晶圓片的烘干的制造方法
【專利摘要】一種晶圓片的烘干機，包括：設(shè)在烘干箱上部的電機、設(shè)在烘干箱中的噴氣嘴、設(shè)在烘干箱上的上蓋、設(shè)在上蓋上的出氣口以及設(shè)在烘干箱底部的排水口；該烘干箱的上部設(shè)置一通風(fēng)櫥，電機固定在通風(fēng)櫥的頂部；電機的轉(zhuǎn)軸上連接有一連接桿，該連接桿延伸至烘干箱內(nèi)，連接桿的端部懸吊一花籃，花籃的底部設(shè)置一用于放置有晶圓片的托盤。本實用新型操作簡單，不僅有效地解決了烘干過程中，晶圓片干燥不均勻的問題，而且，晶圓片還不易產(chǎn)生斷裂；同時，提高了晶圓片穩(wěn)定性。
【專利說明】晶圓片的烘干機
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及烘干機，尤其涉及一種用于晶圓片的烘干機。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，用于干燥晶圓片的方法一般有兩種:一種是通過手動方式用氮氣槍對晶圓片進行吹干；由于此種方式需要通過手動操作，工作效率較低；操作時，不僅容易在晶圓片的邊緣產(chǎn)生水痕；而且，還容易導(dǎo)致晶圓片干燥不均勻；同時，稍不小心，還容易使晶圓片破碎。另一種是通過晶圓片烘干機對晶圓片進行干燥，此種方式大大提高了干燥晶圓片的工作效率。
[0003]如圖1所示，現(xiàn)有的晶圓片烘干機包括:安裝在烘干箱5上的旋轉(zhuǎn)電機1、安裝在旋轉(zhuǎn)電機I轉(zhuǎn)軸上的托盤2、設(shè)在托盤2上的花籃3、設(shè)在烘干箱5上的噴氣嘴6、設(shè)在烘干箱5上的上蓋8、設(shè)在上蓋8上的出氣口 7以及設(shè)在烘干箱5底部的排水口 9，其中，旋轉(zhuǎn)電機I設(shè)在烘干箱5的底部。操作時，將晶圓片4放在花籃3中，然后，啟動晶圓片烘干機，在電機I的帶動下，通過托盤2的旋轉(zhuǎn)，將晶圓片4旋干。
[0004]但是，由于電機I安裝在旋干機的底部，而同時，排水口 9也設(shè)在旋干機的底部，因此，排水口 9的排出的水有可能噴濺到電機I上或是在烘干機底部其他地方有漏水的異常情況發(fā)生時,也可能導(dǎo)致電機I進水。一旦電機I進水，電機I將停止工作,托盤2也隨之從高速旋轉(zhuǎn)中突然停止旋轉(zhuǎn)，而花籃3由于強大的慣性，有可能飛出托盤2，從而，導(dǎo)致花籃3中的晶圓片4破損；而且，由于放置晶圓片4的花籃3是設(shè)在烘干箱5的底部，導(dǎo)致晶圓片在干燥過程中由于烘干箱5內(nèi)底部溫度與上部溫度的不同，而出現(xiàn)干燥不均勻的問題。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺點，而提供一種改進的晶圓片的烘干機，其操作簡單，不僅有效地解決了烘干過程中，晶圓片干燥不均勻的問題，而且，晶圓片還不易產(chǎn)生斷裂；同時，提高了晶圓片穩(wěn)定性。
[0006]本實用新型的目的是由以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
[0007]一種晶圓片的烘干機，包括:設(shè)在在烘干箱上部的電機、設(shè)在烘干箱中的噴氣嘴、設(shè)在烘干箱上的上蓋、設(shè)在上蓋上的出氣口以及設(shè)在烘干箱底部的排水口 ；其特征在于:該烘干箱的上部設(shè)置一通風(fēng)櫥，電機固定在通風(fēng)櫥的頂部；電機的轉(zhuǎn)軸上連接有一連接桿，該連接桿延伸至烘干箱內(nèi)，連接桿的端部懸吊一花籃，花籃的底部設(shè)置一用于放置有晶圓片的托盤。
[0008]所述烘干箱內(nèi)部充有熱氮氣。
[0009]所述花籃為圓形，且花籃懸吊的位置設(shè)在烘干箱的中部。
[0010]本實用新型的有益效果:本實用新型由于采用上述技術(shù)方案，其操作簡單，不僅有效地解決了烘干過程中，晶圓片干燥不均勻的問題，而且，晶圓片還不易產(chǎn)生斷裂；同時，提聞了晶圓片穩(wěn)定性。[0011]下面結(jié)合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。
【專利附圖】

【附圖說明】:
[0012]圖1為現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中主要標(biāo)號說明:
[0015]1.電機，2.托盤，3.花籃，4.晶圓片，5.烘干箱，6.噴氣嘴，7.出氣口，8.上蓋，9.排水口，10.連接桿，11.通風(fēng)櫥。
【具體實施方式】
[0016]如圖2所示，本實用新型包括:設(shè)在烘干箱5上的電機1、設(shè)在烘干箱5中的噴氣嘴6、設(shè)在烘干箱5上的上蓋8、設(shè)在上蓋8上的出氣口 7以及設(shè)在烘干箱5底部的排水口9 ;其中，烘干箱5的上部設(shè)置一通風(fēng)櫥11，電機I固定在通風(fēng)櫥11的頂部；電機I的轉(zhuǎn)軸上連接有一連接桿10，連接桿10延伸至烘干箱5內(nèi)，連接桿10的端部懸吊一花籃3，花籃3的底部設(shè)置一用于放置有晶圓片4的托盤2。
[0017]上述電機I上述烘干箱5內(nèi)部充有熱氮氣。
[0018]上述花籃3為圓形，且花籃3懸吊的位置設(shè)在烘干箱5的中部。
[0019]使用時，采用以下操作步驟:
[0020](I)將待干燥的晶圓片4按次序放置在圓形花籃3中。
[0021](2)打開熱氮氣烘干箱5的上蓋8，將花籃3懸吊在連接桿10上，此時，花籃3處于熱氮氣烘干箱5的中間位置。
[0022](3)調(diào)節(jié)熱氮氣烘干箱5內(nèi)噴氣嘴6的位置，使噴氣嘴6對準(zhǔn)吊籃3中待干燥的晶圓片4。
[0023](4)合上熱氮氣烘干箱5的上蓋8。
[0024](5)開啟設(shè)在通風(fēng)廚面板上的啟動按鈕和計時表，烘干箱開始工作，熱氮噴氣嘴6噴掃熱氮、電機I旋轉(zhuǎn)。在規(guī)定時間內(nèi)裝置工作完畢:熱氮噴氣嘴6停止噴掃、電機I停止旋轉(zhuǎn)。
[0025](6)打開熱氮氣烘干箱5的上蓋8，取出懸吊在連接桿上的花籃3。再從花籃3中取出已干燥好的晶圓片4，整個烘干過程完畢。
[0026]本實用新型由于將電機I設(shè)在烘干箱5的頂部，遠離了設(shè)在烘干箱5底部的排水口 9，因此，排水口 9的排出的水絕不會噴濺到電機I上，即使烘干箱5底部其他地方有漏水的異常情況發(fā)生時，也絕不會導(dǎo)致電機I進水；而且，由于花籃3懸吊的位置設(shè)在烘干箱5的中部，此處的溫差較??；因此，使晶圓片4在烘干箱5內(nèi)的干燥更加均勻。
[0027]以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓片的烘干機，包括:設(shè)在在烘干箱上部的電機、設(shè)在烘干箱中的噴氣嘴、設(shè)在烘干箱上的上蓋、設(shè)在上蓋上的出氣口以及設(shè)在烘干箱底部的排水口 ；其特征在于:該烘干箱的上部設(shè)置一通風(fēng)櫥，電機固定在通風(fēng)櫥的頂部；電機的轉(zhuǎn)軸上連接有一連接桿，該連接桿延伸至烘干箱內(nèi)，連接桿的端部懸吊一花籃，花籃的底部設(shè)置一用于放置有晶圓片的托盤。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片的烘干機，其特征在于:所述烘干箱內(nèi)部充有熱氮氣。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片的烘干機，其特征在于:所述花籃為圓形，且花籃懸吊的位置設(shè)在烘干箱的中部。
【文檔編號】F26B7/00GK203629225SQ201320813796
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月11日
【發(fā)明者】張榮勤, 羅惠英, 宋京, 丁國建, 魏文生 申請人:天津中環(huán)新光科技有限公司