本技術(shù)涉及烘烤設(shè)備，特別是涉及一種晶片烘烤裝置。

背景技術(shù)：

1、晶片清洗后由晶片清洗間移送至焊管間進行烘烤和焊管，由于裝載了晶片的石英管很沉重，前后都需要兩人對石英管進行抬放，由此導(dǎo)致石英管移送工序較多，危險系數(shù)高，耗費的人工工時多。如果將烘烤裝置設(shè)置為分體式，在晶片清洗間對石英管先抬放至一個烘烤裝置的分體，再在焊管間將兩個分體進行配合，但容易產(chǎn)生兩個分體配合誤差大的問題，從而會影響烘烤裝置的加熱效果。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是：提供一種晶片烘烤裝置，可以減少裝載晶片的石英管的移送工序并保證烘烤裝置的加熱效果。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種晶片烘烤裝置，包括底座組件和配合組件，所述底座組件包括第一螺桿、第二螺桿、過渡件、第三螺桿、第一撐桿、第一滾輪以及自下至上依次布置的第一調(diào)節(jié)板、第二調(diào)節(jié)板和烘烤臺組件，所述第一撐桿的上端連接所述第一調(diào)節(jié)板，所述第一撐桿的下端連接所述第一滾輪，所述第一滾輪設(shè)有鎖定裝置，所述第一螺桿豎直設(shè)置并螺紋連接所述第一調(diào)節(jié)板，所述第一螺桿抵接所述第二調(diào)節(jié)板的底面，所述第二螺桿水平設(shè)置并螺紋連接所述第二調(diào)節(jié)板，所述第二螺桿轉(zhuǎn)動連接所述過渡件，所述過渡件豎直滑設(shè)于所述第一調(diào)節(jié)板，所述第一調(diào)節(jié)板開設(shè)有沿所述第二螺桿的軸向延伸的腰型孔，所述第二調(diào)節(jié)板的底部設(shè)有滑設(shè)于所述腰型孔的滑柱，所述第三螺桿水平設(shè)置并螺紋連接所述烘烤臺組件，所述第三螺桿與所述第二螺桿垂直，且所述第三螺桿轉(zhuǎn)動連接所述第二調(diào)節(jié)板，所述第二調(diào)節(jié)板、所述烘烤臺組件分別設(shè)有沿所述第三螺桿的軸向延伸的第一配合部、第二配合部，所述第一配合部與所述第二配合部相配合，所述烘烤臺組件的頂面開設(shè)有第一凹槽；所述配合組件包括蓋體組件和第二支撐組件，所述蓋體組件的底面開設(shè)有第二凹槽，所述第二凹槽與所述第一凹槽能夠配合形成用于對石英管進行烘烤的烘腔，所述第二支撐組件連接于所述蓋體組件的底部。

3、優(yōu)選的，所述烘烤臺組件包括臺體和第一加熱殼，所述第二配合部設(shè)于所述臺體，所述臺體的頂面開設(shè)有第一安裝槽，所述第一加熱殼安裝于所述第一安裝槽內(nèi)，所述第一凹槽開設(shè)于所述第一加熱殼的頂面，所述第三螺桿水平穿設(shè)所述臺體并與所述臺體螺紋連接。

4、優(yōu)選的，所述蓋體組件包括頂蓋和第二加熱殼，所述頂蓋的底面開設(shè)有第二安裝槽，所述第二加熱殼安裝于所述第二安裝槽內(nèi)，所述第二凹槽開設(shè)于所述第二加熱殼的底面，所述第二支撐組件連接于所述頂蓋的底部。

5、優(yōu)選的，所述第一調(diào)節(jié)板包括第一板體和第一凸部，所述過渡件包括過渡環(huán)和插桿，所述腰型孔開設(shè)于所述第一板體，所述第一撐桿連接所述第一板體的底部，所述第一螺桿螺紋連接所述第一板體，所述第一凸部連接于所述第一板體的側(cè)壁，所述第一凸部開設(shè)有上下貫穿的第一限位孔，所述插桿滑設(shè)于所述第一限位孔，所述插桿的上端連接所述過渡環(huán)，所述第二螺桿穿設(shè)于所述過渡環(huán)并與所述過渡環(huán)轉(zhuǎn)動連接。

6、優(yōu)選的，所述第二調(diào)節(jié)板包括第二板體和連接件，所述滑柱設(shè)于所述第二板體的底部，所述第一配合部設(shè)于所述第二板體，所述連接件為l型，所述第一螺桿抵接所述第二板體的底面，所述第二螺桿螺紋連接所述第二板體，所述連接件的一端連接所述第二板體的側(cè)壁，所述連接件的另一端開設(shè)有第二限位孔，所述第三螺桿穿設(shè)于所述第二限位孔并與所述連接件轉(zhuǎn)動連接。

7、優(yōu)選的，所述第一滾輪為萬向輪。

8、優(yōu)選的，所述第二支撐組件包括第二撐桿和第二滾輪，所述第二撐桿連接所述蓋體組件的底部，所述第二滾輪安裝于所述第二撐桿背離所述蓋體組件的一端。

9、優(yōu)選的，所述第二滾輪為萬向輪，所述第二滾輪設(shè)有鎖定裝置。

10、優(yōu)選的，所述臺體的側(cè)壁設(shè)有第一控制旋鈕，所述第一加熱殼的內(nèi)壁設(shè)有第一加熱電爐絲，所述第一控制旋鈕與所述第一加熱電爐絲電連接。

11、優(yōu)選的，所述頂蓋的側(cè)壁設(shè)有第二控制旋鈕，所述第二加熱殼的內(nèi)壁設(shè)有第二加熱電爐絲，所述第二控制旋鈕與所述第二加熱電爐絲電連接。

12、本實用新型實施例一種晶片烘烤裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于：

13、通過設(shè)置底座組件和配合組件，其中底座組件推送到晶片清洗間后，工作人員可以裝載石英管至烘烤臺組件的第一凹槽內(nèi)，然后將底座組件推到焊管間與配合組件去配合形成烘烤裝置，減少了石英管的抬放次數(shù)和耗費的人工；將底座組件大致推到配合組件下方后，鎖緊第一滾輪，由于第二螺桿和第三螺桿均水平設(shè)置并且相互垂直，轉(zhuǎn)動第二螺桿和第三螺桿能夠?qū)⒑婵九_組件進行前后左右移動調(diào)整使得第一凹槽正對于第二凹槽，然后轉(zhuǎn)動豎直設(shè)置的第一螺桿，由于第一調(diào)節(jié)板還受到過渡件的限位，因此第一調(diào)節(jié)板在第一螺桿的轉(zhuǎn)動下會沿第一螺桿移動，使得烘烤臺組件抬升靠近蓋體組件，最終第一凹槽與第二凹槽完成配合形成烘腔對石英管加熱。本晶片烘烤裝置由工作人員手動轉(zhuǎn)動第一螺桿、第二螺桿、第三螺桿以調(diào)整第一凹槽和第二凹槽配合，保證了底座組件和配合組件配合形成烘烤裝置的精度，進而保證了烘烤裝置的加熱效果。

技術(shù)特征：

1.一種晶片烘烤裝置，其特征在于，包括底座組件和配合組件，所述底座組件包括第一螺桿、第二螺桿、過渡件、第三螺桿、第一撐桿、第一滾輪以及自下至上依次布置的第一調(diào)節(jié)板、第二調(diào)節(jié)板和烘烤臺組件，所述第一撐桿的上端連接所述第一調(diào)節(jié)板，所述第一撐桿的下端連接所述第一滾輪，所述第一滾輪設(shè)有鎖定裝置，所述第一螺桿豎直設(shè)置并螺紋連接所述第一調(diào)節(jié)板，所述第一螺桿抵接所述第二調(diào)節(jié)板的底面，所述第二螺桿水平設(shè)置并螺紋連接所述第二調(diào)節(jié)板，所述第二螺桿轉(zhuǎn)動連接所述過渡件，所述過渡件豎直滑設(shè)于所述第一調(diào)節(jié)板，所述第一調(diào)節(jié)板開設(shè)有沿所述第二螺桿的軸向延伸的腰型孔，所述第二調(diào)節(jié)板的底部設(shè)有滑設(shè)于所述腰型孔的滑柱，所述第三螺桿水平設(shè)置并螺紋連接所述烘烤臺組件，所述第三螺桿與所述第二螺桿垂直，且所述第三螺桿轉(zhuǎn)動連接所述第二調(diào)節(jié)板，所述第二調(diào)節(jié)板、所述烘烤臺組件分別設(shè)有沿所述第三螺桿的軸向延伸的第一配合部、第二配合部，所述第一配合部與所述第二配合部相配合，所述烘烤臺組件的頂面開設(shè)有第一凹槽；所述配合組件包括蓋體組件和第二支撐組件，所述蓋體組件的底面開設(shè)有第二凹槽，所述第二凹槽與所述第一凹槽能夠配合形成用于對石英管進行烘烤的烘腔，所述第二支撐組件連接于所述蓋體組件的底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述烘烤臺組件包括臺體和第一加熱殼，所述第二配合部設(shè)于所述臺體，所述臺體的頂面開設(shè)有第一安裝槽，所述第一加熱殼安裝于所述第一安裝槽內(nèi)，所述第一凹槽開設(shè)于所述第一加熱殼的頂面，所述第三螺桿水平穿設(shè)所述臺體并與所述臺體螺紋連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述蓋體組件包括頂蓋和第二加熱殼，所述頂蓋的底面開設(shè)有第二安裝槽，所述第二加熱殼安裝于所述第二安裝槽內(nèi)，所述第二凹槽開設(shè)于所述第二加熱殼的底面，所述第二支撐組件連接于所述頂蓋的底部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第一調(diào)節(jié)板包括第一板體和第一凸部，所述過渡件包括過渡環(huán)和插桿，所述腰型孔開設(shè)于所述第一板體，所述第一撐桿連接所述第一板體的底部，所述第一螺桿螺紋連接所述第一板體，所述第一凸部連接于所述第一板體的側(cè)壁，所述第一凸部開設(shè)有上下貫穿的第一限位孔，所述插桿滑設(shè)于所述第一限位孔，所述插桿的上端連接所述過渡環(huán)，所述第二螺桿穿設(shè)于所述過渡環(huán)并與所述過渡環(huán)轉(zhuǎn)動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第二調(diào)節(jié)板包括第二板體和連接件，所述滑柱設(shè)于所述第二板體的底部，所述第一配合部設(shè)于所述第二板體，所述連接件為l型，所述第一螺桿抵接所述第二板體的底面，所述第二螺桿螺紋連接所述第二板體，所述連接件的一端連接所述第二板體的側(cè)壁，所述連接件的另一端開設(shè)有第二限位孔，所述第三螺桿穿設(shè)于所述第二限位孔并與所述連接件轉(zhuǎn)動連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第一滾輪為萬向輪。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第二支撐組件包括第二撐桿和第二滾輪，所述第二撐桿連接所述蓋體組件的底部，所述第二滾輪安裝于所述第二撐桿背離所述蓋體組件的一端。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第二滾輪為萬向輪，所述第二滾輪設(shè)有鎖定裝置。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述臺體的側(cè)壁設(shè)有第一控制旋鈕，所述第一加熱殼的內(nèi)壁設(shè)有第一加熱電爐絲，所述第一控制旋鈕與所述第一加熱電爐絲電連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶片烘烤裝置，其特征在于，所述頂蓋的側(cè)壁設(shè)有第二控制旋鈕，所述第二加熱殼的內(nèi)壁設(shè)有第二加熱電爐絲，所述第二控制旋鈕與所述第二加熱電爐絲電連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及烘烤設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種晶片烘烤裝置，包括底座組件和配合組件，底座組件包括第一螺桿、第二螺桿、過渡件、第三螺桿、第一撐桿、第一滾輪以及自下至上布置的第一調(diào)節(jié)板、第二調(diào)節(jié)板和烘烤臺組件，第一撐桿兩端連接第一調(diào)節(jié)板、第一滾輪，第一滾輪設(shè)有鎖定裝置，第一螺桿豎直設(shè)置并連接第一調(diào)節(jié)板，第二螺桿水平設(shè)置并連接第二調(diào)節(jié)板，第二螺桿轉(zhuǎn)動連接過渡件，過渡件豎直滑設(shè)于第一調(diào)節(jié)板，第三螺桿水平設(shè)置并連接烘烤臺組件，第三螺桿與第二螺桿垂直且轉(zhuǎn)動連接第二調(diào)節(jié)板，烘烤臺組件頂面開設(shè)第一凹槽；配合組件包括蓋體組件和第二支撐組件，蓋體組件底面開設(shè)第二凹槽，第二凹槽與第一凹槽配合形成烘腔。

技術(shù)研發(fā)人員：唐勇,鄭金龍,曾貴州,廖彬,周鐵軍
受保護的技術(shù)使用者：廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231225
技術(shù)公布日：2024/12/19