腔室氣流控制系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種控制系統(tǒng)，特別涉及一種腔室氣流控制系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著對(duì)產(chǎn)品的微細(xì)化或高精細(xì)化的要求，以電子行業(yè)、電氣行業(yè)為首的很多的行業(yè)中，為了維持產(chǎn)品品質(zhì)，需要構(gòu)筑具有比一般環(huán)境更高等級(jí)的空氣潔凈度的制造環(huán)境。一般而言，將這樣的制造環(huán)境稱之為無(wú)塵室或無(wú)塵隔間等。
[0003]—般而言，在無(wú)塵隔間或無(wú)塵室中，稱之為FFU(Fan Filter Units:風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元KFFU開(kāi)啟會(huì)導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)的壓力增大，設(shè)備內(nèi)氣流向外部流動(dòng)，并且由于FFU可能品牌及數(shù)量等其他因素不同而導(dǎo)致不同腔室內(nèi)的氣壓不同，就會(huì)出現(xiàn)設(shè)備內(nèi)氣流流向其他腔室，從生產(chǎn)的角度來(lái)說(shuō)，不希望發(fā)生氣流中的粉塵等細(xì)小顆粒流入精密設(shè)備所處的腔室中，因?yàn)榉蹓m等細(xì)小顆會(huì)隨著氣流進(jìn)入精密設(shè)備中，對(duì)產(chǎn)品的品質(zhì)造成極大的風(fēng)險(xiǎn)。
[0004]其次生產(chǎn)過(guò)程中，精密的設(shè)備周圍通常周圍不僅一臺(tái)設(shè)備，氣流的流動(dòng)會(huì)受到許多設(shè)備處的FFU的影響，由于各設(shè)備的FFU獨(dú)立工作，相互間無(wú)反饋調(diào)節(jié)的功能，從而使得各個(gè)設(shè)備所處腔室內(nèi)的氣流的流向不可控性增大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠及時(shí)調(diào)整各腔室的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率，從而實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備所處的腔室中氣流的流向的腔室氣流控制系統(tǒng)。
[0006]本發(fā)明的另一目的在于提供一種上述腔室氣流控制系統(tǒng)的操作方法。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施方式提供如下技術(shù)方案:
[0008]本發(fā)明提供一種腔室氣流控制系統(tǒng)，包括多個(gè)設(shè)有風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的腔室、中央監(jiān)控單元、氣體檢測(cè)單元和功率傳感器，所述功率傳感器與所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元連接，用于檢測(cè)所述各腔室中風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的輸出功率并發(fā)送到所述中央監(jiān)控單元，所述氣體檢測(cè)單元用于將所述腔室的氣體狀態(tài)信息發(fā)送到所述中央監(jiān)控單元，所述中央監(jiān)控單元將所述氣體檢測(cè)單元和所述功率傳感器的信息進(jìn)行處理，并向所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元發(fā)送控制指令，控制所述腔室中風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的輸出功率以改變氣體流向。
[0009]其中，所述氣體檢測(cè)單元為氣壓傳感器，用于檢測(cè)所述腔室氣體的氣壓差值，并發(fā)送到所述中央監(jiān)控單元，中央監(jiān)控單元控制所述腔室中風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的輸出功率，使得氣體流出所述腔室的壓強(qiáng)大于氣體流入所述腔室的壓強(qiáng)。
[0010]其中，所述氣體檢測(cè)單元為風(fēng)向傳感器，用于檢測(cè)檢測(cè)所述腔室的氣體的流向，并發(fā)送到所述中央監(jiān)控單元，中央監(jiān)控單元控制所述腔室中風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的輸出功率，使得氣體流出所述腔室的壓強(qiáng)大于氣體流入所述腔室的壓強(qiáng)。
[0011 ] 其中，所述風(fēng)向傳感器設(shè)于相鄰的所述腔室的交界處。
[0012]本發(fā)明還提供一種腔室氣流控制方法，該方法包括以下步驟:
[0013]氣體檢測(cè)單元采集各腔室內(nèi)氣體狀態(tài)信息并將所述氣體狀態(tài)信息發(fā)送給所述中央監(jiān)控單元；
[0014]功率傳感器采集風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率數(shù)據(jù)，并將所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率數(shù)據(jù)發(fā)送給所述中央監(jiān)控單元；
[0015]中央監(jiān)控單元對(duì)接收的所述氣體狀態(tài)信息和所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理，并發(fā)送控制指令給所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元；
[0016]所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元得到控制指令，控制所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的輸出功率，使得氣體流向與目標(biāo)氣體流向相同。
[0017]其中，所述氣體檢測(cè)單元采集各腔室內(nèi)氣體狀態(tài)信息的周期為500毫秒。
[0018]其中，所述氣體狀態(tài)信息為各腔室的氣體的氣壓差值。
[0019]其中，所述氣體狀態(tài)信息為各腔室的氣體的流向。
[0020]其中，所述中央監(jiān)控單元進(jìn)行預(yù)處理得到控制指令具體為:增大氣體流出腔室的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率和/或減小氣體流入腔室的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率。
[0021]其中，所述中央監(jiān)控單元進(jìn)行預(yù)處理得到控制指令具體為:先增大氣體流出腔室的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率，當(dāng)輸出功率達(dá)到最大值且未達(dá)到控制目的則減小氣體流入腔室的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率。
[0022]本發(fā)明實(shí)施例具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:
[0023]本發(fā)明通過(guò)在各個(gè)腔室設(shè)置氣體檢測(cè)裝置，并通過(guò)檢測(cè)到的各個(gè)腔室氣體的狀態(tài)信息，實(shí)時(shí)調(diào)整各個(gè)腔室風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率的方法，以改變各腔室的換氣量，實(shí)現(xiàn)氣流方向由換氣量大的腔室流向換氣量小的腔室的功能，達(dá)到了降低腔室中生產(chǎn)的產(chǎn)品的品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)、提尚廣品良率的技術(shù)效果。
【附圖說(shuō)明】
[0024]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1是本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例的腔室氣流控制系統(tǒng)示意圖；
[0026]圖2是本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的腔室氣流控制系統(tǒng)示意圖；
[0027]圖3是本發(fā)明腔室氣流控制方法流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0029]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施方式的腔室氣流控制系統(tǒng)主要包括中央監(jiān)控單元11、氣體檢測(cè)單元12、風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13和功率傳感器14。
[0030]風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13(FFU，F(xiàn)an Filter Units)具有送風(fēng)機(jī)(圖未示出)，將潔凈的空氣經(jīng)由HEPA過(guò)濾器(圖未示出)(High Efficiency Particulate Air filter:高效空氣微粒子過(guò)濾器)供給至腔室24。風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13使?jié)崈舻目諝鈴那皇?4頂棚的整個(gè)表面流入至腔室24內(nèi)，通過(guò)這樣的換氣來(lái)防止外部顆粒從腔室24的外部進(jìn)入腔室24的內(nèi)部。
[0031]功率傳感器14設(shè)在每個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13上。功率傳感器14測(cè)定風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13的耗電量，從而測(cè)定風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率，功率傳感器14將其測(cè)定值發(fā)送至中央監(jiān)控單元11中。
[0032]風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13還與中央監(jiān)控單元11相連接。中央監(jiān)控單元11輸出控制指令，來(lái)控制每個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13的工作狀態(tài)(即所具有的送風(fēng)機(jī)的起動(dòng)及停止和改變風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13的輸出功率)。
[0033]在一個(gè)具體的實(shí)施例中，氣體檢測(cè)單元12可以是氣壓傳感器，氣壓傳感器用于測(cè)定各個(gè)腔室24內(nèi)部的氣壓值，并將其測(cè)定值(氣壓的值)發(fā)送至中央監(jiān)控單元11。
[0034]作為一個(gè)優(yōu)選的技術(shù)方案，所述氣壓傳感器應(yīng)該設(shè)置在靠近兩個(gè)相鄰腔室的交界處，以檢測(cè)出兩個(gè)相鄰腔室壓強(qiáng)的差值。
[0035]中央監(jiān)控單元11基于功率傳感器14、氣體檢測(cè)單元12的測(cè)定值進(jìn)行計(jì)算，獲得風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的最佳輸出功率，并輸出控制指令來(lái)控制多個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13的輸出功率，從而改變各腔室24的換氣量，進(jìn)而改變氣體的流向。具體的，風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13的輸出功率越大，腔室24的換氣量越大，氣流方向由換氣量大的腔室流向換氣量小的腔室。
[0036]具體而言，當(dāng)需要控制腔室A中的氣流流向另一個(gè)腔室B時(shí)，處于兩個(gè)腔室中的氣壓傳感器將檢測(cè)到的壓強(qiáng)值輸送到中央監(jiān)控單元11中；同時(shí)，兩個(gè)腔室中功率傳感器14將對(duì)應(yīng)的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13的輸出功率信息傳送到中央監(jiān)控單元11中。中央監(jiān)控單元11中基于各腔室氣體壓強(qiáng)值和風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元輸出功率值進(jìn)行運(yùn)算。當(dāng)腔室A中氣壓<腔室B中氣壓時(shí)，則需要中央監(jiān)控單元11輸出控制指令增大腔室A中風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13的輸出功率，以增大腔室A中換氣風(fēng)量，直至腔室A氣壓>腔室B氣壓。此時(shí)若功率傳感器14檢測(cè)到腔室A中風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元13