷劑進(jìn)行降溫,低溫冷凍系統(tǒng)和增壓栗通過管路連接; 增壓栗,其用于對(duì)制冷劑進(jìn)行增壓,增壓栗通過管路與冷凝器連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng),其特征在于,所述制冷劑為氟利昂。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng),其特征在于,所述冷凝器和再沸器均包括殼體,殼體內(nèi)設(shè)置有內(nèi)膽,內(nèi)膽將殼體內(nèi)腔分隔為制冷劑腔和交換腔,制冷劑腔上下兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)制冷劑管路或出制冷劑管路;所述交換腔的上下兩側(cè)分別通過管路連通至硅烷提純塔內(nèi)。
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于硅烷制備領(lǐng)域,特指一種新型的硅烷提純塔塔頂冷凍和再沸器加熱系統(tǒng),包括塔身,還包括冷凝器,其用于對(duì)硅烷提純塔頂部的氣體進(jìn)行降溫并冷凝;冷凝器和再沸器通過管路連接,管路內(nèi)充滿制冷劑;再沸器,其用于對(duì)硅烷提純塔的底部進(jìn)行加熱,使得硅烷提純塔內(nèi)的反應(yīng)活躍;再沸器和低溫冷凍系統(tǒng)通過管路連接;低溫冷凍系統(tǒng),其用于對(duì)制冷劑進(jìn)行降溫,低溫冷凍系統(tǒng)和增壓泵通過管路連接;增壓泵,其用于對(duì)制冷劑進(jìn)行增壓,增壓泵通過管路與冷凝器連接;采用此結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了反應(yīng)物反應(yīng)效率高,原材料充分的利用,符合綠色環(huán)保的理念。
【IPC分類】F25B41/00
【公開號(hào)】CN204963317
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520678023
【發(fā)明人】陶剛義
【申請(qǐng)人】?jī)?nèi)蒙古興洋新材料科技有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請(qǐng)日】2015年9月1日
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