本文涉及但不限于液晶顯示技術(shù)，尤指一種干燥系統(tǒng)和一種掩膜版上清洗液的干燥方法。

背景技術(shù)：

精細(xì)金屬掩膜模式，是通過蒸鍍方式將蒸鍍材料按照預(yù)定程序蒸鍍到(低溫多晶硅)背板上，利用高精度金屬掩膜版上的圖形，蒸鍍紅綠藍(lán)有機(jī)物到規(guī)定位置上。

在采用清洗液對(duì)掩膜版進(jìn)行清洗后(掩膜版包括框架、支撐遮擋條和掩膜條，支撐遮擋條為非鐵磁性材料，掩膜條為鐵磁性材料，掩膜條和支撐遮擋條空間相交而形成空間相交區(qū)域，空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條之間的距離較小，積存在空間相交區(qū)域處的清洗液在清洗時(shí)難以被清洗干凈)，目前干燥系統(tǒng)內(nèi)的風(fēng)刀為每側(cè)設(shè)置兩個(gè)(在兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置且每個(gè)風(fēng)刀的出風(fēng)量相同)，在干燥的過程中風(fēng)不能夠完全地進(jìn)入到掩膜條和支撐遮擋條的空間相交區(qū)域內(nèi)，在干燥結(jié)束之后，在掩膜版上的掩膜條和支撐遮擋條的空間相交區(qū)域內(nèi)仍然會(huì)殘留清洗液，清洗液長(zhǎng)期積累后就會(huì)變質(zhì)和結(jié)晶，最終形成顆粒物，會(huì)影響蒸鍍產(chǎn)品的品質(zhì)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題中的至少之一，本文提供了一種干燥系統(tǒng)，在清洗掩膜版時(shí)可完全地清洗掉空間相交區(qū)域內(nèi)的清洗液，清洗液在進(jìn)行清洗后不會(huì)在空間相交區(qū)域內(nèi)積存，有效確保了掩膜版在后續(xù)應(yīng)用于蒸鍍時(shí)的蒸鍍品質(zhì)。

為了達(dá)到本文目的，本發(fā)明提供了一種干燥系統(tǒng)，所述干燥系統(tǒng)包括：具有相對(duì)的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁的干燥腔室；多個(gè)第一風(fēng)刀，設(shè)置在所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁上，用于對(duì)清洗后的掩膜版進(jìn)行吹風(fēng)干燥；和分離裝置，用于在所述多個(gè)第一風(fēng)刀吹風(fēng)干燥清洗后的掩膜版時(shí)，使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、以增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距。

可選地，所述分離裝置包括磁吸附件。

可選地，所述磁吸附件為磁鐵或電磁鐵。

可選地，所述分離裝置包括第二風(fēng)刀，所述第二風(fēng)刀對(duì)稱設(shè)置在所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁上，且所述第一側(cè)壁上的第二風(fēng)刀和第二側(cè)壁上的第二風(fēng)刀的出風(fēng)量不同。

可選地，所述分離裝置包括第二風(fēng)刀，所述第二風(fēng)刀錯(cuò)位設(shè)置在所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁上。

可選地，所述第一側(cè)壁上的第二風(fēng)刀和所述第二側(cè)壁上的第二風(fēng)刀上下錯(cuò)位設(shè)置，且所述第一側(cè)壁上的第二風(fēng)刀和所述第二側(cè)壁上的第二風(fēng)刀的出風(fēng)量相同。

可選地，所述多個(gè)第一風(fēng)刀包括上下間隔設(shè)置的多組，且任一組第一風(fēng)刀的出風(fēng)量均相同，所述分離裝置設(shè)置在上下相鄰的兩組第一風(fēng)刀之間。

本發(fā)明還提供了一種掩膜版上清洗液的干燥方法，在多個(gè)第一風(fēng)刀吹風(fēng)干燥清洗后的掩膜版時(shí)，通過分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距，以使空間相交區(qū)域內(nèi)的清洗液一并干燥。

可選地，所述通過分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距的步驟包括：

控制對(duì)稱設(shè)置的第二風(fēng)刀以不同的出風(fēng)量對(duì)空間相交區(qū)域進(jìn)行吹風(fēng)，通過形成的風(fēng)壓差使得空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距。

可選地，所述通過分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距的步驟包括：控制錯(cuò)位設(shè)置的第二風(fēng)刀以相同的出風(fēng)量對(duì)空間相交區(qū)域進(jìn)行吹風(fēng)，通過形成的風(fēng)壓差使得空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距。

可選地，所述通過分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距的步驟包括：通過磁吸附件對(duì)空間相交區(qū)域處的掩膜條進(jìn)行磁吸附，使得空間相交區(qū)域處的掩膜條背向支撐遮擋條側(cè)發(fā)生彎曲變形而實(shí)現(xiàn)空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、以增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的干燥系統(tǒng)，在多個(gè)第一風(fēng)刀吹風(fēng)干燥清洗后的掩膜版時(shí)，分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、以此來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距，使得空間相交區(qū)域內(nèi)更好地進(jìn)行空氣流通，從而實(shí)現(xiàn)空間相交區(qū)域內(nèi)的清洗液也一并被吹除掉，避免掩膜版上殘留清洗液。

本文的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說(shuō)明書中闡述，并且，部分地從說(shuō)明書中變得顯而易見，或者通過實(shí)施本文而了解。本文的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過在說(shuō)明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。

附圖說(shuō)明

附圖用來(lái)提供對(duì)本文技術(shù)方案的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書的一部分，與本申請(qǐng)的實(shí)施例一起用于解釋本文的技術(shù)方案，并不構(gòu)成對(duì)本文技術(shù)方案的限制。

圖1為本發(fā)明中掩膜版的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示的掩膜版的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所述的干燥裝置的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的干燥裝置的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明再一個(gè)實(shí)施例所述的干燥裝置的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為圖3至圖5中掩膜版的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，圖1至圖6中附圖標(biāo)記與部件名稱之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為：

1干燥腔室，11第一側(cè)壁，12第二側(cè)壁，2第一風(fēng)刀，31磁吸附件，32第二風(fēng)刀，4掩膜版，41掩膜條，42支撐條，43遮擋條，44框架。

具體實(shí)施方式

為使本文的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下文中將結(jié)合附圖對(duì)本文的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互任意組合。

在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本文，但是，本文還可以采用其他不同于在此描述的方式來(lái)實(shí)施，因此，本文的保護(hù)范圍并不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。

下面結(jié)合附圖描述本文一些實(shí)施例的干燥系統(tǒng)和掩膜版上清洗液的干燥方法。

本發(fā)明提供的干燥系統(tǒng)，如圖3至圖5所示，所述干燥系統(tǒng)包括：具有相對(duì)的第一側(cè)壁11和第二側(cè)壁12的干燥腔室1；多個(gè)第一風(fēng)刀2，設(shè)置在所述第一側(cè)壁11和所述第二側(cè)壁12上，用于對(duì)清洗后的掩膜版4進(jìn)行吹風(fēng)干燥；和分離裝置，用于在所述多個(gè)第一風(fēng)刀2吹風(fēng)干燥清洗后的掩膜版4時(shí)，使空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、以增大空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條的間距(見圖2和圖6中的a位置處的間距變化)。

本發(fā)明提供的干燥系統(tǒng)，在多個(gè)第一風(fēng)刀2吹風(fēng)干燥清洗后的掩膜版4時(shí)，分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、以此來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條的間距，使得空間相交區(qū)域內(nèi)更好地進(jìn)行空氣流通，從而實(shí)現(xiàn)空間相交區(qū)域內(nèi)的清洗液也一并被吹除掉，避免掩膜版4上殘留清洗液。

本發(fā)明的第一個(gè)具體實(shí)施例中，如圖5所示，所述分離裝置包括磁吸附件31，所述支撐遮擋條為非鐵磁性材料，所述掩膜條41為鐵磁性材料，在清洗后的掩膜版4進(jìn)行吹風(fēng)干燥時(shí)、掩膜條41朝向所述磁吸附件31側(cè)，這樣磁吸附件31磁吸附掩膜條41時(shí)，掩膜條41發(fā)生局部彎曲變形，在空間相交區(qū)域處掩膜條41背向支撐遮擋條彎曲，使得二者的間距增大，確保更多的風(fēng)能夠進(jìn)入空間相交區(qū)域內(nèi)進(jìn)行干燥清洗液。

進(jìn)一步地，所述磁吸附件31為磁鐵或電磁鐵，所述支撐遮擋條的材質(zhì)為不銹鋼(如304不銹鋼)，所述掩膜條41的材質(zhì)為鐵鎳合金(如低膨脹鐵鎳合金)。

具體地：通過磁吸附件31對(duì)空間相交區(qū)域處的掩膜條41進(jìn)行磁吸附，使得空間相交區(qū)域處的掩膜條41背向支撐遮擋條側(cè)發(fā)生彎曲變形而實(shí)現(xiàn)空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、以此來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條的間距，確保更多的風(fēng)能夠進(jìn)入空間相交區(qū)域內(nèi)進(jìn)行干燥清洗液。

本發(fā)明的第二個(gè)具體實(shí)施例中，如圖3所示，所述分離裝置包括第二風(fēng)刀32，所述第二風(fēng)刀32對(duì)稱設(shè)置在所述第一側(cè)壁11和所述第二側(cè)壁12上，且所述第一側(cè)壁11上的第二風(fēng)刀32和第二側(cè)壁12上的第二風(fēng)刀32的出風(fēng)量不同，即：控制對(duì)稱設(shè)置的第二風(fēng)刀32以不同的出風(fēng)量對(duì)空間相交區(qū)域進(jìn)行吹風(fēng)，通過形成的風(fēng)壓差使得空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)實(shí)現(xiàn)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條的間距，確保更多的風(fēng)能夠進(jìn)入空間相交區(qū)域內(nèi)進(jìn)行干燥清洗液。

其中，掩膜條41的材料拉伸強(qiáng)度小于支撐遮擋條的材料拉伸強(qiáng)度。

本發(fā)明的第三個(gè)具體實(shí)施例中，如圖4所示，所述分離裝置包括第二風(fēng)刀32，所述第二風(fēng)刀32錯(cuò)位設(shè)置在所述第一側(cè)壁11和所述第二側(cè)壁12上，即：控制錯(cuò)位設(shè)置的第二風(fēng)刀32以相同或不同的出風(fēng)量對(duì)空間相交區(qū)域進(jìn)行吹風(fēng)，通過形成的風(fēng)壓差(第二風(fēng)刀32錯(cuò)位設(shè)置的方式形成)使得空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)實(shí)現(xiàn)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條41和支撐遮擋條的間距，確保更多的風(fēng)能夠進(jìn)入空間相交區(qū)域內(nèi)進(jìn)行干燥清洗液。

其中，掩膜條41的材料拉伸強(qiáng)度小于支撐遮擋條的材料拉伸強(qiáng)度。

具體地，所述第一側(cè)壁11上的第二風(fēng)刀32和所述第二側(cè)壁12上的第二風(fēng)刀32上下錯(cuò)位設(shè)置，所述第一側(cè)壁11上的第二風(fēng)刀32和所述第二側(cè)壁12上的第二風(fēng)刀32的出風(fēng)量相同；或者是：所述第一側(cè)壁11上的第二風(fēng)刀32和所述第二側(cè)壁12上的第二風(fēng)刀32左右錯(cuò)位設(shè)置，所述第一側(cè)壁11上的第二風(fēng)刀32和所述第二側(cè)壁12上的第二風(fēng)刀32的出風(fēng)量相同等的方式；均可實(shí)現(xiàn)本申請(qǐng)的目的，其宗旨未脫離本發(fā)明的設(shè)計(jì)思想，在此不再贅述，均應(yīng)屬于本申請(qǐng)的保護(hù)范圍內(nèi)。

本發(fā)明的第一個(gè)具體實(shí)施例、第二個(gè)具體實(shí)施例和第三個(gè)具體實(shí)施例中，所述多個(gè)第一風(fēng)刀2包括上下間隔設(shè)置的多組(如：兩組、三組、四組等，均可實(shí)現(xiàn)本申請(qǐng)的目的)，且任一組第一風(fēng)刀2的出風(fēng)量設(shè)置為均相同，所述分離裝置設(shè)置在上下相鄰的兩組第一風(fēng)刀2之間。

多組第一風(fēng)刀2對(duì)掩膜版4進(jìn)行限位和保護(hù)、并保持掩膜版4的形狀不發(fā)生變形，分離裝置使得空間相交區(qū)域處僅發(fā)生局部分開，掩膜條41和支撐遮擋條分開的區(qū)域相對(duì)于整個(gè)掩膜版4也較小，可避免掩膜版4損壞。

其中，如圖1和圖2所示，支撐遮擋條包括支撐條42和遮擋條43，掩膜版4還包括框架44。

本發(fā)明提供的掩膜版上清洗液的干燥方法，在多個(gè)第一風(fēng)刀吹風(fēng)干燥清洗后的掩膜版時(shí)，通過分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距，以使空間相交區(qū)域內(nèi)的清洗液一并干燥。

在多個(gè)第一風(fēng)刀吹風(fēng)干燥清洗后的掩膜版時(shí)，分離裝置分離開掩膜條和支撐遮擋條的空間相交區(qū)域，使得掩膜條和支撐遮擋條的空間相交區(qū)域被打開而進(jìn)行空氣流通，從而實(shí)現(xiàn)掩膜條和支撐遮擋條空間相交區(qū)域內(nèi)的清洗液被吹干，避免掩膜版上殘留清洗液。

本發(fā)明的第一個(gè)具體實(shí)施例中，所述通過分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距的步驟包括：控制對(duì)稱設(shè)置的第二風(fēng)刀以不同的出風(fēng)量對(duì)空間相交區(qū)域進(jìn)行吹風(fēng)，通過形成的風(fēng)壓差使得空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距，確保更多的風(fēng)能夠進(jìn)入空間相交區(qū)域內(nèi)進(jìn)行干燥清洗液(結(jié)合圖3和圖6)。

本發(fā)明的第二個(gè)具體實(shí)施例中，所述通過分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距的步驟包括：控制錯(cuò)位設(shè)置的第二風(fēng)刀以相同的出風(fēng)量對(duì)空間相交區(qū)域進(jìn)行吹風(fēng)，通過形成的風(fēng)壓差使得空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距，確保更多的風(fēng)能夠進(jìn)入空間相交區(qū)域內(nèi)進(jìn)行干燥清洗液(結(jié)合圖4和圖6)。

本發(fā)明的第三個(gè)具體實(shí)施例中，所述通過分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距的步驟包括：通過磁吸附件對(duì)空間相交區(qū)域處的掩膜條進(jìn)行磁吸附，使得空間相交區(qū)域處的掩膜條背向支撐遮擋條側(cè)發(fā)生彎曲變形而實(shí)現(xiàn)空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、以增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距，確保更多的風(fēng)能夠進(jìn)入空間相交區(qū)域內(nèi)進(jìn)行干燥清洗液(結(jié)合圖5和圖6)。

以上三個(gè)具體實(shí)施例均可實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，即：空間相交區(qū)域因更大程度地被打開而使得內(nèi)部的清洗液被吹除干凈，其宗旨均未脫離本發(fā)明的設(shè)計(jì)思想，在此不再贅述，均應(yīng)屬于本申請(qǐng)的保護(hù)范圍內(nèi)。

綜上所述，本發(fā)明提供的干燥系統(tǒng)，在多個(gè)第一風(fēng)刀吹風(fēng)干燥清洗后的掩膜版時(shí)，分離裝置使空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條相對(duì)遠(yuǎn)離、以此來(lái)增大空間相交區(qū)域處的掩膜條和支撐遮擋條的間距，使得空間相交區(qū)域內(nèi)更好地進(jìn)行空氣流通，從而實(shí)現(xiàn)空間相交區(qū)域內(nèi)的清洗液也一并被吹除掉，避免掩膜版上殘留清洗液。

在本文的描述中，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等均應(yīng)做廣義理解，例如，“連接”可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本文中的具體含義。

在本說(shuō)明書的描述中，術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“具體實(shí)施例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或特點(diǎn)包含于本文的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或?qū)嵗?。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

雖然本文所揭露的實(shí)施方式如上，但所述的內(nèi)容僅為便于理解本文而采用的實(shí)施方式，并非用以限定本文。任何本文所屬領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員，在不脫離本文所揭露的精神和范圍的前提下，可以在實(shí)施的形式及細(xì)節(jié)上進(jìn)行任何的修改與變化，但本文的專利保護(hù)范圍，仍須以所附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。