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一種自產(chǎn)熱裝置及自產(chǎn)熱裝置的制作方法與流程

文檔序號:12108783閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種自產(chǎn)熱裝置,其特征在于,所述裝置包括:能量拾取器(2000)和發(fā)熱裝置(3000);

所述能量拾取器(2000),用來拾取使用對象在運動過程中的動能;

所述發(fā)熱裝置(3000),與所述能量拾取器(2000)通過金屬引線連接,用于根據(jù)所述動能產(chǎn)生熱量。

2.根據(jù)權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述能量拾取器(2000)包括懸臂梁支撐的質量塊(4000)和壓電器件(5000):

所述壓電器件(5000),位于玻璃襯底(2007)之上,利用壓電效應將動能轉化成電能;

所述懸臂梁支撐的質量塊(4000),用于感知使用對象的運動并產(chǎn)生位移碰撞所述壓電器件(5000)。

3.根據(jù)權利要求2所述的裝置,其特征在于,所述壓電器件(5000)為三明治結構,所述壓電器件(5000)包括第一電極(2004)、壓電層(2006)和第二電極(2005)。

4.根據(jù)權利要求2所述的裝置,其特征在于,所述懸臂梁支撐的質量塊(4000)包括:支撐結構(2001)、懸臂梁(2002)和質量塊(2003);所述質量塊(2003)與所述支撐結構(2001)通過所述懸臂梁(2002)連接;

所述質量塊(2003)用于拾取使用對象的動能;

所述質量塊(2003)依靠支撐結構(2001)和所述懸臂梁(2002)產(chǎn)生振動,觸碰所述壓電器件(5000)產(chǎn)生壓電效應。

5.根據(jù)權利要求2-4任一項所述的裝置,其特征在于,所述懸臂梁支撐的質量塊(4000)的材料為硅。

6.根據(jù)權利要求5所述的裝置,其特征在于,所述懸臂梁支撐的質量塊(4000)采用氫氧化鉀(KOH)濕法腐蝕和深反應離子刻蝕(DRIE)干法刻蝕得到。

7.根據(jù)權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述的發(fā)熱裝置(3000)位于玻璃襯底(2007)之上,包括金電極(3002)和銦錫氧化物薄膜(3001);所述金電極(3002)設置在所述銦錫氧化物薄膜(3001)和所述玻璃襯底(2007)之間。

8.一種自產(chǎn)熱裝置的制作方法,用于如權利要求1-7任一項所述的自產(chǎn)熱裝置中,其特征在于,包括:

在清洗后的硅片(4003)上熱生長氧化硅(4002),并采用化學氣相淀積的方法沉積氮化硅(4001);

分別腐蝕所述氮化硅(4001)和所述氧化硅(4002);

由所述氮化硅(4001)和所述氧化硅(4002)保護支撐架(2001),及所述氧化硅(4002)保護質量塊(2003),并對所述硅片(4003)刻蝕;

由所述氧化硅(4002)保護支撐架(2001),并分別刻蝕懸臂梁(2002)和所述質量塊(2003),制備懸臂梁支撐質量塊(4000);

由陰影掩膜版(Shadow Mask)實現(xiàn)共晶鍵合的金(6000)圖形,完成懸臂梁支撐的質量塊(4000)的制備;

清洗玻璃襯底(2007);

濺射形成金薄膜,并對所述金薄膜光刻、腐蝕形成壓電器件的第一電極(2004)和發(fā)熱裝置(3000)的電極(3002);

濺射形成氧化鋅薄膜,并腐蝕所述氧化鋅薄膜形成所述壓電器件(5000)的壓電層(2006);

通過剝離工藝制備所述發(fā)熱裝置(3000)的銦錫氧化物薄膜(3001);

利用剝離工藝制備所述壓電器件(5000)的第二電極(2005)和所述共晶鍵合的金(6000)圖形;

通過共晶鍵合的方式將所述玻璃襯底(2007)和所述支撐架(2001)固定在一起。

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