半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備領(lǐng)域，提供了一種半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)，所述熱處理爐的進(jìn)氣口與進(jìn)氣管路連接，其出氣口與出氣管路連接，所述熱處理爐的進(jìn)氣口的外圍設(shè)有第一法蘭盤(pán)，所述進(jìn)氣管路的一端口外圍設(shè)有第二法蘭盤(pán)，所述第一法蘭盤(pán)與所述第二法蘭盤(pán)連接，所述第一法蘭盤(pán)與所述第二法蘭盤(pán)的連接端面設(shè)有密封圈；所述熱處理爐的出氣口與所述出氣管路的連接結(jié)構(gòu)為球頭球碗連接結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型熱處理設(shè)備的熱處理爐的進(jìn)氣口與進(jìn)氣管路為帶有密封圈的法蘭連接結(jié)構(gòu)，能夠有效的防止雜質(zhì)的滲入；熱處理爐的出氣口與出氣管路為球頭球碗連接結(jié)構(gòu)，不用采用密封圈，起到足夠密封效果的同時(shí)擁有良好的抗腐蝕性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體熱處理工藝設(shè)備中的熱處理爐是用于半導(dǎo)體器件、集成電路制造過(guò)程中各種擴(kuò)散、氧化、退火及合金工藝的特殊溫度處理，是一種要求長(zhǎng)時(shí)間、高精度及高穩(wěn)定性條件的工藝過(guò)程。半導(dǎo)體熱處理工藝為:通過(guò)與熱處理爐進(jìn)氣口連接的進(jìn)氣管路向熱處理爐中通入一定量的氧氣，將半導(dǎo)體熱處理爐內(nèi)反應(yīng)的溫度控制在600°C -1000°C范圍內(nèi)，成長(zhǎng)壓力控制在0.1到5托，工藝過(guò)程使半導(dǎo)體表面形成一層氧化膜，反應(yīng)后的氣體通過(guò)熱處理爐的出氣口排出。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，熱處理爐的進(jìn)氣口和排氣口與進(jìn)氣管路和排氣管路的連接普遍采用絲扣、抱箍或套接等連接方式。而半導(dǎo)體熱處理工藝對(duì)進(jìn)入熱處理爐中的氣體有較為嚴(yán)格的要求，若進(jìn)入熱處理爐中的氣體中含有雜質(zhì)，會(huì)對(duì)熱處理工藝造成污染，特別的，對(duì)于一些高度集成工件的熱處理工況，隨著集成電路的芯片集成度越來(lái)越高，半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵尺寸在不斷縮小，需要特別注意的是微粒問(wèn)題。采用絲扣、抱箍或套接等連接方式，其密封性較差，在進(jìn)氣管路與進(jìn)氣口的連接處往往會(huì)有雜質(zhì)滲入，影響熱處理效果。
[0004]熱處理爐從其排氣口排入到出氣管路的氣體溫度很高，且經(jīng)過(guò)熱處理工藝后的氣體具有腐蝕性，而現(xiàn)有出氣口與出氣管路普遍采用帶密封圈的抱箍進(jìn)行連接，但起密封效果的密封圈在高溫且具有腐蝕性氣體的長(zhǎng)期腐蝕下會(huì)失去密封效果。為保證管路的密封性，需要經(jīng)常更換抱箍，更換時(shí)要停止工藝，且操作起來(lái)麻煩，降低了工作效率，增加了經(jīng)濟(jì)成本，若未能及時(shí)更換可能導(dǎo)致腐蝕性介質(zhì)的滲漏。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是現(xiàn)有熱處理設(shè)備的進(jìn)氣管路與其熱處理爐的進(jìn)氣口連接的密封效果不佳，熱處理爐的出氣口與出氣管路的連接抗腐蝕能力差，操作不便，經(jīng)濟(jì)消耗大。
[0007](二)技術(shù)方案
[0008]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)，所述熱處理爐的進(jìn)氣口與進(jìn)氣管路連接，其出氣口與出氣管路連接，所述熱處理爐的進(jìn)氣口的外圍設(shè)有第一法蘭盤(pán)，所述進(jìn)氣管路的一端口外圍設(shè)有第二法蘭盤(pán)，所述第一法蘭盤(pán)與所述第二法蘭盤(pán)連接，所述第一法蘭盤(pán)與所述第二法蘭盤(pán)的連接端面設(shè)有密封圈；所述熱處理爐的出氣口與所述出氣管路的連接結(jié)構(gòu)為球頭球碗連接結(jié)構(gòu)。
[0009]進(jìn)一步地，所述第一法蘭盤(pán)的端面上進(jìn)氣口的外圍設(shè)有環(huán)狀卡槽，所述第二法蘭盤(pán)的端面上管孔的外圍設(shè)有環(huán)狀凸緣，所述環(huán)狀凸緣恰好能插入到所述環(huán)狀卡槽中。[0010]進(jìn)一步地，所述密封圈套設(shè)在所述環(huán)狀凸緣的外圍。
[0011]進(jìn)一步地，所述密封圈為O型密封圈。
[0012]進(jìn)一步地，所述熱處理爐、進(jìn)氣管路和出氣管路的材質(zhì)為石英。
[0013](三)有益效果
[0014]本實(shí)用新型熱處理設(shè)備的熱處理爐的進(jìn)氣口與進(jìn)氣管路為帶有密封圈的法蘭連接結(jié)構(gòu)，能夠有效的防止雜質(zhì)的滲入；熱處理爐的出氣口與出氣管路為球頭球碗連接結(jié)構(gòu)，不用采用密封圈，起到足夠密封效果的同時(shí)擁有良好的抗腐蝕性。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型用于熱處理設(shè)備熱處理爐的進(jìn)氣口與進(jìn)氣管路連接的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是本實(shí)用新型用于熱處理設(shè)備熱處理爐的出氣口與出氣管路連接的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。
[0018]如圖1和圖2，本實(shí)用新型實(shí)施例的一種半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)，所述熱處理爐I的進(jìn)氣口 11與進(jìn)氣管路2連接，其出氣口 12與出氣管路3連接，所述熱處理爐的進(jìn)氣口 11的外圍設(shè)有第一法蘭盤(pán)13，所述進(jìn)氣管路的一端口外圍設(shè)有第二法蘭盤(pán)21，所述第一法蘭盤(pán)13與所述第二法蘭盤(pán)21連接，所述第一法蘭盤(pán)13與所述第二法蘭盤(pán)21的連接端面設(shè)有密封圈4 ;所述熱處理爐的出氣口 12與所述出氣管路3的連接結(jié)構(gòu)為球頭球碗連接結(jié)構(gòu)，所述熱處理爐的出氣口 12的外圍設(shè)有球碗14，所述出氣管路3的一端口的外圍設(shè)有球頭31，所述球頭14插設(shè)到所述球碗31中，形成面密封。
[0019]較佳的，所述第一法蘭盤(pán)13的端面上進(jìn)氣口 11的外圍設(shè)有環(huán)狀卡槽15，所述第二法蘭盤(pán)21的端面上管孔的外圍設(shè)有環(huán)狀凸緣22，所述環(huán)狀凸緣22恰好能插入到所述環(huán)狀卡槽15中，使第一法蘭盤(pán)13與第二法蘭盤(pán)21的密封效果更好。
[0020]較佳的，所述密封圈4為O型密封圈。所述密封圈4套設(shè)在所述環(huán)狀凸緣22的外圍，使得密封圈4相對(duì)于第一法蘭盤(pán)13和第二法蘭盤(pán)21的位置得以固定，當(dāng)環(huán)狀凸緣22插設(shè)到所述環(huán)狀卡槽15中時(shí)，所述第一法蘭盤(pán)13的端面與所述第二法蘭盤(pán)21的端面將密封圈4夾在其中，起到密封的效果。較佳的，所述密封圈4的內(nèi)圈直徑恰好或略小于所述環(huán)形凸緣22的直徑，使密封圈4能夠更加緊密的套設(shè)在所述環(huán)形凸緣22上。
[0021]較佳的，所述熱處理爐、進(jìn)氣管路和出氣管路的材質(zhì)為石英，由于石英的抗腐蝕性極好，能夠很好的克服來(lái)自通過(guò)其中的介質(zhì)的腐蝕。而且石英耐高溫，熱震穩(wěn)定性高，熱膨脹系數(shù)特別小，使其在環(huán)境溫度變化較大時(shí)保持穩(wěn)定，其低熱膨脹系數(shù)的特點(diǎn)也可使其不因溫度的變化而導(dǎo)致連接間出現(xiàn)間隙，而使密封效果降低。較佳的，由于熱處理爐、進(jìn)氣管路和出氣管路皆采用石英材料，為保證石英材料的結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)固，減小工件加工成本，不破壞石英的結(jié)構(gòu)，不在上述第一法蘭盤(pán)、第二法蘭盤(pán)、球頭和球碗上開(kāi)設(shè)如螺栓孔等破壞性結(jié)構(gòu)進(jìn)行連接，而是使用夾子將上述第一法蘭盤(pán)和第二法蘭盤(pán)之間，以及上述球頭和球碗之間進(jìn)行固定。
[0022]將O型密封圈套設(shè)在所述進(jìn)氣管路上的第而二法蘭盤(pán)的環(huán)形凸緣上，再將環(huán)形凸緣插設(shè)到所述第一法蘭盤(pán)的環(huán)形卡槽中，使用夾子分別夾在第一法蘭盤(pán)和第二法蘭盤(pán)的兩側(cè)，實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣管路與熱處理爐進(jìn)氣口之間的固定及密封。
[0023]將出氣管路上的球頭插設(shè)到所述熱處理爐的出氣口上的球碗中，由于球頭相對(duì)于出氣口向外突起，球碗相對(duì)于出氣管路向外突起，可將夾子的一端卡設(shè)在所述球頭上，將夾子的另一端卡設(shè)到球碗上，由此實(shí)現(xiàn)出氣口與出氣管路的固定和密封，夾子使連接管路間時(shí)刻保持一夾緊力，即使石英材質(zhì)發(fā)生微小的膨脹和縮小，夾子都會(huì)將管路連接的兩端夾緊，使管連接處保持密封。
[0024]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)，所述熱處理爐的進(jìn)氣口與進(jìn)氣管路連接，其出氣口與出氣管路連接，其特征在于，所述熱處理爐的進(jìn)氣口的外圍設(shè)有第一法蘭盤(pán)，所述進(jìn)氣管路的一端口外圍設(shè)有第二法蘭盤(pán)，所述第一法蘭盤(pán)與所述第二法蘭盤(pán)連接，所述第一法蘭盤(pán)與所述第二法蘭盤(pán)的連接端面設(shè)有密封圈；所述熱處理爐的出氣口與所述出氣管路的連接結(jié)構(gòu)為球頭球碗連接結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一法蘭盤(pán)的端面上進(jìn)氣口的外圍設(shè)有環(huán)狀卡槽，所述第二法蘭盤(pán)的端面上管孔的外圍設(shè)有環(huán)狀凸緣，所述環(huán)狀凸緣恰好能插入到所述環(huán)狀卡槽中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述密封圈套設(shè)在所述環(huán)狀凸緣的外圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述密封圈為O型密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體熱處理爐的管路連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述熱處理爐、進(jìn)氣管路和出氣管路的材質(zhì)為石英。
【文檔編號(hào)】F27D7/02GK203744738SQ201420066686
【公開(kāi)日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2014年2月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月14日
【發(fā)明者】劉慧 , 趙燕平 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司