擴散爐排風裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了擴散爐排風裝置，包括擴散爐內(nèi)的石英爐管，所述石英爐管出口處一側(cè)豎直設(shè)有一根排風管，所述排風管上至少開設(shè)有一個進風口，所述排風管的出風口與抽風機連接。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，抽風機打開后排風管能夠有效收集爐口的熱氣，降低爐口周圍的溫度，還能夠?qū)釟庵械挠泻怏w抽出避免對工作人員健康造成危害，其保證爐體外混合氣體反應(yīng)不受高溫影響，確保設(shè)備正常供氣和運行。
【專利說明】擴散爐排風裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導體加工領(lǐng)域，具體涉及一種擴散爐排風裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]擴散爐是半導體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。擴散工藝的主要用途是在高溫條件下對半導體晶圓進行摻雜，即將元素磷、硼擴散入硅片，從而改變和控制半導體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。擴散爐運行時由于爐內(nèi)溫度高導致外部溫度相對較高，尤其是爐口處溫度遠高于車間溫度，爐口外側(cè)不遠處為設(shè)備所需的幾種氣體混合反應(yīng)處，溫度持續(xù)太高會影響氣體的穩(wěn)定性，使反應(yīng)發(fā)生偏差，不能正常供氣，導致設(shè)備故障不能正常運行。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種擴散爐排風裝置，有效降低爐口周圍環(huán)境溫度，抽出爐體內(nèi)反應(yīng)產(chǎn)生的有害氣體，保證爐體外氣體反應(yīng)不受高溫影響，確保設(shè)備正常供氣和運行。
[0004]本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0005]擴散爐排風裝置，包括擴散爐內(nèi)的石英爐管，所述石英爐管出口處一側(cè)的爐體上豎直固定有一根排風管，所述排風管上至少開設(shè)有一個進風口，所述排風管的出風口與車間排風系統(tǒng)連通。
[0006]本實用新型進一步的改進方案是，所述排風管為方形管，所述進風口分別開設(shè)在靠近所述石英爐管出口處的相鄰兩個側(cè)壁上。
[0007]本實用新型更進一步的改進方案是，所述進風口上設(shè)有可調(diào)節(jié)開口大小的蓋板。
[0008]本實用新型和現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點:
[0009]本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，抽風機打開后排風管能夠有效收集爐口的熱氣，降低爐口周圍的溫度，還能夠?qū)釟庵械挠泻怏w抽出避免對工作人員健康造成危害，其保證爐體外混合氣體反應(yīng)不受高溫影響，確保設(shè)備正常供氣和運行。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為圖1中A向示意圖。
【具體實施方式】
[0012]如圖1所示的擴散爐排風裝置，包括擴散爐內(nèi)的石英爐管I，石英爐管I出口處一側(cè)的爐體上豎直固定有一根排風管2，排風管2的側(cè)壁上至少開設(shè)有一個進風口 3，排風管2的出風口與車間排風系統(tǒng)連通，在抽風機的帶動下抽出爐口周圍的氣體。[0013]本實施例中，排風管2為方形管，進風口 3分別開設(shè)在靠近石英爐管I出口處的相鄰兩個側(cè)壁上，其中，兩個側(cè)壁上都開設(shè)有兩個進風口 3，能夠有效收集氣體。進風口 3上設(shè)有可調(diào)節(jié)開口大小的蓋板4，可根據(jù)氣體的排量靈活的調(diào)節(jié)開口。
【權(quán)利要求】
1.擴散爐排風裝置，包括擴散爐內(nèi)的石英爐管(1)，其特征在于:所述石英爐管(I)出口處一側(cè)的爐體上豎直固定有一根排風管(2)，所述排風管(2)上至少開設(shè)有一個進風口(3)，所述排風管(2)的出風口與車間排風系統(tǒng)連通。
2.如權(quán)利要求1所述的擴散爐排風裝置，其特征在于:所述排風管(2)為方形管，所述進風口(3)分別開設(shè)在靠近所述石英爐管(I)出口處的相鄰兩個側(cè)壁上。
3.如權(quán)利要求2所述的擴散爐排風裝置，其特征在于:所述進風口(3)上設(shè)有可調(diào)節(jié)開口大小的蓋板(4)。
【文檔編號】F27D17/00GK203432380SQ201320568363
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年9月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月13日
【發(fā)明者】鄭銀先, 徐昌華, 史才成, 孟憲亮, 郝子龍, 陳前兆, 華貴俊, 高超 申請人:江蘇晶鼎電子材料有限公司