一種全閉環(huán)溫度控制爐及其溫度控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種全閉環(huán)溫度控制爐，包括可調(diào)節(jié)溫度的上爐膽和下爐膽，上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)有用于輸送硅片的輸送帶，上爐膽內(nèi)設(shè)有用于加熱上爐膽溫區(qū)溫度的上加熱裝置和用于降低上爐膽溫區(qū)溫度的上降溫裝置，上爐膽內(nèi)還設(shè)有用于感應(yīng)控制上爐膽溫區(qū)溫度的上溫度感應(yīng)控制組件，下爐膽內(nèi)設(shè)有用于加熱下爐膽溫區(qū)溫度的下加熱裝置和用于降低下爐膽溫區(qū)溫度的下降溫裝置，下爐膽內(nèi)還設(shè)有用于感應(yīng)控制下爐膽溫區(qū)溫度的下溫度感應(yīng)控制組件。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、可以確保每個(gè)燒結(jié)的溫區(qū)溫度差平衡，控制在一定的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)。
【專利說明】
一種全閉環(huán)溫度控制爐及其溫度控制方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及太陽能硅片燒結(jié)設(shè)備，特別涉及一種全閉環(huán)溫度控制爐。【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池主要由硅片構(gòu)成，在高純度的硅片上形成半導(dǎo)體P-N結(jié)，加工過程包括清洗、烘干、擴(kuò)散、刻蝕、噴涂、印刷和燒結(jié)。
[0003]目前使用的太陽能硅片燒結(jié)爐，一般都設(shè)有多個(gè)溫區(qū)，每個(gè)溫區(qū)設(shè)有加熱管和溫度控制裝置，用來維持各個(gè)溫區(qū)的溫度恒定，但是由于溫區(qū)各個(gè)位置的溫度不一致，很難保證溫區(qū)的溫度。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可以確保每個(gè)燒結(jié)的溫區(qū)溫度平衡的全閉環(huán)溫度控制爐。
[0005]為解決現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本發(fā)明提供的技術(shù)方案是:一種全閉環(huán)溫度控制爐， 包括可調(diào)節(jié)溫度的上爐膽和下爐膽，所述上爐膽和所述下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在所述硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)有用于輸送硅片的輸送帶，所述上爐膽內(nèi)設(shè)有用于加熱上爐膽溫區(qū)溫度的上加熱裝置和用于降低上爐膽溫區(qū)溫度的上降溫裝置， 所述上爐膽內(nèi)還設(shè)有用于感應(yīng)控制所述上爐膽溫區(qū)溫度的上溫度感應(yīng)控制組件，所述下爐膽內(nèi)設(shè)有用于加熱下爐膽溫區(qū)溫度的下加熱裝置和用于降低下爐膽溫區(qū)溫度的下降溫裝置，所述下爐膽內(nèi)還設(shè)有用于感應(yīng)控制下爐膽溫區(qū)溫度的下溫度感應(yīng)控制組件。
[0006]作為本發(fā)明全閉環(huán)溫度控制爐的一種改進(jìn)，所述上爐膽溫區(qū)的溫度與所述下爐膽溫區(qū)之間形成一個(gè)平衡穩(wěn)定的溫度差。
[0007]作為本發(fā)明全閉環(huán)溫度控制爐的一種改進(jìn)，所述上爐膽溫區(qū)的溫度與所述下爐膽溫區(qū)之間形成的溫度差為小于300°C。
[0008]作為本發(fā)明全閉環(huán)溫度控制爐的一種改進(jìn)，所述上加熱裝置包括至少一根橫向安裝在所述上爐膽溫區(qū)的上發(fā)熱管，所述上發(fā)熱管的電源連接線上設(shè)置有用于監(jiān)控上發(fā)熱管工作狀態(tài)的上監(jiān)控顯示器，所述上監(jiān)控顯示器不能顯示亮光時(shí)，所述上發(fā)熱管損壞，可從所述上爐膽溫區(qū)的位置取下更換；
[0009]所述上降溫裝置包括至少一根連通與所述上爐膽溫區(qū)的上吹風(fēng)管道，所述上吹風(fēng)管道的進(jìn)氣口伸出所述上爐膽外。
[0010]作為本發(fā)明全閉環(huán)溫度控制爐的一種改進(jìn)，所述上爐膽溫區(qū)內(nèi)設(shè)有一呈U形的上透氣棉罩，所述上爐膽溫區(qū)的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有上實(shí)心保溫棉，所述上吹風(fēng)管道出風(fēng)口伸入所述上透氣棉罩內(nèi)，所述上吹風(fēng)管道輸送冷卻風(fēng)時(shí)，由冷卻風(fēng)充滿保溫棉與透氣棉之間的密閉空間，并形成一個(gè)密閉風(fēng)腔，由于透氣棉是平面結(jié)構(gòu)，因此冷卻風(fēng)在風(fēng)腔壓力下透過透氣棉后，會(huì)在爐膽內(nèi)成為具有流向的平面冷卻風(fēng)流，從而能對爐腔平衡降溫。
[0011]作為本發(fā)明全閉環(huán)溫度控制爐的一種改進(jìn)，所述上溫度感應(yīng)控制組件包括若干個(gè)上溫度熱電偶，所述上溫度熱電偶的感溫探頭伸入所述上爐膽溫區(qū)內(nèi)，所述上溫度熱電偶與溫度控制器連接。
[0012]作為本發(fā)明全閉環(huán)溫度控制爐的一種改進(jìn)，所述下加熱裝置包括至少一根橫向安裝在所述下爐膽溫區(qū)的下發(fā)熱管，所述下發(fā)熱管的電源連接線上設(shè)置有用于監(jiān)控下發(fā)熱管工作狀態(tài)的下監(jiān)控顯示器，所述下監(jiān)控顯示器不能顯示亮光時(shí)，所述下發(fā)熱管損壞，可從所述下爐膽溫區(qū)的位置取下更換；
[0013]所述下降溫裝置包括至少一根連通與所述下爐膽溫區(qū)的下吹風(fēng)管道，所述下吹風(fēng)管道的進(jìn)氣口伸出所述下爐膽外。
[0014]作為本發(fā)明全閉環(huán)溫度控制爐的一種改進(jìn)，所述下爐膽溫區(qū)內(nèi)設(shè)有一呈U形的下透氣棉罩，所述下爐膽溫區(qū)的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有下實(shí)心保溫棉，所述下吹風(fēng)管道出風(fēng)口伸入所述下透氣棉罩內(nèi)，所述下吹風(fēng)管道輸送冷卻風(fēng)時(shí)，由冷卻風(fēng)充滿保溫棉與透氣棉之間的密閉空間，并形成一個(gè)密閉風(fēng)腔，由于透氣棉是平面結(jié)構(gòu)，因此冷卻風(fēng)在風(fēng)腔壓力下透過透氣棉后，會(huì)在爐膽內(nèi)成為具有流向的平面冷卻風(fēng)流，從而能對爐腔平衡降溫。
[0015]作為本發(fā)明全閉環(huán)溫度控制爐的一種改進(jìn)，所述下溫度感應(yīng)控制組件包括若干個(gè)下溫度熱電偶，所述下溫度熱電偶的感溫探頭伸入所述下爐膽溫區(qū)內(nèi)，所述下溫度熱電偶與溫度控制器連接。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:本發(fā)明采用了上爐膽和下爐膽，上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片的輸送帶；控制上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度之間的溫差，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè)穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為小于300°C ;本發(fā)明采用了透氣棉和實(shí)心保溫棉，可以使硅片輸送燒結(jié)空間處于一個(gè)密封的狀態(tài)，并且在溫區(qū)冷卻的時(shí)候可以緩慢控制冷卻，控制的溫度差更準(zhǔn)確，方便控制，可以忽略外界對硅片輸送燒結(jié)空間的影響。
[0017]本發(fā)明的另一目的是提供一種全閉環(huán)溫度控制爐的溫度控制方法，包括以下步驟:
[0018]A)預(yù)備上爐膽和下爐膽，將上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片的輸送帶；
[0019]B)在上爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)上爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測上爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，在下爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)下爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測下爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，
[0020]C)控制上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè)穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為小于300°C ;
[0021]D)在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)內(nèi)安裝一個(gè)可以降低冷卻風(fēng)的吹風(fēng)速度的透氣棉； 在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)的側(cè)壁上安裝可以保溫隔熱的實(shí)心保溫棉；[〇〇22] E)將上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度差控制在小于300°C時(shí)，硅片通過輸送鏈輸送至硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)。
[0023]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:本發(fā)明采用了上爐膽和下爐膽，上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片的輸送帶；控制上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度之間的溫差，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè)穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為小于300°C;這種密封溫控的方式，可以忽略外界對硅片輸送燒結(jié)空間的影響。提高溫差的穩(wěn)定性，可以有效提高產(chǎn)品燒結(jié)質(zhì)量。本方法步驟簡單，方便實(shí)施?！靖綀D說明】
[0024]下面就根據(jù)附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明及其有益的技術(shù)效果作進(jìn)一步詳細(xì)的描述，其中:[〇〇25]圖1是本發(fā)明主視圖。
[0026]圖2是本發(fā)明剖視圖。
[0027]附圖標(biāo)記名稱:1、上爐膽2、下爐膽3、硅片輸送燒結(jié)空間4、硅片5、輸送帶6、上爐膽溫區(qū)7、上加熱裝置8、上降溫裝置9、下爐膽溫區(qū)10、下加熱裝置11、下降溫裝置12、上透氣棉罩13、上實(shí)心保溫棉14、上溫度熱電偶15、下透氣棉罩16、下實(shí)心保溫棉17、下溫度熱電偶 71、上發(fā)熱管72、電源連接線73、上監(jiān)控顯示器101、下發(fā)熱管102、監(jiān)控顯示器?！揪唧w實(shí)施方式】
[0028]下面就根據(jù)附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述，但本發(fā)明的實(shí)施方式不局限于此。
[0029]如圖1和圖2所示，一種全閉環(huán)溫度控制爐，包括可調(diào)節(jié)溫度的上爐膽1和下爐膽2， 上爐膽1和下爐膽2鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間3,在硅片輸送燒結(jié)空間3 內(nèi)設(shè)有用于輸送硅片4的輸送帶5,上爐膽1內(nèi)設(shè)有用于加熱上爐膽溫區(qū)6溫度的上加熱裝置 7和用于降低上爐膽溫區(qū)6溫度的上降溫裝置8,上爐膽1內(nèi)還設(shè)有用于感應(yīng)控制上爐膽溫區(qū) 6溫度的上溫度感應(yīng)控制組件，下爐膽2內(nèi)設(shè)有用于加熱下爐膽溫區(qū)9溫度的下加熱裝置10 和用于降低下爐膽溫區(qū)9溫度的下降溫裝置11，下爐膽1內(nèi)還設(shè)有用于感應(yīng)控制下爐膽溫區(qū) 9溫度的下溫度感應(yīng)控制組件。
[0030]優(yōu)選的，上爐膽溫區(qū)6的溫度與下爐膽溫區(qū)9之間形成一個(gè)平衡穩(wěn)定的溫度差。
[0031]優(yōu)選的，上爐膽溫區(qū)6的溫度與下爐膽溫區(qū)9之間形成的溫度差為小于300°C。
[0032]優(yōu)選的，上加熱裝置7包括至少一根橫向安裝在上爐膽溫區(qū)6的上發(fā)熱管71，上發(fā)熱管71的電源連接線72上設(shè)置有用于監(jiān)控上發(fā)熱管工作狀態(tài)的上監(jiān)控顯示器73,上監(jiān)控顯示器73不能顯示亮光時(shí)，上發(fā)熱管71損壞，可從上爐膽溫區(qū)6的位置取下更換；
[0033]上降溫裝置8包括至少一根連通與上爐膽溫區(qū)6的上吹風(fēng)管道，上吹風(fēng)管道的進(jìn)氣口 18伸出上爐膽1外。[〇〇34] 優(yōu)選的，上爐膽溫區(qū)6內(nèi)設(shè)有一呈U形的上透氣棉罩12,上爐膽溫區(qū)6的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有上實(shí)心保溫棉13,上吹風(fēng)管道出風(fēng)口伸入上透氣棉罩12內(nèi)，上吹風(fēng)管道輸送冷卻風(fēng)時(shí)，由冷卻風(fēng)充滿保溫棉與透氣棉之間的密閉空間，并形成一個(gè)密閉風(fēng)腔，由于透氣棉是平面結(jié)構(gòu)， 因此冷卻風(fēng)在風(fēng)腔壓力下透過透氣棉后，會(huì)在爐膽內(nèi)成為具有流向的平面冷卻風(fēng)流，從而能對爐腔平衡降溫。
[0035]優(yōu)選的，上溫度感應(yīng)控制組件包括若干個(gè)上溫度熱電偶14,上溫度熱電偶14的感溫探頭伸入上爐膽溫區(qū)6內(nèi)，上溫度熱電偶14與溫度控制器連接。
[0036]優(yōu)選的，下加熱裝置10包括至少一根橫向安裝在下爐膽溫區(qū)9的下發(fā)熱管101，下發(fā)熱管101的電源連接線72上設(shè)置有用于監(jiān)控下發(fā)熱管工作狀態(tài)的下監(jiān)控顯示器102,下監(jiān)控顯示器102不能顯示亮光時(shí)，下發(fā)熱管101損壞，可從下爐膽溫區(qū)9的位置取下更換；
[0037]下降溫裝置11包括至少一根連通與下爐膽溫區(qū)9的下吹風(fēng)管道，下吹風(fēng)管道的進(jìn)氣口 18伸出下爐膽2外。
[0038]優(yōu)選的，下爐膽溫區(qū)9內(nèi)設(shè)有一呈U形的下透氣棉罩15，下爐膽溫區(qū)9的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有下實(shí)心保溫棉16,下吹風(fēng)管道出風(fēng)口伸入下透氣棉罩15內(nèi)，下吹風(fēng)管道輸送冷卻風(fēng)時(shí)，由冷卻風(fēng)充滿保溫棉與透氣棉之間的密閉空間，并形成一個(gè)密閉風(fēng)腔，由于透氣棉是平面結(jié)構(gòu)， 因此冷卻風(fēng)在風(fēng)腔壓力下透過透氣棉后，會(huì)在爐膽內(nèi)成為具有流向的平面冷卻風(fēng)流，從而能對爐腔平衡降溫。
[0039]優(yōu)選的，下溫度感應(yīng)控制組件包括若干個(gè)下溫度熱電偶17，下溫度熱電偶17的感溫探頭伸入下爐膽溫區(qū)9內(nèi)，下溫度熱電偶17與溫度控制器連接。
[0040]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:本發(fā)明采用了上爐膽1和下爐膽2,上爐膽1和下爐膽2鏡像對接， 形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間3,在硅片輸送燒結(jié)空間3內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片4的輸送帶5;控制上爐膽溫區(qū)6的溫度與下爐膽溫區(qū)9之間的溫差，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè)穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為小于300°C;本發(fā)明采用了透氣棉和實(shí)心保溫棉，可以使硅片輸送燒結(jié)空間處于一個(gè)密封的狀態(tài)，并且在溫區(qū)冷卻的時(shí)候可以緩慢控制冷卻，控制的溫度差更準(zhǔn)確，方便控制，可以忽略外界對硅片輸送燒結(jié)空間3的影響。[0041 ]實(shí)施例一:一種全閉環(huán)溫度控制爐的溫度控制方法，包括以下步驟:
[0042]A)預(yù)備上爐膽和下爐膽，將上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片的輸送帶；
[0043]B)在上爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)上爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測上爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，在下爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)下爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測下爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，
[0044]C)控制上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè)穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為小于300°C ;
[0045]D)在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)內(nèi)安裝一個(gè)可以降低冷卻風(fēng)的吹風(fēng)速度的透氣棉； 在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)的側(cè)壁上安裝可以保溫隔熱的實(shí)心保溫棉；
[0046]E)將上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度差控制在300°C時(shí)，硅片通過輸送鏈輸送至硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)。
[0047]實(shí)施例二:一種全閉環(huán)溫度控制爐的溫度控制方法，包括以下步驟:
[0048]A)預(yù)備上爐膽和下爐膽，將上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片的輸送帶；
[0049]B)在上爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)上爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測上爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，在下爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)下爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測下爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，
[0050]C)控制上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè)穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為小于150°C ;
[0051]D)在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)內(nèi)安裝一個(gè)可以降低冷卻風(fēng)的吹風(fēng)速度的透氣棉； 在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)的側(cè)壁上安裝可以保溫隔熱的實(shí)心保溫棉；
[0052]E)將上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度差控制在150°C時(shí)，硅片通過輸送鏈輸送至硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)。
[0053] 實(shí)施例三:一種全閉環(huán)溫度控制爐的溫度控制方法，包括以下步驟:[〇〇54] A)預(yù)備上爐膽和下爐膽，將上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片的輸送帶；
[0055]B)在上爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)上爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測上爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，在下爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)下爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測下爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，
[0056]C)控制上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè)穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為50°C ;
[0057]D)在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)內(nèi)安裝一個(gè)可以降低冷卻風(fēng)的吹風(fēng)速度的透氣棉； 在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)的側(cè)壁上安裝可以保溫隔熱的實(shí)心保溫棉；[〇〇58] E)將上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度差控制在50°C時(shí)，硅片通過輸送鏈輸送至硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)。[〇〇59]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:本發(fā)明采用了上爐膽和下爐膽，上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片的輸送帶；控制上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度之間的溫差，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè)穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為小于300°C;這種密封溫控的方式，可以忽略外界對硅片輸送燒結(jié)空間的影響。提高溫差的穩(wěn)定性，可以有效提高產(chǎn)品燒結(jié)質(zhì)量。本方法步驟簡單，方便實(shí)施。
[0060]盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和結(jié)構(gòu)的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同范圍限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，包括可調(diào)節(jié)溫度的上爐膽和下爐膽，所述上爐 膽和所述下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié)空間，在所述硅片輸送燒結(jié)空間 內(nèi)設(shè)有用于輸送硅片的輸送帶，所述上爐膽內(nèi)設(shè)有用于加熱上爐膽溫區(qū)溫度的上加熱裝置 和用于降低上爐膽溫區(qū)溫度的上降溫裝置，所述上爐膽內(nèi)還設(shè)有用于感應(yīng)控制所述上爐膽 溫區(qū)溫度的上溫度感應(yīng)控制組件，所述下爐膽內(nèi)設(shè)有用于加熱下爐膽溫區(qū)溫度的下加熱裝 置和用于降低下爐膽溫區(qū)溫度的下降溫裝置，所述下爐膽內(nèi)還設(shè)有用于感應(yīng)控制下爐膽溫 區(qū)溫度的下溫度感應(yīng)控制組件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，所述上爐膽溫區(qū)的溫度與所 述下爐膽溫區(qū)之間形成一個(gè)平衡穩(wěn)定的溫度差。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，所述上爐膽溫區(qū)的溫度與所 述下爐膽溫區(qū)之間形成的溫度差為小于300°C。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，所述上加熱裝置包括至少一 根橫向安裝在所述上爐膽溫區(qū)的上發(fā)熱管，所述上發(fā)熱管的電源連接線上設(shè)置有用于監(jiān)控 上發(fā)熱管工作狀態(tài)的上監(jiān)控顯示器，所述上監(jiān)控顯示器不能顯示亮光時(shí)，所述上發(fā)熱管損 壞，可從所述上爐膽溫區(qū)的位置取下更換；所述上降溫裝置包括至少一根連通與所述上爐膽溫區(qū)的上吹風(fēng)管道，所述上吹風(fēng)管道 的進(jìn)氣口伸出所述上爐膽外。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，所述上爐膽溫區(qū)內(nèi)設(shè)有一呈 U形的上透氣棉罩，所述上爐膽溫區(qū)的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有上實(shí)心保溫棉，所述上吹風(fēng)管道出風(fēng)口伸 入所述上透氣棉罩內(nèi)，所述上吹風(fēng)管道輸送冷卻風(fēng)時(shí)，由冷卻風(fēng)充滿保溫棉與透氣棉之間 的密閉空間，并形成一個(gè)密閉風(fēng)腔，由于透氣棉是平面結(jié)構(gòu)，因此冷卻風(fēng)在風(fēng)腔壓力下透過 透氣棉后，會(huì)在爐膽內(nèi)成為具有流向的平面冷卻風(fēng)流，從而能對爐腔平衡降溫。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，所述上溫度感應(yīng)控制組件包 括若干個(gè)上溫度熱電偶，所述上溫度熱電偶的感溫探頭伸入所述上爐膽溫區(qū)內(nèi)，所述上溫 度熱電偶與溫度控制器連接。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，所述下加熱裝置包括至少一 根橫向安裝在所述下爐膽溫區(qū)的下發(fā)熱管，所述下發(fā)熱管的電源連接線上設(shè)置有用于監(jiān)控 下發(fā)熱管工作狀態(tài)的下監(jiān)控顯示器，所述下監(jiān)控顯示器不能顯示亮光時(shí)，所述下發(fā)熱管損 壞，可從所述下爐膽溫區(qū)的位置取下更換；所述下降溫裝置包括至少一根連通與所述下爐膽溫區(qū)的下吹風(fēng)管道，所述下吹風(fēng)管道 的進(jìn)氣口伸出所述下爐膽外。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，所述下爐膽溫區(qū)內(nèi)設(shè)有一呈 U形的下透氣棉罩，所述下爐膽溫區(qū)的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有下實(shí)心保溫棉，所述下吹風(fēng)管道出風(fēng)口伸 入所述下透氣棉罩內(nèi)，所述下吹風(fēng)管道輸送冷卻風(fēng)時(shí)，由冷卻風(fēng)充滿保溫棉與透氣棉之間 的密閉空間，并形成一個(gè)密閉風(fēng)腔，由于透氣棉是平面結(jié)構(gòu)，因此冷卻風(fēng)在風(fēng)腔壓力下透過 透氣棉后，會(huì)在爐膽內(nèi)成為具有流向的平面冷卻風(fēng)流，從而能對爐腔平衡降溫。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的全閉環(huán)溫度控制爐，其特征在于，所述下溫度感應(yīng)控制組件包 括若干個(gè)下溫度熱電偶，所述下溫度熱電偶的感溫探頭伸入所述下爐膽溫區(qū)內(nèi)，所述下溫 度熱電偶與溫度控制器連接。10.—種全閉環(huán)溫度控制爐的溫度控制方法，其特征在于，包括以下步驟:A)預(yù)備上爐膽和下爐膽，將上爐膽和下爐膽鏡像對接，形成一個(gè)密封的硅片輸送燒結(jié) 空間，在硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)設(shè)置用于輸送硅片的輸送帶；B)在上爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)上爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測上爐膽溫區(qū) 溫度的熱電偶，在下爐膽上安裝可以調(diào)節(jié)下爐膽溫區(qū)溫度的加熱裝置、冷卻裝置和檢測下 爐膽溫區(qū)溫度的熱電偶，C)控制上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度，使硅片輸送燒結(jié)空間的溫度保持一個(gè) 穩(wěn)定平衡的溫差值，該溫度差為小于300°C ;D)在上爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)內(nèi)安裝一個(gè)可以降低冷卻風(fēng)的吹風(fēng)速度的透氣棉；在上 爐膽溫區(qū)和下爐膽溫區(qū)的側(cè)壁上安裝可以保溫隔熱的實(shí)心保溫棉；E)將上爐膽溫區(qū)的溫度與下爐膽溫區(qū)的溫度差控制在小于300°C時(shí)，硅片通過輸送鏈 輸送至硅片輸送燒結(jié)空間內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)。
【文檔編號(hào)】F27B9/06GK106017076SQ201610543402
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年7月9日
【發(fā)明人】蘇金財(cái), 冼志軍, 王軍濤
【申請人】東莞市科隆威自動(dòng)化設(shè)備有限公司