技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種雙相納米復(fù)合太陽能吸收涂層及制造方法,該涂層包括在基底上依次設(shè)有紅外高反射層、主吸收層、次吸收層和減反層,將基底用化學(xué)法清洗后置于真空爐中,然后抽真空,往爐中通入高流量氮氣,打開Ti靶,在基底沉積TiN的紅外高反射層;然后關(guān)閉Ti靶,打開AlTi合金靶,通入低流量的氧氣和氮氣,在低氧低氮環(huán)境中,在紅外高反射層上沉積雙相納米結(jié)構(gòu)主吸收層;增加氮氣流量,在低氧高氮環(huán)境中,主吸收層上沉積單相納米結(jié)構(gòu)的次吸收層;最后關(guān)閉氮氣,在高氧濃度條件下沉積減反層,關(guān)閉加熱器,自然冷卻即得到四層結(jié)構(gòu)的Ti?Al?O?N雙相納米復(fù)合太陽能吸收涂層,本發(fā)明制造的涂層吸收效率好,能量轉(zhuǎn)換效率高,具有較大推廣應(yīng)用價值。
技術(shù)研發(fā)人員:胡雪蛟;劉輝東;楊兵;章先濤;蔡耀;劉琰
受保護的技術(shù)使用者:武漢大學(xué)
文檔號碼:201610931796
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.31
技術(shù)公布日:2017.03.15