本技術(shù)涉及烘烤設(shè)備，特別是涉及一種分體式晶片烘烤裝置。

背景技術(shù)：

1、晶片加工過程中需要先對晶片進(jìn)行清洗，然后再對晶片烘干，在此過程中，晶片清洗完畢后通常需要兩個人抬起裝有晶片的石英管，放到專用的運(yùn)輸小車上，由晶片清洗間運(yùn)送到焊管間，到了烘烤裝置邊上再由兩人將裝有晶片的石英管放在烘烤裝置上。此過程工序較多，危險系數(shù)高，耗費(fèi)的人工工時多。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有晶片清洗后至烘烤前運(yùn)輸工序多的問題。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種分體式晶片烘烤裝置，包括：

3、第一分體，所述第一分體包括底座、第一加熱殼和若干第一支撐組件，所述第一加熱殼安裝于所述底座的頂部，所述第一加熱殼的頂面開設(shè)有第一凹槽，所述第一支撐組件包括第一伸縮桿和第一滾輪，所述第一伸縮桿的一端連接所述底座的底部，所述第一伸縮桿的另一端連接所述第一滾輪；以及，

4、第二分體，所述第二分體包括上蓋、第二加熱殼和若干第二支撐組件，所述第二加熱殼安裝于所述上蓋的底部，所述第二加熱殼的底面開設(shè)有第二凹槽，所述第二凹槽與所述第一凹槽能夠配合形成用于對石英管進(jìn)行烘烤的烘腔，所述第二支撐組件連接于所述上蓋的底部。

5、優(yōu)選的，所述第一伸縮桿包括連接桿、螺桿、限位柱、外筒和第一電機(jī)，所述連接桿的一端連接所述底座的底部，所述連接桿的另一端安裝所述第一電機(jī)和所述限位柱，所述第一電機(jī)的輸出軸背離所述底座設(shè)置，所述第一電機(jī)的輸出軸連接所述螺桿，所述外筒開設(shè)有螺紋孔和限位孔，所述限位柱滑設(shè)于所述限位孔內(nèi)，所述螺桿通過所述螺紋孔與所述外筒螺紋連接，所述外筒背離所述連接桿的一端連接所述第一滾輪。

6、優(yōu)選的，所述底座的側(cè)壁設(shè)有第一控制旋鈕，所述第一加熱殼的內(nèi)壁設(shè)有第一加熱電爐絲，所述第一控制旋鈕與所述第一加熱電爐絲電連接。

7、優(yōu)選的，所述上蓋的側(cè)壁設(shè)有第二控制旋鈕，所述第二加熱殼的內(nèi)壁設(shè)有第二加熱電爐絲，所述第二控制旋鈕與所述第二加熱電爐絲電連接。

8、優(yōu)選的，所述底座的側(cè)壁設(shè)有第三控制旋鈕，所述第三控制旋鈕與各所述第一電機(jī)電連接。

9、優(yōu)選的，所述底座的頂面開設(shè)有第一安裝槽，所述第一加熱殼安裝于所述第一安裝槽內(nèi)，所述上蓋的底面開設(shè)有第二安裝槽，所述第二加熱殼安裝于所述第二安裝槽內(nèi)，所述第一凹槽與所述第二凹槽配合形成所述烘腔時，所述底座的頂面與所述上蓋的底面相貼合。

10、優(yōu)選的，所述第一滾輪為萬向輪，所述第一滾輪設(shè)有鎖定裝置。

11、優(yōu)選的，所述第二支撐組件包括第二伸縮桿和第二滾輪，所述第二伸縮桿的一端連接所述上蓋的底部，所述第二伸縮桿的另一端連接所述第二滾輪。

12、優(yōu)選的，所述第二滾輪為萬向輪，所述第二滾輪設(shè)有鎖定裝置。

13、優(yōu)選的，所述第一支撐組件、所述第二支撐組件的數(shù)量均為四個。

14、本實用新型實施例一種分體式晶片烘烤裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于：

15、通過將晶片烘烤裝置設(shè)置為第一分體和第二分體，第一分體包括底座、第一加熱殼和第一支撐組件，其中第一支撐組件又包括第一伸縮桿和第一滾輪，且第一分體的第一加熱殼能夠與第二分體的第二加熱殼配合形成用于對石英管進(jìn)行烘烤的烘腔，因此，在晶片清洗間由兩個工作人員將裝載好晶片的石英管抬放至第一分體的第一加熱殼形成的第一凹槽內(nèi)，之后僅需一個工作人員將第一分體推至焊管間與第二分體進(jìn)行配合，將石英管管口與真空泵進(jìn)行連接抽真空后，通過調(diào)節(jié)第一伸縮桿對底座進(jìn)行抬升使得第一加熱殼的第一凹槽與第二加熱殼的第二凹槽圍合形成烘腔，以對石英管進(jìn)行烘烤，后續(xù)焊管時將第一分體移離第二分體即可。本實用新型的分體式晶片烘烤裝置，可以使得裝載了晶片的石英管抬放至第一分體之后僅需一個工作人員進(jìn)行操作，減少了石英管抬放次數(shù)和所耗費(fèi)人工工時，也因此使得石英管的轉(zhuǎn)運(yùn)更加安全。

技術(shù)特征：

1.一種分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第一伸縮桿包括連接桿、螺桿、限位柱、外筒和第一電機(jī)，所述連接桿的一端連接所述底座的底部，所述連接桿的另一端安裝所述第一電機(jī)和所述限位柱，所述第一電機(jī)的輸出軸背離所述底座設(shè)置，所述第一電機(jī)的輸出軸連接所述螺桿，所述外筒開設(shè)有螺紋孔和限位孔，所述限位柱滑設(shè)于所述限位孔內(nèi)，所述螺桿通過所述螺紋孔與所述外筒螺紋連接，所述外筒背離所述連接桿的一端連接所述第一滾輪。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述底座的側(cè)壁設(shè)有第一控制旋鈕，所述第一加熱殼的內(nèi)壁設(shè)有第一加熱電爐絲，所述第一控制旋鈕與所述第一加熱電爐絲電連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述上蓋的側(cè)壁設(shè)有第二控制旋鈕，所述第二加熱殼的內(nèi)壁設(shè)有第二加熱電爐絲，所述第二控制旋鈕與所述第二加熱電爐絲電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述底座的側(cè)壁設(shè)有第三控制旋鈕，所述第三控制旋鈕與各所述第一電機(jī)電連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述底座的頂面開設(shè)有第一安裝槽，所述第一加熱殼安裝于所述第一安裝槽內(nèi)，所述上蓋的底面開設(shè)有第二安裝槽，所述第二加熱殼安裝于所述第二安裝槽內(nèi)，所述第一凹槽與所述第二凹槽配合形成所述烘腔時，所述底座的頂面與所述上蓋的底面相貼合。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第一滾輪為萬向輪，所述第一滾輪設(shè)有鎖定裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第二支撐組件包括第二伸縮桿和第二滾輪，所述第二伸縮桿的一端連接所述上蓋的底部，所述第二伸縮桿的另一端連接所述第二滾輪。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第二滾輪為萬向輪，所述第二滾輪設(shè)有鎖定裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式晶片烘烤裝置，其特征在于，所述第一支撐組件、所述第二支撐組件的數(shù)量均為四個。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及烘烤設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種分體式晶片烘烤裝置，包括：第一分體和第二分體，第一分體包括底座、第一加熱殼和若干第一支撐組件，第一加熱殼安裝于底座的頂部，第一加熱殼的頂面開設(shè)有第一凹槽，第一支撐組件包括第一伸縮桿和第一滾輪，第一伸縮桿的一端連接底座的底部，第一伸縮桿的另一端連接第一滾輪；第二分體包括上蓋、第二加熱殼和若干第二支撐組件，第二加熱殼安裝于上蓋的底部，第二加熱殼的底面開設(shè)有第二凹槽，第二凹槽與第一凹槽配合形成用于對石英管進(jìn)行烘烤的烘腔，第二支撐組件連接于上蓋的底部。本分體式晶片烘烤裝置可以減少石英管轉(zhuǎn)運(yùn)過程中的抬放次數(shù)和所耗費(fèi)人工工時，也因此使得石英管的轉(zhuǎn)運(yùn)更加安全。

技術(shù)研發(fā)人員：唐勇,鄭金龍,曾貴州,廖彬,周鐵軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231225
技術(shù)公布日：2024/12/19