技術(shù)編號：4643654
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種晶圓片的烘干機，包括設(shè)在烘干箱上部的電機、設(shè)在烘干箱中的噴氣嘴、設(shè)在烘干箱上的上蓋、設(shè)在上蓋上的出氣口以及設(shè)在烘干箱底部的排水口；該烘干箱的上部設(shè)置一通風(fēng)櫥，電機固定在通風(fēng)櫥的頂部；電機的轉(zhuǎn)軸上連接有一連接桿，該連接桿延伸至烘干箱內(nèi)，連接桿的端部懸吊一花籃，花籃的底部設(shè)置一用于放置有晶圓片的托盤。本實用新型操作簡單，不僅有效地解決了烘干過程中，晶圓片干燥不均勻的問題，而且，晶圓片還不易產(chǎn)生斷裂；同時，提高了晶圓片穩(wěn)定性。專利說明晶圓片的烘干機[0001...
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