熱處理方法及熱處理裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的輥道窯具備：爐體，其形成第一空間；壁體，在其內(nèi)部形成與第一空間連通的第二空間，并具有第一壁部、第二壁部。另外，可以在第一空間內(nèi)搬運(yùn)被處理物的旋轉(zhuǎn)體從該第一空間側(cè)朝向外部空間依次貫通第一壁部、第二空間、及第二壁部，而使其一端從第二壁部突出。在第一壁部設(shè)置有第一軸承，其可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體且具有氣體可以向旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙。另外在第二壁部設(shè)置有第二軸承，其可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體且密封性與第一軸承相比更高。在第二空間，從第二空間供應(yīng)口供應(yīng)比第一空間的氣氛的壓力更高的氣體。
【專利說明】熱處理方法及熱處理裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種熱處理方法及熱處理裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)有技術(shù)中，已知的有：將陶瓷制品等被處理物通過輥?zhàn)影徇\(yùn)的同時對被處理物 進(jìn)行熱處理的熱處理裝置。例如，在專利文獻(xiàn)1中，公開了一種輥道窯（輥底式連續(xù)爐），其 具備：隧道狀爐體；設(shè)置在爐體的內(nèi)部空間的多個輥?zhàn)樱患坝糜跓杀惶幚砦锏拿簹馊紵?器。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)：
[0004] 專利文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn)1 :日本國特開平4-270884號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 發(fā)明要解決的課題
[0007] 但是，通常，在這種熱處理裝置中，包括輥?zhàn)拥鹊男D(zhuǎn)體貫通爐體，并與配置在爐 體外部的馬達(dá)的驅(qū)動軸連接。將馬達(dá)配置在爐體外部的理由是，由于存在爐體的內(nèi)部例如 成為高溫狀態(tài)的情況等，使得爐體內(nèi)部的環(huán)境不適合配置馬達(dá)。因此，在爐體形成有旋轉(zhuǎn)體 貫通的貫通孔。而且，存在這種貫通孔，導(dǎo)致爐體內(nèi)部的氣氛沿著旋轉(zhuǎn)體的軸向流到爐外的 情況。
[0008] 本發(fā)明是為了解決這種課題而提出的，其主要目的在于更加抑制氣氛從爐體的內(nèi) 部向外部空間流出。
[0009] 解決課題的方法
[0010] 本發(fā)明的熱處理方法是使用熱處理裝置的熱處理方法，所述熱處理裝置具備：
[0011] 爐體，其形成作為處理空間的第一空間；
[0012] 壁體，在其內(nèi)部形成與所述第一空間連通的第二空間，并具有第一壁部、第二壁 部、及可以從外部向該第二空間內(nèi)供應(yīng)氣體的第二空間供應(yīng)口；
[0013] 旋轉(zhuǎn)體，其可以在所述第一空間內(nèi)搬運(yùn)被處理物，并從該第一空間側(cè)朝向外部空 間依次貫通所述第一壁部、所述第二空間、及所述第二壁部，而使其一端從該第二壁部突 出；
[0014] 驅(qū)動單元，其與所述旋轉(zhuǎn)體的所述一端側(cè)連接并可以使該旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動；
[0015] 第一軸承，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第一壁部的部分，是可旋轉(zhuǎn)地支撐該旋 轉(zhuǎn)體且具有可以使氣體向所述旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙的滾動軸承；及
[0016] 密封構(gòu)件，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第二壁部的部分，并且密封性與所述第 一軸承相比更高，其中，
[0017] 所述熱處理方法包括通過所述驅(qū)動單元使所述旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動來在所述處 理空間內(nèi)搬運(yùn)所述被處理物的同時對其進(jìn)行熱處理的工藝，
[0018] 在所述工藝中，經(jīng)由所述第二空間供應(yīng)口向所述第二空間內(nèi)供應(yīng)與所述第一空間 的氣氛相比壓力更高的氣體。
[0019] 在該本發(fā)明的熱處理方法中，用于熱處理方法的熱處理裝置具備：爐體，其形成作 為處理空間的第一空間；壁體，在其內(nèi)部形成與所述第一空間連通的第二空間，并具有第一 壁部、第二壁部、及可以從外部向第二空間內(nèi)供應(yīng)氣體的第二空間供應(yīng)口。另外，可以在第 一空間內(nèi)搬運(yùn)被處理物的旋轉(zhuǎn)體，其從第一空間側(cè)朝向外部空間依次貫通第一壁部、第二 空間、及第二壁部，而使其一端從第二壁部突出。而且，通過與該旋轉(zhuǎn)體的一側(cè)連接的驅(qū)動 單元使旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，在第一空間內(nèi)通過旋轉(zhuǎn)體搬運(yùn)被處理物并在第一空間內(nèi)進(jìn)行 被處理物的熱處理。此時，在旋轉(zhuǎn)體貫通第一壁部的部分設(shè)置有第一軸承，該第一軸承是可 旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體且具有可以使氣體向旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙的滾動軸承。另外， 在旋轉(zhuǎn)體貫通第二壁部的部分，設(shè)置有密封性與第一軸承相比更高的密封構(gòu)件。而且，在熱 處理中，經(jīng)由第二空間供應(yīng)口向所述第二空間內(nèi)供應(yīng)與第一空間的氣氛相比壓力更高的氣 體。由此，向第二空間供應(yīng)的氣體具有從密封性比密封構(gòu)件更低的第一軸承的間隙朝向第 一空間側(cè)的趨勢。因此，具有從第二空間朝向第一空間的趨勢的氣體制止：氣氛氣體從第一 空間經(jīng)過第一軸承的間隙流出的現(xiàn)象。從而，能夠更加抑制氣氛從爐體的內(nèi)部向外部空間 流出。
[0020] 在此，密封構(gòu)件的"密封性與第一軸承相比更高"是指，密封構(gòu)件的可以使氣體向 旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙，與第一軸承相比更小的含義。另外，密封構(gòu)件的"密封性與 第一軸承相比更高"也包括密封構(gòu)件不具有（被密封）可以使氣體向旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流 通的間隙的情況。"與第一空間連通的第二空間"包括：第一空間和第二空間直接連通的情 況、或第一空間和第二空間經(jīng)由其他空間（但是，為除外部空間以外的空間）連通的情況。
[0021] 在本發(fā)明的熱處理方法中，所述爐體具有可以排出所述第一空間內(nèi)的氣氛的排氣 口，在所述工藝中，也可以以所述第一空間的氣氛保持在規(guī)定壓力的方式，從所述排氣口排 出所述第一空間的氣氛，并且向所述第二空間供應(yīng)氣體。如此一來，在經(jīng)由第二空間供應(yīng) 口、第二空間、及第一軸承的間隙向第一空間內(nèi)供應(yīng)氣體的情況下，能夠通過從排氣口排出 氣氛來使第一空間內(nèi)的氣氛的壓力調(diào)整到規(guī)定壓力。
[0022] 在本發(fā)明的熱處理方法中，所述爐體具有可以向所述第一空間內(nèi)供應(yīng)氣體的第一 空間供應(yīng)口，在所述工藝中，可以以所述第一空間的氣氛被保持在規(guī)定壓力的方式，從所述 排氣口排出所述第一空間的氣氛，并且向所述第一空間及所述第二空間供應(yīng)氣體。如此一 來，通過不經(jīng)由第二空間及第一軸承的間隙的路徑來向第一空間供應(yīng)氣體，因此，容易調(diào)整 第一空間內(nèi)的氣氛（氣氛氣體的組分或氣壓等）。此外，在所述工藝中，對從第一空間供應(yīng) 口向第一空間供應(yīng)的氣體、和從第二空間供應(yīng)口向第二空間供應(yīng)的氣體而言，兩者的組分 及壓力可以相同，組分及壓力中至少一種不同也可。
[0023] 在本發(fā)明的熱處理方法中，所述熱處理裝置具備：第一配管，其與所述第一空間供 應(yīng)口連接；第二配管，其與所述第二空間供應(yīng)口連接；及共用配管，其與所述第一配管和所 述第二配管連接，在所述工藝中，通過向所述共用配管供應(yīng)氣體，將與所述第一空間的氣氛 相比壓力更高的氣體經(jīng)由該共用配管及第二配管而向所述第二空間內(nèi)供應(yīng)，并且將氣體經(jīng) 由所述共用配管及所述第一配管而向第一空間內(nèi)供應(yīng)也可。如此一來，對于經(jīng)由第一空間 供應(yīng)口向第一空間的氣體供應(yīng)、和經(jīng)由第二空間供應(yīng)口向第二空間的氣體供應(yīng)，兩者通過 向共用配管供應(yīng)氣體來能夠一并進(jìn)行。此外，在所述工藝中，也可以從共用配管以外的路徑 向所述第一配管供應(yīng)氣體。如此一來，通過向共用配管供應(yīng)氣體來向第一空間和第二空間 的兩者供應(yīng)氣體，同時使來自其他路徑的氣體也向第一配管流通（與來自共用配管的氣體 混合），由此能夠使經(jīng)由第一空間供應(yīng)口供應(yīng)的氣體、和經(jīng)由第二空間供應(yīng)口供應(yīng)的氣體的 組分不同。
[0024] 在本發(fā)明的熱處理方法中，所述熱處理裝置具備：第一流量調(diào)整閥，其與所述第一 配管連接并用于調(diào)整該第一配管的流量；和第二流量調(diào)整閥，其與所述第二配管連接并用 于調(diào)整該第二配管的流量，在所述工藝中，通過向所述共用配管供應(yīng)氣體，將由所述第一流 量調(diào)整閥調(diào)整流量的氣體經(jīng)由該共用配管及所述第一配管而向所述第一空間供應(yīng)，并且將 由所述第二流量調(diào)整閥調(diào)整流量的氣體經(jīng)由該共用配管及所述第二配管而向所述第二空 間供應(yīng)也可。
[0025] 在本發(fā)明的熱處理方法中，所述熱處理裝置具備：第一減壓閥，其設(shè)置在所述共 用配管和所述第一配管中的至少一方，且設(shè)置在比所述第一流量調(diào)整閥更靠近上流側(cè)的位 置；和第二減壓閥，其設(shè)置在所述第二配管中的比所述第二流量調(diào)整閥更靠近上流側(cè)的位 置，其中，所述第一減壓閥將下流側(cè)的氣體壓力減壓至比所述第一空間的氣氛壓力更高的 第一壓力，所述第二減壓閥將下流側(cè)的氣體壓力減壓至比所述第一空間的氣氛壓力更高的 第二壓力，在所述工藝中，將具有超過所述第一壓力及所述第二壓力的壓力的氣體向所述 共用配管供應(yīng)也可。如此一來，從共用配管供應(yīng)壓力比減壓后的壓力（第一壓力及第二壓 力）更高的氣體，因此，即使將比第一減壓閥更靠近上流側(cè)的、或比第二減壓閥更靠近上流 側(cè)的配管變細(xì)，也能夠確保所需的氣體流量。
[0026] 在本發(fā)明的熱處理方法中，所述熱處理裝置具備：搬運(yùn)路，其用于在所述外部空間 和所述第一空間之間搬運(yùn)所述被處理物；上方空間形成部，其用于形成上方空間，所述上方 空間設(shè)置在所述搬運(yùn)路的鉛垂上側(cè)并在鉛垂下側(cè)形成開口且與該搬運(yùn)路內(nèi)連通；及下方空 間形成部，其用于形成下方空間，所述下方空間設(shè)置在所述搬運(yùn)路的鉛垂下側(cè)并在鉛垂上 側(cè)形成開口且與該搬運(yùn)路內(nèi)連通，在所述工藝中，將所述第一空間的氣氛加熱到高于外氣 的溫度，并吸引所述上方空間和所述下方空間中的至少一方也可。如此一來，第一空間的氣 氛氣體加熱至高于外氣的溫度，因此，從第一空間向搬運(yùn)路流出的氣氛氣體容易朝向上方 空間，而外氣容易朝向下方空間。另外，在該狀態(tài)下吸引上方空間和下方空間中的至少一 方，由此產(chǎn)生從搬運(yùn)路朝向上方空間的上方向的氣體流動、和從搬運(yùn)路朝向下方空間的下 方向的氣體流動中的至少一種。由此，第一空間的氣氛或外氣在搬運(yùn)路內(nèi)容易在上下方向 流動，因此，能夠更加抑制外部空間及第一空間中的一方的氣氛經(jīng)過搬運(yùn)路而流向其他方 向（氣體流向垂直于上下方向的方向）的現(xiàn)象。即，能夠更加抑制在爐體內(nèi)外的、經(jīng)由搬運(yùn) 路的氣氛的流出流入。另外，即使?fàn)t體在經(jīng)由搬運(yùn)路而經(jīng)常向外部空間形成開口的狀態(tài)下， 也能夠如上所述地那樣更加抑制在爐體內(nèi)外的氣體的流出流入。此時，所述搬運(yùn)路可以用 于從外部向爐體搬入所述被處理物，也可以用于從爐體向外部搬出所述被處理物。
[0027] 根據(jù)本發(fā)明的熱處理裝置，
[0028] 其在處理空間內(nèi)對被處理物進(jìn)行熱處理，所述熱處理裝置具備：
[0029] 爐體，其形成作為處理空間的第一空間；
[0030] 壁體，在其內(nèi)部形成與所述第一空間連通的第二空間，并具有第一壁部、第二壁 部、及可以從外部向第二空間內(nèi)供應(yīng)氣體的第二空間供應(yīng)口；
[0031] 旋轉(zhuǎn)體，其可以在所述第一空間內(nèi)搬運(yùn)所述被處理物，并從該第一空間側(cè)朝向外 部空間依次貫通所述第一壁部、所述第二空間、及所述第二壁部，而使其一端從該第二壁部 關(guān)出；
[0032] 驅(qū)動單元，其與所述旋轉(zhuǎn)體的所述一端側(cè)連接并可以使該旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動；
[0033] 第一軸承，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第一壁部的部分，是可旋轉(zhuǎn)地支撐該旋 轉(zhuǎn)體且具有可以使氣體向所述旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙的滾動軸承；及
[0034] 密封構(gòu)件，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第二壁部的部分，并且密封性與所述第 一軸承相比更高。
[0035] 該本發(fā)明的熱處理裝置具備：爐體，其形成作為處理空間的第一空間；壁體，在其 內(nèi)部形成與所述第一空間連通的第二空間，并具有第一壁部、第二壁部、及可以從外部向第 二空間內(nèi)供應(yīng)氣體的第二空間供應(yīng)口。另外，可以在第一空間搬運(yùn)被處理物的旋轉(zhuǎn)體，其從 第一空間側(cè)朝向外部空間依次貫通第一壁部、第二空間、及第二壁部，而使其一端從第二壁 部突出。而且，通過與該旋轉(zhuǎn)體的一側(cè)連接的驅(qū)動單元使旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，能夠在第一 空間內(nèi)通過旋轉(zhuǎn)體搬運(yùn)被處理物并在第一空間內(nèi)進(jìn)行被處理物的熱處理。此時，在旋轉(zhuǎn)體 貫通第一壁部的部分設(shè)置有第一軸承，該第一軸承是可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體且具有可以使氣 體向旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙的滾動軸承。另外，在旋轉(zhuǎn)體貫通第二壁部的部分，設(shè)置 有密封性與第一軸承相比更高的密封構(gòu)件。由此，例如在熱處理中，將與第一空間的氣氛相 比壓力更高的氣體經(jīng)由第二空間供應(yīng)口而向所述第二空間內(nèi)供應(yīng)，由此向第二空間供應(yīng)的 氣體具有從密封性比密封構(gòu)件更低的第一軸承的間隙朝向第一空間側(cè)的趨勢。因此，具有 從第二空間朝向第一空間的趨勢的氣體制止：氣氛氣體從第一空間經(jīng)過第一軸承的間隙流 出的現(xiàn)象。從而，能夠更加抑制氣氛從爐體的內(nèi)部向外部空間流出。
[0036] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，具備一端側(cè)軸承，其可旋轉(zhuǎn)地支撐比所述第一軸承更 靠近所述旋轉(zhuǎn)體的所述一端側(cè)，所述密封構(gòu)件也可以是軸封。在該情況下，所述一端側(cè)軸承 也可以設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第二壁部的部分。另外，所述一端側(cè)軸承也可以在外部 空間支撐所述旋轉(zhuǎn)體。
[0037] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述密封構(gòu)件也可以是如下一種第二軸承：設(shè)置在所 述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第二壁部的部分，并可旋轉(zhuǎn)地支撐該旋轉(zhuǎn)體且密封性與所述第一軸承相 比更高的滾動軸承。通過這種方式，第二軸承能夠兼作上述軸封的作用和一端側(cè)軸承的作 用。
[0038] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述第二軸承具有：內(nèi)輪；外輪；多個滾動體，其容納 在該內(nèi)輪及該外輪之間；及遮蔽構(gòu)件，其在該內(nèi)輪的軸向與該多個滾動體偏離的位置，配 置在該內(nèi)輪和該外輪之間，對所述第二軸承的遮蔽構(gòu)件而言，在所述內(nèi)輪和所述外輪之間 形成有與所述第一軸承的所述間隙相比更小的間隙、或者密封所述內(nèi)輪和所述外輪之間也 可。如此一來，能夠用遮蔽構(gòu)件容易地減小或者密封可以使氣體在第二軸承的旋轉(zhuǎn)體的貫 通方向流通的間隙。因此，能夠更加抑制第二空間的氣氛（例如，從第二空間供應(yīng)口所供應(yīng) 的氣體）經(jīng)過第二軸承的間隙而向外部空間流出的現(xiàn)象。此外，優(yōu)選地，第二軸承的遮蔽構(gòu) 件密封第二軸承的內(nèi)輪和外輪之間。
[0039] 在采用第二軸承具有遮蔽構(gòu)件的方案的本發(fā)明熱處理裝置中，所述第一軸承具 有：內(nèi)輪；外輪；多個滾動體，其容納在該內(nèi)輪及該外輪之間；及遮蔽構(gòu)件，其在該內(nèi)輪的軸 向與該多個滾動體偏離的位置，配置在該內(nèi)輪和該外輪之間，對所述第一軸承的遮蔽構(gòu)件 而言，也可以在所述內(nèi)輪和所述外輪之間形成有所述間隙。如此一來，能夠用遮蔽構(gòu)件容易 地減小可以使氣體在第一軸承的旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙。由此，容易使氣體具有從 第二空間朝向第一空間的趨勢，同時抑制塵土等微粒子經(jīng)由第一軸承的間隙而從第二空間 向第一空間侵入的現(xiàn)象。
[0040] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述第一軸承及所述第二軸承也可以是球軸承。即，各 個所述第一軸承及所述第二軸承也可以具有：內(nèi)輪；外輪；及多個球狀滾動體，其容納在該 內(nèi)輪及該外輪之間。此外，第一軸承及所述第二軸承不限定于球軸承，例如使?jié)L動體可以為 圓柱狀。滾動體是如下一種構(gòu)件即可：通過自身的旋轉(zhuǎn)，可以實(shí)現(xiàn)內(nèi)輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)等的外輪和 內(nèi)輪的相對位置偏差。
[0041] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述熱處理也可以包括對所述被處理物的加熱處理。 在此，在進(jìn)行包括第一空間的加熱處理的處理的情況下，存在由于旋轉(zhuǎn)體在爐體內(nèi)被加熱 等而使得第一軸承被加熱的現(xiàn)象。在這種情況下，從第二空間供應(yīng)口向第二空間供應(yīng)氣體， 并產(chǎn)生從第二空間經(jīng)由第一軸承的間隙朝向第一空間的流動，由此能夠通過該氣體的流動 來冷卻第一軸承并抑制加熱。
[0042] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述爐體具有可以使所述第一空間內(nèi)的氣氛排出的排 氣口也可。如此一來，在經(jīng)由第二空間供應(yīng)口、第二空間、及第一軸承的間隙向第一空間內(nèi) 供應(yīng)氣體的情況下，通過從排氣口排出氣氛來容易調(diào)整第一空間內(nèi)的氣氛的壓力。在該情 況下，所述排氣口在所述爐體的外部與排氣閥連接也可。另外，本發(fā)明的熱處理裝置，也可 以具備與排氣口連接并吸引第一空間內(nèi)的氣氛的排氣單元。
[0043] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述爐體也可以具有可以向所述第一空間內(nèi)供應(yīng)氣體 的第一空間供應(yīng)口。如此一來，能夠不經(jīng)由第二空間及第一軸承的間隙來向第一空間供應(yīng) 氣體，因此，容易調(diào)整第一空間內(nèi)的氣氛（氣氛氣體的組分或氣壓等）。此外，對于從第一空 間供應(yīng)口向第一空間供應(yīng)的氣體、和從第二空間供應(yīng)口向第二空間供應(yīng)的氣體，兩者的組 分及壓力可以相同，組分及壓力中至少一種不同也可。
[0044] 本發(fā)明的熱處理裝置也可以具備：第一配管，其與所述第一空間供應(yīng)口連接；第 二配管，其與所述第二空間供應(yīng)口連接；及共用配管，其與所述第一配管和所述第二配管連 接。如此一來，對于經(jīng)由第一空間供應(yīng)口的向第一空間的氣體的供應(yīng)、和經(jīng)由第二空間供應(yīng) 口的向第二空間的氣體的供應(yīng)，兩者通過向共用配管供應(yīng)氣體來能夠一并進(jìn)行。此外，第一 配管也可以使來自共用配管以外的路徑的氣體流通。如此一來，通過向共用配管供應(yīng)氣體 來向第一空間和第二空間的兩者供應(yīng)氣體，同時使來自其他路徑的氣體也向第一配管流通 (與來自共用配管的氣體混合），由此能夠使經(jīng)由第一空間供應(yīng)口供應(yīng)的氣體、和經(jīng)由第二 空間供應(yīng)口供應(yīng)的氣體的組分不同。
[0045] 本發(fā)明的熱處理裝置也可以具備：第一流量調(diào)整閥，其與所述第一配管連接并用 于調(diào)整該第一配管的流量；和第二流量調(diào)整閥，其與所述第二配管連接并用于調(diào)整該第二 配管的流量。如此一來，能夠調(diào)整向第一空間及第二空間流入的氣體的流量。
[0046] 本發(fā)明的熱處理裝置具備：第一減壓閥，其設(shè)置在所述共用配管和所述第一配管 中的至少一方，且設(shè)置在比所述第一流量調(diào)整閥更靠近上流側(cè)的位置；和第二減壓閥，其設(shè) 置在所述第二配管中的比所述第二流量調(diào)整閥更靠近上流側(cè)的位置，所述第一減壓閥將下 流側(cè)的氣體壓力減壓至比所述第一空間的氣氛的壓力更高的第一壓力，所述第二減壓閥將 下流側(cè)的氣體的壓力減壓至比所述第一空間的氣氛的壓力更高的第二壓力。如此一來，能 夠從共用配管供應(yīng)壓力比減壓后的壓力（第一壓力及第二壓力）更高的氣體。因此，即使 將比第一減壓閥更靠近上流側(cè)的、或比第二減壓閥更靠近上流側(cè)的配管變細(xì)，也能夠確保 所需的氣體流量。
[0047] 本發(fā)明的熱處理裝置也可以具備第三空間形成構(gòu)件，該第三空間形成構(gòu)件在所述 第一空間和所述第二空間之間形成與該第一空間及該第二空間連通的第三空間，并被所述 旋轉(zhuǎn)體貫通。如此一來，通過在第一空間和第二空間之間存在第三空間，能夠更加抑制爐體 對壁體的影響，例如由來自爐體的熱傳導(dǎo)而導(dǎo)致壁體的第一軸承、密封構(gòu)件的溫度產(chǎn)生變 化等的影響。另外，在該情況下，本發(fā)明的熱處理裝置也可以進(jìn)一步具備支撐單元，該支撐 單元在所述第三空間內(nèi)可旋轉(zhuǎn)地支撐所述旋轉(zhuǎn)體。
[0048] 在采用具備第三空間形成構(gòu)件的方案的本發(fā)明熱處理裝置中，所述旋轉(zhuǎn)體具備： 搬運(yùn)輥?zhàn)?，其可以在所述第一空間內(nèi)搬運(yùn)所述被處理物；驅(qū)動軸，其被所述驅(qū)動單元進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動并貫通所述壁體；空心管狀保持架，其被所述驅(qū)動軸的所述搬運(yùn)輥?zhàn)觽?cè)的端部插入 并與該端部連接；輥?zhàn)虞S承蓋，其固定在所述搬運(yùn)輥?zhàn)又械乃鲵?qū)動軸側(cè)；及連接軸，其插 入于所述保持架和所述輥?zhàn)虞S承蓋并與該保持架及該輥?zhàn)虞S承蓋連接，所述保持架、所述 輥?zhàn)虞S承蓋、及所述連接軸配置在所述第三空間內(nèi)，在所述輥?zhàn)虞S承蓋的內(nèi)周面和所述連 接軸之間有間隙（clearance)，該連接軸通過該間隙來與所述輥?zhàn)虞S承蓋可可軸偏離地連 接。如此一來，通過連接軸與輥?zhàn)虞S承蓋可軸偏離地連接，即使搬運(yùn)輥?zhàn)雍万?qū)動軸產(chǎn)生偏心 (軸偏離），也能夠經(jīng)由驅(qū)動軸向搬運(yùn)輥?zhàn)觽鬟f來自驅(qū)動單元的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。在該情況下， 本發(fā)明的熱處理裝置也可以進(jìn)一步具備支撐單元，該支撐單元在所述第三空間內(nèi)可旋轉(zhuǎn)地 支撐所述輥?zhàn)虞S承蓋。
[0049] 本發(fā)明的熱處理裝置也可以具備：將與所述第一空間的氣氛相比壓力更高的氣體 向所述第二空間內(nèi)供應(yīng)的氣體供應(yīng)單元。如此一來，通過來自氣體供應(yīng)單元的氣體，能夠產(chǎn) 生從第二空間經(jīng)過第一軸承的間隙而朝向第一空間的氣體的流動。
[0050] 本發(fā)明的熱處理裝置也可以具備配置在所述第一空間內(nèi)的加熱單元。另外，本發(fā) 明的熱處理裝置也可以具有可以在第一空間內(nèi)搬運(yùn)所述被處理物的多個旋轉(zhuǎn)體。在該情況 下，多個旋轉(zhuǎn)體中的一個以上可以"從第一空間側(cè)朝向外部空間依次貫通第一壁部、第二空 間、及第二壁部，而使其一端從第二壁部突出"。另外，壁體作為貫通有一個旋轉(zhuǎn)體的構(gòu)成部 分，本發(fā)明的熱處理裝置也可以具有多個壁體。也可以是貫通有多個旋轉(zhuǎn)體的壁體。
[0051] 本發(fā)明的熱處理裝置也可以具備：搬運(yùn)路，其用于在所述外部空間和所述第一空 間之間搬運(yùn)所述被處理物；加熱單元，其使所述爐體內(nèi)部的氣氛的溫度高于外氣的溫度； 上方空間形成部，其用于形成上方空間，所述上方空間設(shè)置在所述搬運(yùn)路的鉛垂上側(cè)并在 鉛垂下側(cè)形成開口且與該搬運(yùn)路內(nèi)連通；下方空間形成部，其用于形成下方空間，所述下方 空間設(shè)置在所述搬運(yùn)路的鉛垂下側(cè)并在鉛垂上側(cè)形成開口且與該搬運(yùn)路內(nèi)連通；及吸引單 元，其用于吸引所述上方空間和所述下方空間中的至少一方。如此一來，正如本發(fā)明熱處理 方法的說明，能夠更加抑制在爐體內(nèi)外的、經(jīng)由搬運(yùn)路的氣氛的流出流入。
[0052] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述上方空間形成部也可以形成所述上方空間，所述 上方空間向其上部遠(yuǎn)離所述爐體的方向傾斜。當(dāng)高于外氣溫度的氣氛氣體從爐體流出時， 該氣氛氣體的流向存在越遠(yuǎn)離爐體則越上升的趨勢。因此，通過上方空間向其上部遠(yuǎn)離爐 體的方向傾斜，來自爐體的氣氛氣體容易被引導(dǎo)至上方空間，從而能夠更加抑制向外部的 流出。
[0053] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述上方空間形成部也可以具有劃分構(gòu)件，所述劃分 構(gòu)件是向其上部遠(yuǎn)離所述爐體的方向傾斜的構(gòu)件，并且將所述上方空間沿著所述被處理物 的搬運(yùn)方向劃分成多個劃分空間。如此一來，通過多個劃分構(gòu)件向其上部遠(yuǎn)離爐體的方向 傾斜，來自爐體的氣氛氣體容易被引導(dǎo)至上方空間。在該情況下，所述多個劃分空間也可以 在所述上方空間中的上方互相連通。
[0054] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述下方空間形成部也可以形成所述下方空間，所述 下方空間向其下部接近所述爐體的方向傾斜。當(dāng)外氣向搬運(yùn)路流動時，爐體的氣氛氣體的 溫度更高，因此，該外氣的流向存在越接近爐體則越下降的趨勢。因此，通過下方空間向其 下部接近爐體的方向傾斜，由此向搬運(yùn)路流動的外氣容易被引導(dǎo)至下方空間，從而能夠更 加抑制向爐體的流入。
[0055] 在本發(fā)明的熱處理裝置中，所述下方空間形成部也可以具有劃分構(gòu)件，所述劃分 構(gòu)件是向其下部接近所述爐體的方向傾斜的構(gòu)件，并且將所述下方空間沿著所述被處理物 的搬運(yùn)方向劃分成多個劃分空間。如此一來，通過多個劃分構(gòu)件向其下部接近爐體的方向 傾斜，向搬運(yùn)路流動的外氣容易被引導(dǎo)至下方空間。在該情況下，所述多個劃分空間也可以 在所述下方空間中的下方互相連通。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0056] 圖1是第一實(shí)施方案的輥道窯10的縱剖視圖。
[0057] 圖2是圖1的A-A剖視圖。
[0058] 圖3是圖2的驅(qū)動側(cè)端蓋26及壁體30的周邊的放大剖視圖。
[0059] 圖4是變形例的輥道窯的壁體30周邊的放大剖視圖。
[0060] 圖5是變形例的輥道窯的壁體30周邊的放大剖視圖。
[0061] 圖6是第二實(shí)施方案的輥道窯310的縱剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0062] [第一實(shí)施方案]
[0063] 接著，采用附圖對本發(fā)明的實(shí)施方案進(jìn)行說明。圖1是作為使用本發(fā)明熱處理方 法的熱處理裝置的一實(shí)施方案的輥道窯10的縱剖視圖。圖2是圖1的A-A剖視圖。圖3 是圖2的驅(qū)動側(cè)端蓋26及壁體30的周邊的放大剖視圖。輥道窯10是，在爐體11的第一 空間11a內(nèi)搬運(yùn)載置有多個被處理物96的托盤95,同時對被處理物96進(jìn)行熱處理的裝置。 輥道窯10具備：爐體11 ;從動側(cè)端蓋22 ;驅(qū)動側(cè)端蓋26 ;壁體30 ;包括搬運(yùn)輥?zhàn)?1的多個 旋轉(zhuǎn)體60 ;氣體供應(yīng)裝置70 ;及排氣裝置86 (參照圖1、2)。
[0064] 爐體11是大致以長方體形成的隔熱結(jié)構(gòu)體，具有：第一空間11a，其是在內(nèi)部進(jìn)行 被處理物96的熱處理的處理空間；和開口 14、15,其分別在爐體的前端面12(圖1的左端 面）及后端面13(圖1的右端面）形成，并成為從外部向第一空間11a的出入口（圖1)。 該爐體11的從前端面12至后端面13的長度例如為2-15m。在第一空間11a內(nèi)，多個搬運(yùn) 輥?zhàn)?1沿著搬運(yùn)方向（圖1的前后方向）從開口 14至開口 15配置。通過該搬運(yùn)輥?zhàn)?1 的旋轉(zhuǎn)，載置有多個被處理物96的托盤95從開口 14經(jīng)過第一空間11a內(nèi)搬運(yùn)至開口 15。 此外，如圖2所示，搬運(yùn)輥?zhàn)?1向與搬運(yùn)方向垂直相交的方向（圖2的左右方向）貫通爐 體11。在爐體11的左右方向具有貫通孔16和貫通孔17,搬運(yùn)輥?zhàn)?1的一端（圖2的左 端）貫通爐體11的貫通孔16而到達(dá)至驅(qū)動側(cè)端蓋26內(nèi)，另一端（圖2的右端）貫通爐體 11的貫通孔17而到達(dá)至從動側(cè)端蓋22內(nèi)。另外，第一空間11a內(nèi)，在爐體11的頂部及底 部配置有多個加熱器20,以使從上下夾住多個搬運(yùn)輥?zhàn)?1。加熱器20以其長尺寸方向與 搬運(yùn)方向垂直相交的方式配置，并沿著搬運(yùn)方向配置有多個。加熱器20用于加熱經(jīng)過第一 空間11a內(nèi)的被處理物96,例如由SiC加熱器等陶瓷加熱器來構(gòu)成。此外，并不限定于加 熱器20,只要是煤氣燃燒器等能夠進(jìn)行被處理物96的熱處理的加熱裝置即可。如圖2所 示，在爐體11的頂部部分形成有與排氣裝置86連接并可以使第一空間11a的氣氛排出的 排氣口 19。另外，在爐體11的底部形成有與氣體供應(yīng)裝置70連接并可以向第一空間11a 供應(yīng)氣體的第一空間供應(yīng)口 18。此外，爐體11除了開口 14、15、貫通孔16、17、第一空間供 應(yīng)口 18、排氣口 19之外是呈氣密結(jié)構(gòu)，在這些部分以外，幾乎不產(chǎn)生與外部空間等其他空 間的氣體的流出流入。另外，開口 14、開口 15也可以在氣密結(jié)構(gòu)的未圖示的置換室內(nèi)形成 開口。
[0065] 從動側(cè)端蓋22是配置在爐體11的右側(cè)（圖2的右側(cè)）的大致呈長方體的結(jié)構(gòu) 體。該從動側(cè)端蓋22以貫通貫通孔17的搬運(yùn)輥?zhàn)?1的另一端不露出在輥道窯10的外部 空間的方式覆蓋搬運(yùn)輥?zhàn)?1的另一端。從動側(cè)端蓋22除了與爐體11側(cè)的貫通孔17相連 的開口以外呈氣密結(jié)構(gòu)，因此在從動側(cè)端蓋22內(nèi)的空間和外部空間幾乎不產(chǎn)生氣體的流 出流入。另外，在從動側(cè)端蓋22內(nèi)配置有從下側(cè)支撐搬運(yùn)輥?zhàn)?1的從動側(cè)支撐輥?zhàn)?4。 對從動側(cè)支撐輥?zhàn)?4而言，例如位于搬運(yùn)輥?zhàn)?1的下側(cè)且從搬運(yùn)輥?zhàn)?1的中心軸朝向前 后（圖2的紙面表面及里面）偏離的位置排列兩個輥?zhàn)佣?，通過該多個輥?zhàn)涌尚D(zhuǎn)地支 撐搬運(yùn)輥?zhàn)?1。
[0066] 驅(qū)動側(cè)端蓋26是配置在爐體11的左側(cè)（圖2的左側(cè)）的大致呈長方體的結(jié)構(gòu) 體，在其內(nèi)部形成有第三空間26a。在驅(qū)動側(cè)端蓋26的爐體11側(cè)（圖2的右側(cè)）形成有 開口，第三空間26a經(jīng)由貫通孔16與第一空間11a連通。貫通貫通孔16的搬運(yùn)輥?zhàn)?1的 一端到達(dá)至第三空間26a內(nèi)，驅(qū)動側(cè)端蓋26覆蓋搬運(yùn)輥?zhàn)?1的一端。另外，在驅(qū)動側(cè)端蓋 26的左側(cè)形成有與第三空間26a連通的開口 27,與搬運(yùn)輥?zhàn)?1連接的驅(qū)動軸65貫通開口 27 (參照圖3)。驅(qū)動側(cè)端蓋26除了開口 27、或與爐體11側(cè)的貫通孔16相連的開口之外呈 氣密結(jié)構(gòu)，從而除這些部分以外，在第三空間26a和第一空間11a、第二空間30a、外部空間 之間幾乎不產(chǎn)生氣體的流出流入。在第三空間26a內(nèi)配置有從下側(cè)支撐旋轉(zhuǎn)體60 (輥?zhàn)虞S 承蓋62)的驅(qū)動側(cè)支撐輥?zhàn)?8。驅(qū)動側(cè)支撐輥?zhàn)?8是與從動側(cè)支撐輥?zhàn)?4相同的結(jié)構(gòu)， 驅(qū)動側(cè)支撐輥?zhàn)涌尚D(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體60 (輥?zhàn)虞S承蓋62)。
[0067] 壁體30是配置在驅(qū)動側(cè)端蓋26的左側(cè)（圖2的左側(cè)）的大致呈長方體的結(jié)構(gòu)體。 如圖3所示，對壁體30而言，其具有板狀構(gòu)件的第一壁部31和第二壁部32,是將包括這些 的多個板狀構(gòu)件通過粘合劑或螺栓緊固等來組合而大致呈長方體的結(jié)構(gòu)體。由此在壁體30 的內(nèi)部形成有第二空間30a。第一壁部31及第二壁部32以沿著旋轉(zhuǎn)體60的軸向（圖3 的左右方向）夾住第二空間30a的方式對置而配置。對第一壁部31而言，爐體11側(cè)（圖 3的右側(cè)）的面與驅(qū)動側(cè)端蓋26的壁體30側(cè)（圖3的左側(cè)）的面接觸，并以堵塞驅(qū)動側(cè) 端蓋26的開口 27的方式配置。由此，對第一壁部31而言，爐體11側(cè)的面面向與第一空間 11a相連的第三空間26a，與爐體11相反側(cè)的面則面向第二空間30a。即，第一壁部31劃 分第三空間26a和第二空間30a。另外，對第二壁部32而言，爐體11側(cè)的面面向第二空間 30a，與爐體11相反側(cè)的面則面向外部空間。即，第二壁部32劃分第二空間30a和外部空 間。在壁體30的頂部（圖3的上部）形成有與氣體供應(yīng)裝置70連接、并可以向第二空間 30a供應(yīng)氣體的第二空間供應(yīng)口 33。另外，第一壁部31被驅(qū)動軸65所貫通，在該貫通部分 安裝有第一軸承40。相同地，第二壁部32被驅(qū)動軸65貫通，在該貫通部分安裝有第二軸承 50。此外，壁體30除了第二空間供應(yīng)口 33、第一軸承40的間隙44a、45a(參照圖3的放大 部分）之外呈氣密結(jié)構(gòu)，從而除這些部分以外，幾乎不產(chǎn)生與外部空間或第三空間26a的氣 體的流出流入。
[0068] 第一軸承40是作為球軸承而構(gòu)成的滾動軸承，并且可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體60 (驅(qū)動 軸65)。第一軸承40具有：內(nèi)輪41 ;外輪42 ;多個球體43 ;及遮蔽構(gòu)件44、45。內(nèi)輪41以 如下方式構(gòu)成：驅(qū)動軸65所貫通其中心，并可以與驅(qū)動軸65 -體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。外輪42是與 內(nèi)輪41以同心圓狀配置的構(gòu)件。外輪42的外周面安裝并固定在第一壁部31。外輪42的 外周面和第一壁部31的貫通部分的內(nèi)周面之間，例如通過密封材料等密封。球體43是在 內(nèi)輪41和外輪42之間以可旋轉(zhuǎn)方式配置的構(gòu)件。該球體43沿著內(nèi)輪41的外周面及外輪 42的內(nèi)周面在圓周方向以等間隔配置有多個。如果內(nèi)輪41隨著驅(qū)動軸65的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行 旋轉(zhuǎn)，則通過球體43的旋轉(zhuǎn)來消除旋轉(zhuǎn)的內(nèi)輪41和所固定的外輪42的相對位置偏差。由 此，第一軸承40可旋轉(zhuǎn)地支撐驅(qū)動軸65。遮蔽構(gòu)件44、45是環(huán)狀構(gòu)件，遮蔽構(gòu)件44、45在 內(nèi)輪41的軸向（圖3的左右方向）與多個球體43偏離的位置，配置在內(nèi)輪41和外輪42 之間。此外，遮蔽構(gòu)件44配置在比球體43更靠近第一空間11a側(cè)的位置，遮蔽構(gòu)件45配 置在比球體43更靠近第二空間30a側(cè)的位置。遮蔽構(gòu)件44、45例如是使合成橡膠等彈性 體粘合在鋼板表面的構(gòu)件，并且通過將遮蔽構(gòu)件44、45的外周面的環(huán)狀突起嵌入于形成在 外輪42的內(nèi)周面的槽，由此固定在外輪42。另外，在遮蔽構(gòu)件44、45的內(nèi)周面也形成有環(huán) 狀突起，該突起在與內(nèi)輪41的外周面的槽之間分別形成間隙44a、45a。即，遮蔽構(gòu)件44、45 保留間隙44a、45a而堵塞內(nèi)輪41和外輪42之間的間隙。該間隙44a、45a呈由內(nèi)輪41的 槽和遮蔽構(gòu)件44、45的突起而夾住的迷宮形狀。間隙44a和間隙45a經(jīng)由多個球體43之 間的間隙而連通。因此，第一軸承40形成從第二空間30a經(jīng)由間隙45a、多個球體43之間 的間隙、及間隙44a而到達(dá)第三空間26a的氣體流道，由此與第二空間30a和第三空間26a 連通。
[0069] 第二軸承50是作為球軸承而構(gòu)成的滾動軸承，并且可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體60 (驅(qū)動 軸65)。第二軸承50具有：內(nèi)輪51 ;外輪52 ;多個球體53 ;及遮蔽構(gòu)件54、55。內(nèi)輪51以 如下方式構(gòu)成：驅(qū)動軸65貫通其中心，并可以與驅(qū)動軸65 -體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。外輪52是與內(nèi) 輪51以同心圓狀配置的構(gòu)件。外輪52的外周面安裝并固定在第二壁部32。外輪52的外 周面和第二壁部32的貫通部分的內(nèi)周面之間，例如通過密封材料等密封。球體53是在內(nèi)輪 51和外輪52之間以可旋轉(zhuǎn)方式配置的構(gòu)件。該球體53沿著內(nèi)輪51的外周面及外輪52的 內(nèi)周面在圓周方向以等間隔配置有多個。如果內(nèi)輪51隨著驅(qū)動軸65的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 則通過球體5的3旋轉(zhuǎn)來消除旋轉(zhuǎn)的內(nèi)輪51和所固定的外輪52的相對位置偏差。由此， 第二軸承50可旋轉(zhuǎn)地支撐驅(qū)動軸65。遮蔽構(gòu)件54、55是環(huán)狀構(gòu)件，遮蔽構(gòu)件54、55在內(nèi)輪 51的軸向（圖3的左右方向）與多個球體53偏離的位置，配置在內(nèi)輪51和外輪52之間。 此外，遮蔽構(gòu)件54配置在比球體53更靠近第二空間30a側(cè)的位置，遮蔽構(gòu)件55配置在比 球體53更靠近外部空間側(cè)的位置。遮蔽構(gòu)件54、55例如是使合成橡膠等彈性體粘合在鋼 板表面的構(gòu)件，并且通過將遮蔽構(gòu)件54、55的外周面的環(huán)狀突起嵌入于形成在外輪52的內(nèi) 周面的槽，由此固定在外輪52。另外，與第一軸承40的遮蔽構(gòu)件44、45不同地，形成在遮蔽 構(gòu)件54、55的內(nèi)周面的環(huán)狀突起嵌入到內(nèi)輪51的外周面的槽內(nèi)而與槽的底部接觸。由此， 在遮蔽構(gòu)件54、55和內(nèi)輪51之間沒有間隙，遮蔽構(gòu)件54、55密封內(nèi)輪51和外輪52之間。
[0070] 旋轉(zhuǎn)體60具有：搬運(yùn)輥?zhàn)?1、輥?zhàn)虞S承蓋62、連接軸63、保持架64、及驅(qū)動軸65。 該旋轉(zhuǎn)體60通過搬運(yùn)輥?zhàn)?1可以在第一空間11a內(nèi)搬運(yùn)被處理物96,并且從第一空間11a 側(cè)朝向外部空間依次貫通驅(qū)動側(cè)端蓋26 (第三空間26a)、第一壁部31、第二空間30a、及第 二壁部32,而使其一端（圖3的左端）從第二壁部32向外部空間突出。更具體而言，搬運(yùn) 輥?zhàn)?1從第一空間11a貫通貫通孔16而到達(dá)第三空間26a內(nèi)，并且輥?zhàn)虞S承蓋62、連接軸 63、及保持架64從第一空間11a側(cè)朝向第二空間30a側(cè)依次以該順序配置在第三空間26a 內(nèi)。另外，驅(qū)動軸65從第三空間26a內(nèi)依次貫通開口 27、第一壁部31 (第一軸承40)、第二 空間30a、及第二壁部32 (第二軸承50)而從第二壁部32向外部空間突出。在驅(qū)動軸65的 一端側(cè)形成有鏈輪（sprocket) 66,在該鏈輪66掛有滾子鏈92。滾子鏈92以橫跨配置在外 部空間的馬達(dá)90的驅(qū)動軸91和鏈輪66的方式配置，并用于連接旋轉(zhuǎn)體60和馬達(dá)90。馬 達(dá)90經(jīng)由驅(qū)動軸91、滾子鏈92向鏈輪66傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。通過鏈輪66的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動來旋 轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)體60的整體，由此使搬運(yùn)輥?zhàn)?1搬運(yùn)被處理物96。
[0071] 對旋轉(zhuǎn)體60的各個構(gòu)成要素及其連接進(jìn)行說明。搬運(yùn)輥?zhàn)?1例如為陶瓷制的空 心管，并且在其一端（圖3的左端）側(cè)具有外徑小的圓柱狀的突出部61a。輥?zhàn)虞S承蓋62 是軸向的兩端形成了開口的筒狀構(gòu)件。在輥?zhàn)虞S承蓋62的搬運(yùn)輥?zhàn)?1側(cè)端部的開口內(nèi)插 入有突出部61a，通過未圖示的螺栓等固定突出部61a和輥?zhàn)虞S承蓋62。由此，搬運(yùn)輥?zhàn)?1 和輥?zhàn)虞S承蓋62以同軸方式被固定。
[0072] 連接軸63,其是具有比輥?zhàn)虞S承蓋62兩端的開口直徑更小的（例如2分之1等） 外徑、且具有比保持架64兩端的開口直徑更小的外徑的圓柱狀構(gòu)件。保持架64是其軸向兩 端形成了開口的空心管狀構(gòu)件。連接軸63的爐體11側(cè)的端部插入在輥?zhàn)虞S承蓋62的壁體 30側(cè)端部的開口內(nèi)。另外，在連接軸63的爐體11側(cè)的端部附近，插入銷67a與連接軸63 的中心軸垂直地貫通連接軸63。連接軸63和插入銷67a通過與插入銷67a垂直地貫通連 接軸63的定位螺釘68a來固定。該插入銷67a是比輥?zhàn)虞S承蓋62的外徑更長的構(gòu)件，其貫 通形成在輥?zhàn)虞S承蓋62的壁體30側(cè)端部的一對切口部62a、62b。切口部62a、62b是，從輥 子軸承蓋62的壁體30側(cè)的端面沿著軸向在輥?zhàn)虞S承蓋62的筒狀部分形成切口而形成的、 沿著軸向的槽（深度方向是軸向的槽）。因此，在用定位螺釘68a固定連接軸63和插入銷 67a的狀態(tài)下，可以將連接軸63插入到輥?zhàn)虞S承蓋62的內(nèi)部，并且可以將插入銷67a從輥 子軸承蓋62的壁體30側(cè)的端面插入于切口部62a、62b內(nèi)。另外，在比插入銷67a更靠近 輥?zhàn)虞S承蓋62的左端部側(cè)（切口部62a、62b的開口側(cè)）的位置安裝有C型擋圈69a，由此 防止插入后的插入銷67a從切口部62a、62b向軸向脫落的現(xiàn)象。由此，通過插入銷67a、切 口部62a、62b、及C型擋圈69a來連接輥?zhàn)虞S承蓋62和連接軸63。與爐體11側(cè)的端部相 同地，連接軸63的壁體30側(cè)的端部被插入銷67b貫通并被定位螺釘68b固定插入銷67b。 由此，與上述輥?zhàn)虞S承蓋62和連接軸63的連接相同地，通過保持架64的爐體11側(cè)的切口 部64a、64b、插入銷67b、及C型擋圈69b來在圓筒狀的保持架64內(nèi)插入連接軸63的同時 使保持架64和連接軸63連接。
[0073] 驅(qū)動軸65是具有比保持架64的兩端的開口直徑更小的外徑（例如，與連接軸63 相同的外徑）的圓柱狀構(gòu)件。驅(qū)動軸65的爐體11側(cè)的端部與連接軸63相同地被插入銷 67c貫通且被定位螺釘68c固定插入銷67c。由此，與上述保持架64和連接軸63的連接相 同地，通過保持架64的壁體30側(cè)的切口部64c、64d、插入銷67c、及C型擋圈69c來在圓筒 狀的保持架64內(nèi)插入驅(qū)動軸65的同時使保持架64和驅(qū)動軸65連接。
[0074] 此外，在本實(shí)施方案中，保持架64的內(nèi)徑與連接軸63及驅(qū)動軸65的外徑之差比 較?。ɡ绮蛔?mm等），輥?zhàn)虞S承蓋62的內(nèi)徑與連接軸63的外徑之差比較大（例如十幾 厘米等）。由此，保持架64的內(nèi)徑與連接軸63及驅(qū)動軸65的外徑的間隙比較小，而輥?zhàn)?軸承蓋62的內(nèi)徑與連接軸63的外徑的間隙比較大。因此，保持架64和連接軸63及驅(qū)動 軸65幾乎保持在同軸而連接，相對于此，連接軸63和輥?zhàn)虞S承蓋62通過該間隙來向插入 銷67a的長尺寸方向（圖3的上下方向）可軸偏離地連接。此外，插入銷67a具有：即便連 接軸63和輥?zhàn)虞S承蓋62產(chǎn)生軸偏離，也不會從切口部62a、62b脫落的充分的長度。使用 這種插入銷67a-67c而使輥?zhàn)虞S承蓋62、連接軸63、保持架64、及驅(qū)動軸65連接的結(jié)構(gòu)，例 如在日本國特開平9-26264號公報（或者日本國專利第3556739號公報）中公開。
[0075] 如圖2所示，氣體供應(yīng)裝置70具備：第一氣體供應(yīng)源71，其用于供應(yīng)第一氣體；和 第二氣體供應(yīng)源72,其用于供應(yīng)第二氣體。另外，氣體供應(yīng)裝置70具備：共用配管73,其形 成從第二氣體供應(yīng)源72至連接部76a的第一氣體流道；第一配管74,其形成從連接部76a 經(jīng)由連接部76b至第一空間供應(yīng)口 18的氣體流道；及第二配管75,其形成從連接部76a至 第二空間供應(yīng)口 33的氣體流道。在共用配管73的氣體流道的中途，從第二氣體供應(yīng)源72 朝向連接部76a依次安裝有過濾器80、流量計81、及第一減壓閥82。另外，在第一配管74 的氣體流道的中途，在比連接部76b更靠近下流側(cè)（第一空間供應(yīng)口 18側(cè)）的位置安裝有 第一流量調(diào)整閥84。在第二配管75的氣體流道的中途，從連接部76a朝向第二空間供應(yīng)口 33依次安裝有第二減壓閥83、及第二流量調(diào)整閥85。
[0076] 第一氣體供應(yīng)源71是向第一配管74的連接部76b供應(yīng)第一氣體的裝置。該第一 氣體從連接部76b經(jīng)由第一配管74、第一空間供應(yīng)口 18而到達(dá)第一空間11a內(nèi)。第二氣 體供應(yīng)源72是向共用配管73供應(yīng)第二氣體的裝置。該第二氣體從共用配管73流向第一 配管74內(nèi)，并在連接部76b與第一氣體混合之后，從第一空間供應(yīng)口 18到達(dá)第一空間11a 內(nèi)。另外，第二氣體從共用配管73流向第二配管75內(nèi)，并經(jīng)由第二空間供應(yīng)口 33到達(dá)第 二空間30a內(nèi)。此時，第二氣體是包括被處理物96的熱處理時的第一空間11a內(nèi)的、氣氛 成分的至少一部分的氣體。在本實(shí)施方案中，熱處理時的第一空間11a內(nèi)的氣氛采用了還 原氣氛，具體地是在氮?dú)庵谢旌狭宋⒘繗錃獾臍夥眨ɡ鐨夥罩械臍錃鉂舛仁莻€位％等）。 而且，第二氣體采用了氮?dú)?。另外，第一氣體至少包括不包含在熱處理時的第一空間11a內(nèi) 的氣氛中的第二氣體的成分，在本實(shí)施方案中采用了氫氣。
[0077] 過濾器80是用于去除來自從第二氣體供應(yīng)源72所供應(yīng)的第二氣體的、塵土等微 粒子的裝置。流量計81是用于測量在共用配管73流動的第二氣體流量的裝置。對第一減 壓閥82而言，其設(shè)置在比第一流量調(diào)整閥84更靠近氣體的上流側(cè)的位置，并且將從第二氣 體供應(yīng)源72向自身的上流側(cè)供應(yīng)的氣體的壓力減壓至規(guī)定的第一壓力，并流向自身的下 流側(cè)。該第一壓力預(yù)先設(shè)定為，比被處理物96的熱處理時的第一空間11a的氣氛壓力更高 的壓力（例如第一空間11a的氣氛的十幾倍的壓力）。雖然沒有特別的限定，但第一壓力也 可以是第二氣體供應(yīng)源72供應(yīng)的第二氣體的壓力的一半以下。第二減壓閥83設(shè)置在比第 二流量調(diào)整閥85更靠近氣體的上流側(cè)的位置，并且向自身的上流側(cè)供應(yīng)的氣體的壓力減 壓至規(guī)定的第二壓力，并流向自身的下流側(cè)。此外，也可以從圖2得知，第一減壓閥82設(shè)置 在第二減壓閥83的上流側(cè)，因此，氣體以第一壓力向第二減壓閥83的上流側(cè)供應(yīng)。即，第 二減壓閥83將第一壓力的氣體減壓至第二壓力并流向下流側(cè)。該第二壓力預(yù)先設(shè)定為，t匕 被處理物96的熱處理時的第一空間11a的氣氛的壓力更高的壓力（例如第一空間11a的 氣氛的數(shù)倍的壓力）。雖然沒有特別的限定，但第二壓力也可以是第一壓力的100分之1以 下。第一流量調(diào)整閥84是以經(jīng)過自身的氣體（混合第一氣體和第二氣體的氣體）的流量 形成為規(guī)定的第一流量（不超過第一流量）的方式進(jìn)行調(diào)整的裝置。第二流量調(diào)整閥85 是以經(jīng)過自身的第二氣體流量形成為規(guī)定的第二流量（不超過第二流量）的方式進(jìn)行調(diào)整 的裝置。
[0078] 排氣裝置86是與排氣口 19連接而吸引并排出第一空間11a內(nèi)的氣氛的裝置。該 排氣裝置86具有排氣閥87、吸氣閥88、及排氣扇89。排氣閥87是，通過調(diào)整閥的開度來調(diào) 整從第一空間11a經(jīng)由排氣口 19而流動的氣氛氣體的流量的裝置。吸氣閥88是，例如通 過吸入周圍的大氣等來冷卻從第一空間11a流入的氣氛氣體的裝置。排氣扇89經(jīng)由排氣 口 19、排氣閥87、及吸氣閥88而吸引第一空間11a內(nèi)的氣氛，并將其排出。排氣扇89也可 以是可以調(diào)整每單位時間內(nèi)的排氣量的裝置。
[0079] 被處理物96在經(jīng)過爐體11內(nèi)時通過來自加熱器20的熱量來例如進(jìn)行燒成的熱 處理。雖然沒有特別的限定，但在本實(shí)施方案中，被處理物96是層疊陶瓷制的電介質(zhì)和電 極的層疊體（對于尺寸，例如長寬在1_以內(nèi)），并且在燒成后形成陶瓷電容器的芯片。
[0080] 以上，使用圖1-3對輥道窯10的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，在圖2、3中示出了一個旋轉(zhuǎn)體 60、貫通該旋轉(zhuǎn)體60的一個驅(qū)動側(cè)端蓋26、及一個壁體30等。在本實(shí)施方案中，配置在第 一空間11a內(nèi)的多個旋轉(zhuǎn)體60中的任意一個均具有與圖2、3相同的結(jié)構(gòu)。即，輥道窯10 具有與配置在第一空間11a內(nèi)的旋轉(zhuǎn)體60的個數(shù)相同的數(shù)量，并具有驅(qū)動側(cè)端蓋26、壁體 30、馬達(dá)90、及從動側(cè)端蓋22等。另外，第二配管75在第二流量調(diào)整閥85的下流側(cè)以與壁 體30相同的數(shù)量而分支，并且分支處分別與多個第二空間供應(yīng)口 33連接。
[0081] 接著，對使用以這種方式構(gòu)成的輥道窯10而進(jìn)行被處理物96的熱處理的狀態(tài)進(jìn) 行說明。首先，使馬達(dá)90工作而使多個旋轉(zhuǎn)體60進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，并且給加熱器20通電使 加熱器20發(fā)熱。從旋轉(zhuǎn)體60傳向旋轉(zhuǎn)體60的驅(qū)動力是在本實(shí)施方案中根據(jù)熱處理所需 的時間而預(yù)先設(shè)定的。加熱器20的輸出是根據(jù)在第一空間11a內(nèi)的被處理物96進(jìn)行熱處 理時的溫度（例如l〇〇〇°C左右等）而預(yù)先設(shè)定的。接著，準(zhǔn)備多個載置有多個被處理物96 的托盤95,并將其依次載置在開口 14側(cè)的端部的旋轉(zhuǎn)體60 (搬運(yùn)輥?zhàn)?1)上。托盤95也 可以在與搬運(yùn)方向垂直的方向（圖2的左右方向）載置多列。載置在搬運(yùn)輥?zhàn)?1的托盤 95通過多個搬運(yùn)輥?zhàn)?1的旋轉(zhuǎn)來搬入至爐體11內(nèi)并向搬運(yùn)方向依次搬運(yùn)。而且，托盤95 經(jīng)過第一空間11a從開口 15側(cè)搬出。由此，在輥道窯10,通過馬達(dá)90使旋轉(zhuǎn)體60進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動，在第一空間11a內(nèi)依次搬運(yùn)被處理物96的同時通過加熱器20來進(jìn)行熱處理。 [0082] 而且，在被處理物96的搬運(yùn)期間，S卩，在進(jìn)行熱處理期間，從第一氣體供應(yīng)源71及 第二氣體供應(yīng)源72分別供應(yīng)第一氣體及第二氣體，并且通過排氣扇89吸引并排出第一空 間11a內(nèi)的氣氛。下面，對氣體的流動進(jìn)行說明。
[0083] 第二氣體供應(yīng)源72將壓力超過第一壓力及第二壓力的第二氣體向共用配管73供 應(yīng)。向共用配管73供應(yīng)的第二氣體經(jīng)過過濾器80、流量計81，并被第一減壓閥82減壓至 第一壓力。被第一減壓閥82所減壓的第二氣體，其在連接部76a向第一配管74和第二配 管75分支并流動。流向第一配管74的第二氣體，在連接部76b與由第一氣體供應(yīng)源71所 供應(yīng)的第一氣體混合。此外，第一氣體供應(yīng)源71，例如以與第一壓力相同或稍微高的壓力向 連接部76b供應(yīng)第一氣體。對混合了第一氣體和第二氣體的氣體而言，其流量被連接部76b 的下流側(cè)的第一流量調(diào)整閥84調(diào)整為第一流量，以該第一流量從第一空間供應(yīng)口 18向第 一空間11a內(nèi)流入。
[0084] 另一方面，在連接部76a向第二配管75分支的第二氣體被第二減壓閥83減壓至 第二壓力，并且其流量被第二流量調(diào)整閥85調(diào)整為第二流量，而且以第二流量從第二空間 供應(yīng)口 33向第二空間30a內(nèi)流入。此時，第二壓力形成為比熱處理時的第一空間11a的 氣氛的壓力更高的值，向第二空間30a內(nèi)所供應(yīng)的第二氣體的壓力被調(diào)整至比第一空間 11a(以及與其連通的第三空間26a)的氣氛的壓力更高的值。另外，對壁體30而言，第二空 間30a經(jīng)由第一軸承40的間隙44a、45a而與第三空間26a連通，但是除此之外以氣密方式 保持。由此，向第二空間30a供應(yīng)的第二氣體具有從第一軸承40的間隙44a、45a朝向第一 空間11a側(cè)的趨勢。因此，第二空間30a內(nèi)的第二氣體從間隙44a、45a經(jīng)由第三空間26a 內(nèi)而向第一空間11a內(nèi)流入。
[0085] 由此，第一氣體及第二氣體經(jīng)由第一空間供應(yīng)口 18而向第一空間11a供應(yīng)，并且 第二氣體經(jīng)由第二空間供應(yīng)口 33而向第一空間11a供應(yīng)，混合了這些氣體而成的氣體形成 第一空間11a內(nèi)的氣氛氣體。在本實(shí)施方案中，通過預(yù)先進(jìn)行實(shí)驗來確定來自第一氣體供 應(yīng)源71的第一氣體的供應(yīng)量及來自第二氣體供應(yīng)源72的第二氣體的供應(yīng)量，以使熱處理 時的第一空間11a內(nèi)的氣氛成為所需的組分（例如氫氣濃度是個位％的氮?dú)鈿夥眨?。另外?第一空間11a的氣氛通過排氣扇89排出。因此，通過來自第一氣體供應(yīng)源71及第二氣體 供應(yīng)源72的氣體的供應(yīng)、和來自排氣扇89的氣體的排出的平衡，能夠調(diào)整第一空間11a內(nèi) 的壓力。在本實(shí)施方案中，通過預(yù)先進(jìn)行實(shí)驗來確定第一壓力、第二壓力、第一流量、第二流 量、排氣閥87的開度、及排氣扇89的排氣量等，以使熱處理時的第一空間11a內(nèi)的氣氛保 持在所需的壓力（例如，幾百PaG程度的加壓氣氛）。此外，例如在第一空間11a、第二空間 30a配置壓力計，向計算機(jī)輸入壓力計所檢測的值，并由計算機(jī)控制第一壓力、第二壓力、第 一流量、第二流量、排氣閥87的開度、及排氣扇89的排氣量，使得壓力接近所需的壓力也 可。
[0086] 此外，在熱處理開始時的第一空間11a的氣氛為大氣氣氛等的情況下，最先開始 來自第一氣體供應(yīng)源71及第二氣體供應(yīng)源72的氣體供應(yīng)和基于排氣扇89的排出，在第一 空間11a的氣氛成為熱處理時所需的氣氛后，開始進(jìn)行被處理物96的搬運(yùn)也可。
[0087] 在此，使本實(shí)施方案的構(gòu)成要素和本發(fā)明的構(gòu)成要素的對應(yīng)關(guān)系變得明確。本實(shí) 施方案的輥道窯10相當(dāng)于本發(fā)明的熱處理裝置，爐體11相當(dāng)于爐體，第一壁部31相當(dāng)于 第一壁部，第二壁部32相當(dāng)于第二壁部，壁體30相當(dāng)于壁體，旋轉(zhuǎn)體60相當(dāng)于旋轉(zhuǎn)體，馬 達(dá)90相當(dāng)于驅(qū)動單元，第一軸承40相當(dāng)于第一軸承，第二軸承50相當(dāng)于第二軸承，第二空 間供應(yīng)口 33相當(dāng)于第二空間供應(yīng)口。另外，球體43、53相當(dāng)于滾動體，驅(qū)動側(cè)端蓋26相當(dāng) 于第三空間形成構(gòu)件，驅(qū)動側(cè)支撐輥?zhàn)?8相當(dāng)于支撐單元，第二氣體供應(yīng)源72相當(dāng)于氣體 供應(yīng)單元，排氣扇89相當(dāng)于排氣單元。此外，在本實(shí)施方案中，通過對輥道窯10的工作進(jìn) 行說明，使本發(fā)明的熱處理方法的一個示例也變得明確。
[0088] 以上所說明的本實(shí)施方案的輥道窯10具有：爐體11，其形成作為處理空間的第一 空間11a ;和壁體30,在其內(nèi)部形成與第一空間11a連通的第二空間30a，并具有第一壁部 31、第二壁部32、及可以從外部向第二空間30a內(nèi)供應(yīng)氣體的第二空間供應(yīng)口 33。另外， 對可以在第一空間11a內(nèi)搬運(yùn)被處理物96的旋轉(zhuǎn)體60而言，從第一空間11a側(cè)朝向外部 空間依次貫通第一壁部31、第二空間30a、及第二壁部32,而使其一端從第二壁部32突出。 而且，通過與該旋轉(zhuǎn)體60的一端側(cè)連接的馬達(dá)90使旋轉(zhuǎn)體60進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，在第一空間 11a內(nèi)通過旋轉(zhuǎn)體60來搬運(yùn)被處理物96的同時，在第一空間11a內(nèi)進(jìn)行被處理物96的熱 處理。此時，在旋轉(zhuǎn)體60貫通第一壁部31的部分設(shè)置有第一軸承40,所述第一軸承40是 可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體60且具有可以使氣體向旋轉(zhuǎn)體60的貫通方向流通的間隙44a、45a的 滾動軸承。另外，在旋轉(zhuǎn)體60貫通第二壁部32的部分設(shè)置有第二軸承50,所述第二軸承 50是可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體60且密封性與第一軸承40相比更高的滾動軸承。而且，在熱處 理中，將與第一空間11a的氣氛相比壓力更高的氣體經(jīng)由第二空間供應(yīng)口 33而向第二空間 30a內(nèi)供應(yīng)。由此，向第二空間30a所供應(yīng)的氣體具有從密封性比第二軸承50更低的第一 軸承40的間隙44a、45a朝向第一空間11a側(cè)的趨勢。因此，由從第二空間30a朝向第一空 間11a的氣體制止：氣氛氣體從第一空間11a經(jīng)過貫通孔16、第三空間26a、及第一軸承40 的間隙44a、45a而流出的現(xiàn)象。從而，能夠更加抑制氣氛從爐體11的內(nèi)部朝向外部空間的 流出。此外，旋轉(zhuǎn)體60貫通爐體11、驅(qū)動側(cè)端蓋26、及壁體30而向外部空間突出，只要旋 轉(zhuǎn)體60進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，例如即使使用軸襯（襯套）等也難以完全地密封旋轉(zhuǎn)體60的周圍之間 的間隙。在本實(shí)施方案的輥道窯10,壁體30堵塞成為來自第一空間11a的氣氛的流出口 的、驅(qū)動側(cè)端蓋26的開口 27,并且旋轉(zhuǎn)體60的周圍有意地形成間隙44a、45a。由此，經(jīng)由 旋轉(zhuǎn)體60的貫通部分而使氣體積極地流入至第一空間11a內(nèi)，從而通過不是密封所述間隙 而是通過氣體的流動來抑制第一空間11a的氣氛的流出。此外，在輥道窯10,在熱處理時的 第一空間11a的氣氛包括氫氣，因此，在抑制該氣氛向外部空間流出的方面很有意義。
[0089] 另外，第二軸承50具有：內(nèi)輪51 ;外輪52 ;多個球體53,其容納在內(nèi)輪51及外輪 52之間；及遮蔽構(gòu)件54、55,其在內(nèi)輪51的軸向配置多個球體53的位置，配置在內(nèi)輪51和 外輪52之間。并且，第二軸承50的遮蔽構(gòu)件54、55密封內(nèi)輪51和外輪52之間。由此，能 夠使用遮蔽構(gòu)件54、55來密封可以使氣體向第二軸承50的旋轉(zhuǎn)體60的貫通方向流通的間 隙。因此，能夠更加抑制第二空間30a的氣氛（例如從第二空間供應(yīng)口 33所供應(yīng)的第二氣 體）經(jīng)過第二軸承50的間隙而向外部空間的流出。
[0090] 進(jìn)一步地，第一軸承40具有：內(nèi)輪41 ;外輪42 ;多個球體43,其容納在內(nèi)輪41及 外輪42之間；及遮蔽構(gòu)件44、45,其在內(nèi)輪41的軸向與該多個球體43偏離的位置，配置在 內(nèi)輪41和外輪42之間。并且，第一軸承40的遮蔽構(gòu)件44、45在內(nèi)輪41和外輪42之間形 成間隙44a、45a。由此，能夠使用遮蔽構(gòu)件44、45來容易減小可以使氣體向第一軸承40的 旋轉(zhuǎn)體60的貫通方向流通的間隙44a、45a。由此，氣體具有從第二空間30a朝向第一空間 11a的趨勢，同時容易抑制塵土等微粒子經(jīng)由第一軸承40的間隙而從第二空間30a向第一 空間11a的侵入。
[0091] 再進(jìn)一步地，輥道窯10進(jìn)行包括被處理物96的加熱處理的熱處理。此時，在第一 空間11a進(jìn)行包括加熱處理的處理的情況下，第一軸承40通過旋轉(zhuǎn)體60在爐體11內(nèi)加熱 等來被加熱。在這種情況下，從第二空間供應(yīng)口 33向第二空間30a供應(yīng)氣體，并且產(chǎn)生從 第二空間30a經(jīng)由第一軸承40的間隙44a、45a而朝向第一空間11a的流動，由此能夠通過 該氣體的流動來冷卻第一軸承40而抑制加熱。
[0092] 再進(jìn)一步地，爐體11具有可以將第一空間11a內(nèi)的氣氛排出的排氣口 19。并且，在 熱處理時，以第一空間11a的氣氛保持在規(guī)定壓力的方式，從排氣口 19將第一空間11a的 氣氛排出，并且向第二空間30a供應(yīng)氣體。因此，在經(jīng)由第二空間供應(yīng)口 33、第二空間30a、 及第一軸承40的間隙44a、45a而向第一空間11a內(nèi)供應(yīng)氣體的情況下，通過將氣氛從排氣 口 19排出，能夠?qū)⒌谝豢臻g11a內(nèi)的氣氛的壓力調(diào)整至規(guī)定壓力。另外，爐體11具有可以 將氣體向第一空間11a內(nèi)供應(yīng)的第一空間供應(yīng)口 18。而且，在熱處理時，以第一空間11a的 氣氛保持在規(guī)定的壓力的方式，從排氣口 19將第一空間11a的氣氛排出，并且向第一空間 11a及第二空間30a供應(yīng)氣體。由此，通過不經(jīng)由第二空間30a及第一軸承40的間隙44a、 45a的路徑而向第一空間11a供應(yīng)氣體，因此，容易調(diào)整第一空間11a內(nèi)的氣氛。
[0093] 另外，輥道窯10具備：第一配管74,其與第一空間供應(yīng)口 18連接；第二配管75,其 與第二空間供應(yīng)口 33連接；及共用配管73,其與第一配管74及第二配管75連接。并且， 在熱處理時，通過向共用配管73供應(yīng)氣體，將與第一空間11a的氣氛相比壓力更高的氣體 經(jīng)由共用配管73及第二配管75而向第二空間內(nèi)30a供應(yīng)，氣體經(jīng)由共用配管73及第一配 管74向第一空間11a內(nèi)供應(yīng)。由此，對于經(jīng)由第一空間供應(yīng)口 18向第一空間11a的氣體 的供應(yīng)、和經(jīng)由第二空間供應(yīng)口 33向第二空間30a的氣體的供應(yīng)，兩者通過向共用配管74 供應(yīng)氣體來能夠一并進(jìn)行。另外，在熱處理時，由第一氣體供應(yīng)源71從共用配管以外的路 徑向第一配管74供應(yīng)第一氣體。因此，通過向共用配管73供應(yīng)氣體來向第一空間11a和 第二空間30a的兩者供應(yīng)氣體，同時使來自其他路徑的氣體也向第一配管74流通（與來自 共用配管73的氣體混合），由此能夠使經(jīng)由第一空間供應(yīng)口 18而供應(yīng)的氣體和經(jīng)由第二空 間供應(yīng)口 33而供應(yīng)的氣體的組份不同。
[0094] 另外，輥道窯10具備：第一流量調(diào)整閥84,其與第一配管74連接并用于調(diào)整第一 配管74的流量；和第二流量調(diào)整閥85,其與第二配管75連接并用于調(diào)整第二配管75的流 量。并且，在熱處理時，通過向共用配管73供應(yīng)氣體，將經(jīng)由共用配管73及第一配管74且 流量在第一流量調(diào)整閥84被調(diào)整的氣體向第一空間11a供應(yīng)，并且將經(jīng)由共用配管73及 第二配管75且流量在第二流量調(diào)整閥85被調(diào)整的氣體向第二空間30a供應(yīng)。由此，能夠 調(diào)整流入至第一空間11a及第二空間30a的氣體的流量。
[0095] 另外，輥道窯10具備：第一減壓閥82,其設(shè)置在共用配管73且設(shè)置在比第一流量 調(diào)整閥84更靠近上流側(cè)的位置；和第二減壓閥83,其設(shè)置在比第二配管75中的第二流量 調(diào)整閥85更靠近上流側(cè)的位置。第一減壓閥82將下流側(cè)的氣體壓力減壓至比第一空間11a 的氣氛壓力更高的第一壓力，第二減壓閥83將下流側(cè)的氣體壓力減壓至比第一空間11a的 氣氛壓力更高的第二壓力。并且，在熱處理時，向共用配管73供應(yīng)具有超過第一壓力及第 二壓力的壓力的氣體。由此，從共用配管供應(yīng)壓力比減壓后的壓力（第一壓力及第二壓力） 更高的氣體，因此，即使將比第一減壓閥更靠近上流側(cè)的、或比第二減壓閥更靠近上流側(cè)的 配管變細(xì)，也能夠確保所需的氣體流量。由于能夠?qū)⑴涔茏兗?xì)，因此例如能夠使減少輥道窯 10的設(shè)置面積等的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)緊湊化或能夠降低制造成本。
[0096] 而且，輥道窯10具備：第三空間26a，其在第一空間11a和第二空間30a之間形成 并與第一空間11a及第二空間30a連通；和驅(qū)動側(cè)端蓋26,其被旋轉(zhuǎn)體60貫通。由此，通 過在第一空間11a和第二空間30a之間存在第三空間26a，能夠更加抑制爐體11對壁體30 的影響，例如抑制壁體30的第一軸承40、第二軸承50的溫度被來自爐體11的熱傳導(dǎo)而變 化等現(xiàn)象。
[0097] 另外，旋轉(zhuǎn)體60具備：搬運(yùn)輥?zhàn)?1，其在第一空間1 la內(nèi)可搬運(yùn)被處理物96 ;驅(qū)動 軸65,其被馬達(dá)90進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動并貫通壁體30 ;空心管狀的保持架64,其被驅(qū)動軸65的搬 運(yùn)輥?zhàn)?1側(cè)的端部插入并與其端部連接；輥?zhàn)虞S承蓋62,其固定在搬運(yùn)輥?zhàn)?1的驅(qū)動軸 65偵彳；及連接軸63,其插入到保持架64和輥?zhàn)虞S承蓋62并與保持架64及輥?zhàn)虞S承蓋62 連接。并且，保持架64、輥?zhàn)虞S承蓋62、及連接軸63配置在第三空間26a內(nèi)，在輥?zhàn)虞S承蓋 62的內(nèi)周面和連接軸63之間有間隙，連接軸63通過該間隙與輥?zhàn)虞S承蓋62可軸偏離地連 接。由此，通過連接軸63與輥?zhàn)虞S承蓋62可軸偏離地連接，即使搬運(yùn)輥?zhàn)?1和驅(qū)動軸65 產(chǎn)生偏心（軸偏離），也能夠經(jīng)由驅(qū)動軸65向搬運(yùn)輥?zhàn)?1傳遞來自馬達(dá)90的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。 此外，輥?zhàn)虞S承蓋62和連接軸63不可軸偏離的情況下，若搬運(yùn)輥?zhàn)?1和驅(qū)動軸65產(chǎn)生軸 偏離，則會存在對旋轉(zhuǎn)體60偏離的部分作用過度的力并旋轉(zhuǎn)體60破損的情況。通過連接 軸63與輥?zhàn)虞S承蓋62可軸偏離地連接，能夠更加抑制這種旋轉(zhuǎn)體60的破損。此外，輥道 窯10是進(jìn)行對被處理物96的熱處理的裝置，通過第一空間11a內(nèi)和外部空間之間的溫度 差來容易產(chǎn)生搬運(yùn)輥?zhàn)?1和驅(qū)動軸65的軸偏離，因此在應(yīng)用于本發(fā)明的方面很有意義。
[0098] 另外，輥道窯10具備將與第一空間11a的氣氛相比壓力更高的氣體向第二空間 30a內(nèi)供應(yīng)的氣體供應(yīng)裝置70,因此，能夠產(chǎn)生從第二空間30a經(jīng)過第一軸承40的間隙 44a、45a而朝向第一空間11a的氣體的流動。
[0099] 此外，本發(fā)明并不限定于任何上述的實(shí)施方案，只要屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍則能 夠?qū)嵤└鞣N方案是理所當(dāng)然的。
[0100] 例如，在上述實(shí)施方案中，第二軸承50的遮蔽構(gòu)件54、55密封內(nèi)輪51和外輪52之 間，但并不限于此，只要與第一軸承40相比第二軸承50的密封性更高即可。例如，第二軸 承50的遮蔽構(gòu)件54、55也可以與第一軸承40的遮蔽構(gòu)件44、45相同地在其與內(nèi)輪51之 間形成間隙。該情況下，第二軸承50的間隙比第一軸承40的間隙44a、45a小等，與第一軸 承40相比第二軸承50的密封性更高（氣體比第二軸承50更容易經(jīng)過第一軸承40)即可。 或者，第一軸承40也可以不具備遮蔽構(gòu)件44、45的至少一方，第二軸承50也可以不具備遮 蔽構(gòu)件54、55的至少一方。第一軸承40、第二軸承50均不具備遮蔽構(gòu)件也可。在該情況 下，使第一軸承40的內(nèi)輪41的外徑和外輪42的內(nèi)徑之差大于第二軸承50的內(nèi)輪51的外 徑和外輪52的內(nèi)徑之差，使第二軸承50的密封性比第一軸承40更高也可。或者，調(diào)整球 體43或球體53的個數(shù)或球徑，由此使第二軸承50的密封性比第一軸承40更高也可。另 夕卜，第一軸承40的遮蔽構(gòu)件44、45與遮蔽構(gòu)件54、55相同地在內(nèi)輪51的外周面不形成間 隙，而是通過在遮蔽構(gòu)件44、45形成其他孔來形成作為氣體流道的間隙也可。此外，第二軸 承50的遮蔽構(gòu)件54、55在內(nèi)輪51和外輪52之間形成間隙的情況等，在第二軸承50的內(nèi) 輪51和外輪52之間有間隙的情況下，存在從第二空間供應(yīng)口 33向第二空間30a供應(yīng)的氣 體向外部空間流出的情況。但是，在本實(shí)施方案中，向第二空間30a供應(yīng)的第二氣體采用了 氮?dú)?，因此，即使向外部空間流出也沒有問題。此外，從第二空間供應(yīng)口 33向第二空間30a 供應(yīng)的氣體并不限定于氮?dú)猓瑑?yōu)選采用即使流出也沒有問題的惰性氣體等氣體。
[0101] 在上述實(shí)施方案中，具有與配置在第一空間11a內(nèi)的旋轉(zhuǎn)體60個數(shù)相同的個數(shù)的 驅(qū)動側(cè)端蓋26或壁體30,但并不限定于此，也可以在多個旋轉(zhuǎn)體60共用驅(qū)動側(cè)端蓋26或 壁體30。但是，通過采用一個旋轉(zhuǎn)體60貫通一個壁體30的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒌诙臻g30a作為 使體積盡可能變小的空間，由此減小向第二空間供應(yīng)口 33供應(yīng)的氣體流量。
[0102] 在上述實(shí)施方案中，旋轉(zhuǎn)體60是在一條直線上貫通爐體11、驅(qū)動側(cè)端蓋26、壁體 30的構(gòu)件，但并不限定于此。例如，驅(qū)動軸65具有：第一構(gòu)件，其具有圖3的左右方向的軸， 并貫通第一壁部31 ;和第二構(gòu)件，其具有圖3的上下方向的軸，且經(jīng)由第一構(gòu)件和傘齒輪而 在第二空間30a內(nèi)連接，并且將壁體30向下方向貫通，在這種情況等，旋轉(zhuǎn)體60的軸也可 以不在一條直線上。在該情況下，在第二構(gòu)件向下方向貫通壁體30的部分配置第二軸承50 即可。在這種結(jié)構(gòu)中，與上述實(shí)施方案相同地，也能夠抑制第一空間11a的氣氛沿著旋轉(zhuǎn)體 60的軸向向外部空間的流出。
[0103] 在上述實(shí)施方案中，在第一空間11a和第二空間30a之間形成有第三空間26a，但 只要第一空間11a和第二空間30a連通即可。例如，輥道窯10不具備驅(qū)動側(cè)端蓋26,并且 不形成第三空間26a也可。在該情況下，通過壁體30的第一壁部31和爐體11接觸等，第 一空間11a和第二空間30a經(jīng)由貫通孔16及間隙44a、45a連通也可。在該情況下，輥?zhàn)虞S 承蓋62、連接軸63、及保持架64等配置在第二空間30a內(nèi)也可。
[0104] 在上述實(shí)施方案中，驅(qū)動軸65和搬運(yùn)輥?zhàn)?1經(jīng)由輥?zhàn)虞S承蓋62、連接軸63、及保 持架64連接，但省略這些結(jié)構(gòu)的一個以上也可。另外，輥?zhàn)虞S承蓋62、連接軸63、保持架 64、及驅(qū)動軸65之間的連接并不限于使用插入銷67a-67c的結(jié)構(gòu)。
[0105] 在上述實(shí)施方案中，第一軸承4 0、第二軸承5 0是球軸承，但只要是具備內(nèi)輪、夕卜 輪、及容納在內(nèi)輪及外輪之間的多個滾動體的滾動軸承即可。例如，第一軸承40及第二軸 承50的至少一方是將具有圓柱狀構(gòu)件代替球體43、53而作為滾動體的結(jié)構(gòu)也可。
[0106] 在上述實(shí)施方案中，基于加熱器20對被處理物96進(jìn)行加熱處理，但只要進(jìn)行熱處 理即可。例如進(jìn)行冷卻處理也可，以規(guī)定的順序進(jìn)行加熱處理和冷卻處理也可。
[0107] 在上述實(shí)施方案中，將第一減壓閥82設(shè)置在共用配管73,但設(shè)置在第一配管74也 可。例如，將第一減壓閥82設(shè)置在連接部76b和第一流量調(diào)整閥84之間等，將第一減壓閥 82設(shè)置在比第一流量調(diào)整閥84更加靠近上流的第一配管74也可。另外，不具備第一減壓 閥82、第二減壓閥83的任意的一個以上也可。
[0108] 在上述實(shí)施方案中，氣體供應(yīng)裝置70具備第一流量調(diào)整閥84及第二流量調(diào)整閥 85,但不具備第一流量調(diào)整閥84及第二流量調(diào)整閥85的任意的一個以上也可。
[0109] 在上述實(shí)施方案中，第一配管74和第二配管75與共用配管73連接，但并不限定 于此。例如，不具備共用配管73,并且第一氣體供應(yīng)源71經(jīng)由第一配管74及第一空間供應(yīng) 口 18而向第一空間11a供應(yīng)第一氣體，而且第二氣體供應(yīng)源72經(jīng)由第二配管75及第二空 間供應(yīng)口 33而向第二空間30a供應(yīng)第二氣體也可。在該情況下，例如，第一氣體采用氮?dú)?和氫氣的混合氣體，第二氣體采用氮?dú)庖部??；蛘?，不具備第一空間供應(yīng)口 18,氣體供應(yīng)裝 置70從第二配管75經(jīng)由第二空間供應(yīng)口 33而向第二空間30a供應(yīng)氣體，并且經(jīng)由第二空 間30a而向第一空間11a供應(yīng)氣體也可。
[0110] 在上述實(shí)施方案中，排氣裝置86的排氣扇89經(jīng)由排氣口 19而排出第一空間11a 的氣氛，但并不限定于此。例如，不具備排氣扇89而不進(jìn)行第一空間11a的氣氛的吸引也 可?；蛘撸痪邆渑艢饪?19也可。
[0111] 在上述實(shí)施方案中，熱處理時的第一空間11a的氣氛采用了包括氮?dú)夂蜌錃獾倪€ 原氣氛，但并不限定于此，采用任何氣氛均可。只要與進(jìn)行熱處理的被處理物相對應(yīng)地、適 當(dāng)?shù)貨Q定熱處理時的氣氛的組分、溫度、壓力等即可。
[0112] 在上述實(shí)施方案中，壁體30是組合包括第一壁部31及第二壁部32的多個板狀構(gòu) 件而成的結(jié)構(gòu)體，但并不限定于此。只要第一壁部31及第二壁部32是壁體30的一部分即 可，不是獨(dú)立的構(gòu)件也可。例如，壁體30是一體形成的結(jié)構(gòu)體也可。
[0113] 在上述實(shí)施方案中，在旋轉(zhuǎn)體60貫通第二壁部32的部分，設(shè)置有與第一軸承40 相比密封性更高的第二軸承50,但并不限定于此。在旋轉(zhuǎn)體60貫通第二壁部32的部分，不 限于第二軸承50,只要設(shè)置有與第一軸承40相比密封性更高的密封構(gòu)件即可。圖4是該 情況下的變形例的輥道窯中的壁體30周邊的放大剖視圖。此外，在圖4中，對與上述輥道 窯10相同的構(gòu)成要素賦予相同的附圖標(biāo)記，并省略詳細(xì)說明。在圖4中，壁體30的第二壁 部132被驅(qū)動軸65所貫通，在該貫通部分安裝有一端側(cè)軸承150和軸封156。對一端側(cè)軸 承150而言，其是可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)體60 (驅(qū)動軸65)的球軸承，并配置在比第一軸承40 及軸封156更靠近驅(qū)動軸65的一端側(cè)（圖4的左側(cè)）的位置。該一端側(cè)軸承150除了不 具備遮蔽構(gòu)件54、55以外，均采用與上述第二軸承50相同的結(jié)構(gòu)。軸封156是環(huán)狀構(gòu)件， 其中心被驅(qū)動軸65貫通。軸封156是油封，其作為與第一軸承40相比密封性更高的密封 構(gòu)件而構(gòu)成。該軸封156具備主體部157、金屬環(huán)158、及彈簧159。主體部157是由橡膠 等彈性體而成的環(huán)狀構(gòu)件，外周面及第二空間30a側(cè)（圖4的右側(cè)）的面與第二壁部132 接觸而被固定。在主體部157,在其自身的內(nèi)周面?zhèn)刃纬捎忻芊獯讲?57a、防塵唇部157b。 對密封唇部157a而言，從驅(qū)動軸65的軸向的剖面看時，呈頂端朝向驅(qū)動軸65變細(xì)的形狀， 并在該頂端與驅(qū)動軸65接觸。對防塵唇部157b而言，其朝向驅(qū)動軸65突出，并且頂端與 驅(qū)動軸65的外周面接觸。防塵唇部157b發(fā)揮防止來自外部空間的塵土等的侵入的作用。 金屬環(huán)158是以包圍驅(qū)動軸65的周圍的方式配置的環(huán)狀構(gòu)件，并向第二壁部132推壓主體 部157。因此，在主體部157和第二壁部132之間沒有間隙，從而軸封156和第二壁部132 之間被密封。彈簧159是為了包圍密封唇部157a的周圍而設(shè)置的環(huán)狀彈性體。通過彈簧 159的彈性力，密封唇部157a的頂端被推壓到驅(qū)動軸65的外周面。由此，在驅(qū)動軸65和 主體部157之間沒有間隙，驅(qū)動軸65和軸封156之間被密封。在以這種方式構(gòu)成的變形例 的輥道窯中，在旋轉(zhuǎn)體60貫通第二壁部132的部分，設(shè)置有與第一軸承40相比密封性更高 的軸封156。因此，與上述實(shí)施方案相同地，向第二空間30a供應(yīng)的氣體具有朝向第一空間 11a側(cè)的趨勢，并且能夠制止氣氛氣體從第一空間11a經(jīng)過第一軸承40的間隙44a、45a流 出的現(xiàn)象。此外，圖4所示的變形例的輥道窯中，支撐驅(qū)動軸65的作用由一端側(cè)軸承150 承擔(dān)，由軸封156起到與第一軸承40相比發(fā)揮密封性更高的作用。對此，上述實(shí)施方案的 第二軸承50兼作一端側(cè)軸承150的作用和軸封156的作用。此外，圖4所示的變形例的棍 道窯中，在軸封156和第二壁部132之間、或軸封156和驅(qū)動軸65之間沒有間隙地被密封， 若軸封156的密封性與第一軸承40相比更高，則形成間隙也可。另外，軸封156采用了油 封，若軸封156的密封性與第一軸承40相比更高，則使用任何軸封均可。另外，如圖4所示， 一端側(cè)軸承150配置在比軸封156更靠近驅(qū)動軸65的一端側(cè)（圖4的左側(cè)）的位置，但也 可以將一端側(cè)軸承150配置在比軸封156更靠近驅(qū)動軸65的另一端側(cè)（圖4的右側(cè)）的 位置。例如，也可以使圖4中的一端側(cè)軸承150和軸封156的配置位置相反。另外，在圖4 中，一端側(cè)軸承150不具備遮蔽構(gòu)件54、55, 一端側(cè)軸承150的密封性比第一軸承40更低， 但密封性比第一軸承40更高也可。另外，圖4的一端側(cè)軸承150是球軸承，但并不限定于 此，只要是具備內(nèi)輪、外輪、其容納在內(nèi)輪及外輪之間的多個滾動體的滾動軸承即可。
[0114] 圖4所示的變形例的輥道窯中，在旋轉(zhuǎn)體60貫通第二壁部132的部分設(shè)置有一端 側(cè)軸承150,但并不限定于此。例如，一端側(cè)軸承150在外部空間支撐旋轉(zhuǎn)體60也可。圖 5是該情況下的變形例的輥道窯中的壁體30周邊的放大剖視圖。此外，在圖5中，對與上 述輥道窯10或圖4的輥道窯相同的構(gòu)成要素賦予相同的附圖標(biāo)記，并省略詳細(xì)說明。在圖 5中，壁體30的第二壁部232被驅(qū)動軸65所貫通。在該貫通部分安裝有軸封156。另外， 旋轉(zhuǎn)體60 (驅(qū)動軸65)的一端側(cè)（圖5的左側(cè)）在外部空間貫通支撐部294。在驅(qū)動軸65 貫通支撐部294的部分設(shè)置有一端側(cè)軸承250。一端側(cè)軸承250是在外部空間可旋轉(zhuǎn)地支 撐旋轉(zhuǎn)體60 (驅(qū)動軸65)的球軸承，其與圖4的一端側(cè)軸承150是相同結(jié)構(gòu)。另外，在壁體 30和支撐部294之間設(shè)置有凸輪離合器293a、293b。凸輪離合器293a配置在凸輪離合器 293b和壁體30之間。凸輪離合器293a、293b是環(huán)狀構(gòu)件，驅(qū)動軸65貫通其中心。凸輪離 合器293a、293b是以如下方式構(gòu)成的機(jī)械式離合器：雖然省略圖不，但其具有內(nèi)輪和外輪， 只有來自外輪的驅(qū)動力向內(nèi)輪傳遞，而來自內(nèi)輪的驅(qū)動力并不向外輪傳遞（對于外輪，內(nèi) 輪是空轉(zhuǎn)的）。凸輪離合器293a、293b的內(nèi)輪分別與驅(qū)動軸65的外周面連接。凸輪離合 器293a、293b的外輪分別與鏈輪266a、266b以同軸方式連接。在鏈輪266a、266b分別掛有 滾子鏈292a，292b。滾子鏈292a以橫跨鏈輪266a、和配置在外部空間的未圖示的低速馬達(dá) 的驅(qū)動軸的方式配置。滾子鏈292b以橫跨鏈輪266b、和配置在外部空間的未圖示的高速 馬達(dá)的驅(qū)動軸的方式配置。從低速馬達(dá)輸出的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力經(jīng)由凸輪離合器293a而向驅(qū)動 軸65傳遞，并使旋轉(zhuǎn)體60整體低速旋轉(zhuǎn)。另外，即使通過低速發(fā)動機(jī)來使驅(qū)動軸65旋轉(zhuǎn)， 由于凸輪離合器293b的內(nèi)輪進(jìn)行空轉(zhuǎn)，因此也不會向高速馬達(dá)傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。同樣，從 高速馬達(dá)輸出的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力經(jīng)由凸輪離合器293b而向驅(qū)動軸65傳遞，并使旋轉(zhuǎn)體60整體 高速旋轉(zhuǎn)。另外，即使通過高速發(fā)動機(jī)來使驅(qū)動軸65旋轉(zhuǎn)，由于凸輪離合器293a的內(nèi)輪進(jìn) 行空轉(zhuǎn)，因此也不會向低速馬達(dá)傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。由此，圖5的旋轉(zhuǎn)體60可通過低速發(fā)動 機(jī)及高速發(fā)動機(jī)以不同速度旋轉(zhuǎn)。因此，可以切換基于旋轉(zhuǎn)體60的被處理物96的搬運(yùn)速 度。在以這種方式構(gòu)成的變形例的輥道窯中，在旋轉(zhuǎn)體60貫通第二壁部232的部分，設(shè)置 有密封性與第一軸承40相比更高的軸封156。因此，與上述實(shí)施方案或圖4的輥道窯相同 地，向第二空間30a所供應(yīng)的氣體具有朝向第一空間11a側(cè)的趨勢，能夠制止氣氛氣體從第 一空間11a經(jīng)過第一軸承40的間隙44a、45a流出的現(xiàn)象。此外，圖5的一端側(cè)軸承250是 球軸承，但并不限定于此，使用任何軸承均可。例如是球軸承以外的滾動軸承也可。例如， 如上述實(shí)施方案的從動側(cè)支撐輥?zhàn)?4或驅(qū)動側(cè)支撐輥?zhàn)?8,采用從下側(cè)可旋轉(zhuǎn)地支撐驅(qū) 動軸65的滾動軸承也可。或者，一端側(cè)軸承250是滑動軸承也可。
[0115] 此外，也可以省略圖4中的一端側(cè)軸承150和圖5中的一端側(cè)軸承250。在該情 況下，若具有第一軸承40和一個以上的軸承（例如從動側(cè)支撐輥?zhàn)?4、驅(qū)動側(cè)支撐輥?zhàn)?8 等），則能夠可旋轉(zhuǎn)地支撐驅(qū)動軸65。
[0116] [第二實(shí)施方案]
[0117] 圖6是第二實(shí)施方案的輥道窯310的縱剖視圖。對輥道窯310而言，在第一實(shí)施 方案的輥道窯10的基礎(chǔ)上進(jìn)一步具備搬運(yùn)路329、429等。因此，對與輥道窯10相同的構(gòu) 成要素賦予相同的附圖標(biāo)記并省略說明或圖示，輥道窯310中主要對搬運(yùn)路329、429等的 不同構(gòu)成要素進(jìn)行說明。
[0118] 首先，對搬運(yùn)路329進(jìn)行說明。搬運(yùn)路329形成為從外部至爐體11的開口 14的 被處理物96的搬入路。在搬運(yùn)路329內(nèi)，多個（在本實(shí)施方案中為十個）搬運(yùn)輥?zhàn)?35沿 著搬運(yùn)方向（圖1的前后方向）從搬運(yùn)口 352至開口 14配置。搬運(yùn)輥?zhàn)?35通過未圖示 的馬達(dá)等進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，并搬運(yùn)托盤95及被處理物96。從外部朝向爐體11 (從前方朝向 后方），搬運(yùn)路329以第三搬運(yùn)路350、第一搬運(yùn)路330、及第二搬運(yùn)路340的順序排列。以 下，以該順序進(jìn)行說明。
[0119] 第三搬運(yùn)路350是用于將托盤95及被處理物96從外部搬運(yùn)至第一搬運(yùn)路330的 搬入路，其作為管路而構(gòu)成。該第三搬運(yùn)路350具有作為從外部的搬入口的搬運(yùn)口 352。在 第三搬運(yùn)路350的內(nèi)部配置有上述多個搬運(yùn)輥?zhàn)?35中的四個。
[0120] 第一搬運(yùn)路330是用于將托盤95及被處理物96從第三搬運(yùn)路350搬運(yùn)至第二搬 運(yùn)路340的搬入路，其作為管路而構(gòu)成。該第一搬運(yùn)路330的內(nèi)部配置有上述多個搬運(yùn)輥 子335中的三個。
[0121] 在該第一搬運(yùn)路330的鉛垂上側(cè)設(shè)置有上方空間形成部360。對該上方空間形成 部360而言，其具有在下方向形成開口的箱狀的外壁362,并作為該外壁362的內(nèi)部的空間， 而且形成有在鉛垂下側(cè)形成開口并與第一搬運(yùn)路330內(nèi)連通的上方空間363。外壁362除 了下方向的開口以外呈氣密結(jié)構(gòu)，與不經(jīng)由第一搬運(yùn)路330的外部幾乎不產(chǎn)生氣體的流出 流入。此外，在外壁362中，前方（圖1的左方）的壁部及后方（圖1的右方）的壁部，向 其上部遠(yuǎn)離爐體11的方向傾斜。由此，上方空間363形成為具有其上部遠(yuǎn)離爐體11的方 向傾斜的形狀的空間。另外，對上方空間形成部360而言，在外壁362的內(nèi)部具備劃分構(gòu)件 364a、364b，該劃分構(gòu)件364a、364b其上部遠(yuǎn)離爐體11的方向傾斜。該劃分構(gòu)件364a、364b 是從前方朝向后方以該順序配置的平板狀構(gòu)件，雖然省略圖示，但左右方向的兩端例如通 過焊接等安裝在外壁362的左右壁部。劃分構(gòu)件364a、364b、外壁362的前方壁部、及后方 壁部，均從前方朝向上方以相同的角度Θ1傾斜。傾斜的角度Θ1大于〇°且小于90°即 可。雖然沒有特別的限定，例如角度Θ1是30° -60°也可。在本實(shí)施方案中，角度Θ1是 45°。通過該劃分構(gòu)件364a、364b，上方空間363的一部分被劃分為劃分空間365a-365c。 劃分空間365a是由外壁362的前方壁部和劃分構(gòu)件364a劃分的空間。劃分空間365b是 由劃分構(gòu)件364a和劃分構(gòu)件364b劃分的空間。劃分空間365c是由劃分構(gòu)件364b和外壁 362的后方壁部劃分的空間。這些劃分空間365a-365c均在第一搬運(yùn)路330內(nèi)下方形成開 口。另外，劃分構(gòu)件364a、364b均不與外壁362的頂部接觸。因此，劃分空間365a-365c在 上方空間363中的上方（外壁362的頂部附近）互相連通。此外，在外壁362的上部形成 有與吸引裝置367連接的、用于吸引上方空間363的吸引口 366。吸引裝置367經(jīng)由吸引口 366而吸引并排出上方空間363內(nèi)的氣體。
[0122] 另外，在第一搬運(yùn)路330的鉛垂下側(cè)設(shè)置有下方空間形成部370。對該下方空間形 成部370而言，其具有上方向形成開口的箱狀的外壁372,并作為該外壁372的內(nèi)部的空間， 而且形成有在鉛垂上側(cè)形成開口并與第一搬運(yùn)路330內(nèi)連通的下方空間373。外壁372除 了上方向的開口以外呈氣密結(jié)構(gòu)，與不經(jīng)由第一搬運(yùn)路330的外部幾乎不產(chǎn)生氣體的流出 流入。此外，在外壁372中，前方（圖1的左方）的壁部及后方（圖1的右方）的壁部，向其 下部接近（上部為遠(yuǎn)離）爐體11的方向傾斜。由此，下方空間373形成為具有其下部接近 爐體11的方向傾斜的形狀的空間。另外，對下方空間形成部370而言，在外壁372的內(nèi)部 具備劃分構(gòu)件374a、374b，該劃分構(gòu)件374a、374b向其下部接近爐體11的方向傾斜。該劃 分構(gòu)件374a、374b是從后方朝向前方依次配置的平板狀構(gòu)件，雖然省略圖示，但左右方向 的兩端例如通過焊接等安裝在外壁372的左右壁部。劃分構(gòu)件374a、374b、外壁372的前方 壁部、及后方壁部均從后方向下方以相同的角度Θ 2傾斜。傾斜的角度Θ 2是大于0°且小 于90°即可。雖然沒有特別的限定，但例如角度Θ 2也可以是30° -60°。角度Θ 2是與 角度Θ1相同的值也可，在本實(shí)施方案中，角度Θ2為45°。通過該劃分構(gòu)件374a、374b， 下方空間373的一部分被劃分為劃分空間375a-375c。劃分空間375a是由外壁372的后方 的壁部和劃分構(gòu)件374a劃分的空間。劃分空間375b是由劃分構(gòu)件374a和劃分構(gòu)件374b 劃分的空間。劃分空間375c是由劃分構(gòu)件374b和外壁372的前方的壁部劃分的空間。這 些劃分空間375a-375c均在第一搬運(yùn)路330內(nèi)下方形成開口。另外，劃分構(gòu)件374a、374b 均不與外壁372的底部接觸。因此，劃分空間375a-375c在下方空間373中的下方（外壁 372的底部附近）互相連通。此外，上述第一搬運(yùn)路330內(nèi)的三個搬運(yùn)輥?zhàn)?35在每個劃 分空間375a-375c的上方的開口部分分別配置有一個。另外，在外壁372的底部形成有與 吸引裝置377連接的、用于吸引下方空間373的吸引口 376。吸引裝置377經(jīng)由吸引口 376 而吸引并排出下方空間373內(nèi)的氣體。
[0123] 對第二搬運(yùn)路340而言，其是用于從第一搬運(yùn)路330至爐體11的開口 14搬運(yùn)托 盤95及被處理物96的搬入路，并作為管路而構(gòu)成。在該第二搬運(yùn)路340的內(nèi)部，配置有上 述多個搬運(yùn)輥?zhàn)?35中的三個。
[0124] 此外，第一搬運(yùn)路330和第三搬運(yùn)路350構(gòu)成連續(xù)的管路。在本實(shí)施方案中，將連 結(jié)上方空間形成部360的開口的前端部和下方空間形成部370的開口的前端部的線段D1 作為第一搬運(yùn)路330和第三搬運(yùn)路350的邊界。同樣，第一搬運(yùn)路330和第二搬運(yùn)路340構(gòu) 成連續(xù)的管路。在本實(shí)施方案中，將連結(jié)上方空間形成部360的開口的后端部和下方空間 形成部370的開口的后端部的線段D2作為第一搬運(yùn)路330和第二搬運(yùn)路340的邊界。此 夕卜，優(yōu)選地，線段D1、D2分別僅以角度Θ1、角度Θ 2傾斜。換言之，在如圖6的從縱剖面看 的狀態(tài)下，優(yōu)選外壁362的前方壁部和外壁372的前方壁部位于一條直線上，優(yōu)選外壁362 的后方壁部和外壁372的后方壁部位于一條直線上。相同地，優(yōu)選劃分構(gòu)件364a和劃分構(gòu) 件374b位于一條直線上，優(yōu)選劃分構(gòu)件364b和劃分構(gòu)件374a位于一條直線上。另外，上 述多個搬運(yùn)輥?zhàn)?35的上端均位于與搬運(yùn)口 352的下端大致處于相同高度的位置。此外， 在圖6中上方空間形成部360及下方空間形成部370的圖示的基礎(chǔ)上，多個搬運(yùn)輥?zhàn)?35 的前后方向的間隔在第一搬運(yùn)路330內(nèi)分別不同，但實(shí)際上多個搬運(yùn)輥?zhàn)?35沿著搬運(yùn)方 向以等間隔配置。
[0125] 接著，對搬運(yùn)路429進(jìn)行說明。搬運(yùn)路429形成為從爐體11的開口 15向外部的 被處理物96的搬出路。在搬運(yùn)路429的第一搬運(yùn)路430的鉛垂上側(cè)設(shè)置有上方空間形成 部460。在搬運(yùn)路429的第一搬運(yùn)路430的鉛垂下側(cè)設(shè)置有下方空間形成部470。在上方空 間形成部460的外壁462的上部連接有吸引裝置467。在下方空間形成部470的外壁472 的底部連接有吸引裝置477。在搬運(yùn)路429的第三搬運(yùn)路450具有成為朝向外部的搬出口 的搬運(yùn)口 452。在搬運(yùn)路429內(nèi)，多個（在本實(shí)施方案中為十個）搬運(yùn)輥?zhàn)?35沿著搬運(yùn) 方向（圖1的前后方向）從開口 15到搬運(yùn)口 452配置。此外，搬運(yùn)路429、上方空間形成 部460、下方空間形成部470、及吸引裝置467、477,分別與搬運(yùn)路329、上方空間形成部360、 下方空間形成部370、吸引裝置367、377在前后方向?qū)ΨQ。因此，對搬運(yùn)路429、上方空間形 成部460、下方空間形成部470、及吸引裝置467、477的構(gòu)成要素賦予：在搬運(yùn)路329、上方 空間形成部360、下方空間形成部370、吸引裝置367、377的數(shù)值加上100的附圖標(biāo)記，并省 略詳細(xì)說明。此外，線段D3是連結(jié)上方空間形成部460的開口的后端部和下方空間形成部 470的開口的后端部的線段，相當(dāng)于搬運(yùn)路329的線段D1。線段D4是連結(jié)上方空間形成部 460的開口的前端部和下方空間形成部470的開口的前端部的線段，相當(dāng)于搬運(yùn)路329的線 段D2。角度Θ3是，劃分構(gòu)件464a、464b、外壁462的前方壁部、及后方壁部的傾斜角度，相 當(dāng)于上方空間形成部360的角度Θ1。角度Θ4是劃分構(gòu)件474a、474b、外壁472的前方壁 部、及后方壁部的傾斜角度，相當(dāng)于下方空間形成部370的角度Θ 2。在本實(shí)施方案中，角度 θ 1 =角度Θ3,角度Θ2 =角度Θ4。
[0126] 在以這種方式構(gòu)成的輥道窯310中，當(dāng)進(jìn)行被處理物96的熱處理時，在與輥道窯 10相同的動作基礎(chǔ)上，還使搬運(yùn)輥?zhàn)?35、435旋轉(zhuǎn)。另外，通過吸引裝置367、467來分別吸 引并排出上方空間363、463內(nèi)的氣氛，通過吸引裝置377、477來分別吸引并排出下方空間 373、473內(nèi)的氣氛。并且，從搬運(yùn)路329的搬運(yùn)口 352依次搬入載置有多個被處理物96的 托盤95。從搬運(yùn)口 352所搬入的托盤95,通過多個搬運(yùn)輥?zhàn)?35的旋轉(zhuǎn)來依次經(jīng)過第三搬 運(yùn)路350、第一搬運(yùn)路330、及第二搬運(yùn)路340,并且從開口 14向爐體11內(nèi)搬入。接著，在托 盤95經(jīng)過第一空間11a并從開口 15側(cè)搬出期間，通過加熱器20進(jìn)行被處理物96的熱處 理。而且，從開口 15所搬出的托盤95,通過多個搬運(yùn)輥?zhàn)?35的旋轉(zhuǎn)來依次經(jīng)過第二搬運(yùn) 路440、第一搬運(yùn)路430、及第三搬運(yùn)路450,并且從搬運(yùn)口 452向外部搬出。
[0127] 此時，使本實(shí)施方案的構(gòu)成要素和本發(fā)明的構(gòu)成要素之間的對應(yīng)關(guān)系變得明確。 此外，對于與第一實(shí)施方案相同的構(gòu)成要素，省略對應(yīng)關(guān)系的說明。本實(shí)施方案的搬運(yùn)路 329、429 (第一搬運(yùn)路330、430)相當(dāng)于本發(fā)明的搬運(yùn)路，上方空間形成部360、460相當(dāng)于上 方空間形成部，下方空間形成部370、470相當(dāng)于下方空間形成部，加熱器20相當(dāng)于加熱單 元，吸引裝置367、377、467、477相當(dāng)于吸引單元。
[0128] 在上面說明的本實(shí)施方案的輥道窯310中，在熱處理時第一空間11a的氣氛氣體 通過加熱器20來加熱至高于外氣的溫度，因此，從第一空間11a向搬運(yùn)路329、429流出的 氣氛氣體容易朝向上方空間363、463,外氣容易朝向下方空間373、473。另外，在該狀態(tài)下， 吸引裝置367、467、377、477吸引上方空間363、463及下方空間373、473,由此產(chǎn)生從搬運(yùn) 路329、429朝向上方空間363、463的上方向的氣體流動、和從搬運(yùn)路329、429朝向下方空 間373、473的下方向的氣體流動。由此，第一空間11a的氣氛或外氣容易在搬運(yùn)路329、429 內(nèi)以上下方向流動，因此，能夠更加抑制外部空間及第一空間11a的一方的氣氛經(jīng)過搬運(yùn) 路329、429向其他方向流動（氣體向前后方向流動）。即，能夠更加抑制在爐體11的內(nèi)外 的、經(jīng)由搬運(yùn)路329、429的氣氛的流出流入。另外，爐體11經(jīng)由搬運(yùn)路329、429時常形成 向外部空間的開口的狀態(tài)下，也能夠更加抑制如上所述在爐體11的內(nèi)外的流出流入。
[0129] 另外，上方空間形成部360、460形成向其上部遠(yuǎn)離爐體11的方向傾斜的上方空 間363、463。當(dāng)高于外氣溫度的氣氛氣體從爐體11流出時，該氣氛氣體的流向越遠(yuǎn)離爐體 11就越具有上升的趨勢。因此，通過上方空間363、463向其上部遠(yuǎn)離爐體11的方向傾斜， 來自爐體11的氣氛氣體容易被引導(dǎo)至上方空間363、463,能夠更加抑制向外部的流出。另 夕卜，上方空間形成部360、460具有劃分構(gòu)件364a、364b、464a、464b，該劃分構(gòu)件364a、364b、 464a、464b是向其上部遠(yuǎn)離爐體11的方向傾斜的構(gòu)件，并且將上方空間363、463沿著被處 理物96的搬運(yùn)方向而劃分為多個劃分空間365a-365c、465a-465c。因此，通過多個劃分構(gòu) 件364a、364b、464a、464b向其上部遠(yuǎn)離爐體11的方向傾斜，來自爐體11的氣氛氣體容易 被引導(dǎo)至上方空間363、463。
[0130] 進(jìn)一步地，下方空間形成部370、470也可以形成向其下部接近爐體11的方向傾斜 的下方空間373、473。外氣流向搬運(yùn)路329、429時，爐體11的氣氛氣體的溫度更高，因此， 該外氣的流向越接近爐體11就越有下降的趨勢。因此，通過下方空間373、473向其下部接 近爐體11的方向傾斜，流向搬運(yùn)路329、429的外氣容易被引導(dǎo)至下方空間373、473,并能 夠更加抑制向爐體11的流入。另外，下方空間形成部370、470具有劃分構(gòu)件374a、374b、 474a、474b，該劃分構(gòu)件374 &、37你、474&、47你是向其下部接近爐體11的方向傾斜的構(gòu)件， 并且將下方空間373、474沿著被處理物96的搬運(yùn)方向劃分為多個劃分空間375a-375c， 475a-475c。因此，通過多個劃分構(gòu)件374a、374b、474a、474b向其下部接近爐體11的方向 傾斜，流向搬運(yùn)路329、429的外氣容易被引導(dǎo)至下方空間373、474。
[0131] 此外，在上述第二實(shí)施方案中，也可以采用上述第一實(shí)施方案的各種變形例。
[0132] 在上述實(shí)施方案中，可以省略吸引裝置367、377的任意一方，也可以省略吸引裝 置467、477的任意一方。另外，上方空間形成部360是具備兩個劃分構(gòu)件364a、364b的設(shè) 備，但具備一個或者三個以上的劃分構(gòu)件也可，一個都不具備也可。對于上方空間形成部 460、下方空間形成部370、470也是相同的。另外，省略搬運(yùn)路329、429的任意一方也可。
[0133] 在上述實(shí)施方案中，搬運(yùn)路329等和搬運(yùn)路429等在前后方向?qū)ΨQ，但并不限定于 此。例如，角度Θ1也可以與角度Θ 3不同，角度Θ 2也可以與角度Θ 4不同。另外，對于 上述劃分構(gòu)件的個數(shù)或吸引裝置的有無等，在前后方向不對稱也可。
[0134] 【實(shí)施例】
[0135] [實(shí)施例1]
[0136] 制造了圖1-3所示的第一實(shí)施方案的輥道窯10,并作為實(shí)施例1。此外，對壁體30 的第二空間30a而言，上下高度是125mm、左右方向長度是53mm、前后方向長度是1100mm。 作為第一軸承40,使用了具有間隙44a及間隙45a的密封型球軸承。作為第二軸承50,使 用了遮蔽構(gòu)件54、55密封內(nèi)輪51和外輪52之間的密封型球軸承。另外，在爐體11的開口 14、15和外部之間，分別配置雙重閘門式的置換室。
[0137] [實(shí)施例2]
[0138] 制造了圖6所示的第二實(shí)施方案的輥道窯310,并作為實(shí)施例2。此外，對在實(shí)施 例2的構(gòu)成要素中的與輥道窯10相同的構(gòu)成要素，使用了與實(shí)施例1相同的構(gòu)成要素。
[0139] [評價試驗1]
[0140] 在實(shí)施例1中，在將載置有被處理物96的多個托盤95依次經(jīng)由置換室而向爐體 11搬入的狀態(tài)下，為了使第一空間11a的氣氛保持在氫氣濃度l%、1250°C、150PaG的氮 氣氣氛，調(diào)整了加熱器20的輸出、來自第一氣體供應(yīng)源71及第二氣體供應(yīng)源72的第一氣 體及第二氣體的供應(yīng)量、第一壓力、第一流量、排氣閥87的開度、及排氣扇89的排氣量等。 另外，向壁體30的第二空間30a供應(yīng)了第二壓力為200PaG(第一空間11a的氣氛的壓力 +50Pa)、第二流量為1. 2L/分的第二氣體（氮?dú)猓Ｔ谠摖顟B(tài)下，未檢測出從壁體30的第二 軸承50向外部流出的氫氣。此外，對一個壁體30進(jìn)行了第二壓力及第二流量的調(diào)整或流 出的氫氣的測量。
[0141] 在實(shí)施例2中，除了將托盤95經(jīng)由搬運(yùn)路329、429而向爐體11搬出搬入；進(jìn) 行基于吸引裝置367、467、377、477的吸引；將第一空間11a的氣氛保持在氫氣濃度1%、 1250°C、2PaG的氮?dú)鈿夥?；向壁體30的第二空間30a供應(yīng)第二壓力為5PaG (第一空間11a 的氣氛的壓力+3Pa)、第二流量為0· 1L/分以下（測量刻度的最小值以下）的第二氣體（氮 氣）以外，進(jìn)行了與實(shí)施例1相同的測量。在該狀態(tài)中，為檢測出從壁體30的第二軸承50 向外部流出的氫氣。
[0142] 由上述可知，在實(shí)施例1、2的任意一個中，能夠確定：通過將與第一空間11a的氣 氛相比壓力更高的氣體經(jīng)由第二空間供應(yīng)口 33而向第二空間30a內(nèi)供應(yīng)，能夠抑制氣氛從 爐體11的內(nèi)部經(jīng)由壁體30而向外部空間的流出。
[0143] 該申請以在2013年4月24日申請的韓國專利申請第10-2013-0045596號為優(yōu)先 權(quán)，并引用其全部內(nèi)容。
[0144]【產(chǎn)業(yè)上的可利用性】
[0145] 本發(fā)明可利用于需要搬運(yùn)被處理物的同時對其進(jìn)行燒成等熱處理的產(chǎn)業(yè)，例如陶 瓷電容器等陶瓷制品的制造產(chǎn)業(yè)等。
【權(quán)利要求】
1. 一種使用熱處理裝置的熱處理方法，所述熱處理裝置具備： 爐體，其形成作為處理空間的第一空間； 壁體，在其內(nèi)部形成與所述第一空間連通的第二空間，并具有第一壁部、第二壁部、及 可以從外部向所述第二空間內(nèi)供應(yīng)氣體的第二空間供應(yīng)口； 旋轉(zhuǎn)體，其可以在所述第一空間內(nèi)搬運(yùn)被處理物，并從該第一空間側(cè)朝向外部空間依 次貫通所述第一壁部、所述第二空間、及所述第二壁部，而使其一端從該第二壁部突出； 驅(qū)動單元，其與所述旋轉(zhuǎn)體的所述一端側(cè)連接并可以使該旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動； 第一軸承，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第一壁部的部分，是可旋轉(zhuǎn)地支撐該旋轉(zhuǎn)體 且具有可以使氣體向所述旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙的滾動軸承，及 密封構(gòu)件，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第二壁部的部分，并且密封性與所述第一軸 承相比更高，其中， 所述熱處理方法包括通過所述驅(qū)動單元使所述旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動來在所述處理空 間搬運(yùn)所述被處理物的同時對其進(jìn)行熱處理的工藝， 在所述工藝中，經(jīng)由所述第二空間供應(yīng)口向所述第二空間內(nèi)供應(yīng)與所述第一空間的氣 氛相比壓力更高的氣體。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理方法，其中， 所述爐體具有可以排出所述第一空間內(nèi)的氣氛的排氣口， 在所述工藝中，以所述第一空間的氣氛保持在規(guī)定壓力的方式，從所述排氣口排出所 述第一空間的氣氛并向所述第二空間供應(yīng)氣體。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱處理方法，其中， 所述爐體具有可以向所述第一空間內(nèi)供應(yīng)氣體的第一空間供應(yīng)口， 在所述工藝中，以所述第一空間的氣氛保持在規(guī)定壓力的方式，從所述排氣口排出所 述第一空間的氣氛并向所述第一空間及所述第二空間供應(yīng)氣體。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱處理方法，其中， 所述熱處理裝置具備： 第一配管，其與所述第一空間供應(yīng)口連接； 第二配管，其與所述第二空間供應(yīng)口連接；及 共用配管，其與所述第一配管及所述第二配管連接， 在所述工藝中，通過向所述共用配管供應(yīng)氣體，將與所述第一空間的氣氛相比壓力更 高的氣體經(jīng)由該共用配管及第二配管而向所述第二空間內(nèi)供應(yīng)，并且將氣體經(jīng)由所述共用 配管及所述第一配管向第一空間內(nèi)供應(yīng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理方法 所述熱處理裝置具備： 第一流量調(diào)整閥，其與所述第一配管連接并用于調(diào)整該第一配管的流量；和 第二流量調(diào)整閥，其與所述第二配管連接并用于調(diào)整該第二配管的流量， 在所述工藝中，通過向所述共用配管供應(yīng)氣體，將由所述第一流量調(diào)整閥調(diào)整流量的 氣體經(jīng)由該共用配管及所述第一配管而向所述第一空間供應(yīng)，并且將由所述第二流量調(diào)整 閥調(diào)整流量的氣體經(jīng)由該共用配管及所述第二配管而向所述第二空間供應(yīng)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱處理方法， 所述熱處理裝置具備： 第一減壓閥，其設(shè)置在所述共用配管和所述第一配管中的至少一方，且設(shè)置在比所述 第一流量調(diào)整閥更靠近上流側(cè)的位置；和 第二減壓閥，其設(shè)置在所述第二配管中的比所述第二流量調(diào)整閥更靠近上流側(cè)的位 置，其中， 所述第一減壓閥將下流側(cè)的氣體壓力減壓至比所述第一空間的氣氛壓力更高的第一 壓力， 所述第二減壓閥將下流側(cè)的氣體壓力減壓至比所述第一空間的氣氛壓力更高的第二 壓力， 在所述工藝中，向所述共用配管供應(yīng)壓力超過所述第一壓力及所述第二壓力的氣體。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的熱處理方法，其中， 所述熱處理裝置具備： 搬運(yùn)路，其用于在所述外部空間和所述第一空間之間搬運(yùn)所述被處理物； 上方空間形成部，其用于形成上方空間，所述上方空間設(shè)置在所述搬運(yùn)路的鉛垂上側(cè) 并在鉛垂下側(cè)形成開口且與該搬運(yùn)路內(nèi)連通； 下方空間形成部，其用于形成下方空間，所述下方空間設(shè)置在所述搬運(yùn)路的鉛垂下側(cè) 并在鉛垂上側(cè)形成開口且與該搬運(yùn)路內(nèi)連通， 在所述工藝中，將所述第一空間的氣氛加熱至高于外氣的溫度，并吸引所述上方空間 和所述下方空間中的至少一方。
8. -種熱處理裝置，其在處理空間內(nèi)對被處理物進(jìn)行熱處理， 所述熱處理裝置具備： 爐體，其形成作為處理空間的第一空間； 壁體，在其內(nèi)部形成與所述第一空間連通的第二空間，并具有第一壁部、第二壁部、及 可以從外部在所述第二空間內(nèi)供應(yīng)氣體的第二空間供應(yīng)口； 旋轉(zhuǎn)體，其可以在所述第一空間內(nèi)搬運(yùn)所述被處理物，并從該第一空間側(cè)朝向外部空 間依次貫通所述第一壁部、所述第二空間、及所述第二壁部，而使其一端從該第二壁部突 出； 驅(qū)動單元，其與所述旋轉(zhuǎn)體的所述一端側(cè)連接并可以使該旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動； 第一軸承，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第一壁部的部分，是可旋轉(zhuǎn)地支撐該旋轉(zhuǎn)體 且具有可以使氣體向所述旋轉(zhuǎn)體的貫通方向流通的間隙的滾動軸承；及 密封構(gòu)件，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第二壁部的部分，并且密封性與所述第一軸 承相比商。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的熱處理裝置，其中， 所述熱處理裝置具備一端側(cè)軸承，所述一端側(cè)軸承可旋轉(zhuǎn)地支撐比所述第一軸承更靠 近所述旋轉(zhuǎn)體的所述一端側(cè)， 所述密封構(gòu)件是軸封。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的熱處理裝置，其中， 所述密封構(gòu)件是第二軸承，第二軸承是設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體貫通所述第二壁部的部分， 并且可旋轉(zhuǎn)地支撐該旋轉(zhuǎn)體且密封性與所述第一軸承相比更高的滾動軸承。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的熱處理裝置，其中， 所述第二軸承具有：內(nèi)輪；外輪；多個滾動體，其容納在該內(nèi)輪及該外輪之間；及遮蔽 構(gòu)件，其在該內(nèi)輪的軸向與該多個滾動體偏離的位置，配置在該內(nèi)輪和該外輪之間， 對于所述第二軸承的遮蔽構(gòu)件，在所述內(nèi)輪和所述外輪之間形成與所述第一軸承的所 述間隙相比更小的間隙，或者密封所述內(nèi)輪和所述外輪之間。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的熱處理裝置，其中， 所述第一軸承具有：內(nèi)輪；外輪；多個滾動體，其容納在該內(nèi)輪及該外輪之間；遮蔽構(gòu) 件，其在該內(nèi)輪的軸向與該多個滾動體偏離的位置，配置在該內(nèi)輪和該外輪之間， 對于所述第一軸承的遮蔽構(gòu)件，在所述內(nèi)輪和所述外輪之間形成所述間隙。
13. 根據(jù)權(quán)利要求10-12中任一項所述的熱處理裝置，其中， 所述第一軸承及所述第二軸承是球軸承。
【文檔編號】F27B9/04GK104121774SQ201410166530
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年4月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月24日
【發(fā)明者】橋本孝彥, 新井誠 申請人:日本礙子株式會社, Ngk凱倫泰克株式會社