基板處理系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供基板處理系統(tǒng)，其包括輸送部、第一處理室、第二處理室、輸送機(jī)械手、搬入部、搬出部和控制部。處理室具有：多層架，能把基板支承在各層上；以及門，在搬入和搬出基板時對應(yīng)于多層架的所希望的層能打開或關(guān)閉，控制部進(jìn)行控制，把搬入到第一處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過輸送機(jī)械手，從第一處理室搬出并將其存放在搬出部，接著使輸送機(jī)械手移動到搬入部并握持未處理基板，把未處理基板搬入到第一處理室內(nèi)，然后，把搬入到第二處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過輸送機(jī)械手，從第二處理室搬出并存放于搬出部，接著使輸送機(jī)械手移動到搬入部并握持未處理基板，把未處理基板搬入到第二處理室內(nèi)，在輸送機(jī)械手從處理室離開期間使門關(guān)閉，并且以后對第一處理室、第二處理室也順次繼續(xù)這樣的動作。
【專利說明】基板處理系統(tǒng)
[0001]本申請是申請日為2010年03月09日、發(fā)明名稱為“基板處理系統(tǒng)和基板處理方法”的申請?zhí)枮?01010132170.7專利申請的分案申請。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及對液晶玻璃等基板實行焙燒(焼成)等熱處理的基板處理系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0003]當(dāng)在彩色濾光器制造工程等中對液晶玻璃等基板進(jìn)行熱處理時，為了有效地進(jìn)行基板的搬入、處理和搬出，往往使用系統(tǒng)化了的結(jié)構(gòu)。
[0004]在此用圖1簡單說明以往的基板處理系統(tǒng)中的基板輸送的控制內(nèi)容。以往，從圖外的搬入部把未處理的工件取出的輸送機(jī)械手22，例如從第一處理室16的多層架166的最上層搬出處理完的工件，然后把未處理工件搬入到該空出來的層中。此后輸送機(jī)械手22把處理完的工件輸送到圖外的搬出部。接著，輸送機(jī)械手22再從搬入部取出未處理工件，這次從第一處理室16的多層架166的從上數(shù)的第二層搬出處理完的工件，然后把未處理工件搬入到該空出來的層中。反復(fù)進(jìn)行同樣的動作，輸送機(jī)械手22首先對第一處理室16的多層架的從最上層到最下層的各層進(jìn)行搬出處理完的工件的處理和搬入未處理工件的處理。在完成對第一處理室16的多層架166的從最上層到最下層的各層的搬出處理完的工件的處理和搬入未處理工件的處理后，與上述相同，對第二處理室18的多層架186的從最上層到最下層的各層進(jìn)行搬出處理完的工件的處理和搬入未處理工件的處理。
[0005]在這種基板處理系統(tǒng)中，在對基板進(jìn)行熱處理時，涂敷在基板上的具有升華性質(zhì)的成分(例如含有光致抗蝕劑的具有升華性質(zhì)的成分)氣化，因該升華物造成爐內(nèi)的潔凈度降低。
[0006]因此，以往對利用通風(fēng)道等把產(chǎn)生的升華物從爐內(nèi)吸出的排氣系統(tǒng)想了各種辦法。例如有一種熱處理裝置為了降低升華氣體的濃度，對換氣用的空氣進(jìn)行加熱后，導(dǎo)入到通過工件的循環(huán)空氣的上游部位，并且把一部分通過工件的空氣排出(例如參照日本專利公開公報特開平10 - 141868號)。
[0007]在包括上述的日本專利公開公報特開平10 - 141868號的熱處理裝置在內(nèi)的以往的熱處理裝置中，如果要提高生產(chǎn)率(throughput)，就必須要盡可能縮短把基板搬入爐中的時間間隔，但是如果縮短搬入基板的時間間隔，則為了使升華物氣體的濃度低，就必須要增加排氣量。
[0008]而且，伴隨排氣量的增加，排熱量或供氣的加熱容量也要增加，其結(jié)果為了使?fàn)t內(nèi)保持在設(shè)定溫度，就必須從加熱器向爐內(nèi)提供更多的熱量。
[0009]因此，在包括上述的日本專利公開公報特開平10 - 141868號的熱處理裝置在內(nèi)的以往的熱處理裝置中，電耗必然與生產(chǎn)率的提高成比例增加，因而要削減電耗就要犧牲
生產(chǎn)率。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的目的是提供一種能夠不犧牲生產(chǎn)率就能實現(xiàn)削減電耗的基板處理系統(tǒng)。
[0011]本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)對基板進(jìn)行熱處理。作為基板的例子可以舉出:液晶顯示器和等離子體顯示器用的玻璃基板、半導(dǎo)體裝置中使用的半導(dǎo)體晶片等。
[0012]該基板處理系統(tǒng)包括輸送部、多個處理室、搬入部、搬出部以及控制部。輸送部具有輸送基板的輸送機(jī)械手。多個處理室分別配置在輸送部的周圍。各處理室具有在搬入和搬出基板時能夠打開或關(guān)閉的門。
[0013]控制部至少控制輸送部和處理室?？刂撇靠刂戚斔蜋C(jī)械手和門的動作，使得輸送機(jī)械手不是連續(xù)對同一個處理室進(jìn)行搬入或搬出，而是順次對多個處理室進(jìn)行搬入或搬出。
[0014]本發(fā)明提供一種基板處理系統(tǒng)，用于對基板進(jìn)行熱處理，所述基板處理系統(tǒng)包括:多個處理室，對基板進(jìn)行熱處理；輸送機(jī)械手，一次僅輸送一個基板；搬入部，容納要搬入所述處理室的未處理基板；搬出部，容納從所述處理室搬出后的基板；以及控制部，控制所述處理室和所述輸送機(jī)械手，所述處理室具有:多層架，能夠把基板支承在各層上；以及門，在搬入和搬出基板時對應(yīng)于多層架的所希望的層能夠打開或關(guān)閉，所述控制部控制所述輸送機(jī)械手和所述門的動作，把搬入到一個處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過所述輸送機(jī)械手，從該一個處理室搬出并將搬出的基板存放在所述搬出部，接著使所述輸送機(jī)械手移動到所述搬入部并握持未處理基板，把未處理基板搬入到該一個處理室內(nèi)，然后，把搬入到另一個處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過所述輸送機(jī)械手，從該另一個處理室搬出并存放于所述搬出部，接著使所述輸送機(jī)械手移動到所述搬入部并握持未處理基板，把未處理基板搬入到該另一個處理室內(nèi)，在所述輸送機(jī)械手從所述處理室離開期間使所述門關(guān)閉，并且通過以后對所述多個處理室也順次繼續(xù)這樣的動作，來對所述多個處理室內(nèi)的支承在所述多層架上的所有基板進(jìn)行規(guī)定時間的熱處理。
[0015]此外，本發(fā)明提供一種基板處理系統(tǒng)，用于對基板進(jìn)行熱處理，所述基板處理系統(tǒng)包括:多個處理室，對基板進(jìn)行熱處理；輸送機(jī)械手，一次輸送至少兩個基板；搬入部，容納要搬入所述處理室的未處理基板；搬出部，容納從所述處理室搬出后的基板；以及控制部，控制所述處理室和所述輸送機(jī)械手，所述處理室具有:多層架，能夠把基板支承在各層上；以及門，在搬入和搬出基板時對應(yīng)于多層架的所希望的層能夠打開或關(guān)閉，所述控制部控制所述輸送機(jī)械手和所述門的動作，在所述搬入部使所述輸送機(jī)械手握持至少一個未處理基板，把搬入到一個處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過所述輸送機(jī)械手，從該一個處理室搬出，并將所述輸送機(jī)械手握持的未處理基板搬入到該一個處理室內(nèi)，接著把從該一個處理室搬出的基板存放于所述搬出部，在所述搬入部使所述輸送機(jī)械手握持至少一個未處理基板，把搬入到另一個處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過所述輸送機(jī)械手，從該另一個處理室搬出，并把所述輸送機(jī)械手握持的未處理基板搬入到該另一個處理室內(nèi)，接著把從該另一個處理室搬出的基板存放到所述搬出部，在所述搬入部使所述機(jī)械手握持至少一個未處理基板，通過以后對所述多個處理室也順次繼續(xù)這樣的動作，來對所述多個處理室內(nèi)的支承在所述多層架上的所有基板進(jìn)行規(guī)定時間的熱處理。
[0016]在這種結(jié)構(gòu)中，每個生產(chǎn)節(jié)拍時間(tact time)進(jìn)行不同的處理室門的打開或關(guān)閉動作，針對不同的處理室把基板按順序搬入或搬出。通過這樣變更把基板向多個處理室投入的順序，能夠抑制在單一的處理室內(nèi)每單位時間的升華物氣體的生成量，降低爐內(nèi)的升華物氣體的濃度。
[0017]其結(jié)果與以往相比，運轉(zhuǎn)時能夠縮減排氣量和供氣量，并能夠削減伴隨排氣的排熱。即，能夠不降低生產(chǎn)率就能進(jìn)行節(jié)能運轉(zhuǎn)。此外也能夠使去除附著在爐內(nèi)的升華物等的維護(hù)頻率降低。
[0018]按照本發(fā)明，能夠不犧牲生產(chǎn)率就能實現(xiàn)大幅度降低電耗。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是表示以往的基板處理系統(tǒng)控制基板輸送的內(nèi)容的圖。
[0020]圖2是表示本發(fā)明實施方式的基板處理系統(tǒng)概要的俯視圖。
[0021]圖3是表示第一處理室、第二處理室和輸送機(jī)械手概要的側(cè)剖視圖。
[0022]圖4是表示基板處理系統(tǒng)概要的框圖。
[0023]圖5是表示主控制部控制內(nèi)容的圖。
[0024]圖6是表示本發(fā)明另外的實施方式的基板處理系統(tǒng)簡要結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0025]圖7是簡要表不具有η個處理室的基板處理系統(tǒng)的效果的圖。
[0026]圖8是表示本發(fā)明另外的實施方式的處理室簡要結(jié)構(gòu)的圖。
【具體實施方式】
[0027]圖2是表示本發(fā)明實施方式的基板處理系統(tǒng)10的概要。在該實施方式中，基板處理系統(tǒng)10進(jìn)行彩色濾光器的制造工程，但本發(fā)明的應(yīng)用范圍不限定于彩色濾光器的制造工程。
[0028]基板處理系統(tǒng)10包括搬入部12、搬出部14、輸送部15、第一處理室16和第二處理室18。搬入部12、搬出部14和輸送部15配置在用透明構(gòu)件覆蓋的清潔單元內(nèi)部。
[0029]搬入部12作為未處理工件(基板)20的搬入口起作用。在本實施方式中，工件20是長邊約2.5米、短邊約2.2米的長方形玻璃基板，但熱處理系統(tǒng)10處理的工件20的種類不限于此。搬出部14能夠裝入處理完的工件20。
[0030]輸送部15位于熱處理系統(tǒng)10的中央部，配置成分別與搬入部12、搬出部14、第一處理室16和第二處理室18鄰接。輸送部15在內(nèi)部設(shè)置有輸送機(jī)械手22。輸送機(jī)械手22在搬入部12、搬出部14、第一處理室16和第二處理室18之間輸送工件20。第一處理室16和第二處理室18對搬入的工件20進(jìn)行熱處理。
[0031]圖3表示第一處理室16、第二處理室18和輸送機(jī)械手22的概要結(jié)構(gòu)。第一處理室16包括:爐體164，具有把工件20搬入和搬出的開口部；以及門162，有選擇地遮擋開口部。
[0032]爐體164具有多層架166，該多層架166能把工件20支承在各層上。門162由多個擋板片構(gòu)成，所述多個擋板片被支承成能夠分別沿在垂直方向上延伸的軸升降。各擋板片能夠相互合作進(jìn)行升降，例如通過使相鄰的兩個擋板片分離或接觸，能夠把工件20搬入和搬出多層架166的所希望的層。
[0033]第二處理室18與第一處理室16相同，也至少包括爐體184、門182和多層架186。它們的結(jié)構(gòu)實際上與第一處理室16相同，所以在此省略說明。[0034]輸送機(jī)械手22具有手225，該手225能夠支承工件20。輸送機(jī)械手22通過使手225升降和轉(zhuǎn)動，能夠相對于多層架166和多層架186的任意的層搬入和搬出工件20。
[0035]圖4是表不基板處理系統(tǒng)10的概要的框圖。如圖4所不,第一處理室16至少包括門驅(qū)動部169、換氣部168、熱處理部167和控制部165。門驅(qū)動部169能夠進(jìn)行上述的門166的打開或關(guān)閉動作。換氣部168具有:導(dǎo)入部，把外部氣體導(dǎo)入爐體164內(nèi)；以及排氣部，把爐體164內(nèi)部的氣體排出。換氣部168設(shè)定適合室內(nèi)的升華物氣體濃度的排氣量和供氣量。熱處理部167在設(shè)定的溫度(例如230°C)下對爐體164進(jìn)行加熱，能夠?qū)Π崛霠t體164內(nèi)的工件20進(jìn)行熱處理。控制部165根據(jù)由主控制部30提供的控制信息，控制第一處理室16各部的動作。
[0036]第二處理室18至少具有門驅(qū)動部189、換氣部188、熱處理部187和控制部185。它們的結(jié)構(gòu)與上述的門驅(qū)動部169、換氣部168、熱處理部167和控制部165相同，在此省略說明。
[0037]輸送機(jī)械手22包括移動機(jī)構(gòu)部226、手驅(qū)動部224和控制部222。移動機(jī)構(gòu)部226至少包括使輸送機(jī)械手22在水平方向上移動的機(jī)構(gòu)以及使輸送機(jī)械手22轉(zhuǎn)動的機(jī)構(gòu)。手驅(qū)動部224能夠使手225進(jìn)行升降動作、水平方向的移動、轉(zhuǎn)動動作以及握持或松開工件20?？刂撇?22根據(jù)來自主控制部30的控制信息，控制輸送機(jī)械手22各部的動作。
[0038]圖5是用于說明主控制部30控制內(nèi)容的圖。在本實施方式的基板處理系統(tǒng)10中，主控制部30使輸送機(jī)械手22交替對第一處理室16或第二處理室18進(jìn)行搬入或搬出。因此，在此不是如圖1所示，在對從第一處理室16的多層架166的最上層到最下層的各層完成搬出處理完的工件20的處理和搬入未處理工件20的處理后，對從第二處理室18的多層架186的最上層到最下層的各層進(jìn)行搬出處理完的工件20的處理和搬入未處理工件20的處理，而是順次進(jìn)行對第一處理室16的搬出處理完的工件20的處理和搬入未處理工件20的處理；以及對第二處理室18的搬出處理完的工件20的處理和搬入未處理工件20的處理。
[0039]具體地說，主控制部30使輸送機(jī)械手22取出搬入部12的未處理工件20。接著，主控制部30根據(jù)有關(guān)要搬入的位置和順序的存儲信息，打開第一處理室16的門162，此后通過控制輸送機(jī)械手22的動作，從多層架166對應(yīng)的層搬出處理完的工件20，把未處理工件20搬入變成空出來的層的同一層中。其中所謂處理完的工件20是指在搬入到第一處理室內(nèi)后經(jīng)過熱處理所必須的規(guī)定時間的工件20。
[0040]此后，主控制部30使輸送機(jī)械手22把處理完的工件20向搬出部14排出，使輸送機(jī)械手22移動到搬入部12的前面，取出搬入部12的未處理工件20。
[0041]接著，主控制部30根據(jù)有關(guān)要搬入的位置和順序的存儲信息，打開第二處理室18的門182，此后，通過控制輸送機(jī)械手22的動作，從多層架186對應(yīng)的層搬出處理完的工件20，把未處理工件20搬入變成空出來的層的同一層中。
[0042]此后，主控制部30使輸送機(jī)械手22把處理完的工件20向搬出部14排出，使輸送機(jī)械手22移動到搬入部12的前面，從搬入部12取出未處理工件20。
[0043]控制輸送機(jī)械手22和門162、182的動作，使得以后也通過順次繼續(xù)對第一處理室16和第二處理室18進(jìn)行上述的動作，對支承在第一處理室16和第二處理室18內(nèi)的多層架166、186上的所有的工件20進(jìn)行規(guī)定時間的熱處理。[0044]其中表示的例子是:輸送機(jī)械手22按多層架166的最上層一多層架186的最上層—多層架166從上數(shù)的第二層一多層架186從上數(shù)的第二層一……一多層架166的最下層—多層架186的最下層的順序進(jìn)行搬入或搬出，但搬入或搬出的順序不限于該例。
[0045]圖6表示具有六個處理室17的基板處理系統(tǒng)11的概要結(jié)構(gòu)?；逄幚硐到y(tǒng)11包括搬入部12、搬出部14、輸送部150以及六個處理室17。基板處理系統(tǒng)11除了處理室17的個數(shù)為六個以外，其基本的結(jié)構(gòu)與基板處理系統(tǒng)10相同。
[0046]在基板處理系統(tǒng)11中，輸送機(jī)械手22被控制成順次對六個處理室17進(jìn)行搬入或搬出，而不是連續(xù)對同一個處理室17進(jìn)行搬入或搬出。
[0047]其中，主控制部30根據(jù)有關(guān)要搬入的位置和順序的存儲信息，對六個處理室17中的一個進(jìn)行搬出處理完的工件20的處理和把未處理工件20搬入到變成空出來的層的同一層中的處理。此后，主控制部30使輸送機(jī)械手22把處理完的工件20向搬出部14排出，使輸送機(jī)械手22移動到搬入部12的前 面，取出搬入部12的未處理工件20。然后，對六個處理室17中的下一個進(jìn)行同樣的動作?？刂戚斔蜋C(jī)械手22和門162、182的動作，使得以后也通過對六個處理室17順次繼續(xù)上述的動作，對支承在六個處理室17內(nèi)的多層架上的所有的工件20進(jìn)行規(guī)定時間的熱處理。
[0048]如上所述，在處理室為兩臺的情況下，對第一處理室進(jìn)行處理完的工件20的搬出和未處理工件20的搬入這樣的成對的操作，此后對第二處理室進(jìn)行同樣的成對的操作，以后對第一處理室和第二處理室反復(fù)交替進(jìn)行該操作。此外，在基板處理系統(tǒng)中設(shè)置六臺處理室的情況下，按第一?第六處理室的順序進(jìn)行上述成對的操作，此后也進(jìn)行同樣的操作。
[0049]如果對把該方式一般化成處理室有η臺的情況進(jìn)行說明，則主控制部30對第一處理室進(jìn)行處理完的工件20的搬出和未處理工件20的搬入這樣的成對操作，接著對第二處理室進(jìn)行同樣的操作，對第η — I處理室進(jìn)行同樣的操作，然后對第η處理室進(jìn)行同樣的處理后，再重新對第一處理室進(jìn)行同樣的操作，以后順次繼續(xù)這樣的操作。其結(jié)果與處理室的數(shù)量無關(guān)，對于所有的工件20都能夠使它們在室內(nèi)滯留的時間相同。
[0050]一般而言，如果基板處理系統(tǒng)內(nèi)的處理室數(shù)量增加，則更能減少排氣量和加熱器的容量。例如與圖2所示的基板處理系統(tǒng)10相比，圖6所示的基板處理系統(tǒng)11能夠進(jìn)一步減少排氣量和加熱器的容量。
[0051]例如，如圖6所示，在設(shè)置多個處理室的基板處理系統(tǒng)11中，通過分配工件20的投入順序，能夠使每單位時間的最大投入個數(shù)平均化，并能夠抑制單一處理室17中每單位時間的升華物氣體的生成量。此外，能夠削減加熱器的容量，削減運行成本。而且由于能夠容易防止升華物附著在處理室17內(nèi)，所以能夠提高處理室17的維護(hù)性能。
[0052]圖7簡要表示具有η個處理室的基板處理系統(tǒng)10的效果。其中，以作為基板處理系統(tǒng)10整體的生產(chǎn)率與以往的基板處理系統(tǒng)相同為前題進(jìn)行說明。如圖7所示，在基板處理系統(tǒng)10中，對于各第一?第η處理室，能夠把工件20的投入時間間隔放大η倍(η為在系統(tǒng)中設(shè)置的處理室數(shù)量)。其結(jié)果在理論上能夠把伴隨投入工件20產(chǎn)生的升華氣體的生成量抑制到I/η。而且，對于為了使各第一?第η處理室保持在各自允許的潔凈度所需要的換氣量亦即排氣量，在理論上也可以抑制到I/η。因此，可以簡化換氣部168和換氣部188的結(jié)構(gòu)，此外，能夠降低在換氣部168和換氣部188中消耗的電量。
[0053]因此，由于把使各第一?第η處理室內(nèi)保持在設(shè)定溫度所需要的加熱器的容量，在理論上也能夠抑制到1/n，所以能夠大幅度削減基板處理系統(tǒng)10的耗電量。
[0054]例如，在具有第一處理室16或第二處理室18的基板處理系統(tǒng)10中，如果把以往基板搬入時間間隔從60秒的程度放大到120秒，則能夠使升華物氣體的生成量從30ppm減少到15ppm。因此，在使室內(nèi)的污染程度采用與以往相同的標(biāo)準(zhǔn)運行的情況下，由于能夠使排氣量從40m3/分鐘降低到20m3/分鐘，所以在理論上能夠使用于補(bǔ)充排氣部分熱量的加熱器的容量從90kw降低到45kw。也就是說，在理論上能夠不降低生產(chǎn)率就能把耗電量抑制到以往的一半左右。
[0055]此外，除了在上述的實施方式中說明的動作以外，在本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)中，按照輸送機(jī)械手22的臂和手的結(jié)構(gòu)能夠進(jìn)行多種運轉(zhuǎn)。例如在上述的實施方式中，輸送機(jī)械手22在把處理完的工件20從處理室取出的同時，進(jìn)行把握持著的未處理工件20搬入處理室的動作，但在使用一次只能握持單一的工件20的輸送機(jī)械手時，也可以使輸送機(jī)械手22按搬出處理完的工件20 —向搬出部14移動一向搬入部12移動一搬入未處理工件20這樣的流程動作。此外，在這種情況下，優(yōu)選的是在輸送機(jī)械手22離開處理室期間關(guān)閉處理室的門。
[0056]此外，在上述的實施方式中，對輸送機(jī)械手22使一個一個的工件20進(jìn)出處理室的情況進(jìn)行了說明，但也可以使輸送機(jī)械手22 —次使多個(例如靠近的兩個)工件20進(jìn)出處理室。
[0057]此外，在本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)中使用的處理室的結(jié)構(gòu)不限于上述的結(jié)構(gòu)。例如圖8所示，也可以在本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)中使用這樣的處理室:對應(yīng)于各層設(shè)置可以轉(zhuǎn)動的小門40，并且利用氣缸驅(qū)動使各小門40打開或關(guān)閉。
[0058]在上述的實施方式中，對設(shè)置在基板處理系統(tǒng)10、11中的處理室的數(shù)量為兩個或六個的情況進(jìn)行了說明，但處理室的個數(shù)只要是兩個以上即可，不限于上述的例子。
[0059]上述實施方式的說明都只是例示，不應(yīng)該認(rèn)為是限制的內(nèi)容。本發(fā)明的范圍不是由上述的實施方式表示，而是由權(quán)利要求來表示。此外，本發(fā)明的范圍包括與權(quán)利要求等同的內(nèi)容和在本發(fā)明范圍內(nèi)進(jìn)行的所有的變更。
【權(quán)利要求】
1.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于:用于對基板進(jìn)行熱處理，所述基板處理系統(tǒng)包括:多個處理室，對基板進(jìn)行熱處理；輸送機(jī)械手，一次僅輸送一個基板；搬入部，容納要搬入所述處理室的未處理基板；搬出部，容納從所述處理室搬出后的基板；以及控制部，控制所述處理室和所述輸送機(jī)械手， 所述處理室具有:多層架，能夠把基板支承在各層上；以及門，在搬入和搬出基板時對應(yīng)于多層架的所希望的層能夠打開或關(guān)閉， 所述控制部控制所述輸送機(jī)械手和所述門的動作，把搬入到一個處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過所述輸送機(jī)械手，從該一個處理室搬出并將搬出的基板存放在所述搬出部，接著使所述輸送機(jī)械手移動到所述搬入部并握持未處理基板，把未處理基板搬入到該一個處理室內(nèi)，然后，把搬入到另一個處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過所述輸送機(jī)械手，從該另一個處理室搬出并存放于所述搬出部，接著使所述輸送機(jī)械手移動到所述搬入部并握持未處理基板，把未處理基板搬入到該另一個處理室內(nèi)，在所述輸送機(jī)械手從所述處理室離開期間使所述門關(guān)閉，并且通過以后對所述多個處理室也順次繼續(xù)這樣的動作，來對所述多個處理室內(nèi)的支承在所述多層架上的所有基板進(jìn)行規(guī)定時間的熱處理。
2.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于:用于對基板進(jìn)行熱處理，所述基板處理系統(tǒng)包括:多個處理室，對基板進(jìn)行熱處理；輸送機(jī)械手，一次輸送至少兩個基板；搬入部，容納要搬入所述處理室的未處理基板；搬出部，容納從所述處理室搬出后的基板；以及控制部，控制所述處理室和所述輸送機(jī)械手， 所述處理室具有:多層架，能夠把基板支承在各層上；以及門，在搬入和搬出基板時對應(yīng)于多層架的所希望的層能夠打開或關(guān)閉， 所述控制部控制所述輸送機(jī)械手和所述門的動作，在所述搬入部使所述輸送機(jī)械手握持至少一個未處理基板，把搬入到一個處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過所述輸送機(jī)械手，從該一個處理室搬出，并將所述輸送機(jī)械手握持的未處理基板搬入到該一個處理室內(nèi)，接著把從該一個處理室搬出的基板存放于所述搬出部，在所述搬入部使所述輸送機(jī)械手握持至少一個未處理基板，把搬入到另一個處理室內(nèi)后經(jīng)過了規(guī)定時間的基板通過所述輸送機(jī)械手，從該另一個處理室搬出，并把所述輸送機(jī)械手握持的未處理基板搬入到該另一個處理室內(nèi)，接著把從該另一個處理室搬出的基板存放到所述搬出部，在所述搬入部使所述機(jī)械手握持至少一個未處理基板，通過以后對所述多個處理室也順次繼續(xù)這樣的動作，來對所述多個處理室內(nèi)的支承在所述多層架上的所有基板進(jìn)行規(guī)定時間的熱處理。
【文檔編號】F27B17/00GK103438710SQ201310302882
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2010年3月9日 優(yōu)先權(quán)日:2009年3月18日
【發(fā)明者】森晃一, 吉原賢一, 向井正行 申請人:光洋熱系統(tǒng)株式會社